Структурні та механічні властивості аморфних і полікристалічних плівок B₄C
Магнетронним розпиленням мішені B₄C виготовлено аморфні та кристалічні плівки. Досліджено їхній склад, твердість, модуль пружності, внутрішні напругий структуру залежно від зміщення на підкладці та її температури. Магнетронным распылением мишени B₄C приготовлены аморфные и кристаллические пленки. Ис...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Наноструктурное материаловедение |
|---|---|
| Дата: | 2009 |
| Автори: | , , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Ukrainian |
| Опубліковано: |
Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України
2009
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/62641 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Структурні та механічні властивості аморфних і полікристалічних плівок B₄C / B.Ю. Куликовський, В.І. Іващенко, М.І. Даниленко, V. Vorlicek, R. Ctvrtlik, M. Stranyanek, Л.А. Іващенко // Наноструктурное материаловедение. — 2009. — № 2. — С. 83-92. — Бібліогр.: 20 назв. — укр. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-62641 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Куликовський, B.Ю. Іващенко, В.І. Даниленко, М.І. Vorlicek, V. Ctvrtlik, R. Stranyanek, M. Іващенко Л.А. 2014-05-23T19:51:04Z 2014-05-23T19:51:04Z 2009 Структурні та механічні властивості аморфних і полікристалічних плівок B₄C / B.Ю. Куликовський, В.І. Іващенко, М.І. Даниленко, V. Vorlicek, R. Ctvrtlik, M. Stranyanek, Л.А. Іващенко // Наноструктурное материаловедение. — 2009. — № 2. — С. 83-92. — Бібліогр.: 20 назв. — укр. 1996-9988 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/62641 539.217.23.4.461 Магнетронним розпиленням мішені B₄C виготовлено аморфні та кристалічні плівки. Досліджено їхній склад, твердість, модуль пружності, внутрішні напругий структуру залежно від зміщення на підкладці та її температури. Магнетронным распылением мишени B₄C приготовлены аморфные и кристаллические пленки. Исследовали их состав, твердость, модуль упругости, внутренние напряжения и структуру в зависимости от смещения на подложке иее температуры. Amorphous and crystalline B₄C films were prepared by magnetron sputtering. Film composition, hardness, elastic module, internal tensions and structure were studded depending on substrate bias and substrate temperature (TS). It was established that hardness and elastic module decrease uk Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України Наноструктурное материаловедение Тонкие пленки и другие двумерные объекты Структурні та механічні властивості аморфних і полікристалічних плівок B₄C Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Структурні та механічні властивості аморфних і полікристалічних плівок B₄C |
| spellingShingle |
Структурні та механічні властивості аморфних і полікристалічних плівок B₄C Куликовський, B.Ю. Іващенко, В.І. Даниленко, М.І. Vorlicek, V. Ctvrtlik, R. Stranyanek, M. Іващенко Л.А. Тонкие пленки и другие двумерные объекты |
| title_short |
Структурні та механічні властивості аморфних і полікристалічних плівок B₄C |
| title_full |
Структурні та механічні властивості аморфних і полікристалічних плівок B₄C |
| title_fullStr |
Структурні та механічні властивості аморфних і полікристалічних плівок B₄C |
| title_full_unstemmed |
Структурні та механічні властивості аморфних і полікристалічних плівок B₄C |
| title_sort |
структурні та механічні властивості аморфних і полікристалічних плівок b₄c |
| author |
Куликовський, B.Ю. Іващенко, В.І. Даниленко, М.І. Vorlicek, V. Ctvrtlik, R. Stranyanek, M. Іващенко Л.А. |
| author_facet |
Куликовський, B.Ю. Іващенко, В.І. Даниленко, М.І. Vorlicek, V. Ctvrtlik, R. Stranyanek, M. Іващенко Л.А. |
| topic |
Тонкие пленки и другие двумерные объекты |
| topic_facet |
Тонкие пленки и другие двумерные объекты |
| publishDate |
2009 |
| language |
Ukrainian |
| container_title |
Наноструктурное материаловедение |
| publisher |
Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України |
| format |
Article |
| description |
Магнетронним розпиленням мішені B₄C виготовлено аморфні та кристалічні плівки. Досліджено їхній склад, твердість, модуль пружності, внутрішні напругий структуру залежно від зміщення на підкладці та її температури.
Магнетронным распылением мишени B₄C приготовлены аморфные и кристаллические пленки. Исследовали их состав, твердость, модуль упругости, внутренние напряжения и структуру в зависимости от смещения на подложке иее температуры.
Amorphous and crystalline B₄C films were prepared by magnetron sputtering. Film composition, hardness, elastic module, internal tensions and structure were studded depending on substrate bias and substrate temperature (TS). It was established that hardness and elastic module decrease
|
| issn |
1996-9988 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/62641 |
| citation_txt |
Структурні та механічні властивості аморфних і полікристалічних плівок B₄C / B.Ю. Куликовський, В.І. Іващенко, М.І. Даниленко, V. Vorlicek, R. Ctvrtlik, M. Stranyanek, Л.А. Іващенко // Наноструктурное материаловедение. — 2009. — № 2. — С. 83-92. — Бібліогр.: 20 назв. — укр. |
| work_keys_str_mv |
AT kulikovsʹkiibû strukturnítamehaníčnívlastivostíamorfnihípolíkristalíčnihplívokb4c AT ívaŝenkoví strukturnítamehaníčnívlastivostíamorfnihípolíkristalíčnihplívokb4c AT danilenkomí strukturnítamehaníčnívlastivostíamorfnihípolíkristalíčnihplívokb4c AT vorlicekv strukturnítamehaníčnívlastivostíamorfnihípolíkristalíčnihplívokb4c AT ctvrtlikr strukturnítamehaníčnívlastivostíamorfnihípolíkristalíčnihplívokb4c AT stranyanekm strukturnítamehaníčnívlastivostíamorfnihípolíkristalíčnihplívokb4c AT ívaŝenkola strukturnítamehaníčnívlastivostíamorfnihípolíkristalíčnihplívokb4c |
| first_indexed |
2025-12-07T18:55:19Z |
| last_indexed |
2025-12-07T18:55:19Z |
| _version_ |
1850876855166435328 |