Особенности роста пленок нитрида углерода в присутствии травящих компонент в ростовой атмосфере

• Datum: 2006
• Hauptverfasser: Шалаев, Р.В., Прудников, А.М., Варюхин, В.Н., Турка, В.Н., Яковец, А.А., Жихарев, И.В., Беляев, Б.В., Грицких, В.А.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України 2006
• Schriftenreihe: Физика и техника высоких давлений
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70245
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Особенности роста пленок нитрида углерода в присутствии травящих компонент в ростовой атмосфере / Р.В. Шалаев, А.М. Прудников, В.Н. Варюхин, В.Н. Турка, А.А. Яковец, И.В. Жихарев, Б.В. Беляев, В.А. Грицких // Физика и техника высоких давлений. — 2006. — Т. 16, № 3. — С. 88-95. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.

Представлены результаты исследований роста аморфных пленок нитрида углерода a-C:N в условиях интенсивных процессов травления на ростовой поверхности. Обнаружены значительное изменение фазового состава получаемых пленок при различной концентрации травящих компонент в ростовой атмосфере и образование трех принципиально различных типов пленок a-C:N.