Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки
Досліджені процеси іонізації та осадження металів і напівпровідників на площинну підкладку в області мікровістря скануючого тунельного літографа, зроблені оцінки продуктивності методу формування наноструктур для квантових елементів обчислювальної техніки....
Saved in:
| Date: | 2003 |
|---|---|
| Main Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Ukrainian |
| Published: |
Інститут кібернетики ім. В.М. Глушкова НАН України
2003
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/6390 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки / А.І. Золот, О.М. Клочко // Комп’ютерні засоби, мережі та системи. — 2003. — № 2. — С. 126-129. — Бібліогр.: 4 назв. — укр. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862557948778119168 |
|---|---|
| author | Золот, А.І. Клочко, О.М. |
| author_facet | Золот, А.І. Клочко, О.М. |
| citation_txt | Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки / А.І. Золот, О.М. Клочко // Комп’ютерні засоби, мережі та системи. — 2003. — № 2. — С. 126-129. — Бібліогр.: 4 назв. — укр. |
| collection | DSpace DC |
| description | Досліджені процеси іонізації та осадження металів і напівпровідників на площинну підкладку в області мікровістря скануючого тунельного літографа, зроблені оцінки продуктивності методу формування наноструктур для квантових елементів обчислювальної техніки.
|
| first_indexed | 2025-11-25T22:42:24Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-6390 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1817-9908 |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2025-11-25T22:42:24Z |
| publishDate | 2003 |
| publisher | Інститут кібернетики ім. В.М. Глушкова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Золот, А.І. Клочко, О.М. 2010-03-02T10:13:21Z 2010-03-02T10:13:21Z 2003 Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки / А.І. Золот, О.М. Клочко // Комп’ютерні засоби, мережі та системи. — 2003. — № 2. — С. 126-129. — Бібліогр.: 4 назв. — укр. 1817-9908 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/6390 621.382 Досліджені процеси іонізації та осадження металів і напівпровідників на площинну підкладку в області мікровістря скануючого тунельного літографа, зроблені оцінки продуктивності методу формування наноструктур для квантових елементів обчислювальної техніки. uk Інститут кібернетики ім. В.М. Глушкова НАН України Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки Article published earlier |
| spellingShingle | Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки Золот, А.І. Клочко, О.М. |
| title | Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки |
| title_full | Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки |
| title_fullStr | Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки |
| title_full_unstemmed | Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки |
| title_short | Формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки |
| title_sort | формування нанорозмірних структур для квантових приладів обчислювальної техніки |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/6390 |
| work_keys_str_mv | AT zolotaí formuvannânanorozmírnihstrukturdlâkvantovihpriladívobčislûvalʹnoítehníki AT kločkoom formuvannânanorozmírnihstrukturdlâkvantovihpriladívobčislûvalʹnoítehníki |