Особенности фазообразования и физические свойства пленок Al−Nb и Al−Ta, полученных методом ионно-плазменного напыления
В широких концентрационных интервалах исследован фазовый состав, электрические свойства и параметры ближнего порядка свеженапыленных и термообработанных пленок Al−Nb и Al−Ta, полученных модернизированным методом ионноплазменного напыления (ИПН). В исходном свеженапыленном состоянии пленки с содержан...
Saved in:
| Published in: | Физика и техника высоких давлений |
|---|---|
| Date: | 2007 |
| Main Authors: | , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України
2007
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70363 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Особенности фазообразования и физические свойства пленок Al−Nb и Al−Ta, полученных методом ионно-плазменного напыления / О.Е. Белецкая, В.Ф. Башев, Н.А. Куцева, Ф.Ф. Доценко, С.И. Рябцев // Физика и техника высоких давлений. — 2007. — Т. 17, № 3. — С. 27-37. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70363 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Белецкая, О.Е. Башев, В.Ф. Куцева, Н.А. Доценко, Ф.Ф. Рябцев, С.И. 2014-11-03T18:35:25Z 2014-11-03T18:35:25Z 2007 Особенности фазообразования и физические свойства пленок Al−Nb и Al−Ta, полученных методом ионно-плазменного напыления / О.Е. Белецкая, В.Ф. Башев, Н.А. Куцева, Ф.Ф. Доценко, С.И. Рябцев // Физика и техника высоких давлений. — 2007. — Т. 17, № 3. — С. 27-37. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. 0868-5924 PACS: 81.15.Fg, 61.43.Dq, 64.60.My, 73.61.−r https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70363 В широких концентрационных интервалах исследован фазовый состав, электрические свойства и параметры ближнего порядка свеженапыленных и термообработанных пленок Al−Nb и Al−Ta, полученных модернизированным методом ионноплазменного напыления (ИПН). В исходном свеженапыленном состоянии пленки с содержанием ~ (22−75) at.% легирующего элемента (Nb или Ta) состоят либо из рентгеноаморфной (РАФ), либо из аморфно-кристаллической (РАФ + К) фаз. При отжиге в вакууме (10⁻³ Pа) некристаллические фазы не распадаются вплоть до температур, при которых начинается интенсивное окисление пленок. Примененный в работе метод ИПН позволяет получать рентгеноаморфные пленки Al−Nb и Al−Ta в широких концентрационных интервалах с различными номиналами поверхностного электросопротивления ρS и прецизионными значениями температурного коэффициента сопротивления (ТКС). The phase composition, electrical properties and parameters of short range order of the Al−Nb and Al−Ta films were researched in the wide concentration intervals. The films were obtained by the modified method of ion-plasma sputtering (IPS). The films with 22−75 at.% of alloying elements (Nb or Ta) consist of amorphous or amorphous and crystalline phases in initial state. The non-crystalline phases are stable up to temperatures of intensive oxidation of films at annealing in vacuum. The IPS method allows obtaining of homogeneous Al−Nb and Al−Ta films with wide nominal values of sheet electrical resistance and precision values of temperature coefficient of resistance. ru Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України Физика и техника высоких давлений Особенности фазообразования и физические свойства пленок Al−Nb и Al−Ta, полученных методом ионно-плазменного напыления Особливості газоутворення і фізичні властивості плівок Al−Nb і Al−Ta, отриманих методом іонно-плазмового напилювання Phase composition and physical properties of Al−Nb and Al−Ta films obtained by ion-plasma sputtering Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Особенности фазообразования и физические свойства пленок Al−Nb и Al−Ta, полученных методом ионно-плазменного напыления |
| spellingShingle |
Особенности фазообразования и физические свойства пленок Al−Nb и Al−Ta, полученных методом ионно-плазменного напыления Белецкая, О.Е. Башев, В.Ф. Куцева, Н.А. Доценко, Ф.Ф. Рябцев, С.И. |
| title_short |
Особенности фазообразования и физические свойства пленок Al−Nb и Al−Ta, полученных методом ионно-плазменного напыления |
| title_full |
Особенности фазообразования и физические свойства пленок Al−Nb и Al−Ta, полученных методом ионно-плазменного напыления |
| title_fullStr |
Особенности фазообразования и физические свойства пленок Al−Nb и Al−Ta, полученных методом ионно-плазменного напыления |
| title_full_unstemmed |
Особенности фазообразования и физические свойства пленок Al−Nb и Al−Ta, полученных методом ионно-плазменного напыления |
| title_sort |
особенности фазообразования и физические свойства пленок al−nb и al−ta, полученных методом ионно-плазменного напыления |
| author |
Белецкая, О.Е. Башев, В.Ф. Куцева, Н.А. Доценко, Ф.Ф. Рябцев, С.И. |
| author_facet |
Белецкая, О.Е. Башев, В.Ф. Куцева, Н.А. Доценко, Ф.Ф. Рябцев, С.И. |
| publishDate |
2007 |
| language |
Russian |
| container_title |
Физика и техника высоких давлений |
| publisher |
Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Особливості газоутворення і фізичні властивості плівок Al−Nb і Al−Ta, отриманих методом іонно-плазмового напилювання Phase composition and physical properties of Al−Nb and Al−Ta films obtained by ion-plasma sputtering |
| description |
В широких концентрационных интервалах исследован фазовый состав, электрические свойства и параметры ближнего порядка свеженапыленных и термообработанных пленок Al−Nb и Al−Ta, полученных модернизированным методом ионноплазменного напыления (ИПН). В исходном свеженапыленном состоянии пленки с содержанием ~ (22−75) at.% легирующего элемента (Nb или Ta) состоят либо из рентгеноаморфной (РАФ), либо из аморфно-кристаллической (РАФ + К) фаз. При отжиге в вакууме (10⁻³ Pа) некристаллические фазы не распадаются вплоть до температур, при которых начинается интенсивное окисление пленок. Примененный в работе метод ИПН позволяет получать рентгеноаморфные пленки Al−Nb и Al−Ta в широких концентрационных интервалах с различными номиналами поверхностного электросопротивления ρS и прецизионными значениями температурного коэффициента сопротивления (ТКС).
The phase composition, electrical properties and parameters of short range order of the Al−Nb and Al−Ta films were researched in the wide concentration intervals. The films were obtained by the modified method of ion-plasma sputtering (IPS). The films with 22−75 at.% of alloying elements (Nb or Ta) consist of amorphous or amorphous and crystalline phases in initial state. The non-crystalline phases are stable up to temperatures of intensive oxidation of films at annealing in vacuum. The IPS method allows obtaining of homogeneous Al−Nb and Al−Ta films with wide nominal values of sheet electrical resistance and precision values of temperature coefficient of resistance.
|
| issn |
0868-5924 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70363 |
| citation_txt |
Особенности фазообразования и физические свойства пленок Al−Nb и Al−Ta, полученных методом ионно-плазменного напыления / О.Е. Белецкая, В.Ф. Башев, Н.А. Куцева, Ф.Ф. Доценко, С.И. Рябцев // Физика и техника высоких давлений. — 2007. — Т. 17, № 3. — С. 27-37. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT beleckaâoe osobennostifazoobrazovaniâifizičeskiesvoistvaplenokalnbialtapolučennyhmetodomionnoplazmennogonapyleniâ AT baševvf osobennostifazoobrazovaniâifizičeskiesvoistvaplenokalnbialtapolučennyhmetodomionnoplazmennogonapyleniâ AT kucevana osobennostifazoobrazovaniâifizičeskiesvoistvaplenokalnbialtapolučennyhmetodomionnoplazmennogonapyleniâ AT docenkoff osobennostifazoobrazovaniâifizičeskiesvoistvaplenokalnbialtapolučennyhmetodomionnoplazmennogonapyleniâ AT râbcevsi osobennostifazoobrazovaniâifizičeskiesvoistvaplenokalnbialtapolučennyhmetodomionnoplazmennogonapyleniâ AT beleckaâoe osoblivostígazoutvorennâífízičnívlastivostíplívokalnbíaltaotrimanihmetodomíonnoplazmovogonapilûvannâ AT baševvf osoblivostígazoutvorennâífízičnívlastivostíplívokalnbíaltaotrimanihmetodomíonnoplazmovogonapilûvannâ AT kucevana osoblivostígazoutvorennâífízičnívlastivostíplívokalnbíaltaotrimanihmetodomíonnoplazmovogonapilûvannâ AT docenkoff osoblivostígazoutvorennâífízičnívlastivostíplívokalnbíaltaotrimanihmetodomíonnoplazmovogonapilûvannâ AT râbcevsi osoblivostígazoutvorennâífízičnívlastivostíplívokalnbíaltaotrimanihmetodomíonnoplazmovogonapilûvannâ AT beleckaâoe phasecompositionandphysicalpropertiesofalnbandaltafilmsobtainedbyionplasmasputtering AT baševvf phasecompositionandphysicalpropertiesofalnbandaltafilmsobtainedbyionplasmasputtering AT kucevana phasecompositionandphysicalpropertiesofalnbandaltafilmsobtainedbyionplasmasputtering AT docenkoff phasecompositionandphysicalpropertiesofalnbandaltafilmsobtainedbyionplasmasputtering AT râbcevsi phasecompositionandphysicalpropertiesofalnbandaltafilmsobtainedbyionplasmasputtering |
| first_indexed |
2025-11-28T01:53:55Z |
| last_indexed |
2025-11-28T01:53:55Z |
| _version_ |
1850853177329451008 |