Микросборка на кремниевой плате для акселерометра
Рассмотрена конструкция и технология микросборки для акселерометра, выполненной на кремниевой плате с тремя уровнями коммутации и тонкопленочными резисторами на обеих ее поверхностях. Розглянуто конструкцію і технологію мікрозборки для акселерометра, виконаної на кремнієвій платі, з трьома рівнями к...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2013 |
| Автор: | Спирин, В.Г. |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2013
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56366 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Микросборка на кремниевой плате для акселерометра / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2013. — № 5. — С. 24-27. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Микросборка на кремниевой плате для акселерометра
за авторством: Spirin, V. G.
Опубліковано: (2013)
за авторством: Spirin, V. G.
Опубліковано: (2013)
Схемотехника СБИС для микроэлектронного координатно-чувствительного детектора для элементного анализа материалов
за авторством: Сидоренко, В.П., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Сидоренко, В.П., та інші
Опубліковано: (2012)
СБИС для микроэлектронного координатно-чувствительного детектора приборов элементного анализа материалов
за авторством: Сидоренко, В.П., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Сидоренко, В.П., та інші
Опубліковано: (2009)
Особенности проектирования высокочастотных КМОП ИC для генераторов с кварцевой стабилизацией частоты
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2011)
Инфракрасные отрезающие фильтры на основе монокристаллов CdSb, ZnSb для оптофотоэлектронных устройств
за авторством: Ащеулов, А.А., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Ащеулов, А.А., та інші
Опубліковано: (2009)
Волоконно-оптические демультиплексоры для систем передачи информации
за авторством: Дементьев, С.Г., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Дементьев, С.Г., та інші
Опубліковано: (2010)
Жидкокристаллические мониторы для авиационной техники
за авторством: Коваленко, Л.Ф., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Коваленко, Л.Ф., та інші
Опубліковано: (2009)
Исследование пленок поликристаллического кремния для применения в фильтровых спектральных приборах
за авторством: Джавадов, Н.Г.
Опубліковано: (2005)
за авторством: Джавадов, Н.Г.
Опубліковано: (2005)
СБИС для микроэлектронного координатно-чувствительного детектора нового поколения с расширенным полем анализа для масс-спектрометрии
за авторством: Сидоренко, В.П., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Сидоренко, В.П., та інші
Опубліковано: (2018)
Гибридная интегральная схема для обработки звукового сигнала
за авторством: Ковальчук, В.А., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Ковальчук, В.А., та інші
Опубліковано: (2011)
Координатно-чувствительный детектор заряженных частиц для спектроскопии
за авторством: Сидоренко, В.П., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Сидоренко, В.П., та інші
Опубліковано: (2016)
Формирование прозрачных омических контактов к р-GaN для светоизлучающих диодов
за авторством: Босый, В.И., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Босый, В.И., та інші
Опубліковано: (2007)
Модель линии передачи для наноэлектроники
за авторством: Нелин, Е.А.
Опубліковано: (2009)
за авторством: Нелин, Е.А.
Опубліковано: (2009)
Анизотропная термоэлектрическая матрица для регистрации излучения
за авторством: Ащеулов, А.А.
Опубліковано: (2007)
за авторством: Ащеулов, А.А.
Опубліковано: (2007)
Ртутный микрозонд для исследования локальных электрофизических свойств полупроводниковых структур
за авторством: Попов, В.М., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Попов, В.М., та інші
Опубліковано: (2010)
Разработка конструкции и технологии изготовления комплементарных транзисторов для радиационно стойких ИС
за авторством: Горбань, А.Н., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Горбань, А.Н., та інші
Опубліковано: (2011)
Симметричный двухкоординатный фотодиод
за авторством: Добровольский, Ю.Г., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Добровольский, Ю.Г., та інші
Опубліковано: (2008)
Объемные оптические покрытия из халькогенидных стекол для полупроводниковых источников ИК-излучения
за авторством: Кабаций, В.Н.
Опубліковано: (2009)
за авторством: Кабаций, В.Н.
Опубліковано: (2009)
Исследование удельного сопротивления омических контактов Au—Ti—Pd—n-Si для лавинно-пролетных диодов
за авторством: Басанец, В.В., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Басанец, В.В., та інші
Опубліковано: (2015)
Интегральные схемы самосканируемых линейных фотоприемников в интроскопии и томографии
за авторством: Перевертайло, В.Л., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Перевертайло, В.Л., та інші
Опубліковано: (2005)
Методика и установка для определения теплопроводности полупроводников с использованием лучистой энергии
за авторством: Гурбанниязов, М.А., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Гурбанниязов, М.А., та інші
Опубліковано: (2011)
Фотоприемники ультрафиолетового излучения на основе тонких пленок ZnS
за авторством: Бобренко, Ю.Н., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Бобренко, Ю.Н., та інші
Опубліковано: (2009)
Фотодиод на основе GaP с повышенной чувствительностью в коротковолновой области УФ-спектра
за авторством: Добровольский, Ю.Г.
Опубліковано: (2012)
за авторством: Добровольский, Ю.Г.
Опубліковано: (2012)
Методика определения эффективной площади фоточувствительного элемента фотодиода
за авторством: Бутенко, В.К., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Бутенко, В.К., та інші
Опубліковано: (2007)
Оптический аттенюатор
за авторством: Докторович, И.В., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Докторович, И.В., та інші
Опубліковано: (2005)
Влияние распределения примеси в базе на фотоэлектрические свойства поверхностно-барьерных УФ-фотоприемников
за авторством: Бобренко, Ю.Н., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Бобренко, Ю.Н., та інші
Опубліковано: (2012)
Воздействие импульсов прямого тока на время жизни неосновных носителей заряда в р+–n-диоде
за авторством: Кушниренко, В.В., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Кушниренко, В.В., та інші
Опубліковано: (2007)
Моделирование магнитотранзисторов на основе одномерного уравнения непрерывности
за авторством: Глауберман, М.А., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Глауберман, М.А., та інші
Опубліковано: (2013)
Координатно-чувствительный приемник на основе анизотропного оптико-термоэлемента
за авторством: Ащеулов, А.А., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Ащеулов, А.А., та інші
Опубліковано: (2006)
Гетеропереход на основе кристалла FeIn₂Se₄, полученного методом Бриджмена
за авторством: Ковалюк, З.Д., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Ковалюк, З.Д., та інші
Опубліковано: (2007)
Некоторые особенности ограничителя тока на полевом транзисторе
за авторством: Каримов, А.В., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Каримов, А.В., та інші
Опубліковано: (2011)
Измерение температуры с использованием оптических датчиков на основе двулучепреломляющих кристаллов
за авторством: Габа, В.М.
Опубліковано: (2009)
за авторством: Габа, В.М.
Опубліковано: (2009)
Расчет транспортных свойств детекторов гамма-излучения на основе полуизолирующих полупроводников
за авторством: Захарченко, А.А., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Захарченко, А.А., та інші
Опубліковано: (2008)
Акустооптические свойства стекол GexS100–x и акустооптический модулятор на их основе
за авторством: Блецкан, Д.И., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Блецкан, Д.И., та інші
Опубліковано: (2014)
Особенности проектирования внутренних цепей питания микромощных БИС на основе элементов инжекционной логики
за авторством: Белоус, А.И., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Белоус, А.И., та інші
Опубліковано: (2008)
Высокочувствительный фотоприемник на основе германиевой двухбарьерной структуры с эффектом смыкания
за авторством: Абдулхаев, О.А., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Абдулхаев, О.А., та інші
Опубліковано: (2015)
Влияние термического окисления на анизотропию электропроводности и фотопроводимости наноструктурированного кремния
за авторством: Форш, П.А., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Форш, П.А., та інші
Опубліковано: (2009)
Физико-технологические аспекты создания низковольтных ограничителей напряжения на основе кремния
за авторством: Рахматов, А.З., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Рахматов, А.З., та інші
Опубліковано: (2010)
Локальные свойства электрически активных дефектов в солнечных батареях на основе кремния
за авторством: Попов, В.М., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Попов, В.М., та інші
Опубліковано: (2010)
Измерения ВАХ импульсных кремниевых ЛПД на участке лавинного пробоя
за авторством: Кудрик, Я.Я.
Опубліковано: (2009)
за авторством: Кудрик, Я.Я.
Опубліковано: (2009)
Схожі ресурси
-
Микросборка на кремниевой плате для акселерометра
за авторством: Spirin, V. G.
Опубліковано: (2013) -
Схемотехника СБИС для микроэлектронного координатно-чувствительного детектора для элементного анализа материалов
за авторством: Сидоренко, В.П., та інші
Опубліковано: (2012) -
СБИС для микроэлектронного координатно-чувствительного детектора приборов элементного анализа материалов
за авторством: Сидоренко, В.П., та інші
Опубліковано: (2009) -
Особенности проектирования высокочастотных КМОП ИC для генераторов с кварцевой стабилизацией частоты
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2011) -
Инфракрасные отрезающие фильтры на основе монокристаллов CdSb, ZnSb для оптофотоэлектронных устройств
за авторством: Ащеулов, А.А., та інші
Опубліковано: (2009)