Особенности роста пленок нитрида углерода в присутствии травящих компонент в ростовой атмосфере

Особенности роста пленок нитрида углерода в присутствии травящих компонент в ростовой атмосфере

Представлены результаты исследований роста аморфных пленок нитрида углерода a-C:N в условиях интенсивных процессов травления на ростовой поверхности. Обнаружены значительное изменение фазового состава получаемых пленок при различной концентрации травящих компонент в ростовой атмосфере и образование...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Физика и техника высоких давлений
Datum:2006
Hauptverfasser: Шалаев, Р.В., Прудников, А.М., Варюхин, В.Н., Турка, В.Н., Яковец, А.А., Жихарев, И.В., Беляев, Б.В., Грицких, В.А.
Format: Artikel
Sprache:Russian
Veröffentlicht: Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України 2006
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70245
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Особенности роста пленок нитрида углерода в присутствии травящих компонент в ростовой атмосфере / Р.В. Шалаев, А.М. Прудников, В.Н. Варюхин, В.Н. Турка, А.А. Яковец, И.В. Жихарев, Б.В. Беляев, В.А. Грицких // Физика и техника высоких давлений. — 2006. — Т. 16, № 3. — С. 88-95. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70245
record_format dspace
spelling Шалаев, Р.В.
Прудников, А.М.
Варюхин, В.Н.
Турка, В.Н.
Яковец, А.А.
Жихарев, И.В.
Беляев, Б.В.
Грицких, В.А.
2014-11-01T08:08:31Z
2014-11-01T08:08:31Z
2006
Особенности роста пленок нитрида углерода в присутствии травящих компонент в ростовой атмосфере / Р.В. Шалаев, А.М. Прудников, В.Н. Варюхин, В.Н. Турка, А.А. Яковец, И.В. Жихарев, Б.В. Беляев, В.А. Грицких // Физика и техника высоких давлений. — 2006. — Т. 16, № 3. — С. 88-95. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.
0868-5924
PACS: 81.15.Gh, 81.60.−j
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70245
Представлены результаты исследований роста аморфных пленок нитрида углерода a-C:N в условиях интенсивных процессов травления на ростовой поверхности. Обнаружены значительное изменение фазового состава получаемых пленок при различной концентрации травящих компонент в ростовой атмосфере и образование трех принципиально различных типов пленок a-C:N.
Results of researches of the carbon nitride films a-C:N growth in conditions of intensive etching processes on the growth surface are presented. Significant change in phase structure of obtained films at various etching component concentrations in the growth atmosphere and formation of three essentially various types of a-C:N films are revealed.
ru
Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України
Физика и техника высоких давлений
Особенности роста пленок нитрида углерода в присутствии травящих компонент в ростовой атмосфере
Особливості росту плівок нітриду вуглецю в присутності травлячих компонентів у ростовій атмосфері
Features of carbon nitride films growth at presence of etching component in the growth atmosphere
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Особенности роста пленок нитрида углерода в присутствии травящих компонент в ростовой атмосфере
spellingShingle Особенности роста пленок нитрида углерода в присутствии травящих компонент в ростовой атмосфере
Шалаев, Р.В.
Прудников, А.М.
Варюхин, В.Н.
Турка, В.Н.
Яковец, А.А.
Жихарев, И.В.
Беляев, Б.В.
Грицких, В.А.
title_short Особенности роста пленок нитрида углерода в присутствии травящих компонент в ростовой атмосфере
title_full Особенности роста пленок нитрида углерода в присутствии травящих компонент в ростовой атмосфере
title_fullStr Особенности роста пленок нитрида углерода в присутствии травящих компонент в ростовой атмосфере
title_full_unstemmed Особенности роста пленок нитрида углерода в присутствии травящих компонент в ростовой атмосфере
title_sort особенности роста пленок нитрида углерода в присутствии травящих компонент в ростовой атмосфере
author Шалаев, Р.В.
Прудников, А.М.
Варюхин, В.Н.
Турка, В.Н.
Яковец, А.А.
Жихарев, И.В.
Беляев, Б.В.
Грицких, В.А.
author_facet Шалаев, Р.В.
Прудников, А.М.
Варюхин, В.Н.
Турка, В.Н.
Яковец, А.А.
Жихарев, И.В.
Беляев, Б.В.
Грицких, В.А.
publishDate 2006
language Russian
container_title Физика и техника высоких давлений
publisher Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України
format Article
title_alt Особливості росту плівок нітриду вуглецю в присутності травлячих компонентів у ростовій атмосфері
Features of carbon nitride films growth at presence of etching component in the growth atmosphere
description Представлены результаты исследований роста аморфных пленок нитрида углерода a-C:N в условиях интенсивных процессов травления на ростовой поверхности. Обнаружены значительное изменение фазового состава получаемых пленок при различной концентрации травящих компонент в ростовой атмосфере и образование трех принципиально различных типов пленок a-C:N. Results of researches of the carbon nitride films a-C:N growth in conditions of intensive etching processes on the growth surface are presented. Significant change in phase structure of obtained films at various etching component concentrations in the growth atmosphere and formation of three essentially various types of a-C:N films are revealed.
issn 0868-5924
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70245
citation_txt Особенности роста пленок нитрида углерода в присутствии травящих компонент в ростовой атмосфере / Р.В. Шалаев, А.М. Прудников, В.Н. Варюхин, В.Н. Турка, А.А. Яковец, И.В. Жихарев, Б.В. Беляев, В.А. Грицких // Физика и техника высоких давлений. — 2006. — Т. 16, № 3. — С. 88-95. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT šalaevrv osobennostirostaplenoknitridauglerodavprisutstviitravâŝihkomponentvrostovoiatmosfere
AT prudnikovam osobennostirostaplenoknitridauglerodavprisutstviitravâŝihkomponentvrostovoiatmosfere
AT varûhinvn osobennostirostaplenoknitridauglerodavprisutstviitravâŝihkomponentvrostovoiatmosfere
AT turkavn osobennostirostaplenoknitridauglerodavprisutstviitravâŝihkomponentvrostovoiatmosfere
AT âkovecaa osobennostirostaplenoknitridauglerodavprisutstviitravâŝihkomponentvrostovoiatmosfere
AT žihareviv osobennostirostaplenoknitridauglerodavprisutstviitravâŝihkomponentvrostovoiatmosfere
AT belâevbv osobennostirostaplenoknitridauglerodavprisutstviitravâŝihkomponentvrostovoiatmosfere
AT grickihva osobennostirostaplenoknitridauglerodavprisutstviitravâŝihkomponentvrostovoiatmosfere
AT šalaevrv osoblivostírostuplívoknítriduvuglecûvprisutnostítravlâčihkomponentívurostovíiatmosferí
AT prudnikovam osoblivostírostuplívoknítriduvuglecûvprisutnostítravlâčihkomponentívurostovíiatmosferí
AT varûhinvn osoblivostírostuplívoknítriduvuglecûvprisutnostítravlâčihkomponentívurostovíiatmosferí
AT turkavn osoblivostírostuplívoknítriduvuglecûvprisutnostítravlâčihkomponentívurostovíiatmosferí
AT âkovecaa osoblivostírostuplívoknítriduvuglecûvprisutnostítravlâčihkomponentívurostovíiatmosferí
AT žihareviv osoblivostírostuplívoknítriduvuglecûvprisutnostítravlâčihkomponentívurostovíiatmosferí
AT belâevbv osoblivostírostuplívoknítriduvuglecûvprisutnostítravlâčihkomponentívurostovíiatmosferí
AT grickihva osoblivostírostuplívoknítriduvuglecûvprisutnostítravlâčihkomponentívurostovíiatmosferí
AT šalaevrv featuresofcarbonnitridefilmsgrowthatpresenceofetchingcomponentinthegrowthatmosphere
AT prudnikovam featuresofcarbonnitridefilmsgrowthatpresenceofetchingcomponentinthegrowthatmosphere
AT varûhinvn featuresofcarbonnitridefilmsgrowthatpresenceofetchingcomponentinthegrowthatmosphere
AT turkavn featuresofcarbonnitridefilmsgrowthatpresenceofetchingcomponentinthegrowthatmosphere
AT âkovecaa featuresofcarbonnitridefilmsgrowthatpresenceofetchingcomponentinthegrowthatmosphere
AT žihareviv featuresofcarbonnitridefilmsgrowthatpresenceofetchingcomponentinthegrowthatmosphere
AT belâevbv featuresofcarbonnitridefilmsgrowthatpresenceofetchingcomponentinthegrowthatmosphere
AT grickihva featuresofcarbonnitridefilmsgrowthatpresenceofetchingcomponentinthegrowthatmosphere
first_indexed 2025-11-27T18:10:10Z
last_indexed 2025-11-27T18:10:10Z
_version_ 1850852630210805760

Ähnliche Einträge