Особенности роста пленок нитрида углерода в присутствии травящих компонент в ростовой атмосфере
Представлены результаты исследований роста аморфных пленок нитрида углерода a-C:N в условиях интенсивных процессов травления на ростовой поверхности. Обнаружены значительное изменение фазового состава получаемых пленок при различной концентрации травящих компонент в ростовой атмосфере и образование...
Saved in:
| Published in: | Физика и техника высоких давлений |
|---|---|
| Date: | 2006 |
| Main Authors: | , , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України
2006
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70245 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Особенности роста пленок нитрида углерода в присутствии травящих компонент в ростовой атмосфере / Р.В. Шалаев, А.М. Прудников, В.Н. Варюхин, В.Н. Турка, А.А. Яковец, И.В. Жихарев, Б.В. Беляев, В.А. Грицких // Физика и техника высоких давлений. — 2006. — Т. 16, № 3. — С. 88-95. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862597473282818048 |
|---|---|
| author | Шалаев, Р.В. Прудников, А.М. Варюхин, В.Н. Турка, В.Н. Яковец, А.А. Жихарев, И.В. Беляев, Б.В. Грицких, В.А. |
| author_facet | Шалаев, Р.В. Прудников, А.М. Варюхин, В.Н. Турка, В.Н. Яковец, А.А. Жихарев, И.В. Беляев, Б.В. Грицких, В.А. |
| citation_txt | Особенности роста пленок нитрида углерода в присутствии травящих компонент в ростовой атмосфере / Р.В. Шалаев, А.М. Прудников, В.Н. Варюхин, В.Н. Турка, А.А. Яковец, И.В. Жихарев, Б.В. Беляев, В.А. Грицких // Физика и техника высоких давлений. — 2006. — Т. 16, № 3. — С. 88-95. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Физика и техника высоких давлений |
| description | Представлены результаты исследований роста аморфных пленок нитрида углерода a-C:N в условиях интенсивных процессов травления на ростовой поверхности. Обнаружены значительное изменение фазового состава получаемых пленок при различной концентрации травящих компонент в ростовой атмосфере и образование трех принципиально различных типов пленок a-C:N.
Results of researches of the carbon nitride films a-C:N growth in conditions of intensive etching processes on the growth surface are presented. Significant change in phase structure of obtained films at various etching component concentrations in the growth atmosphere and formation of three essentially various types of a-C:N films are revealed.
|
| first_indexed | 2025-11-27T18:10:10Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70245 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 0868-5924 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-27T18:10:10Z |
| publishDate | 2006 |
| publisher | Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Шалаев, Р.В. Прудников, А.М. Варюхин, В.Н. Турка, В.Н. Яковец, А.А. Жихарев, И.В. Беляев, Б.В. Грицких, В.А. 2014-11-01T08:08:31Z 2014-11-01T08:08:31Z 2006 Особенности роста пленок нитрида углерода в присутствии травящих компонент в ростовой атмосфере / Р.В. Шалаев, А.М. Прудников, В.Н. Варюхин, В.Н. Турка, А.А. Яковец, И.В. Жихарев, Б.В. Беляев, В.А. Грицких // Физика и техника высоких давлений. — 2006. — Т. 16, № 3. — С. 88-95. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. 0868-5924 PACS: 81.15.Gh, 81.60.−j https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70245 Представлены результаты исследований роста аморфных пленок нитрида углерода a-C:N в условиях интенсивных процессов травления на ростовой поверхности. Обнаружены значительное изменение фазового состава получаемых пленок при различной концентрации травящих компонент в ростовой атмосфере и образование трех принципиально различных типов пленок a-C:N. Results of researches of the carbon nitride films a-C:N growth in conditions of intensive etching processes on the growth surface are presented. Significant change in phase structure of obtained films at various etching component concentrations in the growth atmosphere and formation of three essentially various types of a-C:N films are revealed. ru Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України Физика и техника высоких давлений Особенности роста пленок нитрида углерода в присутствии травящих компонент в ростовой атмосфере Особливості росту плівок нітриду вуглецю в присутності травлячих компонентів у ростовій атмосфері Features of carbon nitride films growth at presence of etching component in the growth atmosphere Article published earlier |
| spellingShingle | Особенности роста пленок нитрида углерода в присутствии травящих компонент в ростовой атмосфере Шалаев, Р.В. Прудников, А.М. Варюхин, В.Н. Турка, В.Н. Яковец, А.А. Жихарев, И.В. Беляев, Б.В. Грицких, В.А. |
| title | Особенности роста пленок нитрида углерода в присутствии травящих компонент в ростовой атмосфере |
| title_alt | Особливості росту плівок нітриду вуглецю в присутності травлячих компонентів у ростовій атмосфері Features of carbon nitride films growth at presence of etching component in the growth atmosphere |
| title_full | Особенности роста пленок нитрида углерода в присутствии травящих компонент в ростовой атмосфере |
| title_fullStr | Особенности роста пленок нитрида углерода в присутствии травящих компонент в ростовой атмосфере |
| title_full_unstemmed | Особенности роста пленок нитрида углерода в присутствии травящих компонент в ростовой атмосфере |
| title_short | Особенности роста пленок нитрида углерода в присутствии травящих компонент в ростовой атмосфере |
| title_sort | особенности роста пленок нитрида углерода в присутствии травящих компонент в ростовой атмосфере |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70245 |
| work_keys_str_mv | AT šalaevrv osobennostirostaplenoknitridauglerodavprisutstviitravâŝihkomponentvrostovoiatmosfere AT prudnikovam osobennostirostaplenoknitridauglerodavprisutstviitravâŝihkomponentvrostovoiatmosfere AT varûhinvn osobennostirostaplenoknitridauglerodavprisutstviitravâŝihkomponentvrostovoiatmosfere AT turkavn osobennostirostaplenoknitridauglerodavprisutstviitravâŝihkomponentvrostovoiatmosfere AT âkovecaa osobennostirostaplenoknitridauglerodavprisutstviitravâŝihkomponentvrostovoiatmosfere AT žihareviv osobennostirostaplenoknitridauglerodavprisutstviitravâŝihkomponentvrostovoiatmosfere AT belâevbv osobennostirostaplenoknitridauglerodavprisutstviitravâŝihkomponentvrostovoiatmosfere AT grickihva osobennostirostaplenoknitridauglerodavprisutstviitravâŝihkomponentvrostovoiatmosfere AT šalaevrv osoblivostírostuplívoknítriduvuglecûvprisutnostítravlâčihkomponentívurostovíiatmosferí AT prudnikovam osoblivostírostuplívoknítriduvuglecûvprisutnostítravlâčihkomponentívurostovíiatmosferí AT varûhinvn osoblivostírostuplívoknítriduvuglecûvprisutnostítravlâčihkomponentívurostovíiatmosferí AT turkavn osoblivostírostuplívoknítriduvuglecûvprisutnostítravlâčihkomponentívurostovíiatmosferí AT âkovecaa osoblivostírostuplívoknítriduvuglecûvprisutnostítravlâčihkomponentívurostovíiatmosferí AT žihareviv osoblivostírostuplívoknítriduvuglecûvprisutnostítravlâčihkomponentívurostovíiatmosferí AT belâevbv osoblivostírostuplívoknítriduvuglecûvprisutnostítravlâčihkomponentívurostovíiatmosferí AT grickihva osoblivostírostuplívoknítriduvuglecûvprisutnostítravlâčihkomponentívurostovíiatmosferí AT šalaevrv featuresofcarbonnitridefilmsgrowthatpresenceofetchingcomponentinthegrowthatmosphere AT prudnikovam featuresofcarbonnitridefilmsgrowthatpresenceofetchingcomponentinthegrowthatmosphere AT varûhinvn featuresofcarbonnitridefilmsgrowthatpresenceofetchingcomponentinthegrowthatmosphere AT turkavn featuresofcarbonnitridefilmsgrowthatpresenceofetchingcomponentinthegrowthatmosphere AT âkovecaa featuresofcarbonnitridefilmsgrowthatpresenceofetchingcomponentinthegrowthatmosphere AT žihareviv featuresofcarbonnitridefilmsgrowthatpresenceofetchingcomponentinthegrowthatmosphere AT belâevbv featuresofcarbonnitridefilmsgrowthatpresenceofetchingcomponentinthegrowthatmosphere AT grickihva featuresofcarbonnitridefilmsgrowthatpresenceofetchingcomponentinthegrowthatmosphere |