Оценка технологического процесса изготовления СБИС по стабильности элементов ее структуры
Применяемый в производстве СБИС метод тестовых схем предлагается дополнить методикой определения нестабильных во времени элементов физической структуры изделия с использованием модели деградационных процессов. Показана возможность проведения ускоренных испытаний на элементах структуры. Приведены экс...
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2003 |
| Main Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2003
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70609 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Оценка технологического процесса изготовления СБИС по стабильности элементов ее структуры / А.М. Вантеев, А.И. Коробов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 2. — С. 33-35. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70609 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Вантеев, А.М. Коробов, А.И. 2014-11-09T07:28:20Z 2014-11-09T07:28:20Z 2003 Оценка технологического процесса изготовления СБИС по стабильности элементов ее структуры / А.М. Вантеев, А.И. Коробов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 2. — С. 33-35. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70609 Применяемый в производстве СБИС метод тестовых схем предлагается дополнить методикой определения нестабильных во времени элементов физической структуры изделия с использованием модели деградационных процессов. Показана возможность проведения ускоренных испытаний на элементах структуры. Приведены экспериментальные результаты, демонстрирующие возможность выявить элементы с нестабильными во времени характеристиками на этапе производства пластин с кристаллами СБИС. Broad used in production of GSI the method of the test schemes is offered to be supplemented by a technique of definition unstable units in of physical frame in time. The characteristics of potential instability of units are offered for determining by using a model of degradation processes. Mechanisms of degradation and their models are adduced. The capability of reduction accelerated tests on these units is demonstrated. The outcomes results, demonstrating capability to reveal units with unstable in time by the characteristics on a production phase of slices with superchips are adduced. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технология производства Оценка технологического процесса изготовления СБИС по стабильности элементов ее структуры Appraisal of technological process mamufacture of GSI by stability of units it sructure Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Оценка технологического процесса изготовления СБИС по стабильности элементов ее структуры |
| spellingShingle |
Оценка технологического процесса изготовления СБИС по стабильности элементов ее структуры Вантеев, А.М. Коробов, А.И. Технология производства |
| title_short |
Оценка технологического процесса изготовления СБИС по стабильности элементов ее структуры |
| title_full |
Оценка технологического процесса изготовления СБИС по стабильности элементов ее структуры |
| title_fullStr |
Оценка технологического процесса изготовления СБИС по стабильности элементов ее структуры |
| title_full_unstemmed |
Оценка технологического процесса изготовления СБИС по стабильности элементов ее структуры |
| title_sort |
оценка технологического процесса изготовления сбис по стабильности элементов ее структуры |
| author |
Вантеев, А.М. Коробов, А.И. |
| author_facet |
Вантеев, А.М. Коробов, А.И. |
| topic |
Технология производства |
| topic_facet |
Технология производства |
| publishDate |
2003 |
| language |
Russian |
| container_title |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Appraisal of technological process mamufacture of GSI by stability of units it sructure |
| description |
Применяемый в производстве СБИС метод тестовых схем предлагается дополнить методикой определения нестабильных во времени элементов физической структуры изделия с использованием модели деградационных процессов. Показана возможность проведения ускоренных испытаний на элементах структуры. Приведены экспериментальные результаты, демонстрирующие возможность выявить элементы с нестабильными во времени характеристиками на этапе производства пластин с кристаллами СБИС.
Broad used in production of GSI the method of the test schemes is offered to be supplemented by a technique of definition unstable units in of physical frame in time. The characteristics of potential instability of units are offered for determining by using a model of degradation processes. Mechanisms of degradation and their models are adduced. The capability of reduction accelerated tests on these units is demonstrated. The outcomes results, demonstrating capability to reveal units with unstable in time by the characteristics on a production phase of slices with superchips are adduced.
|
| issn |
2225-5818 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70609 |
| citation_txt |
Оценка технологического процесса изготовления СБИС по стабильности элементов ее структуры / А.М. Вантеев, А.И. Коробов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 2. — С. 33-35. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT vanteevam ocenkatehnologičeskogoprocessaizgotovleniâsbispostabilʹnostiélementoveestruktury AT korobovai ocenkatehnologičeskogoprocessaizgotovleniâsbispostabilʹnostiélementoveestruktury AT vanteevam appraisaloftechnologicalprocessmamufactureofgsibystabilityofunitsitsructure AT korobovai appraisaloftechnologicalprocessmamufactureofgsibystabilityofunitsitsructure |
| first_indexed |
2025-12-07T19:38:39Z |
| last_indexed |
2025-12-07T19:38:39Z |
| _version_ |
1850879581316186113 |