Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки
Досліджені процеси іонізації та осадження металів і напівпровідників на площинну підкладку в області мікровістря скануючого тунельного літографа, зроблені оцінки продуктивності методу формування наноструктур для квантових елементів обчислювальної техніки....
Gespeichert in:
| Datum: | 2003 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Ukrainisch |
| Veröffentlicht: |
Інститут кібернетики ім. В.М. Глушкова НАН України
2003
|
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/6390 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки / А.І. Золот, О.М. Клочко // Комп’ютерні засоби, мережі та системи. — 2003. — № 2. — С. 126-129. — Бібліогр.: 4 назв. — укр. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862557948778119168 |
|---|---|
| author | Золот, А.І. Клочко, О.М. |
| author_facet | Золот, А.І. Клочко, О.М. |
| citation_txt | Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки / А.І. Золот, О.М. Клочко // Комп’ютерні засоби, мережі та системи. — 2003. — № 2. — С. 126-129. — Бібліогр.: 4 назв. — укр. |
| collection | DSpace DC |
| description | Досліджені процеси іонізації та осадження металів і напівпровідників на площинну підкладку в області мікровістря скануючого тунельного літографа, зроблені оцінки продуктивності методу формування наноструктур для квантових елементів обчислювальної техніки.
|
| first_indexed | 2025-11-25T22:42:24Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-6390 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1817-9908 |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2025-11-25T22:42:24Z |
| publishDate | 2003 |
| publisher | Інститут кібернетики ім. В.М. Глушкова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Золот, А.І. Клочко, О.М. 2010-03-02T10:13:21Z 2010-03-02T10:13:21Z 2003 Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки / А.І. Золот, О.М. Клочко // Комп’ютерні засоби, мережі та системи. — 2003. — № 2. — С. 126-129. — Бібліогр.: 4 назв. — укр. 1817-9908 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/6390 621.382 Досліджені процеси іонізації та осадження металів і напівпровідників на площинну підкладку в області мікровістря скануючого тунельного літографа, зроблені оцінки продуктивності методу формування наноструктур для квантових елементів обчислювальної техніки. uk Інститут кібернетики ім. В.М. Глушкова НАН України Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки Article published earlier |
| spellingShingle | Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки Золот, А.І. Клочко, О.М. |
| title | Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки |
| title_full | Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки |
| title_fullStr | Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки |
| title_full_unstemmed | Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки |
| title_short | Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки |
| title_sort | формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/6390 |
| work_keys_str_mv | AT zolotaí formuvannânanorozmírnihstrukturdlâkvantovihpriladívobčislûvalʹnoítehníki AT kločkoom formuvannânanorozmírnihstrukturdlâkvantovihpriladívobčislûvalʹnoítehníki |