Применение сканирующего зондового микроскопа с алмазным острием в качестве нанотехнологического инструмента
Представлены экспериментальные результаты применения сканирующего зондового микроскопа для механической обработки поверхности с нанометровой разрешающей способностью. Особенностями прибора являются острие из легированного бором монокристалла алмаза и электромагнитная система измерения нановзаимодейс...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Сверхтвердые материалы |
|---|---|
| Datum: | 2009 |
| 1. Verfasser: | |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
2009
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/63425 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Применение сканирующего зондового микроскопа с алмазным острием в качестве нанотехнологического инструмента / О.Г. Лысенко // Сверхтвердые материалы. — 2009. — № 6. — С. 40-46. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862529046819110912 |
|---|---|
| author | Лысенко, О.Г. |
| author_facet | Лысенко, О.Г. |
| citation_txt | Применение сканирующего зондового микроскопа с алмазным острием в качестве нанотехнологического инструмента / О.Г. Лысенко // Сверхтвердые материалы. — 2009. — № 6. — С. 40-46. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Сверхтвердые материалы |
| description | Представлены экспериментальные результаты применения сканирующего зондового микроскопа для механической обработки поверхности с нанометровой разрешающей способностью. Особенностями прибора являются острие из легированного бором монокристалла алмаза и электромагнитная система измерения нановзаимодействия между острием и поверхностью образца. Продемонстрированы трехмерные изображения поверхности золота и кремния после операций наноочистки и наноцарапания. Обсуждены возможности использования алмазного наноинструмента для изготовления элементов наноэлектроники.
|
| first_indexed | 2025-11-24T03:35:44Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-63425 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 0203-3119 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-24T03:35:44Z |
| publishDate | 2009 |
| publisher | Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Лысенко, О.Г. 2014-06-01T15:07:14Z 2014-06-01T15:07:14Z 2009 Применение сканирующего зондового микроскопа с алмазным острием в качестве нанотехнологического инструмента / О.Г. Лысенко // Сверхтвердые материалы. — 2009. — № 6. — С. 40-46. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. 0203-3119 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/63425 548.74:681.723:621.9.02 Представлены экспериментальные результаты применения сканирующего зондового микроскопа для механической обработки поверхности с нанометровой разрешающей способностью. Особенностями прибора являются острие из легированного бором монокристалла алмаза и электромагнитная система измерения нановзаимодействия между острием и поверхностью образца. Продемонстрированы трехмерные изображения поверхности золота и кремния после операций наноочистки и наноцарапания. Обсуждены возможности использования алмазного наноинструмента для изготовления элементов наноэлектроники. Автор выражает благодарность С. А. Ивахненко за предоставление легированных бором алмазов для изготовления острия зонда, В. И. Мицкевичу и А. В. Щербакову за содействие в получении представленных результатов. ru Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України Сверхтвердые материалы Получение, структура, свойства Применение сканирующего зондового микроскопа с алмазным острием в качестве нанотехнологического инструмента Article published earlier |
| spellingShingle | Применение сканирующего зондового микроскопа с алмазным острием в качестве нанотехнологического инструмента Лысенко, О.Г. Получение, структура, свойства |
| title | Применение сканирующего зондового микроскопа с алмазным острием в качестве нанотехнологического инструмента |
| title_full | Применение сканирующего зондового микроскопа с алмазным острием в качестве нанотехнологического инструмента |
| title_fullStr | Применение сканирующего зондового микроскопа с алмазным острием в качестве нанотехнологического инструмента |
| title_full_unstemmed | Применение сканирующего зондового микроскопа с алмазным острием в качестве нанотехнологического инструмента |
| title_short | Применение сканирующего зондового микроскопа с алмазным острием в качестве нанотехнологического инструмента |
| title_sort | применение сканирующего зондового микроскопа с алмазным острием в качестве нанотехнологического инструмента |
| topic | Получение, структура, свойства |
| topic_facet | Получение, структура, свойства |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/63425 |
| work_keys_str_mv | AT lysenkoog primenenieskaniruûŝegozondovogomikroskopasalmaznymostriemvkačestvenanotehnologičeskogoinstrumenta |