Григорьев, Н., Кравецкий, М., Пащенко, Г., Сыпко, С., & Фомин, А. (2003). Моделирование процессов бесконтактного химикомеханического изготовления подложек полупроводников. Технология и конструирование в электронной аппаратуре.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Григорьев, Н.Н, М.Ю Кравецкий, Г.А Пащенко, С.А Сыпко, und А.В Фомин. "Моделирование процессов бесконтактного химикомеханического изготовления подложек полупроводников." Технология и конструирование в электронной аппаратуре 2003.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Григорьев, Н.Н, et al. "Моделирование процессов бесконтактного химикомеханического изготовления подложек полупроводников." Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2003.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.