Оценка технологического процесса изготовления СБИС по стабильности элементов ее структуры
Применяемый в производстве СБИС метод тестовых схем предлагается дополнить методикой определения нестабильных во времени элементов физической структуры изделия с использованием модели деградационных процессов. Показана возможность проведения ускоренных испытаний на элементах структуры. Приведены экс...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2003 |
| Автори: | Вантеев, А.М., Коробов, А.И. |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2003
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70609 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Оценка технологического процесса изготовления СБИС по стабильности элементов ее структуры / А.М. Вантеев, А.И. Коробов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 2. — С. 33-35. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Математическая модель технологического процесса по результатам пассивного эксперимента
за авторством: Долгов, Ю.А., та інші
Опубліковано: (2000)
за авторством: Долгов, Ю.А., та інші
Опубліковано: (2000)
Математическая модель технологического процесса по выборкам малого объема
за авторством: Долгов, Ю.А., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Долгов, Ю.А., та інші
Опубліковано: (2004)
Мониторинг стабильности технологического процесса изготовления электроизоляционных систем тяговых электрических машин
за авторством: Беспрозванных, А.В., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Беспрозванных, А.В., та інші
Опубліковано: (2017)
Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов
за авторством: Спирин, В.Г.
Опубліковано: (2004)
за авторством: Спирин, В.Г.
Опубліковано: (2004)
Моделирование процессов бесконтактного химикомеханического изготовления подложек полупроводников
за авторством: Григорьев, Н.Н., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Григорьев, Н.Н., та інші
Опубліковано: (2003)
Технология изготовления термоэлектрических модулей Пельтье повышенной надежности
за авторством: Ащеулов, А.А., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Ащеулов, А.А., та інші
Опубліковано: (2004)
Технология изготовления лазерных красителей для диапазона 472-600 нм
за авторством: Кругленко, В.П., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Кругленко, В.П., та інші
Опубліковано: (2002)
Технологические средства изготовления микрополосковых линий для ГИС КВЧ-диапазона
за авторством: Кренделев, А.Е.
Опубліковано: (2002)
за авторством: Кренделев, А.Е.
Опубліковано: (2002)
Исследование процесса монтажа кристаллов мощных транзисторов вибрационной пайкой
за авторством: Ануфриев, Л.П., та інші
Опубліковано: (2000)
за авторством: Ануфриев, Л.П., та інші
Опубліковано: (2000)
Косвенный лазерный нагрев поликристаллического кремния для получения активных элементов микросхем
за авторством: Искендер-заде, З.А., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Искендер-заде, З.А., та інші
Опубліковано: (2002)
Совершенствование процесса изготовления таблеток из диоксида урана
за авторством: Одейчук, Н.П., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Одейчук, Н.П., та інші
Опубліковано: (2007)
Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD
за авторством: Глушко, А.А., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Глушко, А.А., та інші
Опубліковано: (2007)
Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD
за авторством: Glushko, A. A., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Glushko, A. A., та інші
Опубліковано: (2007)
Оценка стабильности процесса сплавления при контактной стыковой сварке
за авторством: Скачков, И.О., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Скачков, И.О., та інші
Опубліковано: (2011)
Оптимизация струйной технологии изготовления токопроводящих элементов печатных плат
за авторством: Lesyuk, R. I., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Lesyuk, R. I., та інші
Опубліковано: (2010)
Многокристальные модули на анодированной алюминиевой подложке
за авторством: Сокол, В.А., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Сокол, В.А., та інші
Опубліковано: (2002)
Выявление резервов производства методами статистического моделирования по пассивным данным
за авторством: Долгов, Ю.А.
Опубліковано: (2004)
за авторством: Долгов, Ю.А.
Опубліковано: (2004)
Особенности получения тонких пленок SiO₂ методом быстрой термической обработки
за авторством: Светличный, А.М., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Светличный, А.М., та інші
Опубліковано: (2001)
Особенности применения напыленной фольги для алюминиевых электролитических конденсаторов
за авторством: Гордиенко, Г.Ф., та інші
Опубліковано: (2000)
за авторством: Гордиенко, Г.Ф., та інші
Опубліковано: (2000)
Влияние обработки поверхности и нагрева на высоту потенциального барьера контактов к SiC
за авторством: Агеев, О.А., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Агеев, О.А., та інші
Опубліковано: (2001)
Повышение достоверности отбраковки БИС методом понижения питающего напряжения
за авторством: Белоус, А.И., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Белоус, А.И., та інші
Опубліковано: (2001)
Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением
за авторством: Иванчиков, А.Э., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Иванчиков, А.Э., та інші
Опубліковано: (2003)
Разработка процесса высокотемпературной газовой экструзии для изготовления однокристального и стержневого алмазного инструмента
за авторством: Бугаков, В.И., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Бугаков, В.И., та інші
Опубліковано: (2013)
Оценка стабильности процесса прокатки полосы по крутящему моменту в линии привода валков
за авторством: Веренев, В.В., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Веренев, В.В., та інші
Опубліковано: (2013)
Моделирование процесса изготовления крупных полых слитков из высоколегированных сталей и сплавов способом ЭШ НЖМ
за авторством: Махненко, В.И., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Махненко, В.И., та інші
Опубліковано: (2013)
Получение электрокоммутационных слоев керамических теплопереходов методом детонационного напыления
за авторством: Ащеулов, А.А., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Ащеулов, А.А., та інші
Опубліковано: (2004)
Резистивные элементы, полученные на анодном оксиде алюминия имплантацией ионов Ti и Мо
за авторством: Литвинович, Г.В., та інші
Опубліковано: (2000)
за авторством: Литвинович, Г.В., та інші
Опубліковано: (2000)
Проблемы ресурсосбережения и экологической безопасности в гальванотехнологии
за авторством: Скубилин, М.Д., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Скубилин, М.Д., та інші
Опубліковано: (2004)
Численное моделирование лазерных фотоионизационных технологий очистки вещества на атомном уровне
за авторством: Амбросов, С.В.
Опубліковано: (2003)
за авторством: Амбросов, С.В.
Опубліковано: (2003)
Информационно-измерительный комплекс для оптоемкостной спектроскопии полупроводников
за авторством: Васильев, В.А.
Опубліковано: (2002)
за авторством: Васильев, В.А.
Опубліковано: (2002)
Измеритель параметров роторных машин
за авторством: Дмитриев, Э.А., та інші
Опубліковано: (2000)
за авторством: Дмитриев, Э.А., та інші
Опубліковано: (2000)
Тепловые режимы формирования омических контактов к арсениду галлия
за авторством: Иващук, А.В.
Опубліковано: (2000)
за авторством: Иващук, А.В.
Опубліковано: (2000)
Итоги и перспективы развития технологии микроволнового нагрева диэлектрических материалов
за авторством: Демьянчук, Б.А., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Демьянчук, Б.А., та інші
Опубліковано: (2003)
Темпленовые изоляторы для фидера сечением 70/30 мм
за авторством: Кирюкова, Е.В.
Опубліковано: (2004)
за авторством: Кирюкова, Е.В.
Опубліковано: (2004)
Осаждение ЭДТА из комплексных растворов тяжелых металлов и его регенерирование
за авторством: Гилене, О., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Гилене, О., та інші
Опубліковано: (2004)
Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур
за авторством: Лебедева, Т.С., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Лебедева, Т.С., та інші
Опубліковано: (2003)
Алгоритм управления для нечеткого регулятора
за авторством: Вершинина, Л.П.
Опубліковано: (2001)
за авторством: Вершинина, Л.П.
Опубліковано: (2001)
Исследование MOSFET-транзисторов в различных герметичных корпусах для поверхностного монтажа
за авторством: Рубцевич, И.И., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Рубцевич, И.И., та інші
Опубліковано: (2004)
Обработка данных при автоматизации дефектоскопического контроля материалов электронной техники
за авторством: Крылов, В.Н., та інші
Опубліковано: (2000)
за авторством: Крылов, В.Н., та інші
Опубліковано: (2000)
Действие радиации на чувствительность магнитотранзисторов из высокоомного кремния
за авторством: Викулина, Л.Ф., та інші
Опубліковано: (2000)
за авторством: Викулина, Л.Ф., та інші
Опубліковано: (2000)
Схожі ресурси
-
Математическая модель технологического процесса по результатам пассивного эксперимента
за авторством: Долгов, Ю.А., та інші
Опубліковано: (2000) -
Математическая модель технологического процесса по выборкам малого объема
за авторством: Долгов, Ю.А., та інші
Опубліковано: (2004) -
Мониторинг стабильности технологического процесса изготовления электроизоляционных систем тяговых электрических машин
за авторством: Беспрозванных, А.В., та інші
Опубліковано: (2017) -
Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов
за авторством: Спирин, В.Г.
Опубліковано: (2004) -
Моделирование процессов бесконтактного химикомеханического изготовления подложек полупроводников
за авторством: Григорьев, Н.Н., та інші
Опубліковано: (2003)