Влияние скорости роста CVD-алмаза из метан водородной смеси в СВЧ Разряде на свойства армирующей компоненты гибридного алмазного композиционного материала (ГАКТМ)
В настоящей работе представлены результаты по эмиссионно-спектроскопическим исследованиям СВЧ плазмы в процессе газофазового роста CVD алмаза при осаждении поликристаллических алмазных пластин на кремниевых подложках, а также по исследованию морфологических особенностей получаемых из них армирующих...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения |
|---|---|
| Дата: | 2011 |
| Автори: | , , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
2011
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/63251 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Влияние скорости роста CVD-алмаза из метан водородной смеси в СВЧ Разряде на свойства армирующей компоненты гибридного алмазного композиционного материала (ГАКТМ) / Е.Е. Ашкинази, А.А. Шульженко, В.Г. Ральченко, А.П. Большаков, В.И. Конов, А.Н. Соколов, В.Г. Гаргин // Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения: Сб. науч. тр. — К.: ІНМ ім. В.М. Бакуля НАН України, 2011. — Вип. 14. — С. 288-292. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862707479828234240 |
|---|---|
| author | Ашкинази, Е.Е. Шульженко, А.А. Ральченко, В.Г. Большаков, А.П. Конов, В.И. Соколов, А.Н. Гаргин, В.Г. |
| author_facet | Ашкинази, Е.Е. Шульженко, А.А. Ральченко, В.Г. Большаков, А.П. Конов, В.И. Соколов, А.Н. Гаргин, В.Г. |
| citation_txt | Влияние скорости роста CVD-алмаза из метан водородной смеси в СВЧ Разряде на свойства армирующей компоненты гибридного алмазного композиционного материала (ГАКТМ) / Е.Е. Ашкинази, А.А. Шульженко, В.Г. Ральченко, А.П. Большаков, В.И. Конов, А.Н. Соколов, В.Г. Гаргин // Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения: Сб. науч. тр. — К.: ІНМ ім. В.М. Бакуля НАН України, 2011. — Вип. 14. — С. 288-292. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения |
| description | В настоящей работе представлены результаты по эмиссионно-спектроскопическим исследованиям СВЧ плазмы в процессе газофазового роста CVD алмаза при осаждении поликристаллических алмазных пластин на кремниевых подложках, а также по исследованию морфологических особенностей получаемых из них армирующих вставок ГАКТМ.
У даній роботі представлені результати по емісійно-спектроскопическим дослідженням СВЧ плазми в процесі газофазового вирощування CVD алмазу при осадженні полікристалічних алмазних пластин на кремнієвих підкладках, а також результати з дослідження морфологічних особливостей одержуваних з них армуючих вставок ГАКТМ.
This paper presents the results of the emission-spectroscopic studies of microwave plasma CVD process of diamond growth gazofazovogo the deposition of polycrystalline diamond plates on silicon substrates, as well as to study the morphological features of diamond inserts for a hybrid composite material.
|
| first_indexed | 2025-12-07T17:05:19Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-63251 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2223-3938 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T17:05:19Z |
| publishDate | 2011 |
| publisher | Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Ашкинази, Е.Е. Шульженко, А.А. Ральченко, В.Г. Большаков, А.П. Конов, В.И. Соколов, А.Н. Гаргин, В.Г. 2014-05-31T07:33:51Z 2014-05-31T07:33:51Z 2011 Влияние скорости роста CVD-алмаза из метан водородной смеси в СВЧ Разряде на свойства армирующей компоненты гибридного алмазного композиционного материала (ГАКТМ) / Е.Е. Ашкинази, А.А. Шульженко, В.Г. Ральченко, А.П. Большаков, В.И. Конов, А.Н. Соколов, В.Г. Гаргин // Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения: Сб. науч. тр. — К.: ІНМ ім. В.М. Бакуля НАН України, 2011. — Вип. 14. — С. 288-292. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. 2223-3938 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/63251 621.921.34:621.921.34 В настоящей работе представлены результаты по эмиссионно-спектроскопическим исследованиям СВЧ плазмы в процессе газофазового роста CVD алмаза при осаждении поликристаллических алмазных пластин на кремниевых подложках, а также по исследованию морфологических особенностей получаемых из них армирующих вставок ГАКТМ. У даній роботі представлені результати по емісійно-спектроскопическим дослідженням СВЧ плазми в процесі газофазового вирощування CVD алмазу при осадженні полікристалічних алмазних пластин на кремнієвих підкладках, а також результати з дослідження морфологічних особливостей одержуваних з них армуючих вставок ГАКТМ. This paper presents the results of the emission-spectroscopic studies of microwave plasma CVD process of diamond growth gazofazovogo the deposition of polycrystalline diamond plates on silicon substrates, as well as to study the morphological features of diamond inserts for a hybrid composite material. ru Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения Инструментальные, конструкционные и функциональные материалы на основе алмаза и кубического нитрида бора Влияние скорости роста CVD-алмаза из метан водородной смеси в СВЧ Разряде на свойства армирующей компоненты гибридного алмазного композиционного материала (ГАКТМ) Article published earlier |
| spellingShingle | Влияние скорости роста CVD-алмаза из метан водородной смеси в СВЧ Разряде на свойства армирующей компоненты гибридного алмазного композиционного материала (ГАКТМ) Ашкинази, Е.Е. Шульженко, А.А. Ральченко, В.Г. Большаков, А.П. Конов, В.И. Соколов, А.Н. Гаргин, В.Г. Инструментальные, конструкционные и функциональные материалы на основе алмаза и кубического нитрида бора |
| title | Влияние скорости роста CVD-алмаза из метан водородной смеси в СВЧ Разряде на свойства армирующей компоненты гибридного алмазного композиционного материала (ГАКТМ) |
| title_full | Влияние скорости роста CVD-алмаза из метан водородной смеси в СВЧ Разряде на свойства армирующей компоненты гибридного алмазного композиционного материала (ГАКТМ) |
| title_fullStr | Влияние скорости роста CVD-алмаза из метан водородной смеси в СВЧ Разряде на свойства армирующей компоненты гибридного алмазного композиционного материала (ГАКТМ) |
| title_full_unstemmed | Влияние скорости роста CVD-алмаза из метан водородной смеси в СВЧ Разряде на свойства армирующей компоненты гибридного алмазного композиционного материала (ГАКТМ) |
| title_short | Влияние скорости роста CVD-алмаза из метан водородной смеси в СВЧ Разряде на свойства армирующей компоненты гибридного алмазного композиционного материала (ГАКТМ) |
| title_sort | влияние скорости роста cvd-алмаза из метан водородной смеси в свч разряде на свойства армирующей компоненты гибридного алмазного композиционного материала (гактм) |
| topic | Инструментальные, конструкционные и функциональные материалы на основе алмаза и кубического нитрида бора |
| topic_facet | Инструментальные, конструкционные и функциональные материалы на основе алмаза и кубического нитрида бора |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/63251 |
| work_keys_str_mv | AT aškinaziee vliânieskorostirostacvdalmazaizmetanvodorodnoismesivsvčrazrâdenasvoistvaarmiruûŝeikomponentygibridnogoalmaznogokompozicionnogomaterialagaktm AT šulʹženkoaa vliânieskorostirostacvdalmazaizmetanvodorodnoismesivsvčrazrâdenasvoistvaarmiruûŝeikomponentygibridnogoalmaznogokompozicionnogomaterialagaktm AT ralʹčenkovg vliânieskorostirostacvdalmazaizmetanvodorodnoismesivsvčrazrâdenasvoistvaarmiruûŝeikomponentygibridnogoalmaznogokompozicionnogomaterialagaktm AT bolʹšakovap vliânieskorostirostacvdalmazaizmetanvodorodnoismesivsvčrazrâdenasvoistvaarmiruûŝeikomponentygibridnogoalmaznogokompozicionnogomaterialagaktm AT konovvi vliânieskorostirostacvdalmazaizmetanvodorodnoismesivsvčrazrâdenasvoistvaarmiruûŝeikomponentygibridnogoalmaznogokompozicionnogomaterialagaktm AT sokolovan vliânieskorostirostacvdalmazaizmetanvodorodnoismesivsvčrazrâdenasvoistvaarmiruûŝeikomponentygibridnogoalmaznogokompozicionnogomaterialagaktm AT garginvg vliânieskorostirostacvdalmazaizmetanvodorodnoismesivsvčrazrâdenasvoistvaarmiruûŝeikomponentygibridnogoalmaznogokompozicionnogomaterialagaktm |