Сканирующий эллипсометр на базе гониометра с автоколлимационной трубой

• Published in: Физика и техника высоких давлений
• Date: 2006
• Main Authors: Свиридов, В.В., Радкевич, Н.А., Жихарев, И.В.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України 2006
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70229
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Сканирующий эллипсометр на базе гониометра с автоколлимационной трубой / В.В. Свиридов, Н.А. Радкевич, И.В. Жихарев // Физика и техника высоких давлений. — 2006. — Т. 16, № 2. — С. 71-77. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.

Скомпонован сканирующий эллипсометр на базе гониометра с автоколлимационной трубой. Эллипсометр апробирован при измерениях оптических параметров стандартного образца из кварца КУ-1. Получено удовлетворительное соответствие результатов эксперимента по брюстеровскому отражению с результатами эллипсоме...