Структурні та механічні властивості аморфних і полікристалічних плівок B₄C
Магнетронним розпиленням мішені B₄C виготовлено аморфні та кристалічні плівки. Досліджено їхній склад, твердість, модуль пружності, внутрішні напругий структуру залежно від зміщення на підкладці та її температури. Магнетронным распылением мишени B₄C приготовлены аморфные и кристаллические пленки. Ис...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Наноструктурное материаловедение |
|---|---|
| Datum: | 2009 |
| Hauptverfasser: | , , , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Ukrainisch |
| Veröffentlicht: |
Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України
2009
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/62641 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Структурні та механічні властивості аморфних і полікристалічних плівок B₄C / B.Ю. Куликовський, В.І. Іващенко, М.І. Даниленко, V. Vorlicek, R. Ctvrtlik, M. Stranyanek, Л.А. Іващенко // Наноструктурное материаловедение. — 2009. — № 2. — С. 83-92. — Бібліогр.: 20 назв. — укр. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862726055666647040 |
|---|---|
| author | Куликовський, B.Ю. Іващенко, В.І. Даниленко, М.І. Vorlicek, V. Ctvrtlik, R. Stranyanek, M. Іващенко Л.А. |
| author_facet | Куликовський, B.Ю. Іващенко, В.І. Даниленко, М.І. Vorlicek, V. Ctvrtlik, R. Stranyanek, M. Іващенко Л.А. |
| citation_txt | Структурні та механічні властивості аморфних і полікристалічних плівок B₄C / B.Ю. Куликовський, В.І. Іващенко, М.І. Даниленко, V. Vorlicek, R. Ctvrtlik, M. Stranyanek, Л.А. Іващенко // Наноструктурное материаловедение. — 2009. — № 2. — С. 83-92. — Бібліогр.: 20 назв. — укр. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Наноструктурное материаловедение |
| description | Магнетронним розпиленням мішені B₄C виготовлено аморфні та кристалічні плівки. Досліджено їхній склад, твердість, модуль пружності, внутрішні напругий структуру залежно від зміщення на підкладці та її температури.
Магнетронным распылением мишени B₄C приготовлены аморфные и кристаллические пленки. Исследовали их состав, твердость, модуль упругости, внутренние напряжения и структуру в зависимости от смещения на подложке иее температуры.
Amorphous and crystalline B₄C films were prepared by magnetron sputtering. Film composition, hardness, elastic module, internal tensions and structure were studded depending on substrate bias and substrate temperature (TS). It was established that hardness and elastic module decrease
|
| first_indexed | 2025-12-07T18:55:19Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-62641 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1996-9988 |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2025-12-07T18:55:19Z |
| publishDate | 2009 |
| publisher | Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Куликовський, B.Ю. Іващенко, В.І. Даниленко, М.І. Vorlicek, V. Ctvrtlik, R. Stranyanek, M. Іващенко Л.А. 2014-05-23T19:51:04Z 2014-05-23T19:51:04Z 2009 Структурні та механічні властивості аморфних і полікристалічних плівок B₄C / B.Ю. Куликовський, В.І. Іващенко, М.І. Даниленко, V. Vorlicek, R. Ctvrtlik, M. Stranyanek, Л.А. Іващенко // Наноструктурное материаловедение. — 2009. — № 2. — С. 83-92. — Бібліогр.: 20 назв. — укр. 1996-9988 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/62641 539.217.23.4.461 Магнетронним розпиленням мішені B₄C виготовлено аморфні та кристалічні плівки. Досліджено їхній склад, твердість, модуль пружності, внутрішні напругий структуру залежно від зміщення на підкладці та її температури. Магнетронным распылением мишени B₄C приготовлены аморфные и кристаллические пленки. Исследовали их состав, твердость, модуль упругости, внутренние напряжения и структуру в зависимости от смещения на подложке иее температуры. Amorphous and crystalline B₄C films were prepared by magnetron sputtering. Film composition, hardness, elastic module, internal tensions and structure were studded depending on substrate bias and substrate temperature (TS). It was established that hardness and elastic module decrease uk Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України Наноструктурное материаловедение Тонкие пленки и другие двумерные объекты Структурні та механічні властивості аморфних і полікристалічних плівок B₄C Article published earlier |
| spellingShingle | Структурні та механічні властивості аморфних і полікристалічних плівок B₄C Куликовський, B.Ю. Іващенко, В.І. Даниленко, М.І. Vorlicek, V. Ctvrtlik, R. Stranyanek, M. Іващенко Л.А. Тонкие пленки и другие двумерные объекты |
| title | Структурні та механічні властивості аморфних і полікристалічних плівок B₄C |
| title_full | Структурні та механічні властивості аморфних і полікристалічних плівок B₄C |
| title_fullStr | Структурні та механічні властивості аморфних і полікристалічних плівок B₄C |
| title_full_unstemmed | Структурні та механічні властивості аморфних і полікристалічних плівок B₄C |
| title_short | Структурні та механічні властивості аморфних і полікристалічних плівок B₄C |
| title_sort | структурні та механічні властивості аморфних і полікристалічних плівок b₄c |
| topic | Тонкие пленки и другие двумерные объекты |
| topic_facet | Тонкие пленки и другие двумерные объекты |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/62641 |
| work_keys_str_mv | AT kulikovsʹkiibû strukturnítamehaníčnívlastivostíamorfnihípolíkristalíčnihplívokb4c AT ívaŝenkoví strukturnítamehaníčnívlastivostíamorfnihípolíkristalíčnihplívokb4c AT danilenkomí strukturnítamehaníčnívlastivostíamorfnihípolíkristalíčnihplívokb4c AT vorlicekv strukturnítamehaníčnívlastivostíamorfnihípolíkristalíčnihplívokb4c AT ctvrtlikr strukturnítamehaníčnívlastivostíamorfnihípolíkristalíčnihplívokb4c AT stranyanekm strukturnítamehaníčnívlastivostíamorfnihípolíkristalíčnihplívokb4c AT ívaŝenkola strukturnítamehaníčnívlastivostíamorfnihípolíkristalíčnihplívokb4c |