Структурні та механічні властивості аморфних і полікристалічних плівок B₄C

• Опубліковано в: : Наноструктурное материаловедение
• Дата: 2009
• Автори: Куликовський, B.Ю., Іващенко, В.І., Даниленко, М.І., Vorlicek, V., Ctvrtlik, R., Stranyanek, M., Іващенко Л.А.
• Формат: Стаття
• Мова: Українська
• Опубліковано: Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України 2009
• Теми: Тонкие пленки и другие двумерные объекты
• Онлайн доступ: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/62641
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Структурні та механічні властивості аморфних і полікристалічних плівок B₄C / B.Ю. Куликовський, В.І. Іващенко, М.І. Даниленко, V. Vorlicek, R. Ctvrtlik, M. Stranyanek, Л.А. Іващенко // Наноструктурное материаловедение. — 2009. — № 2. — С. 83-92. — Бібліогр.: 20 назв. — укр.

Магнетронним розпиленням мішені B₄C виготовлено аморфні та кристалічні плівки. Досліджено їхній склад, твердість, модуль пружності, внутрішні напругий структуру залежно від зміщення на підкладці та її температури. Магнетронным распылением мишени B₄C приготовлены аморфные и кристаллические пленки. Исследовали их состав, твердость, модуль упругости, внутренние напряжения и структуру в зависимости от смещения на подложке иее температуры. Amorphous and crystalline B₄C films were prepared by magnetron sputtering. Film composition, hardness, elastic module, internal tensions and structure were studded depending on substrate bias and substrate temperature (TS). It was established that hardness and elastic module decrease