Зображення обкладинки

Моделирование процессов бесконтактного химикомеханического изготовления подложек полупроводников

Разработана физическая модель операций бесконтактного химико-механического полирования и химической резки. Получены аналитические выражения, связывающие геометрию образованной поверхности и скорость обработки с физическими параметрами протекающих процессов. Это позволяет использовать результаты рабо...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Дата:	2003
Автори:	Григорьев, Н.Н., Кравецкий, М.Ю., Пащенко, Г.А., Сыпко, С.А., Фомин, А.В.
Формат:	Стаття
Мова:	Російська
Опубліковано:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2003
Теми:	Технология производства
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70610
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Моделирование процессов бесконтактного химикомеханического изготовления подложек полупроводников / Н.Н. Григорьев, М.Ю. Кравецкий, Г.А. Пащенко, С.А. Сыпко, А.В. Фомин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 2. — С. 36-40. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Устройство для бесконтактного измерения электропроводности полупроводников
за авторством: Ascheulov, A. A., та інші
Опубліковано: (2007)

Информационно-измерительный комплекс для оптоемкостной спектроскопии полупроводников
за авторством: Васильев, В.А.
Опубліковано: (2002)

Технология изготовления термоэлектрических модулей Пельтье повышенной надежности
за авторством: Ащеулов, А.А., та інші
Опубліковано: (2004)

Технологические средства изготовления микрополосковых линий для ГИС КВЧ-диапазона
за авторством: Кренделев, А.Е.
Опубліковано: (2002)

Технология изготовления лазерных красителей для диапазона 472-600 нм
за авторством: Кругленко, В.П., та інші
Опубліковано: (2002)

Поляриметрия подложек компакт-дисков
за авторством: Савенков, С.Н., та інші
Опубліковано: (2005)

Интегрированный метод принятия решений об эффективной структуре технологических процессов
за авторством: Алексеев, Н.А.
Опубліковано: (2004)

Методика автоматизированного проектирования технологических процессов
за авторством: Невлюдов, И.Ш., та інші
Опубліковано: (2002)

Моделирование деградации радиационно-оптических свойств халькогенидных стеклообразных полупроводников
за авторством: Вакив, Н.М.
Опубліковано: (2000)

Исследование поляриметрических характеристик подложек оптических дисковых носителей
за авторством: Петров, В.В., та інші
Опубліковано: (2009)

Выбор обмотки якоря бесконтактного совмещённого синхронного генератора
за авторством: Дёгтев, В.Г., та інші
Опубліковано: (2009)

Исследование процессов изготовления элементов молекулярных сенсорных устройств
за авторством: Ходаковский, Н.И.
Опубліковано: (2003)

Численное моделирование лазерных фотоионизационных технологий очистки вещества на атомном уровне
за авторством: Амбросов, С.В.
Опубліковано: (2003)

Сухой пленочный фоторезист как изоляционное покрытие алюминиевых подложек
за авторством: Короткевич, А.В., та інші
Опубліковано: (1999)

Технологические методы повышения надежности термоэлектрических модулей
за авторством: Прошкин, Н.Н.
Опубліковано: (2000)

Мартенситно-стареющая сталь для изготовления металлообрабатывающего инструмента
за авторством: Еремин, Е.Н., та інші
Опубліковано: (2010)

Моделирование запасов собственного изготовления для ремонтов оборудования металлургических корпораций
за авторством: Тищенко, А.Н., та інші
Опубліковано: (2006)

Синтез каталитически активных подложек для получения наноструктур германия (IV)
за авторством: Дорошенко, М.Н., та інші
Опубліковано: (2011)

Использование системного анализа для расчета экономической эффективности технологических процессов
за авторством: Большаков, В.И., та інші
Опубліковано: (2004)

Использование бесконтактного магнитометрического метода для диагностики холестаза в эксперименте
за авторством: Примин, М.А., та інші
Опубліковано: (2016)

Устройство для бесконтактного экспресс-измерения параметров термоэлектрических материалов
за авторством: Ashcheulov, A. A., та інші
Опубліковано: (2015)

Формирование дискретных сигналов положения ротора бесконтактного магнитоэлектрического двигателя
за авторством: Акинин, К.П.
Опубліковано: (2009)

Численное моделирование процесса кристаллизации металла
за авторством: Сыпко, И.А.
Опубліковано: (2014)

Магниторезистивные свойства неоднородного состояния антиферромагнитных полупроводников
за авторством: Криворучко, В.Н.
Опубліковано: (1996)

К вопросу повышения промышленной безопасности конвертеров и экологической безопасности процессов выплавки стали
за авторством: Тубольцев, Л.Г., та інші
Опубліковано: (2011)

Оптика полупроводников с линейным электронным спектром
за авторством: Фальковский, Л.А.
Опубліковано: (2011)

Анализ и методика расчета электронных устройств последовательного включения для бесконтактного возбуждения дуги
за авторством: Махлин, Н.М., та інші
Опубліковано: (2014)

Модификация свойств бинарных полупроводников под облучением. Индуцированная облучением сверхпроводимость
за авторством: Михайловский, В.В., та інші
Опубліковано: (2007)

Приближенное моделирование процесса кристаллизации при наличии конвекции
за авторством: Сыпко, И.А.
Опубліковано: (2013)

Применение МГУА для формализации производственных процессов и операций в очистных забоях
за авторством: Антипов, И.В., та інші
Опубліковано: (2012)

Мощные СВЧ-транзисторы на основе широкозонных полупроводников
за авторством: Босый, В.И., та інші
Опубліковано: (2003)

Исследование эффектов модификации поверхности металлических подложек, подвергнутых ионно-плазменной обработке
за авторством: Шулаев, В.М., та інші
Опубліковано: (2011)

Анализ наношероховатостей подложек с использованием левитирующих электронов над сверхтекучей плёнкой гелия
за авторством: Смородин, А.В., та інші
Опубліковано: (2011)

Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD
за авторством: Глушко, А.А., та інші
Опубліковано: (2007)

Моделирование состава газовой фазы при плазменной резке судокорпусных сталей
за авторством: Сербин, С.И., та інші
Опубліковано: (2004)

Влияние обработки поверхности и нагрева на высоту потенциального барьера контактов к SiC
за авторством: Агеев, О.А., та інші
Опубліковано: (2001)

Особенности построения электромеханической системы ориентации наноспутника на основе бесконтактного магнитоэлектрического двигателя
за авторством: Антонов, А.Е., та інші
Опубліковано: (2017)

ОСОБЕННОСТИ ПОСТРОЕНИЯ ЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ ОРИЕНТАЦИИ НАНОСПУТНИКА НА ОСНОВЕ БЕСКОНТАКТНОГО МАГНИТОЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ДВИГАТЕЛЯ
за авторством: Антонов, А.Е., та інші
Опубліковано: (2017)

Численное моделирование проводимости тканых полотен для спецодежды
за авторством: Сынков, В.Г., та інші
Опубліковано: (2009)

Высокочастотные характеристики бесконтактного электромагнитного возбуждения поперечного звука в квазидвумерних проводниках
за авторством: Галбова, О., та інші
Опубліковано: (2003)