Структурні та механічні властивості аморфних і полікристалічних плівок B₄C

• Veröffentlicht in: Наноструктурное материаловедение
• Datum: 2009
• Hauptverfasser: Куликовський, B.Ю., Іващенко, В.І., Даниленко, М.І., Vorlicek, V., Ctvrtlik, R., Stranyanek, M., Іващенко Л.А.
• Format: Artikel
• Sprache: Ukrainian
• Veröffentlicht: Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України 2009
• Schlagworte: Тонкие пленки и другие двумерные объекты
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/62641
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Структурні та механічні властивості аморфних і полікристалічних плівок B₄C / B.Ю. Куликовський, В.І. Іващенко, М.І. Даниленко, V. Vorlicek, R. Ctvrtlik, M. Stranyanek, Л.А. Іващенко // Наноструктурное материаловедение. — 2009. — № 2. — С. 83-92. — Бібліогр.: 20 назв. — укр.

Магнетронним розпиленням мішені B₄C виготовлено аморфні та кристалічні плівки. Досліджено їхній склад, твердість, модуль пружності, внутрішні напругий структуру залежно від зміщення на підкладці та її температури. Магнетронным распылением мишени B₄C приготовлены аморфные и кристаллические пленки. Ис...