APA (7th ed.) Citation

Григорьев, Н., Кравецкий, М., Пащенко, Г., Сыпко, С., & Фомин, А. (2003). Моделирование процессов бесконтактного химикомеханического изготовления подложек полупроводников. Технология и конструирование в электронной аппаратуре.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Григорьев, Н.Н, М.Ю Кравецкий, Г.А Пащенко, С.А Сыпко, and А.В Фомин. "Моделирование процессов бесконтактного химикомеханического изготовления подложек полупроводников." Технология и конструирование в электронной аппаратуре 2003.

MLA (8th ed.) Citation

Григорьев, Н.Н, et al. "Моделирование процессов бесконтактного химикомеханического изготовления подложек полупроводников." Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2003.

Warning: These citations may not always be 100% accurate.