Взрывная кристаллизация тонких пленок полупроводников при облучении y-квантами

• Published in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Date: 2003
• Main Authors: Храмов, Е.Ф., Прохоров, Г.В., Пелихатый, Н.М., Гнап, А.К.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2003
• Subjects: Материалы электроники
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70618
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Взрывная кристаллизация тонких пленок полупроводников при облучении y-квантами м/ Е.Ф. Храмов, Г.В. Прохоров, Н.М. Пелихатый, А.К. Гнап // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 2. — С. 58-60. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.

Выявлены ранее не описанные структурные микродефекты, возникающие в пленках полупроводника при гамма-облучении. Показано, что причиной изменения оптических свойств таких пленок являются микронеоднородности и упругие поля вокруг них. Проведенными экспериментальными исследованиями процессов радиационн...