Спектрофотометрия нормального отражения и брюстеровское отражение от алмазоподобных пленок нитрида углерода CNx и CNx:Euy
Методами спектрофотометрии нормального отражения исследованы алмазоподобные углеродные пленки CNx и CNx:Euy. Образцы получены методом ионноплазменного сораспыления композитной углеродной мишени на установке ВУП-5М магнетроном постоянного тока. Измерения отражательной способности поверхности пленок п...
Saved in:
| Published in: | Физика и техника высоких давлений |
|---|---|
| Date: | 2014 |
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України
2014
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/69697 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Спектрофотометрия нормального отражения и брюстеровское отражение от алмазоподобных пленок нитрида углерода CNx и CNx:Euy / Е.И. Шемченко, В.В. Свиридов, Н.А. Радкевич // Физика и техника высоких давлений. — 2014. — Т. 24, № 1. — С. 127-135. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1860056377513213952 |
|---|---|
| author | Шемченко, Е.И. Свиридов, В.В. Радкевич, Н.А. |
| author_facet | Шемченко, Е.И. Свиридов, В.В. Радкевич, Н.А. |
| citation_txt | Спектрофотометрия нормального отражения и брюстеровское отражение от алмазоподобных пленок нитрида углерода CNx и CNx:Euy / Е.И. Шемченко, В.В. Свиридов, Н.А. Радкевич // Физика и техника высоких давлений. — 2014. — Т. 24, № 1. — С. 127-135. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Физика и техника высоких давлений |
| description | Методами спектрофотометрии нормального отражения исследованы алмазоподобные углеродные пленки CNx и CNx:Euy. Образцы получены методом ионноплазменного сораспыления композитной углеродной мишени на установке ВУП-5М магнетроном постоянного тока. Измерения отражательной способности поверхности пленок при нормальном падении зондирующего луча и брюстеровского отражения показали, что пленки являются оптически неоднородными по площади и глубине. Наличие ионов европия изменяет характер отражательной способности и приводит к уменьшению значения угла Брюстера.
Методами спектрофотометрії нормального відображення досліджено алмазоподібні вуглецеві плівки CNx і CNx:Euy. Зразки отримано методом іонно-Методами спектрофотометрії нормального відображення досліджено алмазоподібні вуглецеві плівки CNx і CNx:Euy. Зразки отримано методом іонно-плазмового сорозпилення композитної вуглецевої мішені на установці ВУП-5М магнетроном постійного струму. Вимірювання відбивної здатності поверхні плівок при нормальному падінні зондуючого променя й брюстеровське відображення показали, що плівки є оптично неоднорідними за площею й глибиною. Наявність іонів європію змінює характер відбивної здатності й призводить до зменшення значення кута Брюстера.
The present work is aimed at comparative studies by normal reflection spectrophotometry DLC of the diamond-like carbon films grown in nitrogen atmosphere and the films doped by europium oxide.
|
| first_indexed | 2025-12-07T17:01:09Z |
| format | Article |
| fulltext |
Физика и техника высоких давлений 2014, том 24, № 1
© Е.И. Шемченко, В.В. Свиридов, Н.А. Радкевич, 2014
PACS: 36.40.−c, 36.40.Vz, 42.50.Gy
Е.И. Шемченко1, В.В. Свиридов2, Н.А. Радкевич2
СПЕКТРОФОТОМЕТРИЯ НОРМАЛЬНОГО ОТРАЖЕНИЯ
И БРЮСТЕРОВСКОЕ ОТРАЖЕНИЕ ОТ АЛМАЗОПОДОБНЫХ ПЛЕНОК
НИТРИДА УГЛЕРОДА CNx И CNx:Euy
1Донецкий физико-технический институт им. А.А. Галкина НАН Украины
ул. Р. Люксембург, 72, г. Донецк, 83114, Украина
2Луганский национальный университет имени Тараса Шевченко
ул. Оборонная, 2, г. Луганск, 91011, Украина
Статья поступила в редакцию 7 сентября 2012 года
Методами спектрофотометрии нормального отражения исследованы алмазопо-
добные углеродные пленки CNx и CNx:Euy. Образцы получены методом ионно-
плазменного сораспыления композитной углеродной мишени на установке ВУП-5М
магнетроном постоянного тока. Измерения отражательной способности поверх-
ности пленок при нормальном падении зондирующего луча и брюстеровского от-
ражения показали, что пленки являются оптически неоднородными по площади и
глубине. Наличие ионов европия изменяет характер отражательной способности
и приводит к уменьшению значения угла Брюстера.
Ключевые слова: европий, угол Брюстера, углеродная пленка
Методами спектрофотометрії нормального відображення досліджено алмазоподібні
вуглецеві плівки CNx і CNx:Euy. Зразки отримано методом іонно-плазмового сорозпи-
лення композитної вуглецевої мішені на установці ВУП-5М магнетроном постійного
струму. Вимірювання відбивної здатності поверхні плівок при нормальному падінні зон-
дуючого променя й брюстеровське відображення показали, що плівки є оптично неод-
норідними за площею й глибиною. Наявність іонів європію змінює характер відбивної
здатності й призводить до зменшення значення кута Брюстера.
Ключові слова: європій, кут Брюстера, вуглецева плівка
Введение
Не ослабевает интерес к применению материалов на основе соединений
лантанидов в различных областях науки и техники. Задачи, связанные с поис-
ком способов оптимизации сочетания оптических, механических и других
свойств соединений лантанидов, относятся к фундаментальной проблеме ма-
териаловедения по созданию новых материалов и, несмотря на большое коли-
чество предлагаемых решений, до сих пор не получено соединений с удовле-
творительным сочетанием технических и оптических характеристик.
Физика и техника высоких давлений 2014, том 24, № 1
128
Интенсивно развиваются исследования люминофоров, активированных
редкоземельными элементами, лазерных материалов, светотрансформи-
рующих веществ и материалов для различных физических датчиков. Свой-
ства алмазоподобных углеродных пленок, естественным образом связанные
с разнообразием аллотропных форм углерода, позволяют использовать их
как перспективную матрицу для внедрения соединений лантанидов [1−3].
Люминесцирующие пленки на их основе сочетают механические и полупро-
водниковые свойства, присущие алмазоподобным материалам, и оптические
свойства, характерные для соединений лантанидов. При этом оптические
свойства алмазоподобных углеродных пленок тесно связаны с их структу-
рой и топологией поверхности. Вследствие этого актуальны исследования
структуры поверхности пленок оптическими методами [4−6].
Цель настоящей работы − сравнительные исследования методами спектро-
фотометрии нормального отражения алмазоподобных углеродных пленок, вы-
ращенных в атмосфере азота, и тех же пленок, легированных оксидом европия.
1. Методика получения образцов
Алмазоподобные пленки CNx и CNx:Euy получены на вакуумной установ-
ке ВУП-5М методом ионно-плазменного сораспыления комбинированной
углерод-металлооксидной мишени в азотной атмосфере.
Был применен планарный магнетрон постоянного тока с индукционной
стабилизацией плазмы. В качестве мишени использовали графит, на кото-
ром располагали примесь в виде порошкообразного оксида европия.
При изготовлении и полировке поверхности углеродной мишени приме-
няли различные абразивные материалы, которые насыщали поверхностные
слои мишени полировочным материалом. Чтобы эти загрязнения не попада-
ли в образец, углеродную мишень стравливали тлеющим разрядом для уда-
ления загрязненных поверхностных слоев.
Примесь в виде порошкообразного оксида европия также проходила
предварительную обработку. Для удаления абсорбированной воды примесь
отжигали при температуре не менее 900°C в вакууме не хуже 1.7·10−6 mm
Hg в течение 4 h. В результате из 10 молекул абсорбированной воды остава-
лось 4, что контролировалось методами рентгеноструктурного анализа.
В качестве подложки использовали пластины из кварца марки КУ-1, об-
работанные не хуже 14-го класса чистоты обработки поверхности c волни-
стостью не более 2 интерференционных колец. Кварцевые пластины были
расположены относительно магнетрона постоянного тока строго одинаково
для сохранения неизменных условий роста пленок.
Одна из сторон пластин была частично заматирована с неоптимизированной
шероховатостью, но так, что диаграмма направленности рассеянного отражен-
ного света на базе в 50 cm оптической установки [8,9] не подсвечивала образец.
Перед помещением на электрически изолированный держатель подложки
проходили двухступенчатую очистку в химически чистых этиловом, изо-
пропиловом спиртах и парах изопропилового спирта. Финальную очистку
Физика и техника высоких давлений 2014, том 24, № 1
129
поверхности подложки непосредственно перед процессом выращивания
пленки осуществляли азотной плазмой тлеющего разряда.
Пленки выращивали при стабильном токе магнетрона 40 mA и напряже-
нии разряда 350 V в 100%-ной атмосфере азота при температуре подложки
не более 40°С.
Общий вид образцов подложка–пленка (кварцевая пластина–углеродная
пленка) представлен на рис. 1. Часть поверхностей подложек, которые в
процессе напыления были экранированы, оставались без напыленного слоя.
Температуру подложек дополнительно не повышали.
2. Отражательная способность образцов
Установка для оптических исследований [8] позволяет проводить сканирова-
ние по поверхности изучаемого объекта. Поэтому поверхность образцов с помо-
щью препаратоводителя блока сканирования была условно топографирована.
2.1. Спектрофотометрические измерения нормального падения
зондирующего луча при сканировании по поверхности образцов SiO2−CNx
и SiO2−CNx:Euy
При детектировании отраженного сигнала применена CMOS-матрица [9].
Серии цифровых фотографий поддаются пикселизации, что увеличивает
разрешающую способность прибора. Разрешающая способность оказалась
такой, что каждый пиксель цифровой фотографии нес информацию о по-
верхности образца размером 10 × 10 μm, что было определено с помощью
стандартного объектного микрометра.
Для исследования систем выбран шаг сканирования по поверхности об-
разца 2 mm и шаг сканирования по длинам волн 5 nm.
а б
Рис. 1. Внешний вид образцов подложка–пленка (кварцевая пластина–углеродная
пленка): а – SiO2−CNx, б – SiO2−CNx:Euy
Физика и техника высоких давлений 2014, том 24, № 1
130
После математической обработки соответствующих цифровых фотографий
получена серия зависимостей отношения I/I0 (где I0 и I − интенсивность зон-
дирующего луча исходная и отраженная соответственно) от длины волны. Все
зависимости были получены в диапазоне длин волн 450–650 nm. Из множест-
ва проанализированных данных на рис. 2 приведены 3 пары зависимостей.
I
II
III
а б
Рис. 2. Экспериментальные зависимости отражательной способности поверхности
образцов SiO2−CNx (а) и SiO2−CNx:Euy (б) от длины волны для выбранного участка
с условными координатами 76−02 (I), 78−02 (II), 80−02 (III). Размер отражающей
поверхности 10 × 10 μm
Физика и техника высоких давлений 2014, том 24, № 1
131
Для всей серии экспериментальных зависимостей общими являются еди-
ная подложка и условия напыления, а различными − расположение участка с
условными координатами относительно элементов напылительной установки
и обнаруженная неоднородность слоев образцов SiO2−CNx и SiO2−CNx:Euy
по площади и глубине.
Спектрофотометрический метод позволяет определить толщину и опти-
ческие постоянные пленки по экспериментально измеренным спектральным
коэффициентам отражения ρ(λ) или пропускания τ(λ) системы плен-
ка−подложка. В случае прозрачной пленки на прозрачной подложке послед-
нюю изготавливают или клиновидной с углом θ = 3−5°, или заматированной,
что позволяет исключить влияние нерабочей поверхности. Формула для ко-
эффициента отражения системы пленка−поверхность подложки при нор-
мальном зондировании, полученная с учетом многолучевой интерференции
в пленке, имеет следующий вид:
( )
2 2
12 23 12 23 2 2
2 2
12 23 12 23 2 2
4π2 cos
λρ λ
4π1 2 cos
λ
r r r r n d
r r r r n d
⎛ ⎞+ + ⎜ ⎟
⎝ ⎠=
⎛ ⎞+ + ⎜ ⎟
⎝ ⎠
, (1)
где r12, r23 – амплитудные коэффициенты отражения границ раздела воз-
дух−пленка и пленка−подложка. Графики, соответствующие формуле (1)
при n2 > n3 и n2 < n3, приведены на рис. 3.
Измеряя длины волн λm и λm+1, соответствующие двум экстремумам ρ(λ),
и значение экстремума ρm, можно определить параметры прозрачного слоя
по следующим формулам:
2 1 3
1 ρ
1 ρ
m
m
n n n
+
=
−
,
( )
1
2
2 1
λ λ
4 λ λ
m m
m m
d
n
+
+
=
−
, (2)
где ρm = ρmin при n2 < n3; ρm = ρmax при n2 > n3.
Рис. 3. Теоретическая зависимость спек-
трального коэффициента отражения при
нормальном падении зондирующего
луча
Физика и техника высоких давлений 2014, том 24, № 1
132
В спектрофотометрических измерениях оптическая толщина слоев долж-
на быть не менее λ1/4, где λ1 − длина волны первого экстремума.
Такая модельная зависимость спектрального коэффициента отражения
должна выполняться для каждого элемента цифровой фотографии, который
несет информацию об оптических параметрах физически малой поверхности
образца.
В действительности этого может и не быть вследствие неоднородности
пленки. Последнее обстоятельство дает возможность судить о величине и
характере неоднородности по спектрофотометрическим кривым коэффици-
ентов отражения. Экспериментальные зависимости, приведенные на рис. 2,
показывают значительные отклонения от модельных, представленных на
рис. 3. Расхождения такого характера являются следствием неоднородно-
стей оптических параметров n, k, d.
2.2. Брюстеровское отражение
Для выяснения влияния напылительной установки на поверхность под-
ложки из кварца марки КУ-1 получена зависимость интенсивности отражен-
ного света от угла падения зондирующего луча (кривая Брюстера). Длина
волны зондирующего луча λ выбрана по результатам спектрофотометрии
нормального отражения и составила 530 nm (рис. 4).
а б
в
Рис. 4. Экспериментальная зависимость
интенсивности отраженного света от
угла падения зондирующего луча для
кварцевой подложки SiO2 (а) и для об-
разцов SiO2−CNx (б) и SiO2−CNx:Euy (в).
Зондирующий луч (λ = 530 nm) поляри-
зован в плоскости падения, размер от-
ражающей поверхности 10 × 10 μm
Физика и техника высоких давлений 2014, том 24, № 1
133
Угол наименьшей интенсивности (угол Брюстера) φ = 55.61°. Показатель
преломления, вычисленный как тангенс этого угла, составил 1.461, что со-
гласуется с дисперсионной кривой кварца.
Для получения зависимостей интенсивности отраженного света от угла
падения зондирующего луча I = f (φ) анализируемые точки падения выбраны
вблизи указанных ранее.
Угол падения зондирующего луча измеряли гониометром, имеющим
предел допускаемой погрешности при измерении угла одним приемом
±2.4241·10−5 rad при цене деления нониуса ±4.8481·10−6 rad. Отраженный
сигнал детектировался CMOS-матрицей [9].
Для образца SiO2−CNx φ = 61.65° (рис. 4,б), а для образца SiO2−CNx:Euy φ =
= 61.29° (рис. 4,в).
Полученные численные результаты сведены в таблицу.
Таблица
Образец Угол Брюстера ϕ, deg tgϕ Минимум интенсив-
ности, rel. units
Поверхность подложки
до напыления [8] 55.57 1.459 2
Поверхность подложки
после напыления 55.61 1.461 29
Образец SiO2−CNx 61.65 − 35
Образец SiO2−CNx:Euy 61.29 − 39
Минимальное отклонение от формул Френеля показывает брюстеровская
кривая, полученная для подложки до напыления. Это подтверждает качество
обработки ее поверхности.
Как указывалось выше, нами намеренно закрывались экраном участки
образцов. Для этих участков (без слоев CNx и CNx:Euy) закон Брюстера на-
рушен в большей мере. После напыления наблюдается увеличение миниму-
ма отражения от 2 до 29 rel. units. Это показывает, что подложка значитель-
нее, чем ожидалось, деполяризует зондирующий луч. При этом угол Брю-
стера меняется мало (т.е. в эксперименте экран надежно закрывал подложку
от напыляемых материалов CNx и CNx:Euy).
Образцы SiO2−CNx и SiO2−CNx:Euy еще в большей степени деполяризуют
зондирующий луч. При этом угол Брюстера также меняется значительно.
Этот факт и несоответствие модельным представлениям зависимостей отра-
жательной способности от длины волны (см. рис. 2 и 3) указывают на появ-
ление поглощения и диффузной составляющей отражения.
Выводы
1. Алмазоподобные углеродные пленки CNx и CNx:Euy на поверхности
кварца марки КУ-1 формируются не как интерференционные слои. Вид
Физика и техника высоких давлений 2014, том 24, № 1
134
спектрофотометрических зависимостей нормального отражения указывает
на механизм отражения от неоднородных поверхностей.
2. Кривая нормального отражения является структурированной и не под-
чиняется теории интерференции в однородных слоях, т.е. слои неоднород-
ны. Это указывает на необходимость дополнительных исследований по оп-
тимизации условий напыления.
3. Легирование европием приводит к увеличению значений минимумов
брюстеровских кривых от 35 rel. units для образца SiO2−CNx до 39 rel. units
для образца SiO2−CNx:Euy, а также к уменьшению значения угла Брюстера
соответственно от 61.65 до 61.29°. Это указывает на то, что легирование ев-
ропием приводит к еще большей неоднородности структуры углеродных
пленок по сравнению с нелегированными.
1. В.Н. Варюхин, Т.А. Дьяченко, В.Д. Окунев, Н.Н. Пафомов, А.Л. Плехов, Е.И. Шем-
ченко, Письма в ЖТФ 31, № 6, 1 (2005).
2. В.И. Иванов-Омский, С.Г. Ястребов, А.О. Голубок, С.А. Масалов, В.В. Розанов,
Письма в ЖТФ 24, № 20, 28 (1998).
3. Э.А. Сморгонская, Т.К. Звонарева, Е.И. Иванова, И.И. Новак, В.И. Иванов-
Олемский, ФТТ 45, 1579 (2003).
4. I. Hu, P. Yang, C.M. Lieber, Phys. Rev. B57, 3185 (1998).
5. D. Li, Y. Chung, M.J. Wong, Appl. Phys. 74, 219 (1993).
6. H. Sjostrom, S. Stafstrom, Phys. Rev. Lett. 49, 1336 (1994).
7. В.Д. Окунев, З.А. Самойленко, Письма в ЖЭТФ 43, № 1, 24 (1986).
8. В.В. Свиридов, Н.А. Радкевич И.В. Жихарев, ФТВД 16, № 2, 43 (2006).
9. В.В. Свиридов, Н.А. Радкевич, С.П. Романченко, Вiсник СНУ № 6(100), 151
(2006).
E.I. Shemchenko, V.V. Sviridov, N.A. Radkevich
SPECTROPHOTOMETRY OF NORMAL REFLECTION
AND BREWSTER REFLECTION FROM DIAMOND-LIKE FILMS
OF THE CNx AND CNx:Euy CARBON NITRIDE
The problems associated with the search for optimization methods for optical proper-
ties of lanthanide compounds in various matrices are related to a fundamental problem of
material science that is creation of new materials. Despite a large number of proposed
solutions, the problems have not yet been solved.
Being naturally associated with a variety of allotropic forms of carbon, properties of
diamond-like carbon films allow the use as a promising template for penetration of lan-
thanide compounds. Thus, optical properties of diamond-like carbon films are closely
related to their structure and topology of the surface.
The present work is aimed at comparative studies by normal reflection spectropho-
tometry DLC of the diamond-like carbon films grown in nitrogen atmosphere and the
films doped by europium oxide.
Физика и техника высоких давлений 2014, том 24, № 1
135
Diamond-like films of CNx and CNx:Euy, combined on the area, were obtained with
the use of the vacuum system VUP-5M by ion plasma planar DC magnetron co-
sputtering of carbon-metal oxide target in nitrogen atmosphere.
The substrate was the quartz plate KU-1 treated no worse than 14th grade of surface
finish and no more than two interference rings in undulation. In part, one of the sides of
the plates was delustered with non-optimized surface roughness, but so that the radiation
pattern of the scattered light reflected on the basis of 50 cm of optical installation did not
illuminate the sample.
For the detection of the reflected signal, in the course of spectrophotometric measure-
ments of normal incidence of the probe beam, when scanning surfaces of the quartz SiO2–
CNx and SiO2–CNx:Euy systems, CMOS sensor was applied. The series of digital photos
allow pixelation that increases the resolution of the device. The resolving power provided a
pixel of the digital photography to carry information about the surface of 10 × 10 μm in size.
The scan step on the surface was of 2 mm and the scan step of the wavelength was of 5 nm.
After mathematical treatment of the corresponding digital photographs, a series of
wavelength dependences of I/I0 ratio was obtained, where I0 and I are the initial and re-
flected intensities of the probe beam, respectively. All dependences were calculated
within the wavelength range of 450–650 nm.
To ascertain the effect of the sputtering plant on the substrate surface, the dependence
of intensity of reflected light on the probe beam angle of incidence (Brewster curve) was
established.
According to the results of measurements, it was found that the diamond-like carbon
CNx and CNx:Euy films on the surface of quartz KU-1 are not formed as interference lay-
ers. Spectrophotometric dependences of normal reflection are indicative of the mecha-
nism of reflection from heterogeneous surfaces. The curve of the normal reflection is
structured, being not subjected to the theory of interference in homogeneous layers.
Europium doping increases the values of Brewster minimums of the curves from 35 rela-
tive units in the SiO2–CNx system up to 39 relative units in the SiO2–CNx:Euy system and
also reduces the value of the Brewster angle from 61.65 to 61.29°, respectively.
Keywords: europium, Brewster angle, luminescence, carbon film
Fig. 1. Appearance of the substrate–film samples (quartz plate–carbon film): а – SiO2−CNx,
б – SiO2−CNx:Euy
Fig. 2. Experimental wavelength dependences of reflection factor of the SiO2–CNx (a)
and SiO2–CNx:Euy (б) samples at the selected region with false coordinates 76–02 (I),
78–02 (II), 80–02 (III). The reflecting surface is 10 × 10 μm in size
Fig. 3. Theoretical wavelength dependence of spectral reflectance at normal incidence of
the probe beam
Fig. 4. Experimental dependence of the intensity of reflected light vs the angle of inci-
dence of the probe beam for the SiO2 substrate (а), SiO2–CNx (б) and SiO2–CNx:Euy (в).
The probe beam (λ = 530 nm) is polarized in the incidence plane, the reflecting surface is
10 × 10 μm in size
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-69697 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 0868-5924 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T17:01:09Z |
| publishDate | 2014 |
| publisher | Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Шемченко, Е.И. Свиридов, В.В. Радкевич, Н.А. 2014-10-18T15:30:05Z 2014-10-18T15:30:05Z 2014 Спектрофотометрия нормального отражения и брюстеровское отражение от алмазоподобных пленок нитрида углерода CNx и CNx:Euy / Е.И. Шемченко, В.В. Свиридов, Н.А. Радкевич // Физика и техника высоких давлений. — 2014. — Т. 24, № 1. — С. 127-135. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. 0868-5924 PACS: 36.40.−c, 36.40.Vz, 42.50.Gy https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/69697 Методами спектрофотометрии нормального отражения исследованы алмазоподобные углеродные пленки CNx и CNx:Euy. Образцы получены методом ионноплазменного сораспыления композитной углеродной мишени на установке ВУП-5М магнетроном постоянного тока. Измерения отражательной способности поверхности пленок при нормальном падении зондирующего луча и брюстеровского отражения показали, что пленки являются оптически неоднородными по площади и глубине. Наличие ионов европия изменяет характер отражательной способности и приводит к уменьшению значения угла Брюстера. Методами спектрофотометрії нормального відображення досліджено алмазоподібні вуглецеві плівки CNx і CNx:Euy. Зразки отримано методом іонно-Методами спектрофотометрії нормального відображення досліджено алмазоподібні вуглецеві плівки CNx і CNx:Euy. Зразки отримано методом іонно-плазмового сорозпилення композитної вуглецевої мішені на установці ВУП-5М магнетроном постійного струму. Вимірювання відбивної здатності поверхні плівок при нормальному падінні зондуючого променя й брюстеровське відображення показали, що плівки є оптично неоднорідними за площею й глибиною. Наявність іонів європію змінює характер відбивної здатності й призводить до зменшення значення кута Брюстера. The present work is aimed at comparative studies by normal reflection spectrophotometry DLC of the diamond-like carbon films grown in nitrogen atmosphere and the films doped by europium oxide. ru Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України Физика и техника высоких давлений Спектрофотометрия нормального отражения и брюстеровское отражение от алмазоподобных пленок нитрида углерода CNx и CNx:Euy Spectrophotometry of normal reflection and Brewster reflection from diamondlike films of the CNx and CNx:Euy carbon nitride Article published earlier |
| spellingShingle | Спектрофотометрия нормального отражения и брюстеровское отражение от алмазоподобных пленок нитрида углерода CNx и CNx:Euy Шемченко, Е.И. Свиридов, В.В. Радкевич, Н.А. |
| title | Спектрофотометрия нормального отражения и брюстеровское отражение от алмазоподобных пленок нитрида углерода CNx и CNx:Euy |
| title_alt | Spectrophotometry of normal reflection and Brewster reflection from diamondlike films of the CNx and CNx:Euy carbon nitride |
| title_full | Спектрофотометрия нормального отражения и брюстеровское отражение от алмазоподобных пленок нитрида углерода CNx и CNx:Euy |
| title_fullStr | Спектрофотометрия нормального отражения и брюстеровское отражение от алмазоподобных пленок нитрида углерода CNx и CNx:Euy |
| title_full_unstemmed | Спектрофотометрия нормального отражения и брюстеровское отражение от алмазоподобных пленок нитрида углерода CNx и CNx:Euy |
| title_short | Спектрофотометрия нормального отражения и брюстеровское отражение от алмазоподобных пленок нитрида углерода CNx и CNx:Euy |
| title_sort | спектрофотометрия нормального отражения и брюстеровское отражение от алмазоподобных пленок нитрида углерода cnx и cnx:euy |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/69697 |
| work_keys_str_mv | AT šemčenkoei spektrofotometriânormalʹnogootraženiâibrûsterovskoeotraženieotalmazopodobnyhplenoknitridauglerodacnxicnxeuy AT sviridovvv spektrofotometriânormalʹnogootraženiâibrûsterovskoeotraženieotalmazopodobnyhplenoknitridauglerodacnxicnxeuy AT radkevična spektrofotometriânormalʹnogootraženiâibrûsterovskoeotraženieotalmazopodobnyhplenoknitridauglerodacnxicnxeuy AT šemčenkoei spectrophotometryofnormalreflectionandbrewsterreflectionfromdiamondlikefilmsofthecnxandcnxeuycarbonnitride AT sviridovvv spectrophotometryofnormalreflectionandbrewsterreflectionfromdiamondlikefilmsofthecnxandcnxeuycarbonnitride AT radkevična spectrophotometryofnormalreflectionandbrewsterreflectionfromdiamondlikefilmsofthecnxandcnxeuycarbonnitride |