Порада, А., Иващенко, В., Иващенко, Л., Дуб, С., Мороженко, В., Тимофеева, И., & Косско, И. (2010). Влияние отжига на структуру и механические свойства плазмохимических SiCN-пленок из гексаметилдисилазана. Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Порада, А.К, В.И Иващенко, Л.А Иващенко, С.Н Дуб, В.О Мороженко, И.И Тимофеева, und И.А Косско. Влияние отжига на структуру и механические свойства плазмохимических SiCN-пленок из гексаметилдисилазана. Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України, 2010.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Порада, А.К, et al. Влияние отжига на структуру и механические свойства плазмохимических SiCN-пленок из гексаметилдисилазана. Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України, 2010.