Морфология наноструктур оксидов металлов, получаемых химическим осаждением из газовой фазы
Проведен теоретический анализ влияния микрокинетических факторов на морфологию наноструктур, образуемых при химическом осаждении из газовой фазы координационных соединений металлов. Сформулированы условия фрактального, разветвленного или кристаллического роста и формирования 0D-, 1D-, 2D-, 3D-объект...
Saved in:
| Published in: | Наноструктурное материаловедение |
|---|---|
| Date: | 2010 |
| Main Authors: | , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України
2010
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/62738 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Морфология наноструктур оксидов металлов, получаемых химическим осаждением из газовой фазы / А.И. Герасимчук, Л.И. Железнова, Е.А. Мазуренко, Н. Мурафа, Я. Шубрт // Наноструктурное материаловедение. — 2010. — № 4. — С. 24-38. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-62738 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Герасимчук, А.И. Железнова, Л.И. Мазуренко, Е.А. Мурафа, Н. Шубрт, Я. 2014-05-25T11:52:03Z 2014-05-25T11:52:03Z 2010 Морфология наноструктур оксидов металлов, получаемых химическим осаждением из газовой фазы / А.И. Герасимчук, Л.И. Железнова, Е.А. Мазуренко, Н. Мурафа, Я. Шубрт // Наноструктурное материаловедение. — 2010. — № 4. — С. 24-38. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. 1996-9988 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/62738 541.49+544.72 Проведен теоретический анализ влияния микрокинетических факторов на морфологию наноструктур, образуемых при химическом осаждении из газовой фазы координационных соединений металлов. Сформулированы условия фрактального, разветвленного или кристаллического роста и формирования 0D-, 1D-, 2D-, 3D-объектов. Для эксперимента выбраны образцы покрытий на кремниевых подложках, полученные плазмохимическим осаждением и спрей-пиролизом различных координационных прекурсоров. Исследование методами сканирующей электронной микроскопии и электронной микроскопии высокого разрешения показывает, что химический состав и морфология отдельных частей регулярных наноостровных структур различны и отвечают предлагаемой теоретической модели. Проведено теоретичний аналіз впливу мікрокінетичних факторів на морфологію наноструктур, утворених при хімічному осадженні з газової фази координаційних сполук металів. Сформульовано умови фрактального, розгалуженого або кристалічного зростання та формування 0D-, 1D-, 2D-, 3D-обєктів. Для експерименту обрано зразки покриттів на кремнієвих підкладках, одержуваних плазмохімічним осадженням і спрей-піролізом різних координаційних прекурсорів. Дослідження методами сканувальної електронної мікроскопії та електронної мікроскоп ії високої роздільної здатності свідчить, що хімічний склад і морфологія окремих частин регулярних наноострівних структур різні й відповідають пропонованій теоретичній моделі. The theoretical analysis of the impact of micro-kinetic factors which influencing the nanostructure morphology formed by chemical vapor deposition from coordination compounds of metals are made. Conditions are formulated fractal branched or crystal growth and formation of 0D, 1D, 2D, 3D objects. For the experiment, selected samples of coatings on silicon substrates obtained by plasma CVD, and we spray-pyrolysis of various coordination precursors. Investigation by scanning electron microscopy and high resolution electron microscopy shows that the chemical composition and morphology of different parts formed as a result of regular nano-island structures are different and correspond to the proposed theoretical model. ru Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України Наноструктурное материаловедение Фуллерены, нанотрубки и одномерные нанообъекты Морфология наноструктур оксидов металлов, получаемых химическим осаждением из газовой фазы Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Морфология наноструктур оксидов металлов, получаемых химическим осаждением из газовой фазы |
| spellingShingle |
Морфология наноструктур оксидов металлов, получаемых химическим осаждением из газовой фазы Герасимчук, А.И. Железнова, Л.И. Мазуренко, Е.А. Мурафа, Н. Шубрт, Я. Фуллерены, нанотрубки и одномерные нанообъекты |
| title_short |
Морфология наноструктур оксидов металлов, получаемых химическим осаждением из газовой фазы |
| title_full |
Морфология наноструктур оксидов металлов, получаемых химическим осаждением из газовой фазы |
| title_fullStr |
Морфология наноструктур оксидов металлов, получаемых химическим осаждением из газовой фазы |
| title_full_unstemmed |
Морфология наноструктур оксидов металлов, получаемых химическим осаждением из газовой фазы |
| title_sort |
морфология наноструктур оксидов металлов, получаемых химическим осаждением из газовой фазы |
| author |
Герасимчук, А.И. Железнова, Л.И. Мазуренко, Е.А. Мурафа, Н. Шубрт, Я. |
| author_facet |
Герасимчук, А.И. Железнова, Л.И. Мазуренко, Е.А. Мурафа, Н. Шубрт, Я. |
| topic |
Фуллерены, нанотрубки и одномерные нанообъекты |
| topic_facet |
Фуллерены, нанотрубки и одномерные нанообъекты |
| publishDate |
2010 |
| language |
Russian |
| container_title |
Наноструктурное материаловедение |
| publisher |
Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України |
| format |
Article |
| description |
Проведен теоретический анализ влияния микрокинетических факторов на морфологию наноструктур, образуемых при химическом осаждении из газовой фазы координационных соединений металлов. Сформулированы условия фрактального, разветвленного или кристаллического роста и формирования 0D-, 1D-, 2D-, 3D-объектов. Для эксперимента выбраны образцы покрытий на кремниевых подложках, полученные плазмохимическим осаждением и спрей-пиролизом различных координационных прекурсоров. Исследование методами сканирующей электронной микроскопии и электронной микроскопии высокого разрешения показывает, что химический состав и морфология отдельных частей регулярных наноостровных структур различны и отвечают предлагаемой теоретической модели.
Проведено теоретичний аналіз впливу мікрокінетичних факторів на морфологію наноструктур, утворених при хімічному осадженні з газової фази координаційних сполук металів. Сформульовано умови фрактального, розгалуженого або кристалічного зростання та формування 0D-, 1D-, 2D-, 3D-обєктів. Для експерименту обрано зразки покриттів на кремнієвих підкладках, одержуваних плазмохімічним осадженням і спрей-піролізом різних координаційних прекурсорів. Дослідження методами сканувальної електронної мікроскопії та електронної мікроскоп ії високої роздільної здатності свідчить, що хімічний склад і морфологія окремих частин регулярних наноострівних структур різні й відповідають пропонованій теоретичній моделі.
The theoretical analysis of the impact of micro-kinetic factors which influencing the nanostructure morphology formed by chemical vapor deposition from coordination compounds of metals are made. Conditions are formulated fractal branched or crystal growth and formation of 0D, 1D, 2D, 3D objects. For the experiment, selected samples of coatings on silicon substrates obtained by plasma CVD, and we spray-pyrolysis of various coordination precursors. Investigation by scanning electron microscopy and high resolution electron microscopy shows that the chemical composition and morphology of different parts formed as a result of regular nano-island structures are different and correspond to the proposed theoretical model.
|
| issn |
1996-9988 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/62738 |
| citation_txt |
Морфология наноструктур оксидов металлов, получаемых химическим осаждением из газовой фазы / А.И. Герасимчук, Л.И. Железнова, Е.А. Мазуренко, Н. Мурафа, Я. Шубрт // Наноструктурное материаловедение. — 2010. — № 4. — С. 24-38. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT gerasimčukai morfologiânanostrukturoksidovmetallovpolučaemyhhimičeskimosaždeniemizgazovoifazy AT železnovali morfologiânanostrukturoksidovmetallovpolučaemyhhimičeskimosaždeniemizgazovoifazy AT mazurenkoea morfologiânanostrukturoksidovmetallovpolučaemyhhimičeskimosaždeniemizgazovoifazy AT murafan morfologiânanostrukturoksidovmetallovpolučaemyhhimičeskimosaždeniemizgazovoifazy AT šubrtâ morfologiânanostrukturoksidovmetallovpolučaemyhhimičeskimosaždeniemizgazovoifazy |
| first_indexed |
2025-12-07T19:28:07Z |
| last_indexed |
2025-12-07T19:28:07Z |
| _version_ |
1850878918819577856 |