Ненакаливаемые катоды на основе углеродных наноструктурированных слоистых структур
Рассмотрены условия формирования и строение пленок алмазоподобных материалов, используемых при изготовлении слоистых ненакаливаемых катодов устройств эмиссионной электроники. Изучены строение и автоэмиссионные свойства слоистых структур с поликластерными пленками алмаза и с алмазоподобными углеродны...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2013 |
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2013
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56347 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Ненакаливаемые катоды на основе углеродных наноструктурированных слоистых структур / А.Ф. Белянин, В.В. Борисов, М.А. Тимофеев, А.Н. Ламский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2013. — № 4. — С. 31-36. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1860095321915260928 |
|---|---|
| author | Белянин, А.Ф. Борисов, В.В. Тимофеев, М.А. Ламский, А.Н. |
| author_facet | Белянин, А.Ф. Борисов, В.В. Тимофеев, М.А. Ламский, А.Н. |
| citation_txt | Ненакаливаемые катоды на основе углеродных наноструктурированных слоистых структур / А.Ф. Белянин, В.В. Борисов, М.А. Тимофеев, А.Н. Ламский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2013. — № 4. — С. 31-36. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Рассмотрены условия формирования и строение пленок алмазоподобных материалов, используемых при изготовлении слоистых ненакаливаемых катодов устройств эмиссионной электроники. Изучены строение и автоэмиссионные свойства слоистых структур с поликластерными пленками алмаза и с алмазоподобными углеродными пленками (АУП), сформированными различными методами. Установлено, что лучшими эмиссионными характеристиками обладают АУП, полученные катодным распылением, эмиссия с поверхности которых происходит по границам глобул.
Розглянуто умови формування та будову плівок алмазоподібних матеріалів, використовуваних при виготовленні шаруватих нерозжарюваних катодівпристроїв емісійної електроніки. Вивчено будову і автоемісійні властивості шаруватих структур з полікластерними плівками алмазу і з алмазоподібними вуглецевими плівками (АВП), сформованими різни-ми методами. Встановлено, що кращі емісійні характеристики мають АВП, отримані катодним розпиленням, емісія з поверхні яких відбувається по межах глобул.
The paper describes formation conditions for and the structure of diamond-like materials films used in the manufacture of layered cold cathodes of emission electronics devices. The authors study the structure and field emission properties of layered structures with polycluster diamond and diamond-like carbon films (DCF) formed by various methods. It has been found that the best emission properties are characteristic of DCFs obtained by cathode sputtering. Emission from the surface of such films occurs on the boundaries of the globules.
|
| first_indexed | 2025-12-07T17:25:28Z |
| format | Article |
| fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2013, ¹ 4 31
ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ
ÓÄÊ 678.747:621.317
Ä. ò. í. À. Ô. ÁÅËßÍÈÍ1, Â. Â. ÁÎÐÈÑÎÂ2, ê. ô.-ì. í. Ì. À. ÒÈÌÎÔÅÅÂ2,
À. Í. ËÀÌÑÊÈÉ1
Ðîññèÿ, ã. Ìîñêâà, 1ÖÍÈÒÈ «Òåõíîìàø», 2ÍÈÈßÔ èì. Ä. Â. Ñêîáåëüöûíà ÌÃÓ
E-mail: belyanin@technomash.ru
ÍÅÍÀÊÀËÈÂÀÅÌÛÅ ÊÀÒÎÄÛ ÍÀ ÎÑÍÎÂÅ
ÓÃËÅÐÎÄÍÛÕ ÍÀÍÎÑÒÐÓÊÒÓÐÈÐÎÂÀÍÍÛÕ
ÑËÎÈÑÒÛÕ ÑÒÐÓÊÒÓÐ
Îäíîé èç çàäà÷ ýìèññèîííîé ýëåêòðîíèêè
ÿâëÿåòñÿ ñíèæåíèå áàðüåðà ýìèññèè ñ ïîâåðõíî-
ñòè êàòîäîâ. Ïåðñïåêòèâû ïðèìåíåíèÿ óñòðîéñòâ
ýìèññèîííîé ýëåêòðîíèêè, îáëàäàþùèõ óëó÷-
øåííûìè õàðàêòåðèñòèêàìè, ñâÿçàíû ñ ðàçðà-
áîòêîé ñëîèñòûõ íåíàêàëèâàåìûõ (àâòîýìèññè-
îííûõ) êàòîäîâ íà îñíîâå øèðîêîçîííûõ ïîëó-
ïðîâîäíèêîâûõ ìàòåðèàëîâ — ïîëèêëàñòåðíûõ
ïëåíîê àëìàçà (ÏÏÀ), àëìàçîïîäîáíûõ óãëå-
ðîäíûõ ïëåíîê (ÀÓÏ), ïëåíîê AlN è äð. Íà-
ëè÷èå àâòîýìèññèè îçíà÷àåò âîçìîæíîñòü ñóùå-
ñòâåííîãî ñíèæåíèÿ íàïðÿæåííîñòè ýëåêòðè÷å-
ñêîãî ïîëÿ (äî 1—10 Â/ìêì), òðåáóåìîé äëÿ
âîçíèêíîâåíèÿ ïîëåâîé ýìèññèè ýëåêòðîíîâ.
Àâòîêàòîäû íà îñíîâå óãëåðîäíûõ ìàòåðèà-
ëîâ íàõîäÿò ïðèìåíåíèå ïðè ñîçäàíèè ðåíòãåíîâ-
ñêèõ òðóáîê (äîñìîòðîâûõ, ìèêðîôîêóñíûõ,
äëÿ ñêàíèðóþùåãî òîìîãðàôà), ÑÂ×-ïðèáîðîâ,
ýëåêòðîííûõ ïóøåê äëÿ âîçáóæäåíèÿ ëàçåðîâ,
êàòîäî-ëþìèíåñöåíòíûõ îñâåòèòåëüíûõ ïðèáî-
ðîâ, ïëîñêèõ ýêðàíîâ, ýëåêòðîííûõ ïðîåêòîðîâ
è äèñïëååâ, íåéòðàëèçàòîðîâ çàðÿäà ïîëîæèòåëü-
íûõ èîííûõ ïîòîêîâ [1, 2]. Íàðÿäó ñ óíèêàëü-
íûìè õàðàêòåðèñòèêàìè àâòîýìèññèîííûõ êàòî-
äîâ, èìååòñÿ ðÿä òðóäíîñòåé â èõ ïðèìåíåíèè.
Íàïðèìåð, ïðè ðàáîòå àâòîýìèññèîííûõ êàòî-
äîâ ñ ÀÓÏ â îáúåì âàêóóìíîãî ïðèáîðà â ðå-
çóëüòàòå êàòîäíîãî ðàñïûëåíèÿ ýòèõ ïëåíîê âû-
äåëÿåòñÿ àòîìàðíûé óãëåðîä, ÷òî òðåáóåò
îñíàùåíèÿ âàêóóìíûõ ïðèáîðîâ ìàãíèòîðàçðÿä-
íûìè íàñîñàìè èëè ïðèìåíåíèÿ ãåòòåðèðîâàíèÿ.
Ñòàðåíèå àâòîýìèññèîííûõ êàòîäîâ âûçûâàåò
íåîáõîäèìîñòü èñïîëüçîâàíèÿ òåõíè÷åñêè ñëîæ-
íûõ èñòî÷íèêîâ ñòàáèëèçèðîâàííîãî òîêà.
Öåëü íàñòîÿùåé ðàáîòû — èçó÷åíèå ñòðîåíèÿ
è àâòîýìèññèîííûõ ñâîéñòâ ñëîèñòûõ íåíàêàëè-
Ðàññìîòðåíû óñëîâèÿ ôîðìèðîâàíèÿ è ñòðîåíèå ïëåíîê àëìàçîïîäîáíûõ ìàòåðèàëîâ, èñïîëüçóåìûõ
ïðè èçãîòîâëåíèè ñëîèñòûõ íåíàêàëèâàåìûõ êàòîäîâ óñòðîéñòâ ýìèññèîííîé ýëåêòðîíèêè. Èçó÷åíû
ñòðîåíèå è àâòîýìèññèîííûå ñâîéñòâà ñëîèñòûõ ñòðóêòóð ñ ïîëèêëàñòåðíûìè ïëåíêàìè àëìàçà è ñ
àëìàçîïîäîáíûìè óãëåðîäíûìè ïëåíêàìè (ÀÓÏ), ñôîðìèðîâàííûìè ðàçëè÷íûìè ìåòîäàìè. Óñòàíîâ-
ëåíî, ÷òî ëó÷øèìè ýìèññèîííûìè õàðàêòåðèñòèêàìè îáëàäàþò ÀÓÏ, ïîëó÷åííûå êàòîäíûì ðàñïûëå-
íèåì, ýìèññèÿ ñ ïîâåðõíîñòè êîòîðûõ ïðîèñõîäèò ïî ãðàíèöàì ãëîáóë.
Êëþ÷åâûå ñëîâà: ñëîèñòûå ñòðóêòóðû, ýìèññèîííàÿ ýëåêòðîíèêà.
âàåìûõ êàòîäîâ ñ ïîëèêëàñòåðíûìè ïëåíêàìè
àëìàçà è ñ àëìàçîïîäîáíûìè óãëåðîäíûìè ïëåí-
êàìè, ñôîðìèðîâàííûìè ðàçëè÷íûìè ìåòîäàìè.
Ôîðìèðîâàíèå è ñòðîåíèå ìíîãîñëîéíûõ
ñòðóêòóð
Èçó÷àëèñü ýìèññèîííûå ñâîéñòâà ñëåäóþùèõ
ñëîèñòûõ ñòðóêòóð: Si/ÏÏÀ(ÀÓÏ), W/WC,
W/WC/ÏÏÀ(ÀÓÏ), ïëàâëåíûé êâàðö/
AlN+Al/ÀÓÏ.
Ïëåíêè äëÿ èññëåäîâàíèé ôîðìèðîâàëè ñëå-
äóþùèìè ìåòîäàìè (ñì. òàáëèöó): AlN+Al —
ìàãíåòðîííûì ðàñïûëåíèåì, ÏÏÀ — äóãîâûì
(êîíöåíòðàöèÿ àëìàçíîé ôàçû Ñ ñîñòàâëÿëà 99%
îò îáúåìà è áîëüøå) è ÑÂ×-ðàçðÿäîì (Ñ=20—
60 îá.%), ÀÓÏ (Ñ<5 îá.%) — òëåþùèì ðàçðÿ-
äîì (ÀÓÏÒÐ) [3—5] è ïîñëåäóþùèì êàòîäíûì
ðàñïûëåíèåì ïîëó÷åííîãî àëìàçîïîäîáíîãî óãëå-
ðîäà. Îòìåòèì, ÷òî â ïîäëîæêàõ, ïðåäíàçíà÷åí-
íûõ äëÿ ïîëó÷åíèÿ ïëåíîê ÑÂ×-ðàçðÿäîì, ïðåä-
âàðèòåëüíî ñîçäàâàëèñü íåîáõîäèìûå äëÿ ôîð-
ìèðîâàíèÿ ÏÏÀ öåíòðû íóêëåàöèè [6]. Ýòîò ïðî-
öåññ ïðîâîäèëè ïðè òåìïåðàòóðå 1025 Ê áîìáàð-
äèðîâêîé èîíàìè H+ è CxHy
+ (Â×-ðàçðÿä —
13,56 ÌÃö, 40 Âò — â òå÷åíèå 20 ìèí), îáðàçó-
þùèìèñÿ â ÑÂ×-ïëàçìå (H2+(8—10 îá.%)CH4,
äàâëåíèå îêîëî 6,6.103 Ïà). Äëÿ ëåãèðîâàíèÿ
ïëåíîê áîðîì â âàêóóìíóþ êàìåðó ââîäèëè ïàðû
ñìåñè ýòàíîëà (CH5OH) ñ òðèìåòèëáîðàòîì
((CH3O)3B). Ïðè èñïîëüçîâàíèè òëåþùåãî ðàç-
ðÿäà íà ïîäëîæêó íàíîñèëè çàòðàâî÷íûå íàíî-
÷àñòèöû àëìàçà ðàçìåðîì ìåíåå 5 íì. Ïðè ïî-
ëó÷åíèè ïëåíîê êàòîäíûì ðàñïûëåíèåì èñïîëü-
çîâàëè äèîäíóþ è òðèîäíóþ ñõåìû (ïðîöåññ
ïðîâîäèëè â èìïóëüñíîì ðåæèìå ñî ñêâàæíî-
ñòüþ 100), ïðè ýòîì â êà÷åñòâå êàòîäà-ìèøåíè
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2013, ¹ 432
ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ
ïðèìåíÿëè ïëàñòèíó èç ìîíîêðèñòàëëè÷åñêîãî
Si ñî ñëîåì ÀÓÏÒÐ.
Êîíöåíòðàöèÿ àëìàçíîé è àëìàçîïîäîáíîé
óãëåðîäíîé ôàç îöåíèâàëàñü ñïåêòðîñêîïèåé
êîìáèíàöèîííîãî ðàññåÿíèÿ (ÊÐ) ñ ïîìîùüþ
ìèêðîðàìàíîâñêîãî ñïåêòðîìåòðà LabRam HR800
(HORIBA Jobin-Yvon). Îñíîâíûå ìàêñèìóìû
íà ñïåêòðàõ ÊÐ äëÿ ÏÏÀ — óçêèå, õîðîøî âû-
ðàæåííûå ïèêè ïðè çíà÷åíèÿõ âîëíîâîãî ÷èñëà
k≈1330 ñì–1, à äëÿ ÀÓÏ — ðàçìûòûå ïèêè ïðè
k, ðàâíîì 1330 è 1550 ñì–1 [7]. Èíòåíñèâíîñòü
ïèêîâ íà ñïåêòðàõ ÊÐ ÏÏÀ, ñôîðìèðîâàííûõ
êàê äóãîâûì, òàê è ÑÂ×-ðàçðÿäîì, çàâèñåëà îò
òåìïåðàòóðû ïîäëîæêè (ðèñ. 1), à äëÿ ÀÓÏ,
ñôîðìèðîâàííûõ òëåþùèì ðàçðÿäîì, — îò êîí-
ñòðóêöèè ðàçðÿäíîãî óñòðîéñòâà è ïðåäâàðè-
òåëüíîé ïîäãîòîâêè ïîäëîæåê (ðèñ. 2). Ïèê
ïðè k≈1600 ñì–1, íàáëþäàåìûé ó ÀÓÏ, ñôîð-
ìèðîâàííûõ òëåþùèì ðàçðÿäîì, õàðàêòåðåí äëÿ
óãëåðîäíûõ íàíîòðóáîê. Íà ñïåêòðàõ ÊÐ ÀÓÏ,
ñôîðìèðîâàííûõ êàòîäíûì ðàñïûëåíèåì, ìîæ-
íî âûäåëèòü ÷åòûðå ïåðåêðûâàþùèõñÿ ðàçìû-
òûõ ïèêà ñ ìàêñèìóìàìè â îáëàñòè 1225—1232,
1328—1333, 1418—1423 è 1526—1547 ñì–1
(ðèñ. 2, â).
Ïðè èñïîëüçîâàíèè âûñîêîòåìïåðàòóðíûõ
ìåòîäîâ (ÑÂ×- è äóãîâîãî ðàçðÿäîâ) â ðåçóëü-
òàòå õèìè÷åñêîãî âçàèìîäåéñòâèÿ ñ óãëåðîäîì
íà ãðàíèöå êîíòàêòà ïîäëîæêè è óãëåðîäíîé
ïëåíêè îáðàçóþòñÿ ïîëèêðèñòàëëè÷åñêèå è
ðåíòãåíîàìîðôíûå ôàçû êàðáèäîâ. Íà ïîäëîæ-
êàõ èç Si îáðàçóåòñÿ ïëåíêà êàðáèäà êðåìíèÿ
(α-SiC, ãåêñàãîíàëüíàÿ ñèíãîíèÿ, ïðîñòðàíñòâåí-
íàÿ ãðóïïà Ð6çmc), òîëùèíà êîòîðîé íå ïðåâû-
øàåò 0,1 ìêì. Ñ ïîäëîæêàìè èç âîëüôðàìà àê-
òèâíî âçàèìîäåéñòâóåò óãëåðîä, ïðè ýòîì îáðà-
çóþòñÿ ñëîè êàðáèäîâ âîëüôðàìà: WC (ãåêñà-
ãîíàëüíàÿ ñèíãîíèÿ) è W2C (ðîìáè÷åñêàÿ ñèí-
ãîíèÿ; Ðbñn) òîëùèíîé äî 10 ìêì (ðèñ. 3, ðåíò-
ãåíîâñêèé äèôðàêòîìåòð ÄÐÎÍ-6,0, Cu kα-èç-
ëó÷åíèå, ãðàôèòîâûé ìîíîõðîìàòîð). Íà ðàç-
ëè÷íûõ ó÷àñòêàõ ïîâåðõíîñòè ïîäëîæêè, ïîêðû-
òîé ñëîåì WC è W2C, ñîäåðæàíèå W èçìåíÿåò-
ñÿ îò 8,91 äî 22,87 àò.%, ñîäåðæàíèå C — îò
68,76 äî 78,91 àò.%. Äèñïåðñèîííûé ýíåðãåòè-
÷åñêèé ñïåêòð îäíîãî èç îáðàçöîâ ïîêàçàí íà
ðèñ. 3, á (ðàñòðîâûé ýëåêòðîííûé ìèêðîñêîï
CARL ZEISS LEO 1430 VP, îñíàùåííûé ìèê-
ðîàíàëèçàòîðîì ñîñòàâà INKA X-act). Àíàëèç
ñîñòàâà ïëåíîê íà Si, ïîëó÷åííûõ êàòîäíûì ðàñ-
ïûëåíèåì, ïîêàçàë óâåëè÷åíèå êîíöåíòðàöèè
óãëåðîäà îò 18,16 äî 59,37 àò.% â çàâèñèìîñòè
îò òîëùèíû ïëåíêè, ÷òî óêàçûâàåò íà åå îñòðîâ-
êîâûé õàðàêòåð (ðèñ. 3, â).
ÏÏÀ, ïîëó÷åííûå êàê äóãîâûì, òàê è ÑÂ×-
ðàçðÿäîì, èìåëè ðàçâèòóþ ïîâåðõíîñòü (ñ øåðî-
õîâàòîñòüþ RZ≈0,6 ìêì ïðè òîëùèíå ïëåíêè îêî-
ëî 2 ìêì) ñ õàðàêòåðíîé äëÿ àëìàçà îãðàíêîé
Ðèñ. 1. Ñïåêòðû ÊÐ ñâåòà ÏÏÀ, ñôîðìèðîâàííû-
ìè ìåòîäîì äóãîâîãî ðàçðÿäà ïðè ðàçëè÷íûõ òåì-
ïåðàòóðàõ ïîäëîæêè èç âîëüôðàìà
1150 Ê
1260 1340 1420
Âîëíîâîå ÷èñëî, ñì–1
60000
54000
48000
42000
36000
1320 Ê
48000
45000
42000
39000
36000
13
37
,0
È
íò
åí
ñè
âí
îñ
òü
,
îò
í.
å
ä.
Ïàðàìåòðû ïðîöåññîâ îñàæäåíèÿ è ôàçîâûé ñîñòàâ ïëåíîê
Ìåòîä Ðàáî÷èé ãàç*
Äàâëåíèå
ãàçà, êÏà
Ìîùíîñòü
ðàçðÿäà,
Âò
Òåìïåðàòóðà
ïîäëîæêè,
Ê
Ñêîðîñòü
îñàæäåíèÿ,
ìêì/÷
Ñîñòàâ
ïëåíêè
Äóãîâîé ðàçðÿä
(1,5—4) îá.% ÑÍ4
+Í2
>1 — 870–1470 äî 40 ÏÏÀ
ÑÂ×-ðàçðÿä 0,5 îá.% ÑÍ4+Í2 5—10 1000—6000 1000–1125 ≈2
ÏÏÀ,
ÀÓÏ
Òëåþùèé
ðàçðÿä
(1,5—4) îá.% ÑÍ4
+Í2
>1 — 800–1300 ≈6 ÀÓÏÒÐ
Êàòîäíîå ðàñ-
ïûëåíèå ÀÓÏÒÐ
— 6,7.10–8 1,2 300 <0,01 ÀÓÏ
Ìàãíåòðîííîå
ðàñïûëåíèå Al
Ar+
(20—60) îá.% N2
0,8.10–3 700 (Â×) 470—570 1,0—1,3
AlN,
AlN+Al
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2013, ¹ 4 33
ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ
(0
01
)W
C
20 40 60 80 100 120
2Θ, ãðàäóñ
Ðèñ. 3. Ñîñòàâ óãëåðîäíûõ ïëåíîê, ñôîðìèðîâàí-
íûõ äóãîâûì ðàçðÿäîì (à, á) è êàòîäíûì ðàñïûëå-
íèåì (â):
à — øòðèõðåíòãåíîãðàììà (Cu kα-èçëó÷åíèå) ÏÏÀ,
ñôîðìèðîâàííîé íà ïîëîæêå èç âîëüôðàìà; á, â — ýíåð-
ãåòè÷åñêèå ñïåêòðû, ïîëó÷åííûå îò ïîâåðõíîñòè ñëîåâ,
ñîîòâåòñòâåííî, W/WÑ è Si/ÀÓÏ ðàçëè÷íîé òîëùèíû
à)
á)
â)
È
íò
åí
ñè
âí
îñ
òü
(2
00
)W
2C
(1
21
)W
2C
(2
21
)W
2C
(0
40
)W
2C
(3
21
)W
2C
(1
25
)W
2C
(4
40
)W
2C
(5
21
)W
2C
(1
10
)W
(2
00
)W
(2
11
)W
(2
20
)W
(3
10
)W
(2
21
)W
(1
11
)À
ëì
àç
(2
20
)À
ëì
àç
(3
11
)À
ëì
àç
(1
01
)W
C
(1
10
)W
C
(2
01
)W
C
(1
12
)W
C
(1
00
)W
C
(0
21
)W
2C
0 1 2 3 4 5
Ýíåðãèÿ, êýÂ
0 0,5 1,0 1,5 2,0 2,5 3,0
Ýíåðãèÿ, êýÂ
È
íò
åí
ñè
âí
îñ
òü
È
íò
åí
ñè
âí
îñ
òü
W
O
C
3 íì
1 íì
W
W
C
C
Si
Si
3
1000 1200 1400 1600 1800 2000
Âîëíîâîå ÷èñëî, ñì–1
4000
3000
2000
1000
5 ìêì
1
Ðèñ. 2. Ñïåêòðû êîìáèíàöèîííîãî ðàññåÿíèÿ ñâåòà
ÀÓÏ, ñôîðìèðîâàííûìè íà ïîäëîæêàõ èç Si {111}
òëåþùèì ðàçðÿäîì (à, á) è êàòîäíûì ðàñïûëåíèåì
(â) ïðè ðàçíûõ óñëîâèÿõ:
à — áåç çàòðàâî÷íûõ íàíî÷àñòèö (1) è ñ çàòðàâî÷íûìè
íàíî÷àñòèöàìè àëìàçà (2, 3); á — ïîñëå ïðåäâàðèòåëü-
íîé îáðàáîòêè ïîäëîæêè â ïëàçìå Í2; â — ïðè èñïîëü-
çîâàíèè äèîäíîãî (1, 2) è òðèîäíîãî (3) ðàçðÿäà
(òîëùèíà ïëåíîê óêàçàíà íà ðèñóíêàõ)
à)
â)
á)
È
íò
åí
ñè
âí
îñ
òü
,
îò
í.
å
ä. 13
30
,6
13
30
,9
13
26
,8
15
77
,1
16
14
,0
15
79
,5
15
89
,9
16
11
,7
1000 1200 1400 1600 1800 2000
Âîëíîâîå ÷èñëî, ñì–1
1000 1200 1400 1600 1800 2000
Âîëíîâîå ÷èñëî, ñì–1
È
íò
åí
ñè
âí
îñ
òü
,
îò
í.
å
ä.
È
íò
åí
ñè
âí
îñ
òü
,
îò
í.
å
ä.
2000
1500
1000
500
1700
1300
900
500
100
50
30
10
4 ìêì
1,5 ìêì
Si{111} — ïîäëîæêà
12
23
,9
15
78
,3
13
33
,1
14
23
,9
15
26
,7
13
28
,1
16
16
,2
2 ìêì
2
3
2
1
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2013, ¹ 434
ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ
îïðåäåëÿåòñÿ óñëîâèÿìè ïðîâåäåíèÿ ïðîöåññà è
òîëùèíîé ÏÏÀ. Ïîñëå ñíÿòèÿ ñëîÿ, áîëüøåãî
òîëùèíû ðîñòîâîé ïîâåðõíîñòè ïëåíêè, ïîëó÷à-
åòñÿ ãëàäêàÿ áåñïîðèñòàÿ ïîâåðõíîñòü ñ øåðîõî-
âàòîñòüþ RZ≈0,025 ìêì (ðèñ. 4, á). ÀÓÏ, ñôîð-
ìèðîâàííûå êàòîäíûì ðàñïûëåíèåì, èìåþò ãëàä-
êóþ ïîâåðõíîñòü (ïðè òîëùèíå ïëåíêè äî 6 íì
ïåðåïàä âûñîòû ðåëüåôà ñëîÿ ñîñòàâëÿåò 1,14—
1,17 íì) è ãëîáóëÿðíîå ñòðîåíèå (ðèñ. 5, à) (èç-
ìåðåíèÿ ïðîâåäåíû ñ èñïîëüçîâàíèåì, ñîîòâåò-
ñòâåííî, ñïåêòðîãðàôè÷åñêîãî ýëëèïñîìåòðà
SENTECH SE800 è àòîìíî-ñèëîâîãî ìèêðîñêî-
ïà NOVA-873). Ïëåíêè, ïîëó÷åííûå òëåþùèì
ðàçðÿäîì, èìåþò ÷åøóé÷àòîå ñòðîåíèå íåçàâèñè-
ìî îò íàëè÷èÿ èëè îòñóòñòâèÿ çàòðàâî÷íûõ íà-
íî÷àñòèö àëìàçà (ðèñ. 5, á, â).
Ðèñ. 4. Ñòðîåíèå (ÐÝÌ) ïîâåðõíîñòåé ÏÏÀ, ñôîð-
ìèðîâàííûõ íà ïîäëîæêàõ èç Si äóãîâûì ðàçðÿäîì
(à, á) è ÑÂ×-ðàçðÿäîì (â) (âñòàâêà íà à — ýëåêò-
ðîíîãðàììà íà îòðàæåíèå)
à)
á)
â)
Ï
îë
èð
îâ
àí
íà
ÿ
ïî
âå
ðõ
íî
ñò
ü
Ï
îâ
åð
õí
îñ
òü
ñê
îë
à
Si
çåðåí ïî êðèñòàëëîãðàôè÷åñêèì íàïðàâëåíèÿì
{100} è {111} (ðèñ. 4, à, â). Íàáëþäàåìûå íà
ñêîëàõ ÏÏÀ ç¸ðíà èìåþò ïëàñòèí÷àòîå ñòðîåíèå.
Ðàññ÷èòàííûé ïî ðåíòãåíîãðàììàì ðàçìåð êðèñ-
òàëëèòîâ (îáëàñòåé êîãåðåíòíîãî ðàññåÿíèÿ ðåíò-
ãåíîâñêîãî èçëó÷åíèÿ, LÎÊÐ) ñîîòâåòñòâîâàë òîë-
ùèíå ïëàñòèí, ôîðìèðóþùèõ çåðíà (ðèñ. 4, á).
 êîëè÷åñòâå îò 0,4 äî 60 îá.% â îáðàçöàõ ÏÏÀ
ñîäåðæàòñÿ ðåíòãåíîàìîðôíûå êëàñòåðû, ïðåä-
ñòàâëÿþùèå ñîáîé ñìåñü àëìàçîïîäîáíîãî óãëå-
ðîäà è íàíîñòðóêòóðèðîâàííîãî àëìàçà ñ ðàçìå-
ðîì êðèñòàëëèòîâ LÎÊÐ<1 íì. Ýëåêòðîíîãðàì-
ìû è ðåíòãåíîãðàììû, ñíÿòûå ñ ÏÏÀ, ïîêàçû-
âàþò íàëè÷èå òåêñòóðû, ïðè ýòîì òèï ôîðìèðó-
þùåéñÿ òåêñòóðû íå çàâèñèò îò ìàòåðèàëà è êðè-
ñòàëëîãðàôè÷åñêîé îðèåíòàöèè ïîäëîæêè, à
Ðèñ. 5. Ñòðîåíèå (à — ÀÑÌ, á, â — ÐÝÌ) ïîâåðõ-
íîñòåé ÀÓÏ, ñôîðìèðîâàííûõ íà ïîäëîæêàõ èç Si
êàòîäíûì ðàñïûëåíèåì (à) è òëåþùèì ðàçðÿäîì áåç
îáðàáîòêè (á) è ñ ïðåäâàðèòåëüíîé îáðàáîòêîé ïîä-
ëîæêè â ïëàçìå Í2 (â, íà âñòàâêå — ñêîë ïëåíêè)
à)
á)
â)
C
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2013, ¹ 4 35
ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ
Àâòîýìèññèîííûå õàðàêòåðèñòèêè íåíàêàëè-
âàåìûõ êàòîäîâ íà ñëîèñòûõ ñòðóêòóðàõ
Èçìåðåíèå ýìèññèîííûõ õàðàêòåðèñòèê ïëàíàð-
íûõ êàòîäîâ ïðîâîäèëîñü ïðè äàâëåíèè 10–3—
10–5 Ïà â ïîñòîÿííîì è èìïóëüñíîì ðåæèìàõ
(÷àñòîòà f=50 Ãö, äëèòåëüíîñòü δ=20—50 ìêñ).
Çàçîð ∆ ìåæäó íåíàêàëèâàåìûì êàòîäîì è àíî-
äîì — öèëèíäðîì èç íåðæàâåþùåé ñòàëè äèà-
ìåòðîì 4 ìì èëè êîìïîçèöèåé «ñòåêëî/InSnOx/
ëþìèíîôîð» — ñîñòàâëÿë îò 40 äî 250 ìêì. Åñëè
èñïûòàíèÿ â ñëó÷àå öèëèíäðè÷åñêîãî àíîäà äà-
âàëè ïîëîæèòåëüíûé ðåçóëüòàò ïðè íàïðÿæåí-
íîñòè ïîëÿ Å≤20 Â/ìêì, ò. å. áûëà îáíàðóæåíà
ýìèññèÿ ýëåêòðîíîâ, òî äëÿ âûÿñíåíèÿ îäíîðîä-
íîñòè àâòîýìèññèè îáðàçöû èñïûòûâàëè ñ ëþ-
ìèíîôîðíûì ýêðàíîì (ñòåêëî/InSnOX/ëþìè-
íîôîð) â êà÷åñòâå àíîäà. Íàïðÿæåííîñòü ýëåêò-
ðè÷åñêîãî ïîëÿ â çàçîðå ìåæäó àíîäîì è êàòî-
äîì Å=U/∆ (U — ðàçíîñòü ïîòåíöèàëîâ ìåæ-
äó ýëåêòðîäàìè), à ïëîòíîñòü òîêà J=I/S (I —
òîê, S — ïëîùàäü êàòîäà). Àâòîýìèññèîííûå
èñïûòàíèÿ ïðîâîäèëèñü íà îáðàçöàõ, ïîâåðõ-
íîñòü êîòîðûõ èìåëà ñîáñòâåííóþ ïðîâîäèìîñòü.
Îò ñòðóêòóð Si/ÏÏÀ, â êîòîðûõ ÏÏÀ ñèí-
òåçèðîâàëè ìåòîäîì äóãîâîãî èëè ÑÂ×-ðàçðÿäà,
ýìèññèÿ ýëåêòðîíîâ íå îáíàðóæåíà íè îò ïîâåðõ-
íîñòè ôîðìèðîâàíèÿ, íè îò ïîëèðîâàííîé ïî-
âåðõíîñòè. Ýìèññèÿ áûëà ïîëó÷åíà (ïðè ïîëÿõ
ñ Å >30 Â/ìêì) òîëüêî ñî ñêîëà ÏÏÀ îò ãðà-
íèö ïëàñòèí, ôîðìèðóþùèõ çåðíà (âîëüò-àìïåð-
íàÿ õàðàêòåðèñòèêà ïðåäñòàâëåíà íà ðèñ. 6, à,
ñòðîåíèå ÏÏÀ — íà ðèñ. 4). Ýìèññèÿ ýëåêòðî-
íîâ îò ÏÏÀ íàáëþäàëàñü ïîñëå îñàæäåíèÿ íà
èõ ïîëèðîâàííóþ ïîâåðõíîñòü ñëîÿ ÀÓÏ ìåòî-
äîì êàòîäíîãî ðàñïûëåíèÿ, ïðè ýòîì ýìèññèîí-
íàÿ èíòåíñèâíîñòü áîëüøå ó òîãî îáðàçöà, ÏÏÀ
êîòîðîãî ñîäåðæèò áîëüøå ðåíòãåíîàìîðôíîé
óãëåðîäíîé ôàçû (äàííûå ïî ñòðîåíèþ îáðàç-
öîâ ìîæíî ïîëó÷èòü èç ñïåêòðîâ íà ðèñ. 1).
Äîñòèãíóòûé ïîðîã àâòîýìèññèè áûë ðàâåí
2,2 Â/ìêì, îäíàêî óæå ïðè Å=3,8 Â/ìêì ïðî-
èñõîäèë îòðûâ ÀÓÏ îò ïîâåðõíîñòè ÏÏÀ. Èñ-
ñëåäîâàíèÿ ïîêàçàëè, ÷òî ýìèññèîííûå ñâîéñòâà
óãëåðîäíûõ ïëåíîê çíà÷èòåëüíî óëó÷øàþòñÿ ñ
óâåëè÷åíèåì èõ äåôåêòíîñòè âïëîòü äî ôîðìè-
ðîâàíèÿ ðåíòãåíîàìîðôíîãî ìàòåðèàëà, ñóùå-
ñòâåííûì ïðèçíàêîì êîòîðîãî îñòàåòñÿ sp3-ãèá-
ðèäèçàöèÿ ñâÿçåé âàëåíòíûõ ýëåêòðîíîâ àòîìîâ
óãëåðîäà. Äëÿ òàêèõ ýìèòòåðîâ ïîðîãîâûå çíà-
÷åíèÿ íàïðÿæåííîñòè ýëåêòðè÷åñêîãî ïîëÿ, ïðè
êîòîðûõ íàáëþäàåòñÿ ïîëåâàÿ ýìèññèÿ ýëåêòðî-
íîâ, íàõîäÿòñÿ â ïðåäåëàõ îò 2 äî 20 Â/ìêì
(ðèñ. 7).
Ýìèññèÿ ýëåêòðîíîâ îò ïîâåðõíîñòè ôîðìè-
ðîâàíèÿ ñòðóêòóð W/WC è W/WC/ÏÏÀ îá-
íàðóæåíà ó îäíîãî èç îáðàçöîâ W/WC
(ðèñ. 6, á, êðèâàÿ 1, ïîðîã 37,5 Â/ìêì), â òî
âðåìÿ êàê ó îáðàçöà W/WC/ÏÏÀ, â êîòîðîì
ïîâåðõíîñòü ÏÏÀ îòïîëèðîâàíà, ýìèññèè íå îáíà-
ðóæåíî (ïðîèñõîäèëè ïðîáîè ïðè Å=42 Â/ìêì
íà ïîñòîÿííîì òîêå è Å≈50 Â/ìêì â èìïóëüñ-
íîì ðåæèìå ïðè ñêâàæíîñòè 1000). Ñíèæåíèå
ïîðîãà ýìèññèè ýëåêòðîíîâ äîñòèãàëîñü çà ñ÷åò
îñàæäåíèÿ ÀÓÏ (ìåòîäîì êàòîäíîãî ðàñïûëåíèÿ)
íà ïîâåðõíîñòü îáðàçöà W/WC (ðèñ. 6, á, êðè-
âàÿ 2, ïîðîã 22 Â/ìêì).
Èññëåäîâàíèå ñëîèñòûõ ñòðóêòóð ïëàâëåíûé
êâàðö/AlN+Al è Si/ÏÏÀ (ÏÏÀ ñôîðìèðîâà-
íà ÑÂ×-ðàçðÿäîì) ïîêàçàëî, ÷òî òîëüêî îñàæ-
äåíèå (êàòîäíîå ðàñïûëåíèå) íà èõ ïîâåðõíîñòü
ÀÓÏ òîëùèíîé 0,8 íì àêòèâèðóåò ýìèññèþ ýëåê-
2 3 4 5
Íàïðÿæåíèå, êÂ
0,16
0,12
0,08
0,04
0
Ðèñ. 6. ÂÀÕ ñëîèñòûõ ñòðóêòóð:
à — Si/ÏÏÀ (óñëîâèÿ èçìåðåíèÿ: δ=200 ìêì, f=50 Ãö,
τ=20—25 ìêñ); á — W/WC (1) è W/WC/ÀÓÏ
(2) (øòûðåâîé àíîä äèàìåòðîì 1 ìì, ∆=50 ìêì,
τ=50 ìêñ)
à)
á)
Ò
îê
,
ì
À
1,0 1,5 2,0 2,5
Íàïðÿæåíèå, êÂ
Ò
îê
,
ì
À
0,20
0,15
0,10
0,05
0
2 1
Ðèñ. 7. ÂÀÕ ñëîèñòîé ñòðóêòóðû Si/ÀÓÏ (ÀÓÏ
ïîëó÷åíà ìåòîäîì òëåþùåãî ðàçðÿäà, ∆=250 ìêì,
f=50 Ãö, τ=20—30 ìêñ)
2 4 6
Íàïðÿæåííîñòü, Â/ìêì
Ï
ëî
òí
îñ
òü
ò
îê
à,
ì
À
/
ñì
2 20
15
10
5
0
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2013, ¹ 436
ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ
òðîíîâ (ðèñ. 8). Èñïîëüçîâàíèå ñèëüíîëåãèðî-
âàííûõ áîðîì ÏÏÀ íå ïðèâîäèò ê âîçíèêíîâå-
íèþ ýìèññèè.
***
 ðåçóëüòàòå èññëåäîâàíèé ñîñòàâà è ñòðîå-
íèÿ ïëåíîê, ñîñòàâëÿþùèõ ñëîèñòûå ñòðóêòóðû,
à òàêæå èõ àâòîýìèññèîííûõ õàðàêòåðèñòèê áûëî
óñòàíîâëåíî, ÷òî óëó÷øåíèå ýìèññèîííûõ õàðàê-
òåðèñòèê ñëîèñòûõ ñòðóêòóð ïðîÿâëÿåòñÿ ïðè
èñïîëüçîâàíèè àëìàçîïîäîáíûõ óãëåðîäíûõ ïëå-
íîê, ïîëó÷åííûõ êàòîäíûì ðàñïûëåíèåì, ýìèñ-
ñèÿ ñ ïîâåðõíîñòè êîòîðûõ ïðîèñõîäèò ïî ãðà-
íèöàì ãëîáóë. Ýôôåêò óëó÷øåíèÿ ýìèññèîííûõ
õàðàêòåðèñòèê ñëîèñòûõ êàòîäîâ ìîæåò áûòü ñâÿ-
çàí ñ íåêðèñòàëëîãðàôè÷åñêèì óïîðÿäî÷åíèåì
ðàçëè÷íûõ ôàç, âêëþ÷àÿ ÀÓÏ, ñôîðìèðîâàí-
íûå êàòîäíûì ðàñïûëåíèåì.
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Busta H. H., Chen J. M., Shen Z. et al. Characterization
of electron emitters for miniature X-ray sources // J. Vac. Sci.
Technol. B.— 2003.— Vol. 21.— P. 344.
2. Äçáàíîâñêèé Í. Í., Ìèíàêîâ Ï. Â., Ïèëåâñêèé À. À.
è äð. Ñèëüíîòî÷íàÿ ýëåêòðîííàÿ ïóøêà íà îñíîâå àâòîýìèñ-
ñèîííîãî êàòîäà è àëìàçíîé ñåòêè // ÆÒÔ.— 2005.—
Ò. 75,¯¹ 10.— Ñ. 111—114. [Dzbanovskii N. N., Minakov
P. V., Pilevskii A. A. i dr. // ZhTF. 2005. Vol. 75, N 10. P. 111]
3. Ñàìîéëîâè÷ Ì. È., Áåëÿíèí À. Ô. Ôîðìèðîâàíèå
íàíîñòðóêòóðèðîâàííûõ ïëåíîê àëìàçîïîäîáíûõ ìàòåðèàëîâ.
×àñòü 1, 2 // Íàíî- è ìèêðîñèñòåìíàÿ òåõíèêà.— 2006.—
¹ 7, ñ. 21—34; ¹ 8, ñ 14—25. [Samoilovich M. I., Belyanin
A. F. // Nano- i mikrosistemnaya tekhnika. 2006. N 7, P. 21;
N 8, P. 14]
4. Áåëÿíèí À. Ô., Ñàìîéëîâè÷ Ì. È., Ïàùåíêî Ï. Â. è
äð. Ñëîèñòûå íåíàêàëèâàåìûå êàòîäû // Íàíî- è ìèêðîñèñ-
òåìíàÿ òåõíèêà.— 2005.— ¹ 8.— Ñ. 39—47. [Belyanin A.
F., Samoilovich M. I., Pashchenko P. V. i dr. // Nano- i
mikrosistemnaya tekhnika. 2005. N 8. P. 39]
5. Áåëÿíèí À. Ô., Ïàùåíêî Ï. Â., Áîðèñîâ Â. Â. è äð.
Òåõíèêà ôîðìèðîâàíèÿ ìíîãîñëîéíûõ íåíàêàëèâàåìûõ êàòî-
äîâ // Ñèñòåìû è ñðåäñòâà ñâÿçè, òåëåâèäåíèÿ è ðàäèîâå-
ùàíèÿ.— 2002.— ¹ 1, 2.— Ñ. 64— 67. [Belyanin A. F.,
Pashchenko P. V., Borisov V. V. i dr. // Sistemy i sredstva
svyazi, televideniya i radioveshchaniya. 2002. N 1, 2. P. 64]
6. Áåëÿíèí À. Ô., Ñàìîéëîâè÷ Ì. È., Äçáàíîâñêèé
Í. Í. è äð. Ôîðìèðîâàíèå íàíîñòðóêòóðèðîâàííûõ ïëåíîê è
ñëîèñòûõ ñòðóêòóð èðèäèÿ è ïîëèêëàñòåðíîãî àëìàçà// Íàíî-
è ìèêðîñèñòåìíàÿ òåõíèêà.— 2008.— ¹ 2.— Ñ. 16—30.
[Belyanin A. F., Samoilovich M. I., Dzbanovskii N. N. i dr. //
Nano- i mikrosistemnaya tekhnika. 2008. N 2. P. 16]
7. Collins J. L. Diamond-like carbon (DLC) — a review//
Industrial diamond review.— 1998.— Vol. 58, N 578.—P. 90—92.
Äàòà ïîñòóïëåíèÿ ðóêîïèñè
â ðåäàêöèþ 28.12 2012 ã.
___________________________
Belyanin A. F., Borisov V. V., Timofeev M. A.,
Lamskiy A. N. Cold cathodes based on carbonic
nanostructured layered structures.
Keywords: layer structures, emission electronics.
The paper describes formation conditions for and the
structure of diamond-like materials films used in the
manufacture of layered cold cathodes of emission
electronics devices. The authors study the structure and
field emission properties of layered structures with
polycluster diamond and diamond-like carbon films
(DCF) formed by various methods. It has been found
that the best emission properties are characteristic of
DCFs obtained by cathode sputtering. Emission from
the surface of such films occurs on the boundaries of the
globules.
Russia, Moscow, CSRTI “Tekhnomash”, Skobeltsyn
Institute of Nuclear Physics of MSU.
____________________________
Áºëÿí³í Î. Ô., Áîðèñîâ Â. Â., Òèìîôººâ Ì. À.,
Ëàìñüêèé Î. Ì. Íåðîçæàðþâàí³ êàòîäè íà îñíîâ³
âóãëåöåâèõ íàíîñòðóêòóðîâàíèõ øàðóâàòèõ ñòðóê-
òóð.
Êëþ÷îâ³ ñëîâà: øàðóâàò³ ñòðóêòóðè, åì³ñ³éíà åëåêò-
ðîí³êà.
Ðîçãëÿíóòî óìîâè ôîðìóâàííÿ òà áóäîâó ïë³âîê
àëìàçîïîä³áíèõ ìàòåð³àë³â, âèêîðèñòîâóâàíèõ ïðè
âèãîòîâëåíí³ øàðóâàòèõ íåðîçæàðþâàíèõ êàòîä³â
ïðèñòðî¿â åì³ñ³éíî¿ åëåêòðîí³êè. Âèâ÷åíî áóäîâó ³
àâòîåì³ñ³éí³ âëàñòèâîñò³ øàðóâàòèõ ñòðóêòóð ç ïîë³-
êëàñòåðíèìè ïë³âêàìè àëìàçó ³ ç àëìàçîïîä³áíèìè
âóãëåöåâèìè ïë³âêàìè (ÀÂÏ), ñôîðìîâàíèìè ð³çíè-
ìè ìåòîäàìè. Âñòàíîâëåíî, ùî êðàù³ åì³ñ³éí³ õà-
ðàêòåðèñòèêè ìàþòü ÀÂÏ, îòðèìàí³ êàòîäíèì ðîç-
ïèëåííÿì, åì³ñ³ÿ ç ïîâåðõí³ ÿêèõ â³äáóâàºòüñÿ ïî
ìåæàõ ãëîáóë.
Ðîñ³ÿ, ì. Ìîñêâà, ÖÍÄÒ² «Òåõíîìàø», ÍIJ ÿäåð-
íî¿ ô³çèêè ³ì. Ä. Â. Ñêîáåëüöèíà ÌÄÓ.
17 21 25 29
5
4
3
2
1
0
Ðèñ. 8. ÂÀÕ ñëîèñòûõ ñòðóêòóð ïëàâëåíûé êâàðö/
AlN+Al/ÀÓÏ (à: 1 — ïîíèæåíèå, 2 — ïîâûøåíèå
íàïðÿæåíèÿ) è Si/ÏÏÀ/ÀÓÏ (á) (øòûðåâîé àíîä
äèàìåòðîì 1 ìì, ∆=80 ìêì, τ=50 ìêñ)
à)
á)
Ï
ëî
òí
îñ
òü
ò
îê
à,
ì
À
/
ñì
2
34 36 38 40 42
Ï
ëî
òí
îñ
òü
ò
îê
à,
ì
À
/
ñì
2
4
3
2
1
0
2 1
Íàïðÿæåííîñòü, Â/ìêì
Íàïðÿæåííîñòü, Â/ìêì
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-56347 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T17:25:28Z |
| publishDate | 2013 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Белянин, А.Ф. Борисов, В.В. Тимофеев, М.А. Ламский, А.Н. 2014-02-16T19:20:09Z 2014-02-16T19:20:09Z 2013 Ненакаливаемые катоды на основе углеродных наноструктурированных слоистых структур / А.Ф. Белянин, В.В. Борисов, М.А. Тимофеев, А.Н. Ламский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2013. — № 4. — С. 31-36. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56347 678.747:621.317 Рассмотрены условия формирования и строение пленок алмазоподобных материалов, используемых при изготовлении слоистых ненакаливаемых катодов устройств эмиссионной электроники. Изучены строение и автоэмиссионные свойства слоистых структур с поликластерными пленками алмаза и с алмазоподобными углеродными пленками (АУП), сформированными различными методами. Установлено, что лучшими эмиссионными характеристиками обладают АУП, полученные катодным распылением, эмиссия с поверхности которых происходит по границам глобул. Розглянуто умови формування та будову плівок алмазоподібних матеріалів, використовуваних при виготовленні шаруватих нерозжарюваних катодівпристроїв емісійної електроніки. Вивчено будову і автоемісійні властивості шаруватих структур з полікластерними плівками алмазу і з алмазоподібними вуглецевими плівками (АВП), сформованими різни-ми методами. Встановлено, що кращі емісійні характеристики мають АВП, отримані катодним розпиленням, емісія з поверхні яких відбувається по межах глобул. The paper describes formation conditions for and the structure of diamond-like materials films used in the manufacture of layered cold cathodes of emission electronics devices. The authors study the structure and field emission properties of layered structures with polycluster diamond and diamond-like carbon films (DCF) formed by various methods. It has been found that the best emission properties are characteristic of DCFs obtained by cathode sputtering. Emission from the surface of such films occurs on the boundaries of the globules. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технологические процессы и оборудование Ненакаливаемые катоды на основе углеродных наноструктурированных слоистых структур Нерозжарювані катоди на основі вуглецевих наноструктурованих шаруватих структур Cold cathodes based on carbonic nanostructured layered structures Article published earlier |
| spellingShingle | Ненакаливаемые катоды на основе углеродных наноструктурированных слоистых структур Белянин, А.Ф. Борисов, В.В. Тимофеев, М.А. Ламский, А.Н. Технологические процессы и оборудование |
| title | Ненакаливаемые катоды на основе углеродных наноструктурированных слоистых структур |
| title_alt | Нерозжарювані катоди на основі вуглецевих наноструктурованих шаруватих структур Cold cathodes based on carbonic nanostructured layered structures |
| title_full | Ненакаливаемые катоды на основе углеродных наноструктурированных слоистых структур |
| title_fullStr | Ненакаливаемые катоды на основе углеродных наноструктурированных слоистых структур |
| title_full_unstemmed | Ненакаливаемые катоды на основе углеродных наноструктурированных слоистых структур |
| title_short | Ненакаливаемые катоды на основе углеродных наноструктурированных слоистых структур |
| title_sort | ненакаливаемые катоды на основе углеродных наноструктурированных слоистых структур |
| topic | Технологические процессы и оборудование |
| topic_facet | Технологические процессы и оборудование |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56347 |
| work_keys_str_mv | AT belâninaf nenakalivaemyekatodynaosnoveuglerodnyhnanostrukturirovannyhsloistyhstruktur AT borisovvv nenakalivaemyekatodynaosnoveuglerodnyhnanostrukturirovannyhsloistyhstruktur AT timofeevma nenakalivaemyekatodynaosnoveuglerodnyhnanostrukturirovannyhsloistyhstruktur AT lamskiian nenakalivaemyekatodynaosnoveuglerodnyhnanostrukturirovannyhsloistyhstruktur AT belâninaf nerozžarûvaníkatodinaosnovívuglecevihnanostrukturovanihšaruvatihstruktur AT borisovvv nerozžarûvaníkatodinaosnovívuglecevihnanostrukturovanihšaruvatihstruktur AT timofeevma nerozžarûvaníkatodinaosnovívuglecevihnanostrukturovanihšaruvatihstruktur AT lamskiian nerozžarûvaníkatodinaosnovívuglecevihnanostrukturovanihšaruvatihstruktur AT belâninaf coldcathodesbasedoncarbonicnanostructuredlayeredstructures AT borisovvv coldcathodesbasedoncarbonicnanostructuredlayeredstructures AT timofeevma coldcathodesbasedoncarbonicnanostructuredlayeredstructures AT lamskiian coldcathodesbasedoncarbonicnanostructuredlayeredstructures |