Яцунский, И. (2013). Получение пригодного для сенсорики пористого кремния методом неэлектролитического травления MacEtch. Технология и конструирование в электронной аппаратуре.
Chicago Style (17th ed.) CitationЯцунский, И.Р. "Получение пригодного для сенсорики пористого кремния методом неэлектролитического травления MacEtch." Технология и конструирование в электронной аппаратуре 2013.
MLA (8th ed.) CitationЯцунский, И.Р. "Получение пригодного для сенсорики пористого кремния методом неэлектролитического травления MacEtch." Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2013.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.