Моделирование вольт-амперных характеристик несамостоятельного вспомогательного разряда в триодных газоразрядных электронных пушках
Приведены аналитические соотношения, позволяющие рассчитать энергетические параметры вспомогательного разряда в триодных электронных пушках высоковольтного тлеющего разряда. Предложенная методика расчета основана на анализе баланса ионов в анодной плазме высоковольтного тлеющего разряда при условии...
Gespeichert in:
| Datum: | 2012 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Інститут проблем моделювання в енергетиці ім. Г.Є. Пухова НАН України
2012
|
| Schriftenreihe: | Электронное моделирование |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/61849 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Моделирование вольт-амперных характеристик несамостоятельного вспомогательного разряда в триодных газоразрядных электронных пушках / И.В. Мельник, С.Б. Тугай // Электронное моделирование. — 2012 — Т. 34, № 5. — С. 103-114. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-61849 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-618492025-02-09T14:37:40Z Моделирование вольт-амперных характеристик несамостоятельного вспомогательного разряда в триодных газоразрядных электронных пушках Мельник, И.В. Тугай, С.Б. Применение методов и средств моделирования Приведены аналитические соотношения, позволяющие рассчитать энергетические параметры вспомогательного разряда в триодных электронных пушках высоковольтного тлеющего разряда. Предложенная методика расчета основана на анализе баланса ионов в анодной плазме высоковольтного тлеющего разряда при условии самостоятельности его горения. Проведенные исследования подтвердили перспективность разработки и внедрения в промышленность триодных газоразрядных электронных пушек. Наведено аналітичні співвідношення, які дозволяють розраховувати енергетичні параметри допоміжного розряду у тріодних електронних гарматах високовольтного тліючого розряду. Запропоновано методику розрахунку, яка базована на аналізі балансу іонів в анодній плазмі високовольтного тліючого розряду за умови самостійності його горіння. Проведені дослідження підтвердили перспективність розробки та впровадження у промисловість тріодних газорозрядних електронних гармат. Analytical relations, which allow calculating energy parameters of additional discharge in triode high-voltage glow discharge electron guns, are given in this article. The proposed calculation technique is based on analyzing of ions balance in the anode plasma of high-voltage glow discharge on condition of its burning independence. Main advantages of the proposed model are its simplicity and generality. The results of simulation show, that in triode glow discharge electron guns power of additional discharge is lower than 1% relative to that of the main discharge. However, the stability of operation of triode glow discharge electron guns is considerably greater, than for diode ones. The performed investigations have confirmed the promising character of elaboration of triode glow discharge electron guns and their introduction into industry. 2012 Article Моделирование вольт-амперных характеристик несамостоятельного вспомогательного разряда в триодных газоразрядных электронных пушках / И.В. Мельник, С.Б. Тугай // Электронное моделирование. — 2012 — Т. 34, № 5. — С. 103-114. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. 0204-3572 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/61849 537.525:621.325 ru Электронное моделирование application/pdf Інститут проблем моделювання в енергетиці ім. Г.Є. Пухова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Применение методов и средств моделирования Применение методов и средств моделирования |
| spellingShingle |
Применение методов и средств моделирования Применение методов и средств моделирования Мельник, И.В. Тугай, С.Б. Моделирование вольт-амперных характеристик несамостоятельного вспомогательного разряда в триодных газоразрядных электронных пушках Электронное моделирование |
| description |
Приведены аналитические соотношения, позволяющие рассчитать энергетические параметры вспомогательного разряда в триодных электронных пушках высоковольтного тлеющего разряда. Предложенная методика расчета основана на анализе баланса ионов в анодной плазме высоковольтного тлеющего разряда при условии самостоятельности его горения. Проведенные исследования подтвердили перспективность разработки и внедрения в промышленность триодных газоразрядных электронных пушек. |
| format |
Article |
| author |
Мельник, И.В. Тугай, С.Б. |
| author_facet |
Мельник, И.В. Тугай, С.Б. |
| author_sort |
Мельник, И.В. |
| title |
Моделирование вольт-амперных характеристик несамостоятельного вспомогательного разряда в триодных газоразрядных электронных пушках |
| title_short |
Моделирование вольт-амперных характеристик несамостоятельного вспомогательного разряда в триодных газоразрядных электронных пушках |
| title_full |
Моделирование вольт-амперных характеристик несамостоятельного вспомогательного разряда в триодных газоразрядных электронных пушках |
| title_fullStr |
Моделирование вольт-амперных характеристик несамостоятельного вспомогательного разряда в триодных газоразрядных электронных пушках |
| title_full_unstemmed |
Моделирование вольт-амперных характеристик несамостоятельного вспомогательного разряда в триодных газоразрядных электронных пушках |
| title_sort |
моделирование вольт-амперных характеристик несамостоятельного вспомогательного разряда в триодных газоразрядных электронных пушках |
| publisher |
Інститут проблем моделювання в енергетиці ім. Г.Є. Пухова НАН України |
| publishDate |
2012 |
| topic_facet |
Применение методов и средств моделирования |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/61849 |
| citation_txt |
Моделирование вольт-амперных характеристик несамостоятельного вспомогательного разряда в триодных газоразрядных электронных пушках / И.В. Мельник, С.Б. Тугай // Электронное моделирование. — 2012 — Т. 34, № 5. — С. 103-114. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. |
| series |
Электронное моделирование |
| work_keys_str_mv |
AT melʹnikiv modelirovanievolʹtampernyhharakteristiknesamostoâtelʹnogovspomogatelʹnogorazrâdavtriodnyhgazorazrâdnyhélektronnyhpuškah AT tugajsb modelirovanievolʹtampernyhharakteristiknesamostoâtelʹnogovspomogatelʹnogorazrâdavtriodnyhgazorazrâdnyhélektronnyhpuškah |
| first_indexed |
2025-11-26T23:27:25Z |
| last_indexed |
2025-11-26T23:27:25Z |
| _version_ |
1849897408070156288 |
| fulltext |
ÓÄÊ 537.525:621.325
È. Â. Ìåëüíèê, ä-ð. òåõí. íàóê, Ñ. Á. Òóãàé, àñïèðàíò
Íàöèîíàëüíûé òåõíè÷åñêèé óíèâåðñèòåò Óêðàèíû
«Êèåâñêèé ïîëèòåõíè÷åñêèé èí-ò»
(Óêðàèíà, 03056, Êèåâ, ïð. Ïîáåäû, 37, êîð. 12,
òåë. (044) 4068292, (044) 4549505, e-mail: imelnik@edd.ntu-kpi.kiev.ua)
Ìîäåëèðîâàíèå âîëüò-àìïåðíûõ õàðàêòåðèñòèê
íåñàìîñòîÿòåëüíîãî âñïîìîãàòåëüíîãî ðàçðÿäà
â òðèîäíûõ ãàçîðàçðÿäíûõ ýëåêòðîííûõ ïóøêàõ
Ïðèâåäåíû àíàëèòè÷åñêèå ñîîòíîøåíèÿ, ïîçâîëÿþùèå ðàññ÷èòàòü ýíåðãåòè÷åñêèå ïàðà-
ìåòðû âñïîìîãàòåëüíîãî ðàçðÿäà â òðèîäíûõ ýëåêòðîííûõ ïóøêàõ âûñîêîâîëüòíîãî
òëåþùåãî ðàçðÿäà. Ïðåäëîæåííàÿ ìåòîäèêà ðàñ÷åòà îñíîâàíà íà àíàëèçå áàëàíñà èîíîâ â
àíîäíîé ïëàçìå âûñîêîâîëüòíîãî òëåþùåãî ðàçðÿäà ïðè óñëîâèè ñàìîñòîÿòåëüíîñòè åãî
ãîðåíèÿ. Ïðîâåäåííûå èññëåäîâàíèÿ ïîäòâåðäèëè ïåðñïåêòèâíîñòü ðàçðàáîòêè è
âíåäðåíèÿ â ïðîìûøëåííîñòü òðèîäíûõ ãàçîðàçðÿäíûõ ýëåêòðîííûõ ïóøåê.
Íàâåäåíî àíàë³òè÷í³ ñï³ââ³äíîøåííÿ, ÿê³ äîçâîëÿþòü ðîçðàõîâóâàòè åíåðãåòè÷í³ ïàðàìåò-
ðè äîïîì³æíîãî ðîçðÿäó ó òð³îäíèõ åëåêòðîííèõ ãàðìàòàõ âèñîêîâîëüòíîãî òë³þ÷îãî ðîç-
ðÿäó. Çàïðîïîíîâàíî ìåòîäèêó ðîçðàõóíêó, ÿêà áàçîâàíà íà àíàë³ç³ áàëàíñó ³îí³â â àíîäí³é
ïëàçì³ âèñîêîâîëüòíîãî òë³þ÷îãî ðîçðÿäó çà óìîâè ñàìîñò³éíîñò³ éîãî ãîð³ííÿ. Ïðîâåäåí³
äîñë³äæåííÿ ï³äòâåðäèëè ïåðñïåêòèâí³ñòü ðîçðîáêè òà âïðîâàäæåííÿ ó ïðîìèñëîâ³ñòü
òð³îäíèõ ãàçîðîçðÿäíèõ åëåêòðîííèõ ãàðìàò.
Ê ë þ ÷ å â û å ñ ë î â à: ýëåêòðîííî-ëó÷åâûå òåõíîëîãèè, ãàçîðàçðÿäíàÿ ýëåêòðîííàÿ ïóø-
êà, âûñîêîâîëüòíûé òëåþùèé ðàçðÿä, âñïîìîãàòåëüíûé ðàçðÿä, àíîäíàÿ ïëàçìà.
 íàñòîÿùåå âðåìÿ ýëåêòðîííûå ïóøêè íà îñíîâå âûñîêîâîëüòíîãî òëåþ-
ùåãî ðàçðÿäà (ÂÒÐ) øèðîêî èñïîëüçóþòñÿ â ýëåêòðîííîé ïðîìûøëåííîñ-
òè, ïðèáîðîñòðîåíèè, ìåòàëëóðãèè è ìàøèíîñòðîåíèè ïðè âûïîëíåíèè
òåõíîëîãè÷åñêèõ îïåðàöèé ñâàðêè, ïàéêè, îòæèãà ðàçëè÷íûõ èçäåëèé, ïðè
âàêóóìíîì ïåðåïëàâå òóãîïëàâêèõ ìàòåðèàëîâ äëÿ èõ î÷èñòêè, à òàêæå
ïðè íàíåñåíèè ïîêðûòèé ðàçëè÷íîãî íàçíà÷åíèÿ, â òîì ÷èñëå êîìïîçèò-
íûõ [1 — 3]. Ïåðñïåêòèâíîñòü âíåäðåíèÿ è èñïîëüçîâàíèÿ â ïðîìûøëåí-
íîñòè òåõíîëîãè÷åñêèõ ãàçîðàçðÿäíûõ ïóøåê îáóñëîâëåíà òåì, ÷òî îíè
îáëàäàþò ðÿäîì òåõíèêî-ýêîíîìè÷åñêèõ ïðåèìóùåñòâ ïî ñðàâíåíèþ ñ
òðàäèöèîííî èñïîëüçóåìûìè òåðìîêàòîäíûìè. Ñðåäè ýòèõ ïðåèìóùåñòâ
íåîáõîäèìî îòìåòèòü ñëåäóþùèå [1 — 3]:
ISSN 0204–3572. Ýëåêòðîí. ìîäåëèðîâàíèå. 2012. Ò. 34. ¹ 5 103
âîçìîæíîñòü ðàáîòû â íèçêîì è ñðåäíåì âàêóóìå, ÷òî â çíà÷èòåëüíîé
ñòåïåíè óïðîùàåò ýëåêòðîííî-ëó÷åâîå òåõíîëîãè÷åñêîå îáîðóäîâàíèå è
óìåíüøàåò åãî ñòîèìîñòü;
âîçìîæíîñòü ðàáîòû ñ ðàçëè÷íûìè òåõíîëîãè÷åñêèìè ãàçàìè, âêëþ-
÷àÿ àêòèâíûå è èíåðòíûå, ÷òî â çíà÷èòåëüíîé ñòåïåíè ðàñøèðÿåò äèàïàçîí
âûïîëíÿåìûõ òåõíîëîãè÷åñêèõ îïåðàöèé;
îòíîñèòåëüíàÿ êîíñòðóêòèâíàÿ ïðîñòîòà è ìàëàÿ ñòîèìîñòü;
âîçìîæíîñòü óïðàâëåíèÿ ýíåðãåòè÷åñêèìè ïàðàìåòðàìè ôîðìèðóåìî-
ãî ýëåêòðîííîãî ïó÷êà ïîñðåäñòâîì èçìåíåíèÿ ðàáî÷åãî äàâëåíèÿ â êàìå-
ðå ïóøêè [4].
 òî æå âðåìÿ, ñóùåñòâåííûì íåäîñòàòêîì ñèñòåì óïðàâëåíèÿ ìîù-
íîñòüþ ýëåêòðîííîãî ïó÷êà â ïóøêàõ íà îñíîâå ÂÒÐ ÿâëÿåòñÿ òîò ôàêò, ÷òî
âñëåäñòâèå èíåðöèîííîñòè ãàçîäèíàìè÷åñêèõ ïðîöåññîâ àâòîìàòè÷åñêîå ðå-
ãóëèðîâàíèå òîêà ýëåêòðîííîãî ïó÷êà èçìåíåíèåì äàâëåíèÿ â ðàçðÿäíîì
ïðîìåæóòêå îñóùåñòâëÿåòñÿ äîñòàòî÷íî ìåäëåííî. Êàê ïîêàçàëè ïðîâåäåí-
íûå ðàíåå èññëåäîâàíèÿ, îáû÷íî ïîñòîÿííàÿ âðåìåíè ðåãóëèðîâàíèÿ â òàêèõ
ñèñòåìàõ ñîñòàâëÿåò áîëåå 0,1 ñ [4].
Òàêèå âðåìåííûå ïàðàìåòðû ñèñòåì óïðàâëåíèÿ âî ìíîãèõ ñëó÷àÿõ
íåïðèåìëåìû äëÿ ñîâðåìåííûõ ýëåêòðîííî-ëó÷åâûõ òåõíîëîãèé. Ýòî ñâÿ-
çàíî ñ òåì, ÷òî îñíîâíûìè òðåáîâàíèÿìè ñîâðåìåííîãî ïðîèçâîäñòâà, â
êîòîðîì èñïîëüçóþòñÿ äîñòàòî÷íî äîðîãîñòîÿùèå ýëåêòðîííî-ëó÷åâûå
òåõíîëîãèè, ÿâëÿþòñÿ âûñîêàÿ ïðîèçâîäèòåëüíîñòü òåõíîëîãè÷åñêîãî ïðî-
öåññà è ïîâûøåííàÿ ñòàáèëüíîñòü ýíåðãåòè÷åñêèõ ïàðàìåòðîâ ýëåêòðîííîãî
ïó÷êà êàê òåõíîëîãè÷åñêîãî èíñòðóìåíòà.
Òîëüêî â ñëó÷àå âûïîëíåíèÿ ýòèõ òðåáîâàíèé óäàåòñÿ ïîëó÷àòü âûñî-
êîêà÷åñòâåííûå èçäåëèÿ â óñëîâèÿõ ìàññîâîãî ïðîèçâîäñòâà, è îíî ñòàíî-
âèòñÿ ýôôåêòèâíûì, íåñìîòðÿ íà çíà÷èòåëüíûå êàïèòàëîâëîæåíèÿ [2, 5].
Ïîýòîìó îòñóòñòâèå ýôôåêòèâíûõ ñèñòåì óïðàâëåíèÿ òîêîì ýëåêòðîííîãî
ïó÷êà ñ ìàëîé ïîñòîÿííîé âðåìåíè åãî ðåãóëèðîâàíèÿ â íåêîòîðîé ñòåïå-
íè ñäåðæèâàåò âíåäðåíèå â ïðîìûøëåííîñòü òåõíîëîãè÷åñêèõ ýëåêòðîí-
íûõ ïóøåê ÂÒÐ, íåñìîòðÿ íà ïåðå÷èñëåííûå âûøå èõ ïðåèìóùåñòâà.
 ñâÿçè ñ ýòèì âàæíîé è àêòóàëüíîé çàäà÷åé ÿâëÿåòñÿ ñîçäàíèå ìà-
ëîèíåðöèîííûõ ñèñòåì óïðàâëåíèÿ òîêîì ýëåêòðîííîãî ïó÷êà äëÿ ãàçî-
ðàçðÿäíûõ ýëåêòðîííûõ ïóøåê. Ìèíèìàëüíîå çíà÷åíèå ïîñòîÿííîé âðå-
ìåíè ðåãóëèðîâàíèÿ äëÿ òàêèõ ñèñòåì íå äîëæíî ïðåâûøàòü íåñêîëüêèõ
ìèëëèñåêóíä.
Ïîñòàíîâêà çàäà÷è. Äëÿ ðåøåíèÿ ïîñòàâëåííîé çàäà÷è íåîáõîäèìî
èññëåäîâàòü òðèîäíûå ýëåêòðîäíûå ñèñòåìû ÂÒÐ, â êîòîðûõ óïðàâëåíèå
ìîùíîñòüþ îñóùåñòâëÿåòñÿ ïîñðåäñòâîì çàæèãàíèÿ âñïîìîãàòåëüíîãî
íèçêîâîëüòíîãî ðàçðÿäà â ðåçóëüòàòå ïîäà÷è óïðàâëÿþùåãî íàïðÿæåíèÿ
íà äîïîëíèòåëüíûé ýëåêòðîä. Ðåçóëüòàòû ýêñïåðèìåíòàëüíûõ èññëåäî-
È. Â. Ìåëüíèê, Ñ. Á. Òóãàé
104 ISSN 0204–3572. Electronic Modeling. 2012. V. 34. ¹ 5
âàíèé òàêèõ ýëåêòðîäíûõ ñèñòåì ñâèäåòåëüñòâóþò î òîì, ÷òî ïðè ýëåêò-
ðè÷åñêîì óïðàâëåíèè ïîñòîÿííàÿ âðåìåíè ðåãóëèðîâàíèÿ ìîæåò áûòü
çíà÷èòåëüíî ìåíüøå, ÷åì ïðè ãàçîäèíàìè÷åñêîì, è ñîñòàâëÿòü íåñêîëüêî
ìèëëèñåêóíä [6]. Áûëè ïðîâåäåíû òàêæå èññëåäîâàíèÿ ýëåêòðîííî-îïòè-
÷åñêèõ ñâîéñòâ òðèîäíîãî ðàçðÿäíîãî ïðîìåæóòêà ÂÒÐ ìåòîäîì ÿðêîñò-
íîãî àíàëèçà ôîòîãðàôèé, îñíîâàííûì íà ñîâðåìåííûõ ñðåäñòâàõ êîìïüþ-
òåðíîé îáðàáîòêè èçîáðàæåíèé [7].
Îäíàêî ôèçè÷åñêèå ïðîöåññû, ïðîòåêàþùèå â òðèîäíîì ðàçðÿäíîì
ïðîìåæóòêå ÂÒÐ, äî íàñòîÿùåãî âðåìåíè èçó÷åíû íåäîñòàòî÷íî, ÷òî íå
ïîçâîëÿåò ýôôåêòèâíî ïðîåêòèðîâàòü òðèîäíûå ãàçîðàçðÿäíûå ïóøêè äëÿ
ñîâðåìåííûõ ýëåêòðîííî-ëó÷åâûõ òåõíîëîãèé. Íàèáîëåå âàæíûìè íåèñ-
ñëåäîâàííûìè âîïðîñàìè ÿâëÿþòñÿ ýíåðãåòè÷åñêèé áàëàíñ â òðèîäíîì
âûñîêîâîëüòíîì ðàçðÿäíîì ïðîìåæóòêå è ñîîòíîøåíèå ìåæäó ìîùíîñ-
òÿìè îñíîâíîãî è âñïîìîãàòåëüíîãî ðàçðÿäîâ. Êðîìå òîãî, îñîáûé èíòåðåñ
ïðåäñòàâëÿåò ïîëîæåíèå è ôîðìà ãðàíèöû àíîäíîé ïëàçìû â òðèîäíûõ
ýëåêòðîäíûõ ñèñòåìàõ ÂÒÐ, êîòîðàÿ ïðè ìîäåëèðîâàíèè ðàññìàòðèâàåòñÿ
êàê èñòî÷íèê èîíîâ è êàê ïðîçðà÷íûé äëÿ ýëåêòðîíîâ ýëåêòðîä ñ çàäàííûì
ïîòåíöèàëîì [7 — 9].
Ðàññìîòðèì ôèçèêî-ìàòåìàòè÷åñêóþ ìîäåëü, ïîçâîëÿþùóþ îïðåäå-
ëÿòü ïîëîæåíèå ãðàíèöû àíîäíîé ïëàçìû è òîê âñïîìîãàòåëüíîãî ðàçðÿäà
â òðèîäíûõ ýëåêòðîäíûõ ñèñòåìàõ ÂÒÐ. Äëÿ âûâîäà íåîáõîäèìûõ óðàâíå-
íèé ïðîâåäåì àíàëèç ðàñïðåäåëåíèÿ ïîòîêîâ çàðÿæåííûõ ÷àñòèö â àíîä-
íîé ïëàçìå è èõ âçàèìîäåéñòâèÿ ñ ïîâåðõíîñòÿìè ýëåêòðîäîâ. Ïðè ýòîì â
êà÷åñòâå áàçîâûõ àíàëèòè÷åñêèõ ñîîòíîøåíèé èñïîëüçóåì óðàâíåíèå áà-
ëàíñà çàðÿæåííûõ ÷àñòèö â àíîäíîé ïëàçìå, óñëîâèå ñàìîñòîÿòåëüíîñòè
ÂÒÐ, à òàêæå ïîëóýìïèðè÷åñêèå ñîîòíîøåíèÿ, îïèñûâàþùèå ýëåìåíòàð-
íûå âçàèìîäåéñòâèÿ ïîòîêîâ çàðÿæåííûõ ÷àñòèö ìåæäó ñîáîé â îáúåìå
ïëàçìû è ñ ïîâåðõíîñòÿìè ýëåêòðîäîâ.
Îñíîâíûå ôèçè÷åñêèå ïðîöåññû, ó÷èòûâàåìûå ïðè ïîñòðîåíèè ìîäå-
ëè, ñëåäóþùèå:
èîíèçàöèÿ ãàçà áûñòðûìè è ìåäëåííûìè ýëåêòðîíàìè;
âòîðè÷íàÿ èîííî-ýëåêòðîííàÿ ýìèññèÿ;
ðåçîíàíñíàÿ ïåðåçàðÿäêà èîíîâ íà àòîìàõ îñòàòî÷íîãî ãàçà â îáëàñòè
êàòîäíîãî ïàäåíèÿ ïîòåíöèàëà [8, 10, 11].
Ïðåèìóùåñòâàìè ïðåäëàãàåìîé ìîäåëè ÿâëÿåòñÿ åå îòíîñèòåëüíàÿ
ïðîñòîòà è âîçìîæíîñòü ïîëó÷åíèÿ àíàëèòè÷åñêîãî ðåøåíèÿ äëÿ ïîëî-
æåíèÿ ãðàíèöû àíîäíîé ïëàçìû îòíîñèòåëüíî êàòîäà è äëÿ çàâèñèìîñòè
òîêà âñïîìîãàòåëüíîãî ðàçðÿäà îò íàïðÿæåíèÿ íà óïðàâëÿþùåì ýëåêòðîäå
è îò ýíåðãèè ýëåêòðîíîâ ïó÷êà. Òàêèå óïðîùåííûå ôèçèêî-ìàòåìàòè÷åñêèå
ìîäåëè èìåþò áîëüøîå çíà÷åíèå íà ýòàïå ïðåäâàðèòåëüíîãî ïðîåêòèðîâà-
Ìîäåëèðîâàíèå âîëüò-àìïåðíûõ õàðàêòåðèñòèê
ISSN 0204–3572. Ýëåêòðîí. ìîäåëèðîâàíèå. 2012. Ò. 34. ¹ 5 105
íèÿ ãàçîðàçðÿäíûõ ïóøåê è îöåíêè èõ ôóíêöèîíàëüíûõ âîçìîæíîñòåé
[12]. Áîëåå òî÷íûå îöåíêè äëÿ ðåàëüíûõ ýëåêòðîäíûõ ñèñòåì ìîãóò áûòü
ïîëó÷åíû äâóìÿ ñïîñîáàìè: òåîðåòè÷åñêè, ïîñðåäñòâîì ÷èñëåííîãî
ðåøåíèÿ çàäà÷è ðàâíîâåñèÿ ñèë ýëåêòðè÷åñêîãî ïîëÿ è êèíåòè÷åñêîãî
äàâëåíèÿ ïëàçìû íà åå ãðàíèöå [7, 9], èëè òåîðåòèêî-ýêñïåðèìåíòàëüíûì
ñïîñîáîì, ò.å. ôîòîãðàôèðîâàíèåì ðàçðÿäíîãî ïðîìåæóòêà è ïðîâåäåíèåì
êîìïüþòåðíîãî àíàëèçà ÿðêîñòè ïîëó÷åííûõ ôîòîãðàôèé [7].
Îñíîâíûì êîíå÷íûì ðåçóëüòàòîì ïðåäëàãàåìîé ìîäåëè ÿâëÿåòñÿ âîç-
ìîæíîñòü èññëåäîâàíèÿ ýíåðãåòèêè âñïîìîãàòåëüíîãî ðàçðÿäà è ïîëó÷å-
íèå åãî âîëüò-àìïåðíûõ õàðàêòåðèñòèê. Ýòî ïîçâîëÿåò íà ýòàïå ïðåäâàðè-
òåëüíîãî ïðîåêòèðîâàíèÿ òðèîäíûõ ýëåêòðîííûõ ïóøåê ÂÒÐ îöåíèòü èõ
ýíåðãåòè÷åñêóþ ýôôåêòèâíîñòü è âîçìîæíîñòü èñïîëüçîâàíèÿ â óñëîâèÿõ
ñîâðåìåííîãî ïðîèçâîäñòâà. Ïðåäëàãàåìàÿ ìîäåëü ïîçâîëÿåò òàêæå îöå-
íèâàòü ïîëîæåíèå ãðàíèöû àíîäíîé ïëàçìû â ðàçðÿäíîì ïðîìåæóòêå ÂÒÐ.
Ýòîò ïàðàìåòð èìååò áîëüøîå çíà÷åíèå ïðè àíàëèçå ñàìîñîãëàñîâàííîé
ýëåêòðîííî-èîííîé îïòèêè âûñîêîâîëüòíîãî òëåþùåãî ðàçðÿäà [7, 9].
Ïàðàìåòðû ìîäåëè òðèîäíîãî âûñîêîâîëüòíîãî ðàçðÿäíîãî ïðî-
ìåæóòêà. Íà ðèñ. 1 ïðåäñòàâëåíà óïðîùåííàÿ ñõåìà òðèîäíîãî âûñîêî-
âîëüòíîãî ðàçðÿäíîãî ïðîìåæóòêà. Ìîäåëèðóåìîå óñòðîéñòâî ñîäåðæèò
òðè îñíîâíûõ ýëåêòðîäà. Íà êàòîä 1 âûñîêîâîëüòíîãî òëåþùåãî ðàçðÿäà
ïîäàåòñÿ óñêîðÿþùåå íàïðÿæåíèå Uó. Ñ êàòîäà ïîä äåéñòâèåì èîííîé
áîìáàðäèðîâêè ïðîèñõîäèò ýìèññèÿ ýëåêòðîíîâ, êîòîðûå ôîðìèðóþò
ýëåêòðîííûé ïó÷îê 3. Çàçåìëåííûé êîðïóñ ïðèáîðà 2 ÿâëÿåòñÿ àíîäîì
ÂÒÐ è êàòîäîì âñïîìîãàòåëüíîãî ðàçðÿäà, ïîýòîìó âñïîìîãàòåëüíûé ðàç-
ðÿä òåîðåòè÷åñêè ìîæåò ðàññìàòðèâàòüñÿ êàê ðàçðÿä ñ ïîëûì êàòîäîì [10,
11]. Àíîäíàÿ ïëàçìà 4 ðàñïîëàãàåòñÿ â ïîëîñòè àíîäà ÂÒÐ íà îïðåäåëåí-
íîì ðàññòîÿíèè îò êàòîäà è ïðè ìîäåëèðîâàíèè ðàçðÿäíîãî ïðîìåæóòêà
ðàññìàòðèâàåòñÿ êàê èñòî÷íèê èîíîâ è êàê ýëåêòðîä ñ çàäàííûì ïîòåí-
öèàëîì. Äëÿ ðàññìàòðèâàåìîé ñõåìû ðàçðÿäíîãî ïðîìåæóòêà âñïîìîãà-
òåëüíûé êîëüöåâîé ýëåêòðîä 5 ðàñïîëàãàåòñÿ â îáëàñòè àíîäíîé ïëàçìû
âíå çîíû ïðîõîæäåíèÿ ýëåêòðîííîãî ïó÷êà, ïðè ýòîì íà óïðàâëÿþùèé
ýëåêòðîä ïîäàåòñÿ ïîëîæèòåëüíûé ïîòåíöèàë Uð, âåëè÷èíà êîòîðîãî ìî-
æåò ñîñòàâëÿòü îò äåñÿòêîâ äî ñîòåí âîëüò.
Âîçìîæíû è äðóãèå êîíñòðóêöèè òðèîäíîé ýëåêòðîäíîé ñèñòåìû ÂÒÐ
ñ ñîîòâåòñòâóþùèìè ñõåìàìè ïîäêëþ÷åíèÿ ýëåêòðîäîâ. Íàïðèìåð, â ðà-
áîòå [6] ðàññìîòðåíà ñèñòåìà ñ öèëèíäðè÷åñêèì óïðàâëÿþùèì ýëåêòðî-
äîì, íà êîòîðûé ïîäàåòñÿ îòðèöàòåëüíûé ïîòåíöèàë.  ëþáîì ñëó÷àå
ñõåìà ïîäêëþ÷åíèÿ ýëåêòðîäîâ ïðè çàæèãàíèè âñïîìîãàòåëüíîãî ðàçðÿäà
äîëæíà îáåñïå÷èâàòü ýôôåêò ïîëîãî êàòîäà [10, 11].
Îñíîâíûå ãåîìåòðè÷åñêèå ðàçìåðû ìîäåëèðóåìîãî ðàçðÿäíîãî ïðî-
ìåæóòêà ÂÒÐ ñëåäóþùèå: ïðîäîëüíûé ðàçìåð ïðîìåæóòêà l, åãî ïîïåðå÷-
È. Â. Ìåëüíèê, Ñ. Á. Òóãàé
106 ISSN 0204–3572. Electronic Modeling. 2012. V. 34. ¹ 5
íûé ðàçìåð dï, ïðîäîëüíûé ðàçìåð àíîäíîé ïëàçìû dïð è ðàññòîÿíèå îò
êàòîäà äî àíîäíîé ïëàçìû dê.ïë. Âàæíûì âõîäíûì ïàðàìåòðîì ðàññìàòðè-
âàåìîé ìîäåëè ðàçðÿäíîãî ïðîìåæóòêà ÿâëÿåòñÿ ïðèâåäåííîå äàâëåíèå
pa0, êîòîðîå â óñëîâèÿõ ãîðåíèÿ ÂÒÐ ñ ó÷åòîì çàæèãàíèÿ âñïîìîãàòåëü-
íîãî ðàçðÿäà ìîæåò íàõîäèòüñÿ â äèàïàçîíå îò 0,1 äî 10 Ïà.
 äåéñòâèòåëüíîñòè ôèçè÷åñêèå óñëîâèÿ ãîðåíèÿ îñíîâíîãî è âñïîìî-
ãàòåëüíîãî ðàçðÿäîâ îïðåäåëÿþòñÿ ìàòåðèàëàìè ýëåêòðîäîâ, ñîñòàâîì ðà-
áî÷åãî ãàçà, óñêîðÿþùèì íàïðÿæåíèåì, íàïðÿæåíèåì íà âñïîìîãàòåëüíîì
ýëåêòðîäå è ïðèâåäåííûì äàâëåíèåì â ðàçðÿäíîì ïðîìåæóòêå. Îäíàêî íà
óñëîâèÿ ãîðåíèÿ ðàçðÿäà áîëüøîå âëèÿíèå îêàçûâàþò ýëåìåíòàðíûå ïðî-
öåññû âçàèìîäåéñòâèÿ ÷àñòèö ìåæäó ñîáîé è ñ ïîâåðõíîñòÿìè ýëåêòðîäîâ.
Èç íèõ îïðåäåëÿþùåå çíà÷åíèå èìåþò ñëåäóþùèå [8, 10, 11]:
1. Ýìèññèÿ ýëåêòðîíîâ ñ ïîâåðõíîñòè êàòîäà ÂÒÐ ïîä âîçäåéñòâèåì
èîííîé áîìáàðäèðîâêè, îïðåäåëÿåìàÿ êîýôôèöèåíòîì ýôôåêòèâíîñòè
âòîðè÷íîé èîííî-ýëåêòðîííîé ýìèññèè � ýô è çàâèñÿùàÿ îò óñêîðÿþùåãî
íàïðÿæåíèÿ è ïðèâåäåííîãî äàâëåíèÿ ãàçà.
2. Ïåðåçàðÿäêà èîíîâ íà àòîìàõ îñòàòî÷íîãî ãàçà ñ ýôôåêòèâíûì
ñå÷åíèåì Qi 0.
3. Èîíèçàöèÿ ãàçà áûñòðûìè ýëåêòðîíàìè ïó÷êà è ìåäëåííûìè ýëåêòðî-
íàìè àíîäíîé ïëàçìû ñ ñîîòâåòñòâóþùèìè ñå÷åíèÿìè èîíèçàöèè.
4. Ýìèññèÿ èîíîâ èç àíîäíîé ïëàçìû íà êàòîä âñïîìîãàòåëüíîãî ðàç-
ðÿäà ïîä âîçäåéñòâèåì àìáèïîëÿðíîé äèôôóçèè, äëÿ êîòîðîé õàðàêòåðíà
äëèíà ñâîáîäíîãî ïðîáåãà ýëåêòðîíîâ � e è èîíîâ � i ïðè çàäàííîì ïðèâå-
äåííîì äàâëåíèè â ðàçðÿäíîì ïðîìåæóòêå.
Ìîäåëèðîâàíèå âîëüò-àìïåðíûõ õàðàêòåðèñòèê
ISSN 0204–3572. Ýëåêòðîí. ìîäåëèðîâàíèå. 2012. Ò. 34. ¹ 5 107
Ðèñ. 1. Ñõåìà òðèîäíîãî âûñîêîâîëüòíîãî ðàçðÿäíîãî ïðîìåæóòêà è åãî ãåîìåòðè÷åñêèå
ïàðàìåòðû: 1 — êàòîä; 2 — àíîä ÂÒÐ, ÿâëÿþùèéñÿ êàòîäîì âñïîìîãàòåëüíîãî ðàçðÿäà;
3 — ýëåêòðîííûé ïó÷îê ; 4 — àíîäíàÿ ïëàçìà; 5 — êîëüöåâîé ýëåêòðîä äëÿ çàæèãàíèÿ
âñïîìîãàòåëüíîãî ðàçðÿäà
5. Âòîðè÷íàÿ èîííî-ýëåêòðîííàÿ ýìèññèÿ ñ ïîâåðõíîñòè êàòîäà âñïî-
ìîãàòåëüíîãî ðàçðÿäà, õàðàêòåðèçóåìàÿ êîýôôèöèåíòîì ýìèññèè �.
Ïàðàìåòðû ìîäåëè, îïðåäåëÿþùèå ýëåìåíòàðíûå âçàèìîäåéñòâèÿ
÷àñòèö â ðàçðÿäíîì ïðîìåæóòêå ÂÒÐ, îïðåäåëÿþòñÿ ýêñïåðèìåíòàëüíî
äëÿ îïðåäåëåííûõ ìàòåðèàëîâ ýëåêòðîäîâ è ñîñòàâà ðàáî÷åãî ãàçà ëèáî
èñïîëüçóþòñÿ äàííûå, ïðèâåäåííûå â ëèòåðàòóðå [10, 11].
Àíàëèòè÷åñêèå ñîîòíîøåíèÿ äëÿ îïðåäåëåíèÿ ïîëîæåíèÿ ãðàíè-
öû àíîäíîé ïëàçìû. Êîíöåíòðàöèÿ èîíîâ â àíîäíîé ïëàçìå ÂÒÐ îïðå-
äåëÿåòñÿ íà îñíîâå óðàâíåíèÿ áàëàíñà èîíîâ [8, 10, 11]
z z z zá ì ð ä� � � , (1)
ãäå zá — ýôôåêòèâíîñòü èîíèçàöèè ãàçà áûñòðûìè ýëåêòðîíàìè ïó÷êà;
z ì — ýôôåêòèâíîñòü èîíèçàöèè ãàçà ìåäëåííûìè ýëåêòðîíàìè ïëàçìû;
z ð — êîëè÷åñòâî èîíîâ, îáðàçóþùèõñÿ â íåñàìîñòîÿòåëüíîì ðàçðÿäå; zä —
äèôôóçèîííîå ðàññåÿíèå ýëåêòðîíîâ â àíîäíîé ïëàçìå ñ ó÷åòîì èõ äðåéôà
â ýëåêòðè÷åñêîì ïîëå, ñîçäàâàåìîì âñïîìîãàòåëüíûì ýëåêòðîäîì.
Äëÿ îïðåäåëåíèÿ ýôôåêòèâíîñòè èîíèçàöèè ãàçà áûñòðûìè è ìåä-
ëåííûìè ýëåêòðîíàìè, à òàêæå ýìèññèè èîíîâ èç àíîäíîé ïëàçìû â ïðî-
öåññå àìáèïîëÿðíîé äèôôóçèè èñïîëüçóåì ñëåäóþùèå ñîîòíîøåíèÿ [8,
10, 11]:
z
j d p A U
e
f d p Q ke a i
a
i a ep U
a
i
i
á
ê ïð ó
ïð� � � �
�
�0
0 01 1 1( ( ( ))� � e ),
� ýô ó� �A Ui
ai , z
d p n kT
m
Qa e e
e
eì
ïð
ïë� 0
0
4
8
�
,
Q N U
kT
e
eU
kT
e i i
e i
e
ïë0 0
2
� �
�
�
� �
�
�
�� exp ,
z
n kT
d p å
i i e
a
ä
ïp
�
� �2
0
0
, z
n d U eU kT
d p
i i e
a
p
ï p p
ïp
�
�� � �
�
2
0
0
( )
,
(2)
�
�
�
å
e e
a
e e
a
kT eU kT
e p
kT eU kT
p
�
�
�
�
�
9
4 15
2
4
0
3
0
( )
ln ,
( )
p
p
�
�
�
�
,
ãäå jeê — ïëîòíîñòü òîêà ýëåêòðîíîâ íà ïîâåðõíîñòè êàòîäà; �i è �U —
êîýôôèöèåíòû îòðàæåíèÿ ýëåêòðîíîâ ñîîòâåòñòâåííî îò àíîäà ïî òîêó è
ýíåðãèè; f — êîýôôèöèåíò ïðîçðà÷íîñòè àíîäà;Qep0 — ñå÷åíèå ðàññåÿíèÿ
È. Â. Ìåëüíèê, Ñ. Á. Òóãàé
108 ISSN 0204–3572. Electronic Modeling. 2012. V. 34. ¹ 5
ýëåêòðîíîâ íà èîíàõ îñòàòî÷íîãî ãàçà; ke — êîýôôèöèåíò óäëèíåíèÿ
òðàåêòîðèé ýëåêòðîíîâ; ne — êîíöåíòðàöèÿ ýëåêòðîíîâ â ïëàçìå; Qeïë0 —
óñðåäíåííîå ñå÷åíèå èîíèçàöèè ãàçà ìåäëåííûìè ýëåêòðîíàìè ïëàçìû;
N 0 = 2,7�1025 — ïîñòîÿííàÿ Ëîøìèäòà, ì–3; U i — ïîòåíöèàë èîíèçàöèè
ãàçà; � i — ýìïèðè÷åñêàÿ ïîñòîÿííàÿ äëÿ äàííîãî ãàçà; � i 0 — ïîäâèæíîñòü
èîíîâ â àíîäíîé ïëàçìå; me — ìàññà ýëåêòðîíà; Te — òåìïåðàòóðà ýëåêò-
ðîíîâ â ïëàçìå ñ ó÷åòîì åå íàãðåâà ýëåêòðîííûì ïó÷êîì; Ai , ai — ïîëóýì-
ïèðè÷åñêèå êîýôôèöèåíòû.
Êîíöåíòðàöèþ èîíîâ â àíîäíîé ïëàçìå îïðåäåëÿåì èç óñëîâèÿ ñàìî-
ñòîÿòåëüíîñòè ãîðåíèÿ ÂÒÐ [8]:
n
j
kT
m
e A U
i
e
e
e
i
ai
�
��
ê
ó
2
1( )
.
(3)
Òîãäà óðàâíåíèå (1), ñ ó÷åòîì (2), (3), çàïèøåì â âèäå
� � �
�
2
0
0
2
1
i e
a e
kT eU
p
d( )
( )
�
�
�
�
� �p ï
� �
�
�
�
�
�
��
�
3
2
0( )
( )
expkT eU N
e kT eU
m
U
kT
e
U
e i
e
e
i
e
p
p
p
�
�
�
�
��
�
� � � � �� �A U A U
kT
m
f d p Qi
a
i
a e
e
i a ep
i i
ó ó ïð( ) ( ( ( ))1
2
1 1 1 0 0
�
� �U
a
e
i k� ). (4)
Óðàâíåíèå (4) ÿâëÿåòñÿ êóáè÷åñêèì îòíîñèòåëüíî ïàðàìåòðà d ïð è èìååò
àíàëèòè÷åñêîå ðåøåíèå.
Ââåäåì ñëåäóþùèå îáîçíà÷åíèÿ:
R A U A U
kT eU
m
i
a
i
a e
e
i i
1 1
2
� �
�� �
ó ó
p
( )
�
, R f ki U
a
e
i
2 � �� � ,
R kT eU N
kT eU
m
U
kT
e
U
e i
e
e
i
e
3 03
2
� �
�
�
�
�
�
��
�
�
( ) expp
p
p
�
�
�
��
, (5)
Ìîäåëèðîâàíèå âîëüò-àìïåðíûõ õàðàêòåðèñòèê
ISSN 0204–3572. Ýëåêòðîí. ìîäåëèðîâàíèå. 2012. Ò. 34. ¹ 5 109
R kT eU
p
d
i e
a e
4 0
0
2
1� �
�
�
� �
�
�
��
� �
�
( )p
ï , R R R p Qa ep5 1 2 0 0� .
Òîãäà, èñïîëüçóÿ ôîðìóëó Êîðäàíî [13], ðåøåíèå óðàâíåíèÿ (4) ñ ó÷åòîì
(5) çàïèøåì â âèäå
C
R R R R
R
y � �
� �1 3 1 2
5
, D
R
R
ó � 4
5
, p
C
� � ó
2
3
, q
C
D�
2
27
3
ó
ó ,
D
p q
�
�
�
� �
�
�
�
3 2
3 2
, u
q
D� � �
2
3 , v
q
D� � �
2
3 , y u v� � , d y
C
ïð
ó� �
3
,
(6)
ãäå D — äèñêðèìèíàíò óðàâíåíèÿ (4) ñ ó÷åòîì (5); u è v — âñïîìîãà-
òåëüíûå ïåðåìåííûå [13]. Ïîñêîëüêó âñå êîýôôèöèåíòû â (5) — ïîëîæè-
òåëüíûå ÷èñëà, à äèñêðèìèíàíò D â ñèñòåìå (6) âñåãäà áîëüøå íóëÿ,
óðàâíåíèå (4) âñåãäà èìååò åäèíñòâåííîå äåéñòâèòåëüíîå ðåøåíèå, ïîëó-
÷àåìîå èç ñîîòíîøåíèé (5) è (6) [13].
Ïîëó÷åííûå ñîîòíîøåíèÿ (5), (6) èìåþò áîëüøîå ïðàêòè÷åñêîå çíà-
÷åíèå, òàê êàê ïîçâîëÿþò îöåíèòü ïîëîæåíèå ãðàíèöû àíîäíîé ïëàçìû â
òðèîäíîì ðàçðÿäíîì ïðîìåæóòêå ÂÒÐ è ìîãóò áûòü èñïîëüçîâàíû äëÿ
àíàëèçà ýíåðãåòèêè è ñàìîñîãëàñîâàííîé èîííî-ýëåêòðîííîé îïòèêè âû-
ñîêîâîëüòíîãî òëåþùåãî ðàçðÿäà ïðè ýëåêòðè÷åñêîì óïðàâëåíèè åãî
ïàðàìåòðàìè.
Àíàëèòè÷åñêèå ñîîòíîøåíèÿ äëÿ ðàñ÷åòà âîëüò-àìïåðíûõ õàðàê-
òåðèñòèê íåñàìîñòîÿòåëüíîãî âñïîìîãàòåëüíîãî ðàçðÿäà. Îïðåäåëèâ
èç (5), (6) ïðîäîëüíûé ðàçìåð àíîäíîé ïëàçìû, ìîæíî îïðåäåëèòü
êîíöåíòðàöèþ èîíîâ â àíîäíîé ïëàçìå ÂÒÐ [8]:
n
A U A U f d p Q
i
i
a
i
a
i U
a
a ep
i i i
�
� � � �� � �
ó ó ïð( ) ( ( ( ))1 1 1 1 0 0� � )
( )
( )
(
kT eU
d p
d
N
e kT eU
e
i
a
i
e� �
�
�
� �
�
p
ïð
ï� � �
�
�
2
0
0
2 01 3
p
p
)
exp
2�m
U
kT
e
Ue
i
e
�
�
�
�
�
�
�
�
�
��
�
�
�
��
. (7)
Òîãäà, îïðåäåëÿÿ ýìèññèîííóþ ïëîùàäü ãðàíèöû àíîäíîé ïëàçìû â íå-
ñàìîñòîÿòåëüíîì ðàçðÿäå ñ ïîëûì êàòîäîì êàê ñóììó ïëîùàäåé íèæíåãî
îñíîâàíèÿ è áîêîâîé ïîâåðõíîñòè öèëèíäðà (ñì. ðèñ. 1), ïîëó÷àåì àíàëè-
òè÷åñêîå ñîîòíîøåíèå äëÿ òîêà íåñàìîñòîÿòåëüíîãî ðàçðÿäà:
I en r r d
eU
m
i
i
p ï ï ïp
p� � �� �( ) ( )1 2
2
, r
d
ï
ï�
2
, (8)
È. Â. Ìåëüíèê, Ñ. Á. Òóãàé
110 ISSN 0204–3572. Electronic Modeling. 2012. V. 34. ¹ 5
ãäå mi — ìàññà èîíîâ ðàáî÷åãî ãàçà; ni — êîíöåíòðàöèÿ èîíîâ â àíîäíîé
ïëàçìå, îïðåäåëÿåìàÿ èç (7) ñ ó÷åòîì (5), (6).
Ñîîòíîøåíèÿ (5)—(8) èñïîëüçîâàíû äëÿ ïîëó÷åíèÿ è àíàëèçà âîëüò-
àìïåðíûõ õàðàêòåðèñòèê âñïîìîãàòåëüíîãî ðàçðÿäà â òðèîäíîé ýëåêò-
ðîäíîé ñèñòåìå ÂÒÐ.  ìîäåëèðóåìîé ñèñòåìå ðàñ÷åòû ïðîâåäåíû äëÿ
àëþìèíèåâîãî êàòîäà è ìåäíîãî àíîäà, â êà÷åñòâå ðàáî÷åãî ãàçà ðàññìîò-
ðåí àçîò. Ïðè ïðîâåäåíèè ðàñ÷åòîâ èñïîëüçîâàíû òàêèå êîýôôèöèåíòû [8,
10, 11]:U i �18B;Te �800K; ai �0343, ;� i �1452, ; �i �0 7, ;�U �095, ; f �099, ;
� i 0
4127 10� � �, ì Â ñ2 / � ; Qep0
1953 10� � �, ì �2; Ai � � �38 10 6, ; � � 46, . Ïîëó÷åííûå
çàâèñèìîñòè òîêà âñïîìîãàòåëüíîãî ðàçðÿäà îò íàïðÿæåíèÿ âñïîìîãà-
òåëüíîãî ðàçðÿäà, óñêîðÿþùåãî íàïðÿæåíèÿ è äàâëåíèÿ â ðàçðÿäíîì ïðî-
ìåæóòêå ïðèâåäåíû íà ðèñ. 2.
Àíàëèç ðåçóëüòàòîâ ìîäåëèðîâàíèÿ. Ïîëó÷åííûå âîëüò-àìïåðíûå
õàðàêòåðèñòèêè íåñàìîñòîÿòåëüíîãî ðàçðÿäà èìåþò áîëüøîå ïðàêòè÷åñ-
êîå çíà÷åíèå äëÿ àíàëèçà âîçìîæíîñòè èñïîëüçîâàíèÿ ìåòîäà ýëåêòðè-
÷åñêîãî óïðàâëåíèÿ â òåõíîëîãè÷åñêèõ ýëåêòðîííûõ ïóøêàõ íà îñíîâå
ÂÒÐ. Äëÿ ýòîãî â ïåðâóþ î÷åðåäü íåîáõîäèìî îöåíèòü ìîùíîñòü, ðàñõî-
äóåìóþ íà ïîääåðæàíèå âñïîìîãàòåëüíîãî ðàçðÿäà, è ñðàâíèòü åå ñ ìîù-
íîñòüþ ôîðìèðóåìîãî ýëåêòðîííîãî ïó÷êà. Èìåííî ýòî ñîîòíîøåíèå õà-
ðàêòåðèçóåò ýôôåêòèâíîñòü èñïîëüçîâàíèÿ ìåòîäà ýëåêòðè÷åñêîãî óïðàâ-
ëåíèÿ ìîùíîñòüþ ýëåêòðîííîãî ïó÷êà. Êàê âèäíî èç ïðèâåäåííûõ ðàñ-
÷åòíûõ äàííûõ, ìîùíîñòü, ðàñõîäóåìàÿ íà ïîääåðæàíèå íåñàìîñòîÿòåëü-
íîãî ðàçðÿäà, ñîñòàâëÿåò íå áîëåå 30 Âò ïðè ìîùíîñòè ýëåêòðîííîãî ïó÷êà
ïîðÿäêà äåñÿòêîâ êèëîâàòò.
Ìîäåëèðîâàíèå âîëüò-àìïåðíûõ õàðàêòåðèñòèê
ISSN 0204–3572. Ýëåêòðîí. ìîäåëèðîâàíèå. 2012. Ò. 34. ¹ 5 111
40 50 60 70 80 90 100
0
0 1,
0 2,
0 3,
I Ið ð, ,A A
40 50 60 70 80 90
0 14,
0 18,
0 22,
0 26,
Uð , Â
15 êÂ
Uy= 30 êÂUy= êÂ5 p 0, 5= Ïà
5 êÂ
p = 1,0 Ïà
0,5 Ïà
0,1 Ïà
à á
Ðèñ. 2. Âîëüò-àìïåðíûå õàðàêòåðèñòèêè âñïîìîãàòåëüíîãî ðàçðÿäà ïðè ðàçëè÷íûõ âåëè-
÷èíàõ ðàáî÷åãî äàâëåíèÿ p (à) è óñêîðÿþùåãî íàïðÿæåíèÿ U ó (á)
Òàêèì îáðàçîì, â òðèîäíûõ ñèñòåìàõ ÂÒÐ íà ïîääåðæàíèå âñïîìî-
ãàòåëüíîãî ðàçðÿäà ðàñõîäóåòñÿ íå áîëåå 1 % ïîòðåáëÿåìîé ìîùíîñòè, ò.å.
ê.ï.ä. ýëåêòðîííîé ïóøêè îòíîñèòåëüíî äèîäíîé ñèñòåìû ïðàêòè÷åñêè íå
èçìåíÿåòñÿ. Ó÷èòûâàÿ îïèñàííûå âûøå ïðåèìóùåñòâà ýëåêòðè÷åñêèõ ñèñ-
òåì óïðàâëåíèÿ, ñâÿçàííûå ñ ìàëîé âåëè÷èíîé ïîñòîÿííîé âðåìåíè ðåãó-
ëèðîâàíèÿ òîêà ðàçðÿäà, ìîæíî ñäåëàòü âûâîä î ïåðñïåêòèâíîñòè òðèîä-
íûõ ãàçîðàçðÿäíûõ ïóøåê è öåëåñîîáðàçíîñòè èõ âíåäðåíèÿ â ïðîìûø-
ëåííîå ïðîèçâîäñòâî. Ðàññ÷èòàòü òîê îñíîâíîãî ðàçðÿäà ìîæíî ñ ïîìîùüþ
ñîîòíîøåíèÿ (3).
Èç äàííûõ, ïðèâåäåííûõ íà ðèñ. 2, âèäíî, ÷òî ñ âîçðàñòàíèåì íàïðÿ-
æåíèÿ ãîðåíèÿ íåñàìîñòîÿòåëüíîãî ðàçðÿäà ñêîðîñòü óâåëè÷åíèÿ òîêà ðàç-
ðÿäà çíà÷èòåëüíî óìåíüøàåòñÿ, ò.å. óñòðîéñòâî ïåðåõîäèò â ðåæèì íàñû-
ùåíèÿ. Ýòî îáóñëîâëåíî äâóìÿ âàæíûìè ôàêòîðàìè, ñâÿçàííûìè ñ ôèçè-
êîé ãîðåíèÿ ÂÒÐ. Âî-ïåðâûõ, ïðè íèçêèõ äàâëåíèÿõ (0,1 — 10 Ïà) íå
èìåþò ñóùåñòâåííîãî çíà÷åíèÿ ëàâèííûå ïðîöåññû è ïðîöåññû êîëëåê-
òèâíîãî âçàèìîäåéñòâèÿ çàðÿæåííûõ ÷àñòèö, âñëåäñòâèå êîòîðûõ ìîæåò
ïðîèñõîäèòü íåîãðàíè÷åííîå óâåëè÷åíèå èõ êîíöåíòðàöèè è òîêà ðàçðÿäà
[10, 11]. Âî-âòîðûõ, êàê óñòàíîâëåíî â ðåçóëüòàòå òåîðåòè÷åñêîãî àíàëèçà,
îãðàíè÷åíèå ñêîðîñòè ðîñòà òîêà ðàçðÿäà îáóñëîâëåíî îñîáåííîñòÿìè
ïåðåìåùåíèÿ ãðàíèöû ïëàçìû ïðè èçìåíåíèè óñêîðÿþùåãî íàïðÿæåíèÿ.
Ïðè ìàëûõ íàïðÿæåíèÿõ âñïîìîãàòåëüíîãî ðàçðÿäà ñ óâåëè÷åíèåì
íàïðÿæåíèÿ óâåëè÷èâàåòñÿ îáúåì àíîäíîé ïëàçìû, è óâåëè÷åíèå êîí-
öåíòðàöèè èîíîâ ïðîèñõîäèò äâóìÿ ñïîñîáàìè: â ðåçóëüòàòå âîçðàñòàíèÿ
ñòåïåíè èîíèçàöèè ãàçà è â ðåçóëüòàòå óâåëè÷åíèÿ îáúåìà èîíèçèðîâàí-
íîãî ãàçà. Îäíàêî ýòî ïðîèñõîäèò òîëüêî äî òåõ ïîð, ïîêà ðàññòîÿíèå
ìåæäó ãðàíèöåé ïëàçìû è êàòîäîì ÂÒÐ ïðåâûøàåò ïîïåðå÷íûé ðàçìåð
ðàçðÿäíîãî ïðîìåæóòêà. Ïðè âûïîëíåíèè óñëîâèÿ d dê. ïë ï� ïîëîæåíèå
ãðàíèöû àíîäíîé ïëàçìû ñòàáèëèçèðóåòñÿ è â äàëüíåéøåì, ïðè âîçðàñòà-
íèè íàïðÿæåíèÿ ãîðåíèÿ âñïîìîãàòåëüíîãî ðàçðÿäà, îáúåì àíîäíîé ïëàç-
ìû íå óâåëè÷èâàåòñÿ.  ýòîì ñëó÷àå óâåëè÷åíèå òîêà ðàçðÿäà ïðîèñõîäèò
òîëüêî âñëåäñòâèå óâåëè÷åíèÿ ñòåïåíè èîíèçàöèè ãàçà.
Îòñóòñòâèå ëàâèíîîáðàçíûõ ïðîöåññîâ è ðåæèì íàñûùåíèÿ äëÿ íåñà-
ìîñòîÿòåëüíîãî ðàçðÿäà îáóñëîâëèâàþò âûñîêóþ ñòàáèëüíîñòü åãî ãîðåíèÿ,
÷òî êðàéíå âàæíî äëÿ îáåñïå÷åíèÿ óñòîé÷èâîé ðàáîòû òåõíîëîãè÷åñêèõ ãàçî-
ðàçðÿäíûõ ïóøåê â ñîñòàâå ýëåêòðîííî-ëó÷åâîãî îáîðóäîâàíèÿ. Ðåçóëüòàòû
ïðîâåäåííûõ èññëåäîâàíèé ñâèäåòåëüñòâóþò î òîì, ÷òî èçìåíåíèå äàâëåíèÿ
â çíà÷èòåëüíî áîëüøåé ñòåïåíè âëèÿåò íà òîê íåñàìîñòîÿòåëüíîãî ðàçðÿäà,
÷åì èçìåíåíèå óñêîðÿþùåãî íàïðÿæåíèÿ. Ïîýòîìó ïðè ïðîåêòèðîâàíèè ñèñ-
òåì ýëåêòðè÷åñêîãî óïðàâëåíèÿ ïàðàìåòðàìè òðèîäíûõ ãàçîðàçðÿäíûõ ïó-
øåê íåîáõîäèìî ñòàáèëèçèðîâàòü ðàáî÷åå äàâëåíèå â êàìåðå ïóøêè [4].
È. Â. Ìåëüíèê, Ñ. Á. Òóãàé
112 ISSN 0204–3572. Electronic Modeling. 2012. V. 34. ¹ 5
Ïîëó÷åííûå ðåçóëüòàòû èìåþò áîëüøîå òåîðåòè÷åñêîå è ïðàêòè÷åñ-
êîå çíà÷åíèå íå òîëüêî äëÿ îöåíêè ýíåðãåòèêè è ðàñ÷åòà âîëüò-àìïåðíûõ
õàðàêòåðèñòèê âñïîìîãàòåëüíîãî ðàçðÿäà, íî è äëÿ àíàëèçà ñàìîñîãëà-
ñîâàííîé ýëåêòðîííî-èîííîé îïòèêè â òðèîäíûõ ñèñòåìàõ ÂÒÐ.
Ýíåðãåòè÷åñêàÿ ýôôåêòèâíîñòü òðèîäíûõ ãàçîðàçðÿäíûõ ïóøåê ïðàêòè-
÷åñêè íå îòëè÷àåòñÿ îò ýôôåêòèâíîñòè àíàëîãè÷íûõ äèîäíûõ ñèñòåì, èñ-
ïîëüçóåìûõ â ïðîìûøëåííîñòè. Îäíàêî ïðè ýòîì ñòàáèëüíîñòü ðàáîòû òðè-
îäíûõ ãàçîðàçðÿäíûõ ïóøåê âûøå, ÷åì ó ñîîòâåòñòâóþùèõ äèîäíûõ àíà-
ëîãîâ, à èõ òåõíîëîãè÷åñêèå âîçìîæíîñòè â áîëüøåé ñòåïåíè ñîîòâåòñòâóþò
óðîâíþ ðàçâèòèÿ ñîâðåìåííûõ ýëåêòðîííî-ëó÷åâûõ òåõíîëîãèé.
Âûâîäû
 ðåçóëüòàòå ðåøåíèÿ óðàâíåíèÿ áàëàíñà çàðÿæåííûõ ÷àñòèö â àíîäíîé
ïëàçìå è óðàâíåíèÿ äëÿ óñëîâèÿ ñàìîñòîÿòåëüíîñòè ãîðåíèÿ ÂÒÐ ïîëó-
÷åíû àíàëèòè÷åñêèå ñîîòíîøåíèÿ, îïèñûâàþùèå çàâèñèìîñòü òîêà âñïî-
ìîãàòåëüíîãî ðàçðÿäà îò íàïðÿæåíèÿ åãî ãîðåíèÿ, à òàêæå îò äàâëåíèÿ â
ðàçðÿäíîì ïðîìåæóòêå è óñêîðÿþùåãî íàïðÿæåíèÿ äëÿ òðèîäíûõ ñèñòåì
ÂÒÐ.
Äîñòîèíñòâàìè ïðåäëîæåííîé ìîäåëè ÿâëÿþòñÿ åå ïðîñòîòà è óíè-
âåðñàëüíîñòü. Ðåçóëüòàòû ìîäåëèðîâàíèÿ ïîçâîëÿþò ñäåëàòü âûâîä î òîì,
÷òî â òðèîäíûõ ãàçîðàçðÿäíûõ ýëåêòðîííûõ ïóøêàõ ìîùíîñòü âñïîìîãà-
òåëüíîãî ðàçðÿäà ñîñòàâëÿåò íå áîëåå 1% ìîùíîñòè îñíîâíîãî, îäíàêî ïðè
ýòîì ñòàáèëüíîñòü èõ ðàáîòû çíà÷èòåëüíî âûøå, ÷åì äèîäíûõ.  ñâÿçè ñ
ýòèì ðàáîòà òðèîäíûõ ãàçîðàçðÿäíûõ ýëåêòðîííûõ ïóøåê â ñîñòàâå ýëåêò-
ðîííî-ëó÷åâîãî òåõíîëîãè÷åñêîãî îáîðóäîâàíèÿ îòëè÷àåòñÿ áîëåå âûñîêîé
ñòàáèëüíîñòüþ è èõ òåõíîëîãè÷åñêèå âîçìîæíîñòè ñîîòâåòñòâóþò óðîâíþ
ðàçâèòèÿ ñîâðåìåííûõ ýëåêòðîííî-ëó÷åâûõ òåõíîëîãèé. Îñîáåííî øèðîêèå
ïåðñïåêòèâû äëÿ ðàçâèòèÿ ýëåêòðîííî-ëó÷åâûõ òåõíîëîãèé îòêðûâàþòñÿ ïðè
èñïîëüçîâàíèè èìïóëüñíîãî ðåæèìà ðàáîòû òðèîäíûõ ãàçîðàçðÿäíûõ ýëåêò-
ðîííûõ ïóøåê.
Analytical relations, which allow calculating energy parameters of additional discharge in triode
high-voltage glow discharge electron guns, are given in this article. The proposed calculation
technique is based on analyzing of ions balance in the anode plasma of high-voltage glow dis-
charge on condition of its burning independence. Main advantages of the proposed model are its
simplicity and generality. The results of simulation show, that in triode glow discharge electron
guns power of additional discharge is lower than 1% relative to that of the main discharge. How-
ever, the stability of operation of triode glow discharge electron guns is considerably greater, than
for diode ones. The performed investigations have confirmed the promising character of elabora-
tion of triode glow discharge electron guns and their introduction into industry.
Ìîäåëèðîâàíèå âîëüò-àìïåðíûõ õàðàêòåðèñòèê
ISSN 0204–3572. Ýëåêòðîí. ìîäåëèðîâàíèå. 2012. Ò. 34. ¹ 5 113
1. Ïëàçìåííûå ïðîöåññû â òåõíîëîãè÷åñêèõ ýëåêòðîííûõ ïóøêàõ / Çàâüÿëîâ Ì.À,
Êðåéíäåëü Þ. Å., Íîâèêîâ À. À., Øàíòóðèí Ë. Ï. — Ì. : Ýíåðãîàòîìèçäàò, 1989. —
256 ñ.
2. Ëàäîõèí Ñ. Â., Ëåâèöêèé Í. È., ×åðíÿâñêèé Â. Á. è äð. Ýëåêòðîííî-ëó÷åâàÿ ïëàâêà â ëè-
òåéíîì ïðîèçâîäñòâå. — Êèåâ : «Ñòàëü», 2007. — 605 ñ.
3. Äåíáíîâåöêèé Ñ. Â., Ìåëüíèê Â. È., Ìåëüíèê È. Â., Òóãàé Á. À. Ãàçîðàçðÿäíûå ýëåêòðîí-
íûå ïóøêè è èõ ïðèìåíåíèå â ïðîìûøëåííîñòè// Ýëåêòðîíèêà è ñâÿçü. Òåì. âûï.
«Ïðîáëåìû ýëåêòðîíèêè». ×. 2. — Êèåâ : Èçä-âî «Ïîëèòåõíèêà», 2005. — Ñ. 84 — 87.
4. Ìåëüíèê È. Â., Òóãàé Á. À., Òóãàé Ñ. Á. Ïîâûøåíèå ñòàáèëüíîñòè ðàáîòû ýëåêòðîìàã-
íèòíîãî íàòåêàòåëÿ â ñèñòåìå àâòîìàòè÷åñêîãî óïðàâëåíèÿ òîêîì ãàçîðàçðÿäíîé
ïóøêè // Ýëåêòðîíèêà è ñâÿçü. — 2002. — ¹ 14. — Ñ. 172—175.
5. Øèëëåð Ç., Ãàéçèã Ó., Ïàíöåð Ç. Ýëåêòðîííî-ëó÷åâûå òåõíîëîãèè. — Ì. : Ýíåðãèÿ,
1980. — 528 ñ.
6. Denbnovetsky S. V, Melnik V. I., Melnik I. V., Tugay B. A. Investigation of Forming of Elec-
tron Beam in Glow Discharge Electron Guns with Additional Electrode// XVIII-th Intern.
Symposium on Discharges and Electrical Insulation in Vacuum (XVIII ISDEIV). August
17—21, 1998. The Netherlands, Proceedings. Vol. 2. — Eindhoven Technical University
Edition, 1998. — P. 637 — 640.
7. Ìåëüíèê È. Â., Òóãàé Ñ. Á. Ìîäåëèðîâàíèå ãåîìåòðèè ãðàíèöû àíîäíîé ïëàçìû â
òðèîäíûõ ýëåêòðîäíûõ ñèñòåìàõ âûñîêîâîëüòíîãî òëåþùåãî ðàçðÿäà. // Ýëåêòðîí.
ìîäåëèðîâàíèå. — 2012. — 34, ¹ 1.— Ñ. 15—28.
8. Íîâèêîâ À. À. Èñòî÷íèêè ýëåêòðîíîâ âûñîêîâîëüòíîãî òëåþùåãî ðàçðÿäà ñ àíîäíîé
ïëàçìîé. — Ì. : Ýíåðãîàòîìèçäàò, 1983. — 96 ñ.
9. Denbnovetsky S. V., Felba J., Melnik V. I., Melnik I. V. Model Of Beam Formation in a
Glow Discharge Electron Gun with a Cold Cathode // Applied Surface Science. — 1997. —
111. — P. 288—294.
10. Ðàéçåð Þ. Ï. Ôèçèêà ãàçîâîãî ðàçðÿäà: Ó÷åá. ðóêîâîäñòâî. — Ì. : Íàóêà, 1987. —
592 ñ.
11. Ãðàíîâñêèé Â. Ë. Ýëåêòðè÷åñêèé òîê â ãàçå. Óñòàíîâèâøèéñÿ òîê. — Ì.: Íàóêà, 1971. —
544 ñ.
12. Ìåëüíèê È. Â. Êëàññèôèêàöèÿ ìîäåëåé ýëåêòðîííî-îïòè÷åñêèõ ñèñòåì ñ òî÷êè çðåíèÿ
ìåòîäîëîãèè ÑÀÏÐ // Ýëåêòðîíèêà è ñâÿçü. — 2007. — 37, ¹ 2 . — Ñ. 20—31.
13. Áðîíøòåéí È. Í., Ñåìåíäÿåâ Ê. À. Ñïðàâî÷íèê ïî ìàòåìàòèêå äëÿ èíæåíåðîâ è ó÷à-
ùèõñÿ âòóçîâ. — Ì. : Íàóêà, 1981. — 720 ñ.
Ïîñòóïèëà 02.07.12
ÌÅËÜÍÈÊ Èãîðü Âèòàëüåâè÷, ä-ð òåõí. íàóê, äîöåíò êàôåäðû ýëåêòðîííûõ ïðèáîðîâ è
óñòðîéñòâ Íàöèîíàëüíîãî òåõíè÷åñêîãî óíèâåðñèòåòà Óêðàèíû «Êèåâñêèé ïîëèòåõíè÷åñêèé
èí-ò».  1989 ã. îêîí÷èë Êèåâñêèé ïîëèòåõíè÷åñêèé èí-ò. Îáëàñòü íàó÷íûõ èññëåäîâàíèé —
ìîäåëèðîâàíèå ýëåêòðîííî-ëó÷åâûõ òåõíîëîãè÷åñêèõ óñòðîéñòâ, òåîðèÿ ãàçîâîãî ðàçðÿäà,
ïðîãðàììèðîâàíèå è òåîðèÿ àëãîðèòìîâ.
ÒÓÃÀÉ Ñåðãåé Áîðèñîâè÷, àñïèðàíò êàôåäðû ýëåêòðîííûõ ïðèáîðîâ è óñòðîéñòâ Íàöèî-
íàëüíîãî òåõíè÷åñêîãî óíèâåðñèòåòà Óêðàèíû «Êèåâñêèé ïîëèòåõíè÷åñêèé èí-ò», êîòîðûé
îêîí÷èë â 2002 ãîäó. Îáëàñòü íàó÷íûõ èññëåäîâàíèé — ìîäåëèðîâàíèå è ïðîåêòèðîâàíèå
ýëåêòðîííî-ëó÷åâûõ òåõíîëîãè÷åñêèõ óñòðîéñòâ, ñèñòåìû óïðàâëåíèÿ ýëåêòðîííî-ëó÷åâûì
òåõíîëîãè÷åñêèì îáîðóäîâàíèåì.
È. Â. Ìåëüíèê, Ñ. Á. Òóãàé
114 ISSN 0204–3572. Electronic Modeling. 2012. V. 34. ¹ 5
<<
/ASCII85EncodePages false
/AllowTransparency false
/AutoPositionEPSFiles true
/AutoRotatePages /None
/Binding /Left
/CalGrayProfile (Dot Gain 20%)
/CalRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1)
/CalCMYKProfile (U.S. Web Coated \050SWOP\051 v2)
/sRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1)
/CannotEmbedFontPolicy /Error
/CompatibilityLevel 1.4
/CompressObjects /Tags
/CompressPages true
/ConvertImagesToIndexed true
/PassThroughJPEGImages true
/CreateJDFFile false
/CreateJobTicket false
/DefaultRenderingIntent /Default
/DetectBlends true
/DetectCurves 0.0000
/ColorConversionStrategy /CMYK
/DoThumbnails false
/EmbedAllFonts true
/EmbedOpenType false
/ParseICCProfilesInComments true
/EmbedJobOptions true
/DSCReportingLevel 0
/EmitDSCWarnings false
/EndPage -1
/ImageMemory 1048576
/LockDistillerParams false
/MaxSubsetPct 100
/Optimize true
/OPM 1
/ParseDSCComments true
/ParseDSCCommentsForDocInfo true
/PreserveCopyPage true
/PreserveDICMYKValues true
/PreserveEPSInfo true
/PreserveFlatness true
/PreserveHalftoneInfo false
/PreserveOPIComments true
/PreserveOverprintSettings true
/StartPage 1
/SubsetFonts true
/TransferFunctionInfo /Apply
/UCRandBGInfo /Preserve
/UsePrologue false
/ColorSettingsFile ()
/AlwaysEmbed [ true
]
/NeverEmbed [ true
]
/AntiAliasColorImages false
/CropColorImages true
/ColorImageMinResolution 300
/ColorImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleColorImages true
/ColorImageDownsampleType /Bicubic
/ColorImageResolution 300
/ColorImageDepth -1
/ColorImageMinDownsampleDepth 1
/ColorImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeColorImages true
/ColorImageFilter /DCTEncode
/AutoFilterColorImages true
/ColorImageAutoFilterStrategy /JPEG
/ColorACSImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/ColorImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/JPEG2000ColorACSImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/JPEG2000ColorImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/AntiAliasGrayImages false
/CropGrayImages true
/GrayImageMinResolution 300
/GrayImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleGrayImages true
/GrayImageDownsampleType /Bicubic
/GrayImageResolution 300
/GrayImageDepth -1
/GrayImageMinDownsampleDepth 2
/GrayImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeGrayImages true
/GrayImageFilter /DCTEncode
/AutoFilterGrayImages true
/GrayImageAutoFilterStrategy /JPEG
/GrayACSImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/GrayImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/JPEG2000GrayACSImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/JPEG2000GrayImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/AntiAliasMonoImages false
/CropMonoImages true
/MonoImageMinResolution 1200
/MonoImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleMonoImages true
/MonoImageDownsampleType /Bicubic
/MonoImageResolution 1200
/MonoImageDepth -1
/MonoImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeMonoImages true
/MonoImageFilter /CCITTFaxEncode
/MonoImageDict <<
/K -1
>>
/AllowPSXObjects false
/CheckCompliance [
/None
]
/PDFX1aCheck false
/PDFX3Check false
/PDFXCompliantPDFOnly false
/PDFXNoTrimBoxError true
/PDFXTrimBoxToMediaBoxOffset [
0.00000
0.00000
0.00000
0.00000
]
/PDFXSetBleedBoxToMediaBox true
/PDFXBleedBoxToTrimBoxOffset [
0.00000
0.00000
0.00000
0.00000
]
/PDFXOutputIntentProfile ()
/PDFXOutputConditionIdentifier ()
/PDFXOutputCondition ()
/PDFXRegistryName ()
/PDFXTrapped /False
/Description <<
/CHS <FEFF4f7f75288fd94e9b8bbe5b9a521b5efa7684002000410064006f006200650020005000440046002065876863900275284e8e9ad88d2891cf76845370524d53705237300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c676562535f00521b5efa768400200050004400460020658768633002>
/CHT <FEFF4f7f752890194e9b8a2d7f6e5efa7acb7684002000410064006f006200650020005000440046002065874ef69069752865bc9ad854c18cea76845370524d5370523786557406300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c4f86958b555f5df25efa7acb76840020005000440046002065874ef63002>
/DAN <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>
/DEU <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>
/ESP <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>
/FRA <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>
/ITA <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>
/JPN <FEFF9ad854c18cea306a30d730ea30d730ec30b951fa529b7528002000410064006f0062006500200050004400460020658766f8306e4f5c6210306b4f7f75283057307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103055308c305f0020005000440046002030d530a130a430eb306f3001004100630072006f0062006100740020304a30883073002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d3067958b304f30533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a306b306f30d530a930f330c8306e57cb30818fbc307f304c5fc59808306730593002>
/KOR <FEFFc7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020ace0d488c9c80020c2dcd5d80020c778c1c4c5d00020ac00c7a50020c801d569d55c002000410064006f0062006500200050004400460020bb38c11cb97c0020c791c131d569b2c8b2e4002e0020c774b807ac8c0020c791c131b41c00200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002e>
/NLD (Gebruik deze instellingen om Adobe PDF-documenten te maken die zijn geoptimaliseerd voor prepress-afdrukken van hoge kwaliteit. De gemaakte PDF-documenten kunnen worden geopend met Acrobat en Adobe Reader 5.0 en hoger.)
/NOR <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>
/PTB <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>
/SUO <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>
/SVE <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>
/ENU (Use these settings to create Adobe PDF documents best suited for high-quality prepress printing. Created PDF documents can be opened with Acrobat and Adobe Reader 5.0 and later.)
>>
/Namespace [
(Adobe)
(Common)
(1.0)
]
/OtherNamespaces [
<<
/AsReaderSpreads false
/CropImagesToFrames true
/ErrorControl /WarnAndContinue
/FlattenerIgnoreSpreadOverrides false
/IncludeGuidesGrids false
/IncludeNonPrinting false
/IncludeSlug false
/Namespace [
(Adobe)
(InDesign)
(4.0)
]
/OmitPlacedBitmaps false
/OmitPlacedEPS false
/OmitPlacedPDF false
/SimulateOverprint /Legacy
>>
<<
/AddBleedMarks false
/AddColorBars false
/AddCropMarks false
/AddPageInfo false
/AddRegMarks false
/ConvertColors /ConvertToCMYK
/DestinationProfileName ()
/DestinationProfileSelector /DocumentCMYK
/Downsample16BitImages true
/FlattenerPreset <<
/PresetSelector /MediumResolution
>>
/FormElements false
/GenerateStructure false
/IncludeBookmarks false
/IncludeHyperlinks false
/IncludeInteractive false
/IncludeLayers false
/IncludeProfiles false
/MultimediaHandling /UseObjectSettings
/Namespace [
(Adobe)
(CreativeSuite)
(2.0)
]
/PDFXOutputIntentProfileSelector /DocumentCMYK
/PreserveEditing true
/UntaggedCMYKHandling /LeaveUntagged
/UntaggedRGBHandling /UseDocumentProfile
/UseDocumentBleed false
>>
]
>> setdistillerparams
<<
/HWResolution [2400 2400]
/PageSize [612.000 792.000]
>> setpagedevice
|