Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки

Досліджені процеси іонізації та осадження металів і напівпровідників на площинну підкладку в області мікровістря скануючого тунельного літографа, зроблені оцінки продуктивності методу формування наноструктур для квантових елементів обчислювальної техніки....

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Datum:2003
Hauptverfasser: Золот, А.І., Клочко, О.М.
Format: Artikel
Sprache:Ukrainisch
Veröffentlicht: Інститут кібернетики ім. В.М. Глушкова НАН України 2003
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/6390
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки / А.І. Золот, О.М. Клочко // Комп’ютерні засоби, мережі та системи. — 2003. — № 2. — С. 126-129. — Бібліогр.: 4 назв. — укр.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1862557948778119168
author Золот, А.І.
Клочко, О.М.
author_facet Золот, А.І.
Клочко, О.М.
citation_txt Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки / А.І. Золот, О.М. Клочко // Комп’ютерні засоби, мережі та системи. — 2003. — № 2. — С. 126-129. — Бібліогр.: 4 назв. — укр.
collection DSpace DC
description Досліджені процеси іонізації та осадження металів і напівпровідників на площинну підкладку в області мікровістря скануючого тунельного літографа, зроблені оцінки продуктивності методу формування наноструктур для квантових елементів обчислювальної техніки.
first_indexed 2025-11-25T22:42:24Z
format Article
fulltext
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-6390
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 1817-9908
language Ukrainian
last_indexed 2025-11-25T22:42:24Z
publishDate 2003
publisher Інститут кібернетики ім. В.М. Глушкова НАН України
record_format dspace
spelling Золот, А.І.
Клочко, О.М.
2010-03-02T10:13:21Z
2010-03-02T10:13:21Z
2003
Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки / А.І. Золот, О.М. Клочко // Комп’ютерні засоби, мережі та системи. — 2003. — № 2. — С. 126-129. — Бібліогр.: 4 назв. — укр.
1817-9908
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/6390
621.382
Досліджені процеси іонізації та осадження металів і напівпровідників на площинну підкладку в області мікровістря скануючого тунельного літографа, зроблені оцінки продуктивності методу формування наноструктур для квантових елементів обчислювальної техніки.
uk
Інститут кібернетики ім. В.М. Глушкова НАН України
Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки
Article
published earlier
spellingShingle Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки
Золот, А.І.
Клочко, О.М.
title Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки
title_full Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки
title_fullStr Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки
title_full_unstemmed Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки
title_short Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки
title_sort формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/6390
work_keys_str_mv AT zolotaí formuvannânanorozmírnihstrukturdlâkvantovihpriladívobčislûvalʹnoítehníki
AT kločkoom formuvannânanorozmírnihstrukturdlâkvantovihpriladívobčislûvalʹnoítehníki