Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N

Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N

Получены аморфно-кристаллические тонкие пленки системы Та—В—N на стальной подложке ВЧ-магнетронным реактивным распылением мишени ТаВ₂ в газовой смеси азота и аргона. Исследовано влияние содержания азота в смеси на механические свойства пленок. Установлено, что формирование аморфно-кристаллической ст...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2009
Автори:	Дуб, С.Н., Гончаров, А.А., Петухов, В.В.
Формат:	Стаття
Мова:	Russian
Опубліковано:	Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України 2009
Назва видання:	Сверхтвердые материалы
Теми:	Получение, структура, свойства
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/63380
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N / С.Н. Дуб, А.А. Гончаров, В.В. Петухов // Сверхтвердые материалы. — 2009. — № 2. — С. 3-11. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N
за авторством: Дуб, С.Н., та інші
Опубліковано: (2009)

Структура, состав и механические свойства тонких пленок диборидов переходных металлов
за авторством: Гончаров, А.А., та інші
Опубліковано: (2015)

Механические свойства материалов на основе МАХ-фаз системы Ti–Al–C
за авторством: Прихна, Т.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Механические свойства нитевидных кристаллов HfB₂
за авторством: Дуб, С.Н., та інші
Опубліковано: (2013)

Влияние ионно-лучевой имплантации азота на адгезионные свойства твердого сплава ВК8
за авторством: Залога, В.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Структура и механические свойства защитных покрытий Ti–Al–Si–N, осажденных из сепарированной плазмы вакуумной дуги
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2013)

Влияние высокотемпературного отжига на структуру и механические свойства вакуумно-дуговых покрытий из Мо/(Ti + 6 % (по массе) Si)N
за авторством: Береснев, В.М., та інші
Опубліковано: (2017)

Влияние параметров осаждения нитридов высокоэнтро¬пийных сплавов (TiZrHfVNb)N на их структуру, состав, механические и трибологические свойства
за авторством: Погребняк, А.Д., та інші
Опубліковано: (2013)

Структурные особенности и физико-механические свойства аморфоподобных покрытий AlN–TiB₂–TiSi₂
за авторством: Погребняк, А.Д., та інші
Опубліковано: (2015)

Теплофизические и физико-механические свойства антифрикционной твердой смазки для холодного пластического деформирования титановых сплавов
за авторством: Гаврилова, В.С., та інші
Опубліковано: (2017)

Механические свойства монокристаллов диборидов переходных металлов TMB₂ (TМ = Sc, Hf, Zr, Ti). Эксперимент и теория
за авторством: Дуб, С.Н., та інші
Опубліковано: (2017)

Теплопроводность, физико-механические свойства и их взаимосвязь со структурой свободноспеченных композитов, полученных из нанодисперсной системы Si₃N₄–Al₂O₃–Y₂O₃ (–ZrO₂)
за авторством: Кайдаш, О.Н., та інші
Опубліковано: (2014)

Механические свойства синтетического алмаза типа ІІb при температуре 900 °С
за авторством: Мильман, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2012)

Влияние имплантации наноструктурного покрытия (TiHfZrVNbTa)N высокой дозой ионов N⁺(10¹⁸ см⁻²) на его микроструктуру, элементный и фазовый состав и физико-механические свойства
за авторством: Погребняк, А.Д., та інші
Опубліковано: (2016)

Влияние структурного состояния и температуры на механические свойства и механизмы деформации твердого сплава WC–Cо
за авторством: Мильман, Ю.В.
Опубліковано: (2014)

Вплив потоку азоту на властивості тонких аморфних Si–C–N-плівок, отриманих магнетронним розпиленням
за авторством: Козак, А.О., та інші
Опубліковано: (2015)

Автоэмиссионные свойства острийных катодов на основе пленок графена на SiC
за авторством: Конакова, Р.В., та інші
Опубліковано: (2016)

Структура и физико-механические свойства CVD-алмаза различного кристаллического совершенства в материале гибридайт
за авторством: Соколов, А.Н., та інші
Опубліковано: (2013)

Физико-механические свойства и структура алмазных поликристаллических композиционных материалов, полученных из порошков различной дисперсности
за авторством: Шульженко, А.А., та інші
Опубліковано: (2008)

Получение и механические свойства высокоэнтропийного карбида на основе многокомпонентного сплава TiZrHfVNbTa
за авторством: Горбань, В.Ф., та інші
Опубліковано: (2017)

Исследование влияния параметров инжекционного литья на физико-механические свойства керамики на основе нитрида алюминия
за авторством: Ивженко, В.В., та інші
Опубліковано: (2008)

Исследование влияния параметров инжекционного литья на физико-механические свойства керамики на основе нитрида алюминия
за авторством: Ивженко, В.В., та інші
Опубліковано: (2008)

Структура и механические свойства реакционноспеченных керамических композиционных материалов на основе диборидов титана и гафния
за авторством: Чорнобук, С.В., та інші
Опубліковано: (2009)

Динамический синтез ультрадисперсных кристаллических фаз системы С—N
за авторством: Сивков, А.А., та інші
Опубліковано: (2009)

Исследование упругого последействия при инжекционном литье термопластичных масс на основе порошков SiC, АlN, WC и его влияния на механические свойства материала заготовок изделий
за авторством: Ивженко, В.В., та інші
Опубліковано: (2009)

Исследование аэроабразивного износа горячепрессованных материалов системы B₄C–TiB₂
за авторством: Ивженко, В.В., та інші
Опубліковано: (2014)

Состав, структура и триботехнические свойства вакуумно-дуговых однослойных TiN, MoN и многослойных TiN/MoN покрытий
за авторством: Бондар, О.В., та інші
Опубліковано: (2015)

Свойства композиционного многослойного твердого покрытия Zr–ZrN
за авторством: Горбань, В.Ф., та інші
Опубліковано: (2017)

Получение и свойства горячепрессованных материалов на основе карбида кремния с добавками карбидов бора и титана
за авторством: Ивженко, В.В., та інші
Опубліковано: (2016)

Получение и свойства горячепрессованных материалов на основе карбида кремния с добавками карбидов бора и титана
за авторством: Ивженко, В.В., та інші
Опубліковано: (2016)

Nb–Al–N-тонкие пленки: структурный переход от нанокристаллического твердого раствора nc-(Nb,Al)N к нанокомпозиту nc-(Nb, Al)N/a-AlN
за авторством: Иващенко, В.И., та інші
Опубліковано: (2016)

Структура и свойства многоэлементных сверхтвердых покрытий (Zr–Ti–Cr–Nb)N
за авторством: Погребняк, А.Д., та інші
Опубліковано: (2015)

Структура и свойства многоэлементных сверхтвердых покрытий (Zr–Ti–Cr–Nb)N
за авторством: Погребняк, А.Д., та інші
Опубліковано: (2015)

О возможности динамического синтеза ультрадисперсных кристаллических фаз системы B—C—N в гиперскоростной плазменной струе
за авторством: Сивков, А.А., та інші
Опубліковано: (2010)

Сверхтвердые фазы простых веществ и двойных соединений системы B—C—N—O: от алмаза до последних результатов (обзор)
за авторством: Куракевич, А.А.
Опубліковано: (2009)

Износостойкость многокомпонентного покрытия системы (Ti–Zr–Hf–V–Nb–Ta)N при повышенной температуре
за авторством: Немченко, У.С., та інші
Опубліковано: (2015)

Оценка упруго-пластических свойств материалов по данным наноиндентирования и компьютерного моделирования. 2. Экспериментально-теоретическая методика
за авторством: Кущ, В.И., та інші
Опубліковано: (2012)

Оценка упруго-пластических свойств материалов по данным наноиндентирования и компьютерного моделирования. 1. Состояние проблемы (литературный обзор)
за авторством: Кущ, В.И., та інші
Опубліковано: (2012)

Критические комментарии к методике Оливера-Фара для измерения твердости и упругого модуля посредством инструментального индентирования и уточнение ее базисных соотношений
за авторством: Галанов Б.А., Б.А., та інші
Опубліковано: (2017)

Структура и свойства сверхтвердых материалов на основе додекаборида алюминия α-AlB₁₂
за авторством: Прихна, Т.А., та інші
Опубліковано: (2017)