Особенности работы матричных полупроводниковых сенсоров в системе „электронный нос”. Ч. 1
Разработана аппаратура и программное обеспечение для проведения отбора полупроводниковых сенсоров, используемых в системе «электронный нос». На основе построенной математической модели взаимодействия молекул газа и чувствительной поверхности сенсора анализируются возможности их использования для рас...
Збережено в:
| Дата: | 2007 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут кібернетики ім. В.М. Глушкова НАН України
2007
|
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/6477 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Особенности работы матричных полупроводниковых сенсоров в системе „электронный нос”. Ч. 1 / С.И. Лукаш, И.Д. Войтович, Х. Алерс // Комп’ютерні засоби, мережі та системи. — 2007. — № 6. — С. 80-88. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859651183783706624 |
|---|---|
| author | Лукаш, С.И. Войтович, И.Д. Алерс, Х. |
| author_facet | Лукаш, С.И. Войтович, И.Д. Алерс, Х. |
| citation_txt | Особенности работы матричных полупроводниковых сенсоров в системе „электронный нос”. Ч. 1 / С.И. Лукаш, И.Д. Войтович, Х. Алерс // Комп’ютерні засоби, мережі та системи. — 2007. — № 6. — С. 80-88. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| description | Разработана аппаратура и программное обеспечение для проведения отбора полупроводниковых сенсоров, используемых в системе «электронный нос». На основе построенной математической модели взаимодействия молекул газа и чувствительной поверхности сенсора анализируются возможности их использования для распознавания запахов.
The equipment and software for realization of selection of semiconducting sensors used in a system "electronic nose" is designed. On the basis of making mathematical model of interaction of moleculas of gas and sensing surface of the sensor the capabilities of their usage for recognition of odors are analyzed.
|
| first_indexed | 2025-12-07T13:33:29Z |
| format | Article |
| fulltext |
Комп’ютерні засоби, мережі та системи. 2007, № 6 80
S.I. Lukash, I.D. Vojtovich,
H. Ahlers
FEATURES OF ACTIVITY OF
SEMICONDUCTING SENSOR
ARRAY IN A SYSTEM "ELEC-
TRONIC NOSE " PART. 1
The equipment and software for rea-
lization of selection of semiconduct-
ing sensors used in a system "elec-
tronic nose" is designed. On the
basis of making mathematical model
of interaction of moleculas of gas
and sensing surface of the sensor the
capabilities of their usage for recog-
nition of odors are analyzed.
Разработана аппаратура и про-
граммное обеспечение для прове-
дения отбора полупроводниковых
сенсоров, используемых в системе
«электронный нос». На основе по-
строенной математической мо-
дели взаимодействия молекул газа
и чувствительной поверхности
сенсора анализируются возмож-
ности их использования для рас-
познавания запахов.
С.И. Лукаш, И.Д. Войтович,
Х. Алерс, 2007
УДК 681.3: 591.3
С.И. ЛУКАШ, И.Д. ВОЙТОВИЧ, Х. АЛЕРС
ОСОБЕННОСТИ РАБОТЫ
МАТРИЧНЫХ ПОЛУПРОВОДНИ-
КОВЫХ СЕНСОРОВ В СИСТЕМЕ
«ЭЛЕКТРОННЫЙ НОС». Ч.1
Введение. Разработка системы распознава-
ния запахов при использовании матрицы сен-
соров [1] требует выяснения и оценки спосо-
ба их применения, методики работы с таким
устройством. Актуальность исследований в
этом направлении подтверждается многочис-
ленностью различных применений [2]. Это
автоматизация технологических процессов,
ранняя медицинская диагностика и др.
Как известно, одной из моделей распозна-
вания запаха может быть формирование об-
раза запаха в математическом или графиче-
ском представлении. В работах [2, 3] описа-
ны подобные методы и возникающие при
этом трудности.
При распознавании обработанный сигнал
несет информацию не только о виде опреде-
ляемого газа, но и о его концентрации.
Авторы работы [4] применили полупро-
водниковый сенсор с подогревом рабочего
слоя и использовали информацию о состоя-
нии слоя при многократном циклическом
процессе: выдержка 6 с при Т = 120 оС, на-
грев до 450 оС и отжиг при этой температуре
в течение 0,5 с с последующим охлаждением
вновь до рабочей температуры 120 оС для
обнаружения задымленности помещения,
возникающей при пожаре. Устройство пока-
зало хорошие результаты при обнаружении в
воздухе газообразного монооксида углерода
и водорода в диапазоне их концентраций от
0,001 до 0,01 %.
Альтернативой матричным сенсорам вы-
ступают сенсоры с температурным програм-
ОСОБЕННОСТИ РАБОТЫ МАТРИЧНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СЕНСОРОВ…
Комп’ютерні засоби, мережі та системи. 2007, № 6 81
мированием. Использование температурного программирования, заключающего-
ся в циклическом изменении температуры чувствительного слоя сенсора, позво-
ляет осуществлять селекцию газов при помощи одного чувствительного элемента
на основе анализа его динамических характеристик. Принцип селекции основан
на том, что различные газы имеют различные скорости адсорбции, реакции и де-
сорбции на поверхности для каждой температуры. Это является причиной того,
что при одном и том же ходе изменения температуры сенсора изменение его со-
противления при различных составах окружающей газовой среды должно быть
разным. Очевидное преимущество описываемого подхода – его гибкость. Меняя
зависимость температуры от времени, можно изменять селективность сенсора к
тому или иному газу.
В нашем распоряжении были подобные по конструкции полупроводниковые
(SnO2) сенсоры, изготавливаемые немецкой фирмой [5], которые выпускаются в
двух исполнениях: одиночные сенсоры в металлическом корпусе ТО 39 (рис. 1,
позиция 1) и мультисенсоры в пластмассовом корпусе DIL (3 слоя на одной под-
ложке, рис. 1, позиции 2, 3). Чувствительные слои нанесены на керамическую
подложку размером 2,3 х 2,0 мм, на которой предварительно сформирован пла-
тиновый нагреватель.
Такие конструкции имеют разную теплоемкость и теплоотдачу, и в техниче-
ской характеристике отмечается, что способ их изготовления обеспечивает до
30 % потерь подводимой к нагревателю мощности.
Время установления рабочего состояния сенсоров в матричном и одиночном
вариантах исполнения различно. Также оно отличается при использовании раз-
личных методик, например, при измерениях состава газа в стационарных или
проточных условиях. Если решается задача обнаружения присутствия газа, то
ошибка даже в 20 % считается приемлемой. В задаче распознавания и определе-
ния концентрации погрешность должна быть значительно ниже. Отмеченные в
работах [1, 2, 4] возникающие погрешности при измерениях могут быть связаны
также с неучетом этого процесса.
Очевидно, что при изготовлении аналитической системы или узкоспециали-
зированого портативного прибора с подобными сенсорами необходимо знать об
изменении его характеристик в зависимости от времени, температуры нагрева,
вида и концентрации газа, скорости его прокачки и т.д., которые влияют на пока-
зания прибора и отражают специфику методики измерений и свойства сенсоров.
Действующий макет из трех мультисенсоров как аналог 9-элементной мат-
рицы показан на рис. 2. Цифрами 1 – 3 обозначены трехслойные мультисенсоры,
4 и 5 – датчики влажности и температуры соответственно.
Два вида используемых авторами объемов измерительных устройств изо-
бражены на рис. 3, а (7,5 мл), 3, б (8 л).
Для проведения испытаний разработан и используется лабораторный стенд
позволяющий калибровать, испытывать и выполнять отбор сенсоров. Предусмот-
рена возможность получения газовых смесей в камере для формирования газовой
смеси. Для отработки методик управление блоком питания и балансировки сен-
соров осуществляется вручную.
С.И. ЛУКАШ, И.Д. ВОЙТОВИЧ, Х. АЛЕРС
Комп’ютерні засоби, мережі та системи. 2007, № 6 82
Цель данной работы исследование реакции чувствительных слоев матрич-
ных сенсоров при изменении условий: времени, температуры, газового состояния
с возможностью одновременного испытания от 1 до 6 сенсоров.
РИС. 1. Сенсоры типа GGS (1) и MGS (2, 3) РИС. 2. Плата 11-сенсорного датчика
а б
РИС. 3. Варианты используемого газового оборудования
Аппаратура и методы. Для измерений использовали сенсоры, предоставле-
ные фирмой «Jenasensoric», подключенный к компьютеру интерфейс c 10-раз-
рядным АЦП и программное обеспечение, разработанное в Институте киберне-
тики им. В.М. Глушкова НАН Украины [6]. Программное обеспечение работает
в среде Windows-98/XP.
Использована мостовая схема измерения сопротивления слоев. Вначале мост
уравновешивается при начальной температуре. При повышении температуры
равновесие моста нарушается, что отслеживается в блоке электронного потен-
циометра. Сигналы с исследуемых сенсоров предварительно усиливаются и пре-
образуются в напряжение, которое после преобразования в АЦП на плате интер-
ОСОБЕННОСТИ РАБОТЫ МАТРИЧНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СЕНСОРОВ…
Комп’ютерні засоби, мережі та системи. 2007, № 6 83
фейса в качестве информационного сигнала обрабатывается программным обес-
печением в персональном компьютере.
Если сбалансировать мост при оптимальной рабочей температуре сенсора, то
установка позволяет проводить калибровку и проверку реакции датчиков на раз-
личные газовые составы.
Требования к устройству как стационарному с неперемешиваемой газовой
средой, так и проточному определяются выбранной методикой работы в экспе-
рименте. Основные требования: 1) герметичность камеры и подводящих трубок;
2) известный газовый состав внутри камеры для испытаний; 3) стандартная
влажность; 4) определенный температурный режим для сенсоров; 5) визуальный
вывод информации о сопротивлении газочувствительного слоя; 6) возможность
адаптации для работы с различными типами газовых сенсоров.
При исследовании динамических характеристик сенсоров были исследованы
зависимости сопротивления слоев сенсора во времени и в определенном интерва-
ле рабочих температур. Сопротивление при этом может меняться в диапазоне от
сотен Ом до сотен килоОм. Изменение при ступенчатом переходе температур на-
грева и для разных газов может происходить от долей секунды до десятка минут.
Устройство используемой конфигурации работает в качестве исследователь-
ской аналитической системы обнаружения и распознавания запахов и газов. Его
модификации могут быть в виде портативных приборов для конкретных техниче-
ских задач.
Методика проведения эксперимента следующая:
1) исследуемый и подготовленный сенсор помещают в измерительный объем
стационарного или принудительно-проточного типа;
2) подключают подачу газа;
3) включают программу Multiscan и осуществляют начальную балансировку;
4) включают нагрев сенсора;
5) после стабилизации режима работы сенсора выключают нагрев;
6) продувка измерительного объема воздухом и отжиг сенсора;
7) обработка данных.
Сенсоры помещали в измерительный объем и измеряли динамику разогрева
и охлаждения каждого из слоев при использовании различных объемов и состоя-
ний аналитического газа (воздух) в стандартных условиях: Т = 20 оС, Н = 50 % и
Р = 750 мм рт. ст. (Т, Н и Р – температура, относительная влажность и давление
соответственно).
Программное обеспечение позволяет устанавливать рабочие режимы устрой-
ства и обрабатывать данные по закладываемой математической модели.
Результаты и обсуждение. Измерения проводили на полупроводниковых
сенсорах с номенклатурными номерами от 1 до 7 [5]. Результаты имели хорошую
воспроизводимость.
Такой сенсор можно рассматривать как термо-, газо- и влагочувствительное
сопротивление. Общее сопротивление R полупроводникового материала, кото-
рый является чувствительным слоем, зависит от температуры и легирующего
компонента, обеспечивающего реакцию на определенный газ. При оптимальной
С.И. ЛУКАШ, И.Д. ВОЙТОВИЧ, Х. АЛЕРС
Комп’ютерні засоби, мережі та системи. 2007, № 6 84
рабочей температуре нагрева сенсоры имеют максимальную чувствительность.
Зависимость R (T) можно представить в виде [7]
o( ) exp( )T
B
R f T R
T
, (1)
где Rо – начальное сопротивление, В – электронная постоянная материала чув-
ствительного слоя, Т – температура.
Для оценки чувствительности сенсоров газа, работающих на принципе изме-
нения поверхностной проводимости в зависимости от концентрации молекул га-
за, использовали относительное изменение сопротивления Sl:
при Rg > R0:
o
o o
1
g g
l
R R R
S
R R
, (2)
и при R0 > Rg:
o o 1
g
l
g g
R R R
S
R R
. (3)
Здесь R0 и Rg – сопротивления в стандартном воздухе и в газе-аналите соответст-
венно. В таком представлении информационный сигнал содержит признаки, спо-
собствующие распознаванию газа. В эксперименте в качестве информационного
сигнала измеряли напряжение RIU на слое, которое пропорционально его
сопротивлению.
Мощность нагревателя расходуется на повышение температуры рабочего
элемента и на потери в конструкции.
Уравнение теплового баланса для конструкции сенсора:
lht QQQ , (4)
где Qt – подводимая теплота; Qh = cm(T2-T1) , Ql = k.Qt, c , m – теплота нагрева,
теплота потерь, теплоемкость и масса конструкции соответственно; T1 и T2 – на-
чальная и конечная температура нагрева; k – коэффициент потерь (по паспорту
k 0,3).
При включении теплота нагрева рассчитывается по приближенной формуле
exp[ ( ) / τ ]t to d hQ Q t t . (5)
При остывании слоя
{1 exp[ ( ) / τ ]}t to d cQ Q t t . (6)
Параметры td и характеризуют тепловую инерцию.
Длительность переходного процесса определяли по времени уменьшения
информационного сигнала в е = 2,71 раз. Время выхода в режим может быть
уменьшено за счет включения большей мощности нагревателя [8].
Экспериментальные кривые приведены к виду, удобному для аппроксима-
ции и анализа. Применена линейная фильтрация по 10 точкам для всех слоев.
Аппроксимация была выполнена для характеристического участка зависимо-
сти сопротивления слоя от его температуры. Коэффициенты уравнения были оп-
тимизированы по методу наименьших квадратов.
ОСОБЕННОСТИ РАБОТЫ МАТРИЧНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СЕНСОРОВ…
Комп’ютерні засоби, мережі та системи. 2007, № 6 85
На рис. 4 показана динамика ступенчатого нагрева и охлаждения слоев 1 и 6.
Переходный процесс имеет ярко выраженный нелинейный характер с длитель-
ным, порядка десятка секунд временем установления более-менее стабильного
режима. При этом в области высоких температур сопротивление слоев даже уве-
личивается. После остывания до начальной температуры сопротивление слоев
близко к исходному.
Реакция слоев 1, 3, 4 и 6 на однократный нагрев до 300 оС и последующее
охлаждение до 25 оС в стационарной системе показана на рис. 5. Следует отме-
тить, что повышение температуры слоев начинается очень быстро, в пределах
времени переключения каналов, равном 10 мс, хотя установление стабильного
режима происходит на протяжении нескольких десятков секунд. Характер изме-
нения сопротивления слоев 1 и 6 отличается от слоев 3 и 4, что определяется ле-
гирующими добавками.
0
0,5
1
1,5
2
2,5
3
0 50 100 150
U
А
Ц
П
,
В
100 150 200 250 300 350 400 25 100
Время, с
Температура нагрева, °C
Слой 1
Слой 6
0
1
2
3
4
5
0 30 60 90
Время, с
U
,
В Слой 1
Слой 3
Слой 6
Включение нагрева до Т=300 С
Слой 4
Выключение
РИС. 4. Ступенчатый нагрев слоев 1 и 6 РИС. 5. Циклический нагрев слоев
Ход изменения сигнала во времени для слоев 2, 5 и 7 при нагреве до 300 оС
и последующего охлаждения до комнатной температуры показан на рис. 6, а, б.
0,0
0,5
1,0
1,5
2,0
2,5
3,0
3,5
0 30 60 90Время, с
U
,
В
Слой 2
Слой 5
Слой 7
Момент включения
нагрева до Т=300 С
0,0
0,5
1,0
1,5
2,0
2,5
3,0
3,5
0 30 60 90Время, с
U
,
В
Слой 2
Слой 5
Слой 7
Момент выключения
нагрева
а б
РИС. 6. Изменение напряжения на сопротивлении слоев 1 7 при нагревании от 25 до 300
о
С
(а) и остывании от 300 до 25
о
С (б)
С.И. ЛУКАШ, И.Д. ВОЙТОВИЧ, Х. АЛЕРС
Комп’ютерні засоби, мережі та системи. 2007, № 6 86
В начале разогрева существует участок более медленного снижения напря-
жения, что отражает параметр td в уравнении (6).
Спустя 15 – 25 с после начала разогрева обнаруживается немонотонный ха-
рактер временной зависимости для слоя 7. Появляется нелинейное возрастание
сопротивления слоя, хотя подводимая к нагревателю мощность, обеспечивающая
нагрев слоя до 300 оС, оставалась постоянной. У слоя 2 такое свойство было вы-
ражено в гораздо меньшей степени.
Изменение напряжения при нагревании для большинства слоев от момента
включения до установления стабильного режима может быть аппроксимировано
экспериментально подобранным нелинейным уравнением вида
3 2
1 1 1 1exp[ ( ) / τ ]t o d hU U t t a t b t c t d , (7)
где a, b, c, d – коэффициенты; td – длительность задержки; t – время.
Так как интерес в этой работе представляет переходный процесс, то аппрок-
симацию целесообразно выполнить только для участка экспоненциального спада.
Тогда аппроксимирующее выражение упрощается:
exp ( ) / τt o d hU U t t . (8)
В таблице приведены коэффициенты аппроксимирущего уравнения для всех
слоев.
ТАБЛИЦА. Коэффициенты аппроксимирующих уравнений зависимости сопротивления слоя
при нагреве и охлаждении
Сенсоры
Номер
слоя
Нагрев Охлаждение
Rо, кОм td, с h , с h, с
-1
R
2
Rо, кОм td, с c , с с, с
-1
R
2
№ 1 1 2,32 2,1 8,27 0,12 0,98 2,32 2,1 8,27 0,12 0,96
3 - 10
-2
10
2
- - - - 10
2
-
6 1,35 2,2 5,27 0,19 0,96 1,35 2,25 5,27 0,19 0,97
№ 2 2 3,35 - 3,17 0,32 0,99 3,52 0,09 10,20 0,09 0,98
5 3,12 - 11,35 0,09 0,96 2,88 0,02 4,50 0.22 0,97
7 18,03 - 3,13 0,32 0,93 0,90 -0,63 8,10 0,12 0,93
№ 3 4 - 10
-2
10
2
- - - - 10
2
-
Примечание: R2 величина достоверности аппроксимации.
Параметр td в большей степени проявляется при охлаждении слоев, и боль-
шее его значение соответствует большей массе этих слоев. Исходя из полупро-
водниковой модели [9, 10], параметры h и c могут свидетельствовать о заполне-
нии и освобождении поверхностных состояний, отвечающих за проводимость
слоя в присутствии газа, а им обратные величины h = 1/ h и c = 1/c скорости
этих процессов соответственно.
В проточной системе показания сенсоров изменяются. Так, на рис. 7, а, б
кривые 1 получены в стационарном состоянии, а кривые 2 – в проточной системе.
Сопротивления слоев 1 и 2 в области установившегося режима отличаются при-
мерно на 20 – 30 % при скорости потока воздуха 0,7 м/с.
ОСОБЕННОСТИ РАБОТЫ МАТРИЧНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СЕНСОРОВ…
Комп’ютерні засоби, мережі та системи. 2007, № 6 87
0
1
2
3
4
5
6
0 10 20 30 40 50 60
Время, с
U
,
В
1
2
Слой 1
0
1
2
3
0 10 20 30 40 50 60
Время, с
U
,
В
1
2
Слой 2
а б
РИС. 7. Влияние состояния газа: стационарное (1) или поток (2) на информационный сигнал
для слоев 1 (а) и 2 (б)
Выполненные эксперименты и анализ результатов показывают, что при ис-
пользовании чувствительных полупроводниковых газовых сенсоров и соответст-
вующей компьютерной системы регистрации и обработки данных возможно оп-
ределение запаха ацетона в выдыхаемом пациентом воздухе даже при его низких
концентрациях. Развитие разработанного подхода для более полного анализа со-
става воздуха позволит провести раннюю диагностику тех заболеваний человека,
которые сопровождаются выделением специфического запаха [11].
Выводы. Экспериментально обнаружено, что в температурном диапазоне
100…300 оС наблюдалось изменение характера временных характеристик газо-
чувствительных структур на основе тонких пленок диоксида олова при наличии
газов. В области температур T > 250 oC некоторые слои проявляют длительный
характер стабилизации сопротивления и его нелинейное изменение.
Подобрана математическая модель переходных процессов при нагреве полу-
проводниковых чувствительных слоев, и по методу наименьших квадратов рас-
считаны коэффициенты аппроксимирующих уравнений.
В соответствии с полупроводниковой моделью определены скорости адсорб-
ции и десорбции молекул газа на поверхности чувствительного слоя, что позво-
ляет получить дополнительные признаки для распознавания газов. Эксперимен-
тально обнаружен нелинейный характер изменения проводимости газочувстви-
тельных слоев на основе тонких пленок диоксида олова во времени.
Проведенные эксперименты позволяют определить диапазон оптимальных
режимов работы сенсора для получения высокой чувствительности к определен-
ному газу или для смеси газов и для конкретного режима их эксплуатации.
Отмечено, что нелинейные характеристики газочувствительных структур по-
зволяют не только обнаруживать, но и распознавать сорт газа на основе анализа
сигнала сенсора.
Подобный прибор может быть адаптирован к конкретной задаче и использо-
ван во многих областях народного хозяйства, в том числе для ранней диагности-
ки заболеваний.
Таким образом, разработаны новые подходы к формированию признаков для
распознавания образов запахов и сложных газовых смесей, основанные на пред-
С.И. ЛУКАШ, И.Д. ВОЙТОВИЧ, Х. АЛЕРС
Комп’ютерні засоби, мережі та системи. 2007, № 6 88
варительной математической обработке сигналов мультисенсорных систем.
Независящие от концентрации газа параметры позволяют проводить распозна-
вание газовых смесей и запахов с помощью обработки сигналов даже при мини-
мальном количестве чувствительных слоев. Применение предварительной обра-
ботки сигналов в соответствии с разработанными моделями повышают надеж-
ность распознавания.
Работа выполнена при поддержке фирмы «Jenasensoric». Авторы выражают
благодарность Dr. Reish, W. Ring, D. Shulz, D. Fritze за оказанную помощь.
1. Ширшов Ю.М., Кошец И.А., Христосенко Р.В. Технология химического распознавания с
помощью сенсорных массивов: фундаментальные проблемы и техническая реализация //
Sensor electronics and microsystem technologies. – 2005. – № 1. – C. 27 – 33.
2. Лукаш С.И., Колесницкий О.К., Войтович И.Д. Техника и технология анализа объектов
для екологической и медицинской диагностики по запаху // Комп’ютерні засоби, мережі
та системи. – К.: Ін-т кібернетики ім. В.М. Глушкова НАН України, 2006. – № 5. –
С. 141 – 148.
3. Лукаш С.И., Алерс Х., Райш Р. Исследование изменения параметров сенсоров в устройст-
ве газового анализатора в процессе измерений // УСиМ. – 2001. – № 3. – С. 20 – 27.
4. Антоненко В.И., Васильев А.А., Олихов И.М. Раннее обнаружение пожара // Электроника:
Наука, Технология, Бизнес. 2001. № 4. С. 48 52.
5. Проспект фирмы UST UMWELTSENSORTECHNIK GmbH, DBR, – 1999. –14 с.
6. Лукаш С.І., Перетятько В.Ю. Комп’ютерна програма попередньої обробки даних: Свід.
ПА № 4461 від 03.07.2001.
7. Волошин И.Ф., Касперович А.С., Шашков А.Г. Полупроводниковые термосопротивления.
– Минск: Изд-во АН БССР, 1959. – 196 c.
8. Справочник конструктора РЭА / Под ред. Р.Г. Варламова. М.: Сов. Радио, 1980. 478 с.
9. Волькенштейн Ф.Ф. Электронные процессы на поверхности полупроводников при хемо-
сорбции. М.: Наука, 1987. – 432 с.
10. Таланчук П.М., Мороз О.С. Теорія напівпровідникових сенсорів. – К.: НДІ Сатурн,
1997. – 56 с.
11. Лукаш С.І., Перетятько В.Ю. Компьютерная система определения ацетона в воздухе ды-
хания // Комп’ютерні засоби, мережі та системи. – К.: Ін-т кібернетики ім. В.М. Глуш-
кова НАН України, 2004. № 3. С. 5056.
Получено 23.05.2007
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-6477 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1817-9908 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T13:33:29Z |
| publishDate | 2007 |
| publisher | Інститут кібернетики ім. В.М. Глушкова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Лукаш, С.И. Войтович, И.Д. Алерс, Х. 2010-03-04T14:27:00Z 2010-03-04T14:27:00Z 2007 Особенности работы матричных полупроводниковых сенсоров в системе „электронный нос”. Ч. 1 / С.И. Лукаш, И.Д. Войтович, Х. Алерс // Комп’ютерні засоби, мережі та системи. — 2007. — № 6. — С. 80-88. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. 1817-9908 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/6477 681.3: 591.3 Разработана аппаратура и программное обеспечение для проведения отбора полупроводниковых сенсоров, используемых в системе «электронный нос». На основе построенной математической модели взаимодействия молекул газа и чувствительной поверхности сенсора анализируются возможности их использования для распознавания запахов. The equipment and software for realization of selection of semiconducting sensors used in a system "electronic nose" is designed. On the basis of making mathematical model of interaction of moleculas of gas and sensing surface of the sensor the capabilities of their usage for recognition of odors are analyzed. ru Інститут кібернетики ім. В.М. Глушкова НАН України Особенности работы матричных полупроводниковых сенсоров в системе „электронный нос”. Ч. 1 Features of activity of semiconducting sensor array in a system "electronic nose". Part. 1 Article published earlier |
| spellingShingle | Особенности работы матричных полупроводниковых сенсоров в системе „электронный нос”. Ч. 1 Лукаш, С.И. Войтович, И.Д. Алерс, Х. |
| title | Особенности работы матричных полупроводниковых сенсоров в системе „электронный нос”. Ч. 1 |
| title_alt | Features of activity of semiconducting sensor array in a system "electronic nose". Part. 1 |
| title_full | Особенности работы матричных полупроводниковых сенсоров в системе „электронный нос”. Ч. 1 |
| title_fullStr | Особенности работы матричных полупроводниковых сенсоров в системе „электронный нос”. Ч. 1 |
| title_full_unstemmed | Особенности работы матричных полупроводниковых сенсоров в системе „электронный нос”. Ч. 1 |
| title_short | Особенности работы матричных полупроводниковых сенсоров в системе „электронный нос”. Ч. 1 |
| title_sort | особенности работы матричных полупроводниковых сенсоров в системе „электронный нос”. ч. 1 |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/6477 |
| work_keys_str_mv | AT lukašsi osobennostirabotymatričnyhpoluprovodnikovyhsensorovvsistemeélektronnyinosč1 AT voitovičid osobennostirabotymatričnyhpoluprovodnikovyhsensorovvsistemeélektronnyinosč1 AT alersh osobennostirabotymatričnyhpoluprovodnikovyhsensorovvsistemeélektronnyinosč1 AT lukašsi featuresofactivityofsemiconductingsensorarrayinasystemelectronicnosepart1 AT voitovičid featuresofactivityofsemiconductingsensorarrayinasystemelectronicnosepart1 AT alersh featuresofactivityofsemiconductingsensorarrayinasystemelectronicnosepart1 |