Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N
Получены аморфно-кристаллические тонкие пленки системы Та—В—N на стальной подложке ВЧ-магнетронным реактивным распылением мишени ТаВ₂ в газовой смеси азота и аргона. Исследовано влияние содержания азота в смеси на механические свойства пленок. Установлено, что формирование аморфно-кристаллической ст...
Saved in:
| Date: | 2009 |
|---|---|
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
2009
|
| Series: | Сверхтвердые материалы |
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/63380 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N / С.Н. Дуб, А.А. Гончаров, В.В. Петухов // Сверхтвердые материалы. — 2009. — № 2. — С. 3-11. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-63380 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| fulltext |
|
| spelling |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-633802025-02-23T19:34:06Z Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N Дуб, С.Н. Гончаров, А.А. Петухов, В.В. Получение, структура, свойства Получены аморфно-кристаллические тонкие пленки системы Та—В—N на стальной подложке ВЧ-магнетронным реактивным распылением мишени ТаВ₂ в газовой смеси азота и аргона. Исследовано влияние содержания азота в смеси на механические свойства пленок. Установлено, что формирование аморфно-кристаллической структуры приводит к снижению нанотвердости, модуля упругости и повышению пластичности пленок Ta—B—N по сравнению с нанокристаллическими пленками TaB₂. Образование аморфного нитрида бора также вызывает вязко-упругое механическое поведение тонких пленок системы Ta—B—N. 2009 Article Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N / С.Н. Дуб, А.А. Гончаров, В.В. Петухов // Сверхтвердые материалы. — 2009. — № 2. — С. 3-11. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. 0203-3119 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/63380 549.2:539.1 ru Сверхтвердые материалы application/pdf Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Получение, структура, свойства Получение, структура, свойства |
| spellingShingle |
Получение, структура, свойства Получение, структура, свойства Дуб, С.Н. Гончаров, А.А. Петухов, В.В. Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N Сверхтвердые материалы |
| description |
Получены аморфно-кристаллические тонкие пленки системы Та—В—N на стальной подложке ВЧ-магнетронным реактивным распылением мишени ТаВ₂ в газовой смеси азота и аргона. Исследовано влияние содержания азота в смеси на механические свойства пленок. Установлено, что формирование аморфно-кристаллической структуры приводит к снижению нанотвердости, модуля упругости и повышению пластичности пленок Ta—B—N по сравнению с нанокристаллическими пленками TaB₂. Образование аморфного нитрида бора также вызывает вязко-упругое механическое поведение тонких пленок системы Ta—B—N. |
| format |
Article |
| author |
Дуб, С.Н. Гончаров, А.А. Петухов, В.В. |
| author_facet |
Дуб, С.Н. Гончаров, А.А. Петухов, В.В. |
| author_sort |
Дуб, С.Н. |
| title |
Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N |
| title_short |
Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N |
| title_full |
Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N |
| title_fullStr |
Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N |
| title_full_unstemmed |
Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N |
| title_sort |
влияние азота на механические свойства тонких пленок системы та—в—n |
| publisher |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України |
| publishDate |
2009 |
| topic_facet |
Получение, структура, свойства |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/63380 |
| citation_txt |
Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N / С.Н. Дуб, А.А. Гончаров, В.В. Петухов // Сверхтвердые материалы. — 2009. — № 2. — С. 3-11. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. |
| series |
Сверхтвердые материалы |
| work_keys_str_mv |
AT dubsn vliânieazotanamehaničeskiesvojstvatonkihplenoksistemytavn AT gončarovaa vliânieazotanamehaničeskiesvojstvatonkihplenoksistemytavn AT petuhovvv vliânieazotanamehaničeskiesvojstvatonkihplenoksistemytavn |
| first_indexed |
2025-11-24T16:13:12Z |
| last_indexed |
2025-11-24T16:13:12Z |
| _version_ |
1849688894953488384 |