Buchumschlag

Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N

Получены аморфно-кристаллические тонкие пленки системы Та—В—N на стальной подложке ВЧ-магнетронным реактивным распылением мишени ТаВ₂ в газовой смеси азота и аргона. Исследовано влияние содержания азота в смеси на механические свойства пленок. Установлено, что формирование аморфно-кристаллической ст...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Сверхтвердые материалы
Datum:	2009
Hauptverfasser:	Дуб, С.Н., Гончаров, А.А., Петухов, В.В.
Format:	Artikel
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України 2009
Schlagworte:	Получение, структура, свойства
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/63380
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N / С.Н. Дуб, А.А. Гончаров, В.В. Петухов // Сверхтвердые материалы. — 2009. — № 2. — С. 3-11. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Ähnliche Einträge

Структура, состав и механические свойства тонких пленок диборидов переходных металлов
von: Гончаров, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Механические свойства материалов на основе МАХ-фаз системы Ti–Al–C
von: Прихна, Т.А., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Механические свойства нитевидных кристаллов HfB₂
von: Дуб, С.Н., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Структура и механические свойства защитных покрытий Ti–Al–Si–N, осажденных из сепарированной плазмы вакуумной дуги
von: Белоус, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Влияние высокотемпературного отжига на структуру и механические свойства вакуумно-дуговых покрытий из Мо/(Ti + 6 % (по массе) Si)N
von: Береснев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Влияние параметров осаждения нитридов высокоэнтро¬пийных сплавов (TiZrHfVNb)N на их структуру, состав, механические и трибологические свойства
von: Погребняк, А.Д., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Теплофизические и физико-механические свойства антифрикционной твердой смазки для холодного пластического деформирования титановых сплавов
von: Гаврилова, В.С., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Структурные особенности и физико-механические свойства аморфоподобных покрытий AlN–TiB₂–TiSi₂
von: Погребняк, А.Д., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Механические свойства синтетического алмаза типа ІІb при температуре 900 °С
von: Мильман, Ю.В., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Теплопроводность, физико-механические свойства и их взаимосвязь со структурой свободноспеченных композитов, полученных из нанодисперсной системы Si₃N₄–Al₂O₃–Y₂O₃ (–ZrO₂)
von: Кайдаш, О.Н., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Влияние структурного состояния и температуры на механические свойства и механизмы деформации твердого сплава WC–Cо
von: Мильман, Ю.В.
Veröffentlicht: (2014)

Вплив потоку азоту на властивості тонких аморфних Si–C–N-плівок, отриманих магнетронним розпиленням
von: Козак, А.О., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Структура и физико-механические свойства CVD-алмаза различного кристаллического совершенства в материале гибридайт
von: Соколов, А.Н., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Автоэмиссионные свойства острийных катодов на основе пленок графена на SiC
von: Конакова, Р.В., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Физико-механические свойства и структура алмазных поликристаллических композиционных материалов, полученных из порошков различной дисперсности
von: Шульженко, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Получение и механические свойства высокоэнтропийного карбида на основе многокомпонентного сплава TiZrHfVNbTa
von: Горбань, В.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Исследование влияния параметров инжекционного литья на физико-механические свойства керамики на основе нитрида алюминия
von: Ивженко, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Структура и механические свойства реакционноспеченных керамических композиционных материалов на основе диборидов титана и гафния
von: Чорнобук, С.В., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Динамический синтез ультрадисперсных кристаллических фаз системы С—N
von: Сивков, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Свойства композиционного многослойного твердого покрытия Zr–ZrN
von: Горбань, В.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Получение и свойства горячепрессованных материалов на основе карбида кремния с добавками карбидов бора и титана
von: Ивженко, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Nb–Al–N-тонкие пленки: структурный переход от нанокристаллического твердого раствора nc-(Nb,Al)N к нанокомпозиту nc-(Nb, Al)N/a-AlN
von: Иващенко, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Структура и свойства многоэлементных сверхтвердых покрытий (Zr–Ti–Cr–Nb)N
von: Погребняк, А.Д., et al.
Veröffentlicht: (2015)

О возможности динамического синтеза ультрадисперсных кристаллических фаз системы B—C—N в гиперскоростной плазменной струе
von: Сивков, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Структура и свойства сверхтвердых материалов на основе додекаборида алюминия α-AlB₁₂
von: Прихна, Т.А., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Оценка упруго-пластических свойств материалов по данным наноиндентирования и компьютерного моделирования. 1. Состояние проблемы (литературный обзор)
von: Кущ, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Оценка упруго-пластических свойств материалов по данным наноиндентирования и компьютерного моделирования. 2. Экспериментально-теоретическая методика
von: Кущ, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Критические комментарии к методике Оливера-Фара для измерения твердости и упругого модуля посредством инструментального индентирования и уточнение ее базисных соотношений
von: Галанов Б.А., Б.А., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Стимулирование зарождения алмаза на подложках кремния со слоем полимерного прекурсора при осаждении алмазных пленок в СВЧ-плазме
von: Седов, В.С., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Влияние режимов осаждения на фазово-структурное состояние, твердость и трибологические характеристики вакуумно-дуговых многослойных покрытий Mo₂N/CrN
von: Береснев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Новые сверхтвердые материалы на основе алмаза: получение, свойства. Обзор
von: Шульженко, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Дослідження тонких зносостійких вуглецевих покриттів і структур, сформованих термічним випаровуванням у вакуумі на п‘єзокерамічних матеріалах
von: Антонюк, В.С., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Алмазный поликристаллический композиционный материал и его свойства
von: Шульженко, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Исследование механических свойств монокристалла LaB₆ методом наноиндентирования
von: Дуб, С.Н., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Исследование топологических особенностей формирования рельефа поверхности пленок нитрида титана на кремниевой подложке при диффузионном массопереносе и отжиге методом сканирующей туннельной микроскопии
von: Цысарь, М.А.
Veröffentlicht: (2013)

К вопросу о параметрах кристаллической решетки графитоподобных фаз системы B—C
von: Куракевич, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Свойства алмазов, выращенных на затравке в системе магний–углерод
von: Коваленко, Т.В., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Сравнительное наноиндентирование монокристаллов твердых и сверхтвердых оксидов
von: Дуб, С.Н., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Характер упорядочения атомов в расплаве и поверхностные свойства систем с интерметаллическими соединениями
von: Казимиров, В.П., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Методика множественного индентирования для определения параметров твердости структурно-неоднородных материалов
von: Кущ, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2015)