Микросборка на кремниевой плате для акселерометра
Рассмотрена конструкция и технология микросборки для акселерометра, выполненной на кремниевой плате с тремя уровнями коммутации и тонкопленочными резисторами на обеих ее поверхностях. Розглянуто конструкцію і технологію мікрозборки для акселерометра, виконаної на кремнієвій платі, з трьома рівнями к...
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2013 |
| Main Author: | |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2013
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56366 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Микросборка на кремниевой плате для акселерометра / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2013. — № 5. — С. 24-27. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-56366 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Спирин, В.Г. 2014-02-16T23:48:29Z 2014-02-16T23:48:29Z 2013 Микросборка на кремниевой плате для акселерометра / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2013. — № 5. — С. 24-27. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56366 621.3.049.776 Рассмотрена конструкция и технология микросборки для акселерометра, выполненной на кремниевой плате с тремя уровнями коммутации и тонкопленочными резисторами на обеих ее поверхностях. Розглянуто конструкцію і технологію мікрозборки для акселерометра, виконаної на кремнієвій платі, з трьома рівнями комутації та тонкоплівковими резисторами на обох її поверхнях. The paper presents microassembly design and technology for accelerometer, carried out on a silicon plate with three commutation levels and thin film resistors on both of its surfaces. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Функциональная микро- и наноэлектроника Микросборка на кремниевой плате для акселерометра Мікрозборка на кремнієвій платі для акселерометра Microassembly on silicon board for accelerometer Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Микросборка на кремниевой плате для акселерометра |
| spellingShingle |
Микросборка на кремниевой плате для акселерометра Спирин, В.Г. Функциональная микро- и наноэлектроника |
| title_short |
Микросборка на кремниевой плате для акселерометра |
| title_full |
Микросборка на кремниевой плате для акселерометра |
| title_fullStr |
Микросборка на кремниевой плате для акселерометра |
| title_full_unstemmed |
Микросборка на кремниевой плате для акселерометра |
| title_sort |
микросборка на кремниевой плате для акселерометра |
| author |
Спирин, В.Г. |
| author_facet |
Спирин, В.Г. |
| topic |
Функциональная микро- и наноэлектроника |
| topic_facet |
Функциональная микро- и наноэлектроника |
| publishDate |
2013 |
| language |
Russian |
| container_title |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Мікрозборка на кремнієвій платі для акселерометра Microassembly on silicon board for accelerometer |
| description |
Рассмотрена конструкция и технология микросборки для акселерометра, выполненной на кремниевой плате с тремя уровнями коммутации и тонкопленочными резисторами на обеих ее поверхностях.
Розглянуто конструкцію і технологію мікрозборки для акселерометра, виконаної на кремнієвій платі, з трьома рівнями комутації та тонкоплівковими резисторами на обох її поверхнях.
The paper presents microassembly design and technology for accelerometer, carried out on a silicon plate with three commutation levels and thin film resistors on both of its surfaces.
|
| issn |
2225-5818 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56366 |
| citation_txt |
Микросборка на кремниевой плате для акселерометра / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2013. — № 5. — С. 24-27. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT spirinvg mikrosborkanakremnievoiplatedlâakselerometra AT spirinvg míkrozborkanakremníêvíiplatídlâakselerometra AT spirinvg microassemblyonsiliconboardforaccelerometer |
| first_indexed |
2025-12-07T16:08:41Z |
| last_indexed |
2025-12-07T16:08:41Z |
| _version_ |
1850866371909386240 |