Влияние отжига на структуру и механические свойства плазмохимических SiCN-пленок из гексаметилдисилазана
В работе исследовано влияние отжига при температурах 600, 800 и 1000 °С на структуру и механические свойства пленок SіCN, полученных методом осаждения из гексаметилдисилазана. Установлено, что аморфность пленок карбонит-рида кремния сохраняется до 1000 °С. Изучение нанотвердости пленок, осажденных н...
Saved in:
| Published in: | Наноструктурное материаловедение |
|---|---|
| Date: | 2010 |
| Main Authors: | , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України
2010
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/62710 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Влияние отжига на структуру и механические свойства плазмохимических SiCN-пленок из гексаметилдисилазана / А.К. Порада, В.И. Иващенко, Л.А. Иващенко, С.Н. Дуб, В.О. Мороженко, И.И. Тимофеева, И.А. Косско // Наноструктурное материаловедение. — 2010. — № 2. — С. 32-37. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862569232561078272 |
|---|---|
| author | Порада, А.К. Иващенко, В.И. Иващенко, Л.А. Дуб, С.Н. Мороженко, В.О Тимофеева, И.И. Косско, И.А. |
| author_facet | Порада, А.К. Иващенко, В.И. Иващенко, Л.А. Дуб, С.Н. Мороженко, В.О Тимофеева, И.И. Косско, И.А. |
| citation_txt | Влияние отжига на структуру и механические свойства плазмохимических SiCN-пленок из гексаметилдисилазана / А.К. Порада, В.И. Иващенко, Л.А. Иващенко, С.Н. Дуб, В.О. Мороженко, И.И. Тимофеева, И.А. Косско // Наноструктурное материаловедение. — 2010. — № 2. — С. 32-37. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Наноструктурное материаловедение |
| description | В работе исследовано влияние отжига при температурах 600, 800 и 1000 °С на структуру и механические свойства пленок SіCN, полученных методом осаждения из гексаметилдисилазана. Установлено, что аморфность пленок карбонит-рида кремния сохраняется до 1000 °С. Изучение нанотвердости пленок, осажденных на монокристаллический кремний, показало, что с повышением температуры отжига имеет место незначительное понижение нанотвердости (на 10%)и модуля упругости (на 5%). Исследование характера межатомного взаимодействия методом инфракрасной спектроскопии свидетельствует об эффузии во-дорода при температуре отжига выше 600 °С. С возрастанием температуры отжига до 1000 °С окисление пленок усиливается. Трибологические испытания сиспользованием пирамидки Виккерса показали снижение коэффициента трения при повышении температуры отжига.
У роботі досліджено вплив відпалу за температур 600, 800та 1000 °С на структуру й механічні властивості плівок SіCN, отриманих методом осадження з гексаметілдісілазану. Установлено, що аморфність плівок карбонітриду кремнію зберігається до 1000 °С. Вивчення нанотвердості плівок, осаджених на монокристалічний кремній, показало, що з підвищенням температури відпалу відбувається незначне зниження нанотвердості (на 10%) і модуля пружності (на 5%). Дослідження характеру міжатомної взаємодії методом інфрачервоної спектроскопії свідчить про ефузію водню при температурах відпалу, вищих за 600 °С. Ізпідвищенням температури відпалу до 1000 °С окиснення плівок посилююється. Трибологічні випробування з використанням пірамідки Віккерса показали зниження коефіцієнта тертя при підвищенні температури відпалу.
The influence of annealing at temperatures 600, 800 and 1000 °C on the structural and mechanicalal properties of PECVD SiCN films obtained from hexamethyldisilazane is investigated. It was established that the amorphous structure of the films was preserved up to 1000 °C. The investigations of the mechanical properties of the annealed films showed that nanohardness and elastic modulus decreased by 10% and 5%, respectively, with increasing annealing temperature. The studies of the bonding picture by infrared absorption spectroscopy indicate efussion of hydrogen at annealing temperatures higher 600 °C. An increase of annealing temperature up to 1000 °C enhances film oxidation. The tribological investigations based on scratch tests showed that the friction coefficient of the films decreased as annealing temperature was raised.
|
| first_indexed | 2025-11-26T01:48:26Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-62710 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1996-9988 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-26T01:48:26Z |
| publishDate | 2010 |
| publisher | Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Порада, А.К. Иващенко, В.И. Иващенко, Л.А. Дуб, С.Н. Мороженко, В.О Тимофеева, И.И. Косско, И.А. 2014-05-24T19:58:15Z 2014-05-24T19:58:15Z 2010 Влияние отжига на структуру и механические свойства плазмохимических SiCN-пленок из гексаметилдисилазана / А.К. Порада, В.И. Иващенко, Л.А. Иващенко, С.Н. Дуб, В.О. Мороженко, И.И. Тимофеева, И.А. Косско // Наноструктурное материаловедение. — 2010. — № 2. — С. 32-37. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. 1996-9988 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/62710 699+546 В работе исследовано влияние отжига при температурах 600, 800 и 1000 °С на структуру и механические свойства пленок SіCN, полученных методом осаждения из гексаметилдисилазана. Установлено, что аморфность пленок карбонит-рида кремния сохраняется до 1000 °С. Изучение нанотвердости пленок, осажденных на монокристаллический кремний, показало, что с повышением температуры отжига имеет место незначительное понижение нанотвердости (на 10%)и модуля упругости (на 5%). Исследование характера межатомного взаимодействия методом инфракрасной спектроскопии свидетельствует об эффузии во-дорода при температуре отжига выше 600 °С. С возрастанием температуры отжига до 1000 °С окисление пленок усиливается. Трибологические испытания сиспользованием пирамидки Виккерса показали снижение коэффициента трения при повышении температуры отжига. У роботі досліджено вплив відпалу за температур 600, 800та 1000 °С на структуру й механічні властивості плівок SіCN, отриманих методом осадження з гексаметілдісілазану. Установлено, що аморфність плівок карбонітриду кремнію зберігається до 1000 °С. Вивчення нанотвердості плівок, осаджених на монокристалічний кремній, показало, що з підвищенням температури відпалу відбувається незначне зниження нанотвердості (на 10%) і модуля пружності (на 5%). Дослідження характеру міжатомної взаємодії методом інфрачервоної спектроскопії свідчить про ефузію водню при температурах відпалу, вищих за 600 °С. Ізпідвищенням температури відпалу до 1000 °С окиснення плівок посилююється. Трибологічні випробування з використанням пірамідки Віккерса показали зниження коефіцієнта тертя при підвищенні температури відпалу. The influence of annealing at temperatures 600, 800 and 1000 °C on the structural and mechanicalal properties of PECVD SiCN films obtained from hexamethyldisilazane is investigated. It was established that the amorphous structure of the films was preserved up to 1000 °C. The investigations of the mechanical properties of the annealed films showed that nanohardness and elastic modulus decreased by 10% and 5%, respectively, with increasing annealing temperature. The studies of the bonding picture by infrared absorption spectroscopy indicate efussion of hydrogen at annealing temperatures higher 600 °C. An increase of annealing temperature up to 1000 °C enhances film oxidation. The tribological investigations based on scratch tests showed that the friction coefficient of the films decreased as annealing temperature was raised. ru Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України Наноструктурное материаловедение Тонкие пленки и другие двумерные объекты Влияние отжига на структуру и механические свойства плазмохимических SiCN-пленок из гексаметилдисилазана Article published earlier |
| spellingShingle | Влияние отжига на структуру и механические свойства плазмохимических SiCN-пленок из гексаметилдисилазана Порада, А.К. Иващенко, В.И. Иващенко, Л.А. Дуб, С.Н. Мороженко, В.О Тимофеева, И.И. Косско, И.А. Тонкие пленки и другие двумерные объекты |
| title | Влияние отжига на структуру и механические свойства плазмохимических SiCN-пленок из гексаметилдисилазана |
| title_full | Влияние отжига на структуру и механические свойства плазмохимических SiCN-пленок из гексаметилдисилазана |
| title_fullStr | Влияние отжига на структуру и механические свойства плазмохимических SiCN-пленок из гексаметилдисилазана |
| title_full_unstemmed | Влияние отжига на структуру и механические свойства плазмохимических SiCN-пленок из гексаметилдисилазана |
| title_short | Влияние отжига на структуру и механические свойства плазмохимических SiCN-пленок из гексаметилдисилазана |
| title_sort | влияние отжига на структуру и механические свойства плазмохимических sicn-пленок из гексаметилдисилазана |
| topic | Тонкие пленки и другие двумерные объекты |
| topic_facet | Тонкие пленки и другие двумерные объекты |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/62710 |
| work_keys_str_mv | AT poradaak vliânieotžiganastrukturuimehaničeskiesvoistvaplazmohimičeskihsicnplenokizgeksametildisilazana AT ivaŝenkovi vliânieotžiganastrukturuimehaničeskiesvoistvaplazmohimičeskihsicnplenokizgeksametildisilazana AT ivaŝenkola vliânieotžiganastrukturuimehaničeskiesvoistvaplazmohimičeskihsicnplenokizgeksametildisilazana AT dubsn vliânieotžiganastrukturuimehaničeskiesvoistvaplazmohimičeskihsicnplenokizgeksametildisilazana AT moroženkovo vliânieotžiganastrukturuimehaničeskiesvoistvaplazmohimičeskihsicnplenokizgeksametildisilazana AT timofeevaii vliânieotžiganastrukturuimehaničeskiesvoistvaplazmohimičeskihsicnplenokizgeksametildisilazana AT kosskoia vliânieotžiganastrukturuimehaničeskiesvoistvaplazmohimičeskihsicnplenokizgeksametildisilazana |