Влияние отжига на структуру и механические свойства плазмохимических SiCN-пленок из гексаметилдисилазана

• Published in: Наноструктурное материаловедение
• Date: 2010
• Main Authors: Порада, А.К., Иващенко, В.И., Иващенко, Л.А., Дуб, С.Н., Мороженко, В.О, Тимофеева, И.И., Косско, И.А.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України 2010
• Subjects: Тонкие пленки и другие двумерные объекты
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/62710
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Влияние отжига на структуру и механические свойства плазмохимических SiCN-пленок из гексаметилдисилазана / А.К. Порада, В.И. Иващенко, Л.А. Иващенко, С.Н. Дуб, В.О. Мороженко, И.И. Тимофеева, И.А. Косско // Наноструктурное материаловедение. — 2010. — № 2. — С. 32-37. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.

В работе исследовано влияние отжига при температурах 600, 800 и 1000 °С на структуру и механические свойства пленок SіCN, полученных методом осаждения из гексаметилдисилазана. Установлено, что аморфность пленок карбонит-рида кремния сохраняется до 1000 °С. Изучение нанотвердости пленок, осажденных н...