Ненакаливаемые катоды на основе углеродных наноструктурированных слоистых структур
Рассмотрены условия формирования и строение пленок алмазоподобных материалов, используемых при изготовлении слоистых ненакаливаемых катодов устройств эмиссионной электроники. Изучены строение и автоэмиссионные свойства слоистых структур с поликластерными пленками алмаза и с алмазоподобными углеродны...
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2013 |
| Main Authors: | Белянин, А.Ф., Борисов, В.В., Тимофеев, М.А., Ламский, А.Н. |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2013
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56347 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Ненакаливаемые катоды на основе углеродных наноструктурированных слоистых структур / А.Ф. Белянин, В.В. Борисов, М.А. Тимофеев, А.Н. Ламский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2013. — № 4. — С. 31-36. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineSimilar Items
Ненакаливаемые катоды на основе углеродных наноструктурированных слоистых структур
by: Belyanin, A. F., et al.
Published: (2013)
by: Belyanin, A. F., et al.
Published: (2013)
Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза
by: Белянин, А.Ф., et al.
Published: (2007)
by: Белянин, А.Ф., et al.
Published: (2007)
Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике
by: Белянин, А.Ф., et al.
Published: (2005)
by: Белянин, А.Ф., et al.
Published: (2005)
Получение поверхностно-барьерных структур на основе четырехкомпонентных твердых растворов А⁴В⁶
by: Ткачук, А.И., et al.
Published: (2007)
by: Ткачук, А.И., et al.
Published: (2007)
Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия
by: Борисенко, А.Г., et al.
Published: (2005)
by: Борисенко, А.Г., et al.
Published: (2005)
Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок
by: Гладковский, В.В., et al.
Published: (2014)
by: Гладковский, В.В., et al.
Published: (2014)
Получение эффективных катодолюминесцентных структур на базе пленочной технологии
by: Коваленко, Л.Ф., et al.
Published: (2008)
by: Коваленко, Л.Ф., et al.
Published: (2008)
СВЧ плазмохимическое осаждение структур для высокоапертурных планарных оптических волноводов
by: Григорьянц, В.В., et al.
Published: (2005)
by: Григорьянц, В.В., et al.
Published: (2005)
Прибор и методы измерения параметров и степени однородности пленочных структур
by: Макара, В.А., et al.
Published: (2009)
by: Макара, В.А., et al.
Published: (2009)
Автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур
by: Бойко, Ю.В., et al.
Published: (2007)
by: Бойко, Ю.В., et al.
Published: (2007)
Получение двухсторонних высоковольтных эпитаксиальных кремниевых p—i—n-структур методом ЖФЭ
by: Вакив, Н.М., et al.
Published: (2013)
by: Вакив, Н.М., et al.
Published: (2013)
Технологические предпосылки создания МОП-структур с малыми проектными нормами
by: Баранов, В.В.
Published: (2005)
by: Баранов, В.В.
Published: (2005)
Технологические источники ионов на основе контрагированных разрядов
by: Никитинский, В.А., et al.
Published: (2006)
by: Никитинский, В.А., et al.
Published: (2006)
Безадгезивные акустические мембраны на полиимидной основе
by: Воробьев, А.В., et al.
Published: (2014)
by: Воробьев, А.В., et al.
Published: (2014)
Технология изготовления гибких терморезисторов на полиимидной основе
by: Динев, Д.А., et al.
Published: (2013)
by: Динев, Д.А., et al.
Published: (2013)
Оборудование для формирования омических контактов полупроводниковых приборов на основе соединений A₃B₅
by: Александров, С.Б., et al.
Published: (2011)
by: Александров, С.Б., et al.
Published: (2011)
Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики
by: Белянин, А.Ф., et al.
Published: (2006)
by: Белянин, А.Ф., et al.
Published: (2006)
Источник питания для контактной микросварки с программируемой формой сварочного импульса
by: Паэранд, Ю.Э., et al.
Published: (2006)
by: Паэранд, Ю.Э., et al.
Published: (2006)
Алгоритм выбора интервала пересчета параметров объектов контроля и управления в АСУ ТП
by: Тыныныка, А.Н
Published: (2016)
by: Тыныныка, А.Н
Published: (2016)
Аналитические электронные весы с цифроаналоговым каналом компенсации
by: Липинский, А.Ю., et al.
Published: (2005)
by: Липинский, А.Ю., et al.
Published: (2005)
Макет экспериментальной установки для исследования пространственно-временного интегрирования в акустооптической среде
by: Рудякова, А.Н., et al.
Published: (2008)
by: Рудякова, А.Н., et al.
Published: (2008)
Высокочастотный реактор с асимметричными электродами для плазмохимического травления полупроводников
by: Дудин, С.В., et al.
Published: (2011)
by: Дудин, С.В., et al.
Published: (2011)
Исследование качества пайки кристаллов мощных транзисторов релаксационным импеданс-спектрометром
by: Турцевич, А.С., et al.
Published: (2012)
by: Турцевич, А.С., et al.
Published: (2012)
Электроосаждение конформных электродов для получения туннельного перехода с вакуумным нанозазором
by: Джангидзе, Л.Б., et al.
Published: (2009)
by: Джангидзе, Л.Б., et al.
Published: (2009)
Автоматизированная система регистрации циклов при вибрационных испытаниях образца
by: Усов, В.В., et al.
Published: (2008)
by: Усов, В.В., et al.
Published: (2008)
Бесконтактный метод определения эффективности термоэлектрических материалов
by: Ащеулов, А.А.
Published: (2009)
by: Ащеулов, А.А.
Published: (2009)
Технология и оборудование для обработки алмазных материалов современной электроники
by: Митягин, А.Ю., et al.
Published: (2009)
by: Митягин, А.Ю., et al.
Published: (2009)
Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD
by: Глушко, А.А., et al.
Published: (2007)
by: Глушко, А.А., et al.
Published: (2007)
Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов
by: Голишников, А.А., et al.
Published: (2014)
by: Голишников, А.А., et al.
Published: (2014)
Оптимизация распределения концентрации носителей по толщине эпитаксиальных слоев
by: Каримов, А.В., et al.
Published: (2007)
by: Каримов, А.В., et al.
Published: (2007)
Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния
by: Иванчиков, А.Э., et al.
Published: (2008)
by: Иванчиков, А.Э., et al.
Published: (2008)
Источник бескапельных плазменных потоков для наноэлектроники
by: Борисенко, А.Г.
Published: (2013)
by: Борисенко, А.Г.
Published: (2013)
Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем
by: Шангереева, Б.А.
Published: (2008)
by: Шангереева, Б.А.
Published: (2008)
Усовершенствованный метод выявления «горячих точек» в изделиях микроэлектроники
by: Попов, В.М., et al.
Published: (2008)
by: Попов, В.М., et al.
Published: (2008)
Массоперенос при жидкофазной эпитаксии двухслойных систем
by: Дранчук, С.Н., et al.
Published: (2012)
by: Дранчук, С.Н., et al.
Published: (2012)
Повышение адгезионной прочности никелевых контактов ветвей термоэлектрических модулей
by: Ащеулов, А.А., et al.
Published: (2006)
by: Ащеулов, А.А., et al.
Published: (2006)
Лазерная абляция и фотостимулированная пассивация поверхности кристаллов Cd1–хZnхTe
by: Загоруйко, Ю.А., et al.
Published: (2011)
by: Загоруйко, Ю.А., et al.
Published: (2011)
Формирование мезаструктур 4НSiC p–i–n-диодов методом ионно-плазменного травления
by: Болтовец, Н.С., et al.
Published: (2009)
by: Болтовец, Н.С., et al.
Published: (2009)
Метод определения температуры и теплового сопротивления точек поверхности кристалла интегральной схемы
by: Попов, В.М., et al.
Published: (2011)
by: Попов, В.М., et al.
Published: (2011)
Измерительно-вычислительный комплекс СМ-100 для характеризации жидкокристаллических дисплеев
by: Сорокин, В.М., et al.
Published: (2008)
by: Сорокин, В.М., et al.
Published: (2008)
Similar Items
-
Ненакаливаемые катоды на основе углеродных наноструктурированных слоистых структур
by: Belyanin, A. F., et al.
Published: (2013) -
Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза
by: Белянин, А.Ф., et al.
Published: (2007) -
Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике
by: Белянин, А.Ф., et al.
Published: (2005) -
Получение поверхностно-барьерных структур на основе четырехкомпонентных твердых растворов А⁴В⁶
by: Ткачук, А.И., et al.
Published: (2007) -
Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия
by: Борисенко, А.Г., et al.
Published: (2005)