Физико-химия в процессах формирования функциональных поверхностей деталей электронной техники и оптических систем из стекла и сапфира (α-Al₂O₃) при трибохимическом полировании

• Published in: Сверхтвердые материалы
• Date: 2009
• Main Author: Рогов, В.В.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України 2009
• Subjects: Исследование процессов обработки
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/63406
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Физико-химия в процессах формирования функциональных поверхностей деталей электронной техники и оптических систем из стекла и сапфира (α-Al₂O₃) при трибохимическом полировании / В.В. Рогов // Сверхтвердые материалы. — 2009. — № 4. — С. 74-83. — Бібліогр.: 22 назв. — рос.

Представлен обзор информационных источников по физико-химическим процессам формирования функциональных поверхностей деталей электронной техники и оптических систем из стекла и сапфира (α-Al₂O₃). Установлено, что невозможно обеспечить необходимые требования к состоянию их поверхностей до уровня “атом...