Влияние отжига на структуру и механические свойства плазмохимических SiCN-пленок из гексаметилдисилазана
В работе исследовано влияние отжига при температурах 600, 800 и 1000 °С на структуру и механические свойства пленок SіCN, полученных методом осаждения из гексаметилдисилазана. Установлено, что аморфность пленок карбонит-рида кремния сохраняется до 1000 °С. Изучение нанотвердости пленок, осажденных н...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Наноструктурное материаловедение |
|---|---|
| Дата: | 2010 |
| Автори: | , , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України
2010
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/62710 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Влияние отжига на структуру и механические свойства плазмохимических SiCN-пленок из гексаметилдисилазана / А.К. Порада, В.И. Иващенко, Л.А. Иващенко, С.Н. Дуб, В.О. Мороженко, И.И. Тимофеева, И.А. Косско // Наноструктурное материаловедение. — 2010. — № 2. — С. 32-37. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Механические свойства аморфных и нанокристаллических пленок кремния и карбида кермния
за авторством: Куликовский, В.Ю., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Куликовский, В.Ю., та інші
Опубліковано: (2008)
Структурные изменения при отжиге в композиционных пленках системы углерод – медь
за авторством: Оноприенко, А.А., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Оноприенко, А.А., та інші
Опубліковано: (2008)
Свойства многослойных наноразмерных пленок Ni/Y₂O₃, выращенных в магнитном поле
за авторством: Андреева, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Андреева, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2009)
Коррозия тонких пленок стали в кислотной среде под действием магнитного поля
за авторством: Андреева, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Андреева, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2010)
Особенности формирования структурно-фазового состояния медьсодержащих фуллеритовых пленок
за авторством: Баран, Л.В.
Опубліковано: (2011)
за авторством: Баран, Л.В.
Опубліковано: (2011)
Влияние микроструктуры вакуумных конденсатов никеля на их прочностные свойства
за авторством: Устинов, А.И., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Устинов, А.И., та інші
Опубліковано: (2010)
Свойства наноструктуры Fe₃O₄/Y₂O₃/Fe₃O₄ при работе на переменном токе
за авторством: Андреева, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Андреева, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2010)
Сенсори водню на основі нанорозмірного діоксиду олова
за авторством: Бувайло, А.І., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Бувайло, А.І., та інші
Опубліковано: (2010)
Структурні та механічні властивості аморфних і полікристалічних плівок B₄C
за авторством: Куликовський, B.Ю., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Куликовський, B.Ю., та інші
Опубліковано: (2009)
Магнітокеровані наноструктурні матеріали та їхня взаємодія з нуклеїновими кислотами
за авторством: Семко, Л.С., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Семко, Л.С., та інші
Опубліковано: (2010)
Тверді плазмохімічні a-SiCN-покриття
за авторством: Порада, О.К., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Порада, О.К., та інші
Опубліковано: (2016)
Hard plasmachemical a-SiCN coatings
за авторством: O. K. Porada, та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: O. K. Porada, та інші
Опубліковано: (2016)
Електричні та фотоелектричні властивості гетеропереходів a-SiCN/c-Si
за авторством: Сукач, А.В., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Сукач, А.В., та інші
Опубліковано: (2013)
Влияние потенциала смещения на подложке на структурные и механические свойства пленок a-SiC:H
за авторством: Иващенко, В.И., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Иващенко, В.И., та інші
Опубліковано: (2010)
Магнитная структура тонкой ферромагнитной пленки на шероховатой поверхности антиферромагнетика
за авторством: Ковалев, А.С., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Ковалев, А.С., та інші
Опубліковано: (2011)
Квадратичная температурная зависимость магнитосопротивления чистых монокристаллов вольфрама в условиях статического скин-эффекта
за авторством: Марченков, В.В.
Опубліковано: (2011)
за авторством: Марченков, В.В.
Опубліковано: (2011)
Surface and electron structure of the 6H-SiC(0001)-(3×3) surface and ultrathin Ag films on Si(111) and Si(001)
за авторством: Gasparov, V.A.
Опубліковано: (2011)
за авторством: Gasparov, V.A.
Опубліковано: (2011)
Влияние обжига аморфного сплава на структуру и механические свойства
за авторством: Горбань, В.Ф., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Горбань, В.Ф., та інші
Опубліковано: (2010)
Расширение Вселенной в послерекомбинационную эпоху
за авторством: Проник, В.И.
Опубліковано: (2009)
за авторством: Проник, В.И.
Опубліковано: (2009)
Гравитационное движение изображений удаленных источников, обусловленное полем звезд Галактики
за авторством: Жданов, В.И., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Жданов, В.И., та інші
Опубліковано: (2004)
UBVR-наблюдения сейфертовской галактики первого типа NGC 3516
за авторством: Гусейнов, Н.А.
Опубліковано: (2009)
за авторством: Гусейнов, Н.А.
Опубліковано: (2009)
Оценка масс "темной" материи в галактиках по измерениям скоростей "светлой"
за авторством: Засов, А.В.
Опубліковано: (2009)
за авторством: Засов, А.В.
Опубліковано: (2009)
Оптическая 3D-спектроскопия ультраярких рентгеновских источников в галактиках Антенны
за авторством: Валеев, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Валеев, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2009)
Влияние температуры отжига на механические характеристики молибденового сплава и его соединений
за авторством: Задерий, Б.А., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Задерий, Б.А., та інші
Опубліковано: (2004)
Влияние ортофосфата натрия, этилендиаминтетрауксусной и гуминовой кислот на формирование и устойчивость водных золей ферримагнитных частиц
за авторством: Лавриненко, Е.Н., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Лавриненко, Е.Н., та інші
Опубліковано: (2010)
Фазовые превращения в композитах на основе пирогенного оксида алюминия, смешанных оксидов алюминия и кремния и оксида меди
за авторством: Оранская, Е.И.
Опубліковано: (2011)
за авторством: Оранская, Е.И.
Опубліковано: (2011)
Синтез нанопорошка нитрида титана
за авторством: Прилуцкий, Э.В., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Прилуцкий, Э.В., та інші
Опубліковано: (2011)
Фотоприемники ультрафиолетового излучения на основе тонких пленок ZnS
за авторством: Bobrenko, Yu. N., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Bobrenko, Yu. N., та інші
Опубліковано: (2009)
Влияние газообразующих примесей на теплоемкость нанокристаллического алмаза детонационного синтеза
за авторством: Муратов, В.Б., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Муратов, В.Б., та інші
Опубліковано: (2011)
Особенности люминесценции в нанодисперсных материалах
за авторством: Масалов, А.А., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Масалов, А.А., та інші
Опубліковано: (2011)
Кристаллизация аморфного диоксида циркония, легированного хромом
за авторством: Ящишин, И.А., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Ящишин, И.А., та інші
Опубліковано: (2011)
Одномерные наноструктуры Si₃N₄ и критерий формирования с их участием пористых тел для последующего спекания
за авторством: Быков, А.И., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Быков, А.И., та інші
Опубліковано: (2009)
О примесях в нанокристаллических порошках графитоподобного нитрида бора и их роли в процессе фазовых превращений при ударном сжатии
за авторством: Курдюмов, А.В., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Курдюмов, А.В., та інші
Опубліковано: (2009)
Electrical and photoelectrical properties of a-SICN/c-SI heterojunctions
за авторством: A. V. Sukach, та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: A. V. Sukach, та інші
Опубліковано: (2013)
Особенности барической предобработки и ее роль в формировании нанокомпозита TiN–TiB₂ при спекании в условиях высоких давлений
за авторством: Быков, А.И., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Быков, А.И., та інші
Опубліковано: (2010)
Влияние нанокомпозитных электродов на ионную проводимость частично стабилизированного диоксида циркония
за авторством: Прохоров, И.Ю., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Прохоров, И.Ю., та інші
Опубліковано: (2009)
Влияние среды отжига на формирование наноразмерных плёнок Co–Sb — функциональных термоэлектрических элементов
за авторством: Макогон, Ю.Н., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Макогон, Ю.Н., та інші
Опубліковано: (2017)
Наноструктурные эмиссионно-активные сплавы алюминия для сильноточных фотокатодов с лазерным возбуждением
за авторством: Ткаченко, В.Г., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Ткаченко, В.Г., та інші
Опубліковано: (2010)
Турбостратный нитрид бора: особенности структуры и фазовых превращений
за авторством: Курдюмов, А.В., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Курдюмов, А.В., та інші
Опубліковано: (2010)
Реконструкция поверхности поликристаллических пленок золота под влиянием температурного отжига
за авторством: Костюкевич, Е.В., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Костюкевич, Е.В., та інші
Опубліковано: (2013)