Влияние отжига на структуру и механические свойства плазмохимических SiCN-пленок из гексаметилдисилазана
В работе исследовано влияние отжига при температурах 600, 800 и 1000 °С на структуру и механические свойства пленок SіCN, полученных методом осаждения из гексаметилдисилазана. Установлено, что аморфность пленок карбонит-рида кремния сохраняется до 1000 °С. Изучение нанотвердости пленок, осажденных н...
Saved in:
| Date: | 2010 |
|---|---|
| Main Authors: | , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України
2010
|
| Series: | Наноструктурное материаловедение |
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/62710 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Влияние отжига на структуру и механические свойства плазмохимических SiCN-пленок из гексаметилдисилазана / А.К. Порада, В.И. Иващенко, Л.А. Иващенко, С.Н. Дуб, В.О. Мороженко, И.И. Тимофеева, И.А. Косско // Наноструктурное материаловедение. — 2010. — № 2. — С. 32-37. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. |