Сканирующий эллипсометр на базе гониометра с автоколлимационной трубой
Скомпонован сканирующий эллипсометр на базе гониометра с автоколлимационной трубой. Эллипсометр апробирован при измерениях оптических параметров стандартного образца из кварца КУ-1. Получено удовлетворительное соответствие результатов эксперимента по брюстеровскому отражению с результатами эллипсоме...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Физика и техника высоких давлений |
|---|---|
| Дата: | 2006 |
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України
2006
|
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70229 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Сканирующий эллипсометр на базе гониометра с автоколлимационной трубой / В.В. Свиридов, Н.А. Радкевич, И.В. Жихарев // Физика и техника высоких давлений. — 2006. — Т. 16, № 2. — С. 71-77. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862728049370333184 |
|---|---|
| author | Свиридов, В.В. Радкевич, Н.А. Жихарев, И.В. |
| author_facet | Свиридов, В.В. Радкевич, Н.А. Жихарев, И.В. |
| citation_txt | Сканирующий эллипсометр на базе гониометра с автоколлимационной трубой / В.В. Свиридов, Н.А. Радкевич, И.В. Жихарев // Физика и техника высоких давлений. — 2006. — Т. 16, № 2. — С. 71-77. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Физика и техника высоких давлений |
| description | Скомпонован сканирующий эллипсометр на базе гониометра с автоколлимационной трубой. Эллипсометр апробирован при измерениях оптических параметров стандартного образца из кварца КУ-1. Получено удовлетворительное соответствие результатов эксперимента по брюстеровскому отражению с результатами эллипсометрических измерений и с установленными стандартами по показателям преломления и поглощения для объемного образца. Установлено, что при прочих равных условиях примененное аппаратное решение дает возможность осуществлять измерения оптических параметров поверхности образца с точностью до двух-трех единиц четвертого знака. Показана возможность проведения исследований приповерхностных слоев образцов со сложными поверхностями.
The scanning ellipsometer is composed on the basis of a direction gauge with an autocollimation tube. The ellipsometer has been tested by measuring optical parameters of a standard sample from quartz КУ-1. A satisfactory correspondence of the outcomes of the experiment on Bruster reflection to the results of ellipsometric measurements and to established standards on reflection index and index of absorption for a volumetric sample has been obtained. It has been proved that in other equal conditions the applied hardware solution enables to conduct measurements of optical parameters of a sample surface with the precision of 2−3 units of the fourth character. The possibility of research of nearsurface layers of complex samples is demonstrated.
|
| first_indexed | 2025-12-07T19:06:31Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70229 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 0868-5924 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T19:06:31Z |
| publishDate | 2006 |
| publisher | Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Свиридов, В.В. Радкевич, Н.А. Жихарев, И.В. 2014-10-31T17:26:17Z 2014-10-31T17:26:17Z 2006 Сканирующий эллипсометр на базе гониометра с автоколлимационной трубой / В.В. Свиридов, Н.А. Радкевич, И.В. Жихарев // Физика и техника высоких давлений. — 2006. — Т. 16, № 2. — С. 71-77. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. 0868-5924 PACS: 78.68.+m https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70229 Скомпонован сканирующий эллипсометр на базе гониометра с автоколлимационной трубой. Эллипсометр апробирован при измерениях оптических параметров стандартного образца из кварца КУ-1. Получено удовлетворительное соответствие результатов эксперимента по брюстеровскому отражению с результатами эллипсометрических измерений и с установленными стандартами по показателям преломления и поглощения для объемного образца. Установлено, что при прочих равных условиях примененное аппаратное решение дает возможность осуществлять измерения оптических параметров поверхности образца с точностью до двух-трех единиц четвертого знака. Показана возможность проведения исследований приповерхностных слоев образцов со сложными поверхностями. The scanning ellipsometer is composed on the basis of a direction gauge with an autocollimation tube. The ellipsometer has been tested by measuring optical parameters of a standard sample from quartz КУ-1. A satisfactory correspondence of the outcomes of the experiment on Bruster reflection to the results of ellipsometric measurements and to established standards on reflection index and index of absorption for a volumetric sample has been obtained. It has been proved that in other equal conditions the applied hardware solution enables to conduct measurements of optical parameters of a sample surface with the precision of 2−3 units of the fourth character. The possibility of research of nearsurface layers of complex samples is demonstrated. ru Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України Физика и техника высоких давлений Сканирующий эллипсометр на базе гониометра с автоколлимационной трубой Скануючий еліпсометр на базі гоніометра з автоколімаційною трубою Scanning ellipsometer on basis of a direction gauge with an autocollimation tube Article published earlier |
| spellingShingle | Сканирующий эллипсометр на базе гониометра с автоколлимационной трубой Свиридов, В.В. Радкевич, Н.А. Жихарев, И.В. |
| title | Сканирующий эллипсометр на базе гониометра с автоколлимационной трубой |
| title_alt | Скануючий еліпсометр на базі гоніометра з автоколімаційною трубою Scanning ellipsometer on basis of a direction gauge with an autocollimation tube |
| title_full | Сканирующий эллипсометр на базе гониометра с автоколлимационной трубой |
| title_fullStr | Сканирующий эллипсометр на базе гониометра с автоколлимационной трубой |
| title_full_unstemmed | Сканирующий эллипсометр на базе гониометра с автоколлимационной трубой |
| title_short | Сканирующий эллипсометр на базе гониометра с автоколлимационной трубой |
| title_sort | сканирующий эллипсометр на базе гониометра с автоколлимационной трубой |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70229 |
| work_keys_str_mv | AT sviridovvv skaniruûŝiiéllipsometrnabazegoniometrasavtokollimacionnoitruboi AT radkevična skaniruûŝiiéllipsometrnabazegoniometrasavtokollimacionnoitruboi AT žihareviv skaniruûŝiiéllipsometrnabazegoniometrasavtokollimacionnoitruboi AT sviridovvv skanuûčiielípsometrnabazígoníometrazavtokolímacíinoûtruboû AT radkevična skanuûčiielípsometrnabazígoníometrazavtokolímacíinoûtruboû AT žihareviv skanuûčiielípsometrnabazígoníometrazavtokolímacíinoûtruboû AT sviridovvv scanningellipsometeronbasisofadirectiongaugewithanautocollimationtube AT radkevična scanningellipsometeronbasisofadirectiongaugewithanautocollimationtube AT žihareviv scanningellipsometeronbasisofadirectiongaugewithanautocollimationtube |