Методика рентгеновского микроанализа водных сульфатов магния и аморфной фазы импактных пород
На примере отработки методики рентгеновского микроанализа геологических объектов (кизерит, импактит) и искусственных материалов (оптоволокно) рассмотрены общие подходы при исследовании образцов, нестабильных под электронным зондом....
Збережено в:
| Дата: | 2010 |
|---|---|
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут геологічних наук НАН України
2010
|
| Назва видання: | Збірник наукових праць Інституту геологічних наук НАН України |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/59466 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Методика рентгеновского микроанализа водных сульфатов магния и аморфной фазы импактных пород / В.В. Пермяков // Зб. наук. пр. Інституту геологічних наук НАН України. — 2010. — Вип. 3. — С. 332-337. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-59466 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-594662025-02-09T10:14:23Z Методика рентгеновского микроанализа водных сульфатов магния и аморфной фазы импактных пород Electron-probe microanalysis methodology for water sulphat magnesium and amorphous phase of impact rock Пермяков, В.В. Корисні копалини осадових басейнів; сучасні методи літологічних досліджень На примере отработки методики рентгеновского микроанализа геологических объектов (кизерит, импактит) и искусственных материалов (оптоволокно) рассмотрены общие подходы при исследовании образцов, нестабильных под электронным зондом. На прикладі відпрацювання методики рентгенівського мікроаналізу геологічних об’єктів (кізерит, імпактит) і штучних матеріалів (оптоволокно) розглянуті загальні підходи при дослідженні зразків, нестабільних під електронним зондом. The main approaches for investigation of samples, unstable under electron beam, have been considered at exhample of x-ray microanalysis methodology development of geological (kieserite, impact structure) and synthetic samples (amorphous glass). 2010 Article Методика рентгеновского микроанализа водных сульфатов магния и аморфной фазы импактных пород / В.В. Пермяков // Зб. наук. пр. Інституту геологічних наук НАН України. — 2010. — Вип. 3. — С. 332-337. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. XXXX-0025 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/59466 552.082:[543.422.8:537.533.35] ru Збірник наукових праць Інституту геологічних наук НАН України application/pdf Інститут геологічних наук НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Корисні копалини осадових басейнів; сучасні методи літологічних досліджень Корисні копалини осадових басейнів; сучасні методи літологічних досліджень |
| spellingShingle |
Корисні копалини осадових басейнів; сучасні методи літологічних досліджень Корисні копалини осадових басейнів; сучасні методи літологічних досліджень Пермяков, В.В. Методика рентгеновского микроанализа водных сульфатов магния и аморфной фазы импактных пород Збірник наукових праць Інституту геологічних наук НАН України |
| description |
На примере отработки методики рентгеновского микроанализа геологических объектов (кизерит, импактит) и
искусственных материалов (оптоволокно) рассмотрены общие подходы при исследовании образцов, нестабильных
под электронным зондом. |
| format |
Article |
| author |
Пермяков, В.В. |
| author_facet |
Пермяков, В.В. |
| author_sort |
Пермяков, В.В. |
| title |
Методика рентгеновского микроанализа водных сульфатов магния и аморфной фазы импактных пород |
| title_short |
Методика рентгеновского микроанализа водных сульфатов магния и аморфной фазы импактных пород |
| title_full |
Методика рентгеновского микроанализа водных сульфатов магния и аморфной фазы импактных пород |
| title_fullStr |
Методика рентгеновского микроанализа водных сульфатов магния и аморфной фазы импактных пород |
| title_full_unstemmed |
Методика рентгеновского микроанализа водных сульфатов магния и аморфной фазы импактных пород |
| title_sort |
методика рентгеновского микроанализа водных сульфатов магния и аморфной фазы импактных пород |
| publisher |
Інститут геологічних наук НАН України |
| publishDate |
2010 |
| topic_facet |
Корисні копалини осадових басейнів; сучасні методи літологічних досліджень |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/59466 |
| citation_txt |
Методика рентгеновского микроанализа водных сульфатов магния и аморфной фазы импактных пород / В.В. Пермяков // Зб. наук. пр. Інституту геологічних наук НАН України. — 2010. — Вип. 3. — С. 332-337. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
| series |
Збірник наукових праць Інституту геологічних наук НАН України |
| work_keys_str_mv |
AT permâkovvv metodikarentgenovskogomikroanalizavodnyhsulʹfatovmagniâiamorfnojfazyimpaktnyhporod AT permâkovvv electronprobemicroanalysismethodologyforwatersulphatmagnesiumandamorphousphaseofimpactrock |
| first_indexed |
2025-11-25T20:20:30Z |
| last_indexed |
2025-11-25T20:20:30Z |
| _version_ |
1849795051992907776 |
| fulltext |
ColleCtion of sCientifiC works of the iGs nAs of UkrAine. Vol. 3. 2010332
КОРИСНІ КОПАЛИНИ ОСАДОВИХ БАСЕЙНІВ;
СУЧАСНІ МЕТОДИ ЛІТОЛОГІЧНИХ ДОСЛІДЖЕНЬ /
ПОЛЕЗНЫЕ ИСКОПАЕМЫЕ ОСАДОЧНЫХ БАССЕЙНОВ;
СОВРЕМЕННЫЕ МЕТОДЫ ЛИТОЛОГИЧЕСКИХ ИССЛЕДОВАНИЙ
© В.В. Пермяков, 2010
УДК 552.082:[543.422.8:537.533.35]
В.В. Пермяков
Методика рентгеноВского Микроанализа Водных сульфатоВ Магния и
аМорфной фазы иМПактных Пород
V.V. Permyakov
ElEctron-ProbE microanalysis mEthodology for watEr sulPhat magnEsium and
amorPhous PhasE of imPact rock
На прикладі відпрацювання методики рентгенівського мікроаналізу геологічних об’єктів (кізерит, імпактит) і штучних
матеріалів (оптоволокно) розглянуті загальні підходи при дослідженні зразків, нестабільних під електронним зондом.
Ключові слова: кізерит, імпактит, електронно-зондовий мікроаналіз.
На примере отработки методики рентгеновского микроанализа геологических объектов (кизерит, импактит) и
искусственных материалов (оптоволокно) рассмотрены общие подходы при исследовании образцов, нестабильных
под электронным зондом.
Ключевые слова: кизерит, импактит, электронно-зондовый микроанализ.
The main approaches for investigation of samples, unstable under electron beam, have been considered at exhample of
x-ray microanalysis methodology development of geological (kieserite, impact structure) and synthetic samples (amorphous
glass)
Keywords: kieserite, impactit, electron-probe microanalysis.
ВВЕДЕНИЕ
При исследовании геологических образований
(каменной и калийной солей, импактитов и др.),
в которых легкие (щелочные) элементы являют-
ся макроэлементами или важными примесями,
получение точного количественного анализа
необходимо для определения и интерпретации
их минерального состава.
В рентгеновском микроанализе (РМА) для
получения характеристического рентгеновско-
го излучения используются очень низкие токи
электронного зонда, как правило, единицы
нА. Большая часть энергии электронного зон-
да превращается в тепло в зоне возбуждения
и измеряется несколькими мВт. Однако, учи-
тывая размер зоны рассеивания — меньше 1
мкм, плотность тепловой энергии достаточно
высока и при низкой теплопроводности образ-
ца приводит к значительному локальному по-
вышению температуры и разрушению образца.
Температурный градиент в зоне анализа оце-
нивается выражением:
∆T = 4,8E
0
*I / (k*d), [1],
где E
0
— энергия падающего электрона
(кэВ); I — ток зонда (мкА); k — теплопровод-
ность образца (Вт*см-1*К-1); d — диаметр пучка
(мкм). Многие геологические образцы облада-
ют низкой теплопроводностью и температура в
зоне анализа может значительно возрастать.
Например, для слюды с k = 6 · 10-3 рассчитан-
ный рост температурного градиента составляет
160 К при Е
0
= 20 кэВ, I = 10 нА и d = 1 мкм [1].
Кроме того, в образцах с низкой электро-
проводностью под действием электростатичес-
ких полей, наведенных электронным зондом,
происходит миграция из точки анализа ионов
Nа+ і К+. В 1993 г. Stoner, Pierson и Tacker [2]
обнаружили дрейф интенсивности линии F Kά
в вакууме при анализе апатитов, зависящий
от ориентации кристалла, что объясняется ани-
зотропной диффузией F к поверхности и выхо-
дом газообразного F в вакуум при длительном
наборе импульсов. Подобным образом, но не
так ярко выражено, ведут себя Сl и P.
Указанные процессы при проведении РМА
приводят к снижению точности полученных
результатов. Достаточно известны пути сни-
жения этих эффектов: увеличение толщины
напыления слоя проводников на исследуемый
образец [3] с последующей коррекцией на на-
пыление [4], уменьшение тока пучка, расфоку-
сировка пучка и его разворачивание в растр,
Збірник наукових праць інституту геологічних наук нан україни. вип. 3. 2010 333
МЕТОДИКА РЕНТГЕНОВСКОГО МИКРОАНАЛИЗА ВОДНЫХ СУЛЬфАТОВ МАГНИя И АМОРфНОЙ фАЗЫ...
охлаждение образца [5]. В некоторых случаях
для снижения дрейфа щелочей используют по-
вышение ускоряющего напряжения [6]. Все эти
способы устранения артефактов при проведе-
нии РМА имеют ряд ограничений, связанных
как со спецификой исследуемого образца, так
и с аппаратурными ограничениями. Поэтому,
при исследовании каждого конкретного типа
образцов необходимо отрабатывать методику
РМА, включая их пробоподготовку. Целью на-
стоящей работы является отработка методики
РМА минералов класса водных сульфатов и
аморфной матрицы импактных пород без раз-
рушения исследуемых образцов и для получе-
ния достоверных количественных результатов.
МЕТОДИКА РМА ВОДНЫХ СУЛЬФАТОВ
В лаборатории физических методов иссле-
дований ИГН НАН Украины при изучении
нерастворимых остатков солей выполнялись
исследования кристаллов минералов клас-
са водных сульфатов с помощью скани-
рующего электронного микроскопа JEOL
JSM-6490 LV с вольфрамовым катодом и
энергодисперсионной приставки INCA х-act с
аналитическим кремнийдрейфовым датчиком
(ADD). После предварительно проведенного
качественного анализа (рис. 1), определения
основных макроэлементов (Mg, S, O), настройки
микроскопа и энергодисперсионного анализа-
тора было обнаружено существенное термичес-
кое разрушение кристаллов под электронным
зондом, даже при минимальных значениях вре-
мени набора спектра (рис. 2).
Кроме того, при проведении рентгеновско-
го картирования зоны анализа в ней была об-
наружена повышенная концентрация Mg и O,
что, вероятно, объясняется миграцией ионов F
Рис. 1. Общий вид исследуемого образца
а — электронномикроскопическое изображение кристалла фтор-содержащего кизерита; б — рентгеновский спектр
кристалла, определяющий его качественный состав
Рис. 2. Локальное разрушение кристалла в зоне проведения анализа
а — электронномикроскопическое изображение поверхности кристалла до проведения рентгеновского микроанали-
за; б — электронномикроскопическое изображение той же поверхности кристалла после проведения рентгеновского
микроанализа (сетка из 9 точек)
ColleCtion of sCientifiC works of the iGs nAs of UkrAine. Vol. 3. 2010334
В.В. ПЕРМяКОВ
из зоны анализа и дальнейшей откачкой газо-
образного F вакуумной системой микроскопа
(рис. 3). Кроме того, изменение концентрации
может вызываться разрушением проводящего
покрытия в зоне анализа. Более корректное
объяснение неоднородного распределения О и
Mg (а также и F) при проведении анализа нуж-
дается в дальнейшем исследовании.
Для устранения термического разрушения
образца, а также изменения концентраций эле-
ментов при проведении анализа, был использо-
ван метод разворачивания электронного зон-
да при наборе спектра. Здесь следует отметить,
что развертка зонда на площадь определенно-
го размера допустима лишь при соблюдении
следующих условий. Во-первых, исследуемый
образец изотропен в пределах площади раз-
вертки, и, во-вторых, размеры образца превы-
шают зону развертки. Эти обстоятельства огра-
ничивают область применения такого приема.
Поэтому основной целью отработки методики
было определение минимального размера рас-
тра при соблюдении оптимальных при наборе
спектра параметров энергодисперсионного
спектрометра — тока пучка и «мертвого вре-
мени». Для этого был проведен ряд экспери-
ментов. В диапазоне применимых для данного
химического состава ускоряющих напряжений
(с шагом 5 кВ), для каждой его величины про-
водился набор спектра и количественный ана-
лиз с постепенным дискретным уменьшением
площади растра вплоть до начала разрушения
образца. При этом контролировалась воспро-
изводимость результатов количественного ана-
лиза (рис. 4). Среднеквадратическая ошибка —
0,89 вес. %. Коэффициент вариации — 0,91%.
Обработка результатов экспериментов поз-
волила выявить критический для разрушения
образца параметр — плотность тока ј, т.е. от-
ношение тока пучка к площади поверхности
растра. Для всего диапазона ускоряющих на-
пряжений (7–25 кВ) разрушение образца и
искажение результата количественного анали-
за наступало при одинаковом пороговом зна-
Рис. 3. Локальные изменения химического состава в зоне проведения анализа
а — электронномикроскопическое изображение поверхности кристалла, поврежденной при точечном анализе и ли-
нейном картировании; б — карта распределения кислорода на поврежденной зоне; в — карта распределения магния
на поврежденной зоне
Рис. 4. Результаты РМА (кристалл кизерита)
а — спектры исследуемого образца при последовательном уменьшении площади растра от 320 до 10 мкм2 (ускоряю-
щее напряжение 10 кВ); б — результат количественного анализа спектров 3–12.
Збірник наукових праць інституту геологічних наук нан україни. вип. 3. 2010 335
МЕТОДИКА РЕНТГЕНОВСКОГО МИКРОАНАЛИЗА ВОДНЫХ СУЛЬфАТОВ МАГНИя И АМОРфНОЙ фАЗЫ...
чении (для данного образца) плотности тока
ј = 0,1 нА/мкм2. Таким образом, механическая
деструкция материала исследуемого образца
определяется, как уже отмечалось, высоким
градиентом температур в зоне анализа, про-
порциональным энергии, передаваемой элект-
ронным зондом образцу. Деструкция имеет по-
роговый характер и независимость порогового
значения плотности тока от ускоряющего на-
пряжения объясняется следующим обстоятель-
ством. При уменьшении ускоряющего напряже-
ния с 25 до 7 кВ для сохранения оптимальной
скорости счета импульсов ток пучка увеличи-
вался с 1,45 до 5,1 нА, что и определило пос-
тоянство порогового значения плотности тока
при изменении ускоряющего напряжения.
МЕТОДИКА РМА ИМПАКТНЫХ ОБРАЗОВАНИЙ
При исследовании импактитов (полевые шпаты
и пироксены в стеклянной аморфной матрице)
было выявлено снижение интенсивности в точ-
ке анализа К-линий К+ в 3 раза и Nа+ в 1,5 раза
(рис. 5).
Для снижения дрейфа ионов К+ и Nа+ иссле-
довались зависимости дрейфа от параметров
проведения рентгеновского микроанализа. Из-
начально естественно было предположить, что
скорость дрейфа тем выше, чем больше мощ-
ность электронного зонда и время его воздейс-
твия, и чем меньше зона возбуждения. После
определения соответствующих качественному
составу образца (Si, O, Fe, Ti, K, Na, Al) ускоряю-
щего напряжения и тока пучка, были проведе-
ны исследования зависимости количественно-
го анализа от времени набора спектра (рис. 6).
Как видно из таблицы (рис. 6, б), прослежи-
вается четкая зависимость — при увеличении
времени воздействия зонда на образец сни-
жается содержание К и Na. Дополнительно на-
бранный спектр 10 с разверткой зонда в растр
продемонстрировал снижение дрейфа вследс-
твие уменьшения удельной мощности зонда на
единицу поверхности образца, что по влиянию
на дрейф К и Na равнозначно снижению вре-
мени набора спектра. Таким образом, для по-
вышения точности количественного анализа
мигрирующих элементов необходимо снижать
энергию, «закачанную» в единицу объема зоны
возбуждения (генерации рентгеновского из-
лучения). Учитывая весьма ограниченные воз-
можности вариации ускоряющего напряжения
и тока пучка (условиями оптимальных режимов
набора спектра), пути снижения дрейфа ионов
К+ и Nа+ это: расфокусировка пучка, развора-
Рис. 5. Распределение интенсивности К линий К+ и
Na+ в зоне проведения точечного анализа
Рис. 6. Зависимость результатов анализа от времени воздействия зонда
а — расположение точек и зоны анализа на поверхности образца; б — результаты количественного анализа при из-
менении времени набора спектра
ColleCtion of sCientifiC works of the iGs nAs of UkrAine. Vol. 3. 2010336
В.В. ПЕРМяКОВ
чивание электронного зонда в растр и сниже-
ние времени набора спектра. Последнее огра-
ничено конечной скоростью работы датчика
спектрометра. Для реализации этих методик, а
также для сравнительной оценки их эффектив-
ности были выполнены следующие измерения.
На поверхности исследуемого образца в одной
зоне были набраны 4 спектра: спектр 1 — то-
чечный анализ; спектр 2 — точечный анализ с
расфокусировкой пучка; спектр 3 — анализ с
разверткой зонда в растр; спектр 4 — анализ
с разверткой зонда в растр с одновременной
расфокусировкой пучка. Результаты измере-
ний представлены на рис. 7.
Как видно из таблицы (рис. 7, б), расфоку-
сировка и растрирование пучка позволяют
снизить эффект дрейфа ионов К+ и Nа+. Одна-
ко, максимальный эффект достигнут при одно-
временной расфокусировке и растрировании
пучка — количественный результат спектра 4.
Наглядно качественный результат иллюстри-
руется электронномикроскопическим изобра-
жением зоны проведения анализов в режиме
отраженных электронов (рис. 8).
Отличительной особенностью этого изобра-
жения является то, что видимый оптический
контраст определяется химическим составом
образца. Более светлые зоны (зоны набора
спектров 1, 2, 3) обеднены легкими К и Na, в
то время как зона набора спектра 4 неотличи-
ма от фона, т.е. в ней существенно (в пределах
разрешения микроскопа в режиме отраженных
электронов) снизился дрейф ионов К+ и Nа+.
МЕТОДИКА РМА ОПТОВОЛОКНА
Проблемы нестабильности исследуемых об-
разцов под электронным зондом возникают не
только при работе с геологическими объектами,
но и в случаях исследования искусственных
объектов. При исследовании морфологии и хи-
мического состава нанообъектов выращенных
на поверхности оптоволокна диаметром 200
мкм в Институте общей и неорганической химии
НАН Украины, наблюдалось оплавление волок-
на, вплоть до полного его разрушения. Разру-
шение образца удалось полностью устранить,
сохранив при этом возможность выявления
нанообъектов с размерами от 50 нм (рис. 9,
10), применением многослойного углеродного
напыления с суммарной толщиной 50 нм.
Дискретное послойное напыление с проме-
жуточным охлаждением образцов было приме-
нено в связи с тем, что тонкие волокна (аморф-
ный SiO
2
), расположенные на металлическом
предметном столике при длительном термичес-
ком напылении перегревались и теряли свою
форму.
Рис. 7. Зависимость результатов анализа от режима работы зонда
а — расположение зон набора спектров на образце; б — результаты количественного анализа спектров 1–4
Рис. 8. Изображение зоны анализов в режиме
отраженных электронов
Збірник наукових праць інституту геологічних наук нан україни. вип. 3. 2010 337
МЕТОДИКА РЕНТГЕНОВСКОГО МИКРОАНАЛИЗА ВОДНЫХ СУЛЬфАТОВ МАГНИя И АМОРфНОЙ фАЗЫ...
ВЫВОДЫ
Таким образом, электронномикроскопические
исследования и рентгеновский микроанализ
любых объектов, в том числе и геологических,
которые локально изменяют свои физико-
химические свойства, требуют отработки ме-
тодики исследования под каждый конкретный
объект и цель его исследования. Основной за-
дачей при разработке этих методик является
определение таких параметров проведения
рентгеновского микроанализа, при которых
соблюдается динамический баланс между
энергией получаемой исследуемым образцом
и энергией рассеиваемой зоной возбуждения.
Достижение этого равновесия позволяет из-
бежать высоких температурных градиентов и
локальных электростатических полей, приводя-
щих к изменению физико-химических свойств
исследуемого образца.
Автор выражает благодарность доктору
геол.-мин. наук Е.П. Гурову за возможность ис-
пользования образцов импактных пород для
разработки представленной методики.
Рид С.Дж.Б.1. Электронно-зондовый микроанализ и
растровая электронная микроскопия в геологии Мо-
сква: Техносфера, 2008. — 232 с.
Stormer J.C., Pierson M.L., Tacker R.C.2. Variation of F and
Cl X-ray intensity due to anisotropic diffusion in apatite
during electron microprobe analysis // Amer. Mineral. —
1993. — Vol. 78. — P. 641–648.
Smith D.G.W., Leibowitz D. 3. Mindent: a database for
minerals and comрuter program for their identification
// Canad. Mineral. — 1986. — Vol. 24. — P. 695.
Willich I., Obertop D.4. Quantitative EPMA of ultra-light
elements in non-conducting materials // In. Proc. 12th
ICXOM, (Krakow: Academy of Mining Metalurgy). —
1990. — P. 100–103.
Ayora C., Fontarnan R.5. X-ray microanalysis of frozen
fluid inclusions // Chem. Geol. — 1990. — Vol. 89. —
P. 133–148.
Goodhew P.J., Gulley J.E.C.6. (1975) The determination of
alkali in glasses by electron microprobe analysis // Glass
Technol. — 1975. — Vol. 15. — P. 123–126.
Институт геологических наук НАН Украины, Киев
Рецензент — канд. геол.-минерал. наук С.Б. Шехунова
Рис. 9. Нанообъект на поверхности оптоволокна.
а — рост полиметаллических нанообъектов на поверхности оптоволокна; б — суммарный спектр зоны роста
нанообъекта
Рис. 10. Нанообъект на острие оптоволокна
а — электронномикроскопическое изображение; б — точечный анализ нанообъекта
|