Наноструктурированные антидиффузионные слои в контактах к широкозонным полупроводникам

• Published in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Date: 2013
• Main Author: Кудрик Я.Я.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2013
• Subjects: Современные электронные технологии
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56391
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Наноструктурированные антидиффузионные слои в контактах к широкозонным полупроводникам / Я.Я. Кудрик // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2013. — № 6. — С. 3-13. — Бібліогр.: 26 назв. — рос.

Исследована связь между антидиффузионными свойствами пленок на основе TiB₂ и их нанокристаллической структурой, определены оптимальные размеры нанокристаллитов и условия образования нанокристаллической пленки. Применение таких пленок в качестве антидиффузионных слоев в контактах к широкозонным полуп...