Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур

Приведены основы метода контролируемого анодного окисления ("анодной спектроскопии"), методики его применения, результаты исследований многослойных тонкопленочных структур. Получены и проанализированы профили анодирования структур, сформированных при осаждении пленок Nb и Al электронно-луч...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Date:2003
Main Authors: Лебедева, Т.С., Шпилевой, П.Б., Войтович, И.Д.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2003
Subjects:
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70698
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур / Т.С. Лебедева, П.Б. Шпилевой, И.Д. Войтович // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 5. — С. 42-46. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70698
record_format dspace
spelling Лебедева, Т.С.
Шпилевой, П.Б.
Войтович, И.Д.
2014-11-11T06:43:36Z
2014-11-11T06:43:36Z
2003
Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур / Т.С. Лебедева, П.Б. Шпилевой, И.Д. Войтович // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 5. — С. 42-46. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70698
539.216.2:691.5
Приведены основы метода контролируемого анодного окисления ("анодной спектроскопии"), методики его применения, результаты исследований многослойных тонкопленочных структур. Получены и проанализированы профили анодирования структур, сформированных при осаждении пленок Nb и Al электронно-лучевым способом и магнетроном, с формированием барьерного оксида AlOx термическим окислением и в тлеющем разряде магнетрона. Продемонстрировано применение метода для контроля формирования нано­структурированных анодных пленок оксида алюминия. Показана плодотворность метода для экспресс-контроля тонкопленочных технологий.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Технология производства
Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур
spellingShingle Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур
Лебедева, Т.С.
Шпилевой, П.Б.
Войтович, И.Д.
Технология производства
title_short Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур
title_full Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур
title_fullStr Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур
title_full_unstemmed Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур
title_sort применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур
author Лебедева, Т.С.
Шпилевой, П.Б.
Войтович, И.Д.
author_facet Лебедева, Т.С.
Шпилевой, П.Б.
Войтович, И.Д.
topic Технология производства
topic_facet Технология производства
publishDate 2003
language Russian
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
format Article
description Приведены основы метода контролируемого анодного окисления ("анодной спектроскопии"), методики его применения, результаты исследований многослойных тонкопленочных структур. Получены и проанализированы профили анодирования структур, сформированных при осаждении пленок Nb и Al электронно-лучевым способом и магнетроном, с формированием барьерного оксида AlOx термическим окислением и в тлеющем разряде магнетрона. Продемонстрировано применение метода для контроля формирования нано­структурированных анодных пленок оксида алюминия. Показана плодотворность метода для экспресс-контроля тонкопленочных технологий.
issn 2225-5818
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70698
citation_txt Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур / Т.С. Лебедева, П.Б. Шпилевой, И.Д. Войтович // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 5. — С. 42-46. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT lebedevats primeneniekontroliruemogoanodnogookisleniâdlâékspresskontrolâvtehnologiiplenokitonkoplenočnyhstruktur
AT špilevoipb primeneniekontroliruemogoanodnogookisleniâdlâékspresskontrolâvtehnologiiplenokitonkoplenočnyhstruktur
AT voitovičid primeneniekontroliruemogoanodnogookisleniâdlâékspresskontrolâvtehnologiiplenokitonkoplenočnyhstruktur
first_indexed 2025-11-25T20:42:34Z
last_indexed 2025-11-25T20:42:34Z
_version_ 1850528384654770176
fulltext �� ��������� ���� ������� ������� �� � ������ ����� ������� ����������������������������� �������������� �������� � � !"��� ����� " #����������������������� ��� �� � � $#%&'�� "�#�����( ��������������������� ����������� �� ��� ��������� ����� ���� � ' �� ���� "�) ����*��� ���� +����� � ,"�-"�."�/��0 ��� 1234567�8���9:;<65="5=><"?5@A";4 ����� !������ �� "�#$��##�� ��� �% ��%���&� � '((�$��� ��(�� �� $��� )� �*&� #��+��+��� ,��,�!����%� � ��� �% �,-� ���� #�(� �%�,���&� � '()�#�(& $� .�## -� ��������0�� �� ����������� ������B�C���������2 �����+��� ,������B�� �� �D��,�� ����������� ���E ������������F ��� �� ��� ����F����"�G�F��+���2 �C�,�� �B �����C��D F B�� ��,����C� ��������2 � ����� ������B�C������ ����H�, ��� �� B�� �� ��� ���,��� B�� �� ���� �"��� �� ��������� �����2 0 ����� �� ��+�����F��� �����F� ,����F �D F B��2 ������ ��� �� ��������� B�� ����I ,��� ���+�2 B ������,��������� ������B�C�����������"�#��� �� F2 F�����I���� ��������, ��� � ����� �� F�C��� ��,�2 ������ ������� 2����� �� ����JF����J��� �B���������2 ��� ��� ��,����������� ������2 ��������� ����C����2 �+��� ,� �I������� ������B������+������ " %�� �� � ������ ���� ��������� ��,�� ������C� ���� ����+C��������I����,��������������C����� ��2 ������� ����� ������������I�� ���� �������,�� �2 ��� �K L��� ����JF���� �,���������� ���� �"�#����2 ��B ����F��� ��,����������������� ���� �� "�$M�� ��������,� ���� �����,�������������������� ���� �2 � B�� ,��� ���� B�� �,��,C���"�&��� �J����+C�� +C� ���� �J���,������ ��������� ����� ������� � ��� ������B�C������ ����,�����,� ������ ���,� � ������ ��� ���� �"�#��� �����, ��N����������� �2 ��� �� �O��I���� I ����� ������������+����,C�+�2 ��,� ����JF����J��+�����, ��"( -� ������� �� ��C� ���� ,������ ��,� ������J F��B ���J�����F� �J� ������� �J�����������E ����2 ����� ������� �� ����C�� ��������� ��K�H�L"�PC�� �� �F����� B��� ��� �� ,�� ,� ���� ��������� � �����������C������������ �������� � ��� ����F2 ���������� I������ ������������ ���C�D��, ���,C� �����C����� ��C������� "�.�������� B����������+2 E��� ���C���������������0�� F���� �+C�������" -��,������ F��F�� ,����� ���� �Q, ���"�-����I�����2 ,��,��������J,����B�C��H��� ��E����J������F��2 +�� ��,���� � ��������� ����F��0�� ��������E 2 ������������������H��� Q�," *�� ����������,�������������������� F�F�� � ,��2 � �� ����� ������������I�� ��/01/2��� �������,�� �2 ��� �����I ,����������� ���� �"�)� � F���������� D��, ����� �����0�� �������� ��� � ��� ������ &G*.R%R%*R�)#%�G#S*G'R.#/#�T%#�%#/#�#)*USR%*V �SV�M)U&GRUU2)#%�G#SV�-��RW%#S#/**�&SR%#) *��#%)#&SR%#X%YW�U�G')�'G /01/2�3�λ�4�56�7/89�1�:;ρ<=� ���E ������� �∆/�� ������ 0����� � ���� �� �������������������������������I�� ��∆0�������2 D ������� ����� ����CB �������� � �∆/3∆01$/>1/0(� ���/>1/0�H� ��� B ���� ���� ��� F��E��� ������� � ���� �������� ��,���� ����K�L" )������ ����/01/2$2(� � �/01/2$0(��� �D��, ��2 ��� ���� ��� ��� � ������, � ���,�I��������� �J ��� ��������������D��, ����� ������0����$+�2 �J�����(����� � �D��, ����� ����� ���������� I� �����I�� ��09���� � �����,��������� ���������I , D��, ����� �����"�������J�$/01/2(93��� ���������,� � ��C���������� �����������������������B���J���� ,���� ����������� ���E ���?9Z09��� $�Z ��� �,[-(" R�� �� �D��, ��������� ��C�� ������ � ��� ���, 2 � ���F�,�� �J���� ���� ������� ������ �����,�D��, 2 �����������0����� �����������E ���� � ����� ����J2 ���0�,�� ���� ��+��F���+��������� B ���J����� ������������������ ��+��F���������J ������������" &� ����,��� �D��, ����� ������� �������J ��������2 E�� �� ������� ��,,�����E���������@ �� � ��� B �� $/01/2( ��������� ����J������������ ��� �������� �2 ��� ���� B ���$/01/2(���� �D��, ����� ������� � � � ��������������E�� ��+��F���@�� � �@�[@ "��� , �+��F�,�� F,�� ��/01/2��,C�����B��,���F,�I����J �C��� �J�� � ���B���J���������� ���,�����������2 �� �F�� ,�������E��J����" #+CB����������� ���� ����� ������������� �2 �����2, ��� �� B�� �� ��������� ���B������+��� ���� ��J�� ���+�������� �� ��� ���J�� �����,�� ������������ ������ F�"�&����� ��,C����, �,���� ��������������C,� �+C���C,�,�����,�� ������2 ��2 ������8:�A82B��B������+�������I����� �����+�� ����2 I ,������� ����� �" �������� � ���� ���� *F ������� ������ ����\<[]6^>H]6[\<���� F��2 � ���J����� ��,��� ��,��,�� ����� �,������+���2 ������������,��,� �������, � � ���C,� ���B� �, �����B �� ������I� "�X ������,���� ����, 0���� ���λ�H �4�H C�H ��/89�H :�;�H ρ�H <H �DD� � �����J�D��, ����� �_ ��������J��� �_ ,��� �����C������� � ��_ � DD����� ��J���������I������J�������������E�,�����2 ��,�� � ��_ ����������J���� � �� ���� �_ ��������J�� � ��_ B ����̀ ������" ������� �� � ������ ����� ������� ����������������������������� �� ��������� ���� ������� �����������!!�!!a�����\<� �!!�!!!a�����]6"�&���2 ��� ���J�C���� ��,������B��,C������,�EJ������2 +�,��� ������ ��������������������bc �d��&4"�&���� ���I��� �,� �I�� �����������B�� ����, ���������2 � ���J�������� ���J��������C��� �������J���B ��2 ����������� �, 0����"��*����JF��������� ���B 2 �������!!�!a���������,C���� �,����B���F��C,���2 I �����J���I � ,��F���,"������� ���� ������ ���2 �C��� ��������������e�&�"�U �����J����I��� ��� 2 �+ �� ����������� ���,[��� ���, � ��H��Q�,[�"����2 E ���� I�� �� ������� ��������� �+ ������������ � �������� �����,���������������������E ��������]6 H�������������,"�# ���� �����, � ����� F��� � ������E�,���F����� ��������,�I������, � ���� , 0��J��,� �������� ������I ��" T�������� ���� �������� � ������� ��J�����F2 ��+�������� �� ��������������� ����������� ���2 � � B�� ����B�� ��������� ���C,� �����,������E��2 ����, ��,��� B�� ,��� ����,�������F � �� ��2 ��� ���+��F��"�������C�����E�� ��� �,,��D��, 2 ����� �J���� ���f� ��g���D�����F ���� � ��������2 � ��� �J� �� � ��� fD��I ��g"� ���� D��, ����� � ����0�C�������C��� � ��C������� �$T#&(� ����J2 F���������� ���� �����������������+�������,,�� �� �� ��� � ����K L������������ ��C��T#&����, � ��H ����C���a2�C�����������E��������� ����C" & ��� ����� ���� � B�� ����B�� � ��C����0� /01/2$2(������,�� �������E������� �J��� ���,�E ���� ��J�����F����� ���� +������+����B ���E� � ����B�� �� +��0�,��C�� ���D ���� ���� ����� �" &�������J��� ���� ��������� ����� ����� ����2 ��������� Q,T[�,�����F,��� �������,C�����E���� H� Q,,������ ����,�F��B�� ��/01/2������ �+ ����2 ������������e�-[�"�%��� ��� ����� ����������, 2 ���������F��B�� ��/01/2" � ���������� �������������� � ������� ������� ����������� *��������� ��,�� ������C������ ������������� � �+ �� ����, � �������� ���J���, �����, �����2 ��+�� �������� � � ���� �����C����� ������B2 �C���������������+�F���I�F�D������ ��������J�C� ���� ����\<[]6^>H]6[\<"�&� ����,�,������������ ��� ���� �� � ����JF������� � ����� ��������� � ���� ������� � ��� �B������,������� ������2 ������� �����������I��� ��������� �K�H�L"�&��D � ����2 � ����� ������ ����\<[]6^>H]6[\<�����F�������E 2 �������, � ���� �����C������ �� " U��B����D��������� ����� �������� ��B���F������2 �������� ��� �+ �����E ������Q�,���� ����,���� 2 B ���/01/2����������"�$M�����B���� ����� ��� �����2 E��"(�)� ����J ��D��������� ����� ������ �������� ]6^>H]6����� B ���/01/2���F ����F�������"�&� �,�2 ��������E ������, � ���� ����F,���� ��� �����C2 ���������+��$,("�&� ����� B�� ����E �C����, � � � ����� B ������������ ���������� B �C� ������ ��� � B�� ���� F,��������$D��/��E(" &��������, � ���� �,��C�����E �����C��I���� ��, � ,�,� ��/01/2� ,��J0�� $/01/2(]6� $� �"� �QF�� G(" ���J ���� ����E ������, � ��+��J0�� �Q�,���+��2 �������B�� ���B���� �$/01/2(]6�$#�H/���("�U ����� �� ����C���������������� ��� �����F�����]6[\<����F2 ����������� ����������C�����E �����, � �" &������� ,�� ����,��������������� ��+��F��� ��+�����������+��J0���,� � ,�,"�.C��B ���,��B�� ������F�������� B �,��������� ����� ������C, ��� 2 ,���, �������������� �� I�� �������� �+ ��� ���2 �C��D��, �������������C��� �����, � �"�&������2 I��� �,����,�������������+�����0 ������, �� ��� ���D �������� ����� ��,�� ������C������� �\<[\< K�L"�U���,�EJ������ B���� ������,���2��� ���,��2 � �K�L���� ��� ���]6[\<�������� B�C������ ����� +C���� I���+����I�������������+��������E ����� ��� ��J ������,�����" �����D��,�� ��, � ,�,����� ��� ���]6[\< �����2 F���������+�������, ��+��F���� �����I�� ������2 ,���� ��� ����\<^>h]6^I��� ����� ����� ����� 2 ���C�]6[\<"�&��,�������� B�� �����E �C����� ���, � ��, � ,�,�� ��+������� ������� ����+���� ����C,"�&� ����E ������, � �������,� �+�����, 2 � ,�,��� �+�������� ������ " %�I�����,�� �J��B���, � ,�,���� � ����� ����2 � ������������I�� ��/01/2��������� ����]6[\<�+C� ����� �F������� ���&� � ���KeL� ���+��������� ���2 � ,�����J���K ��iL"�G�����������I�� ���� �������, � ���� �,�� ������C������ ��������I ,�������2 ���� ���� ������ ��J ����,� F��������� �,��������� ��+�������" � ����������!����"��������� ���� %���� �� #� �� �����C� ���D � � ���� ����� � ���� ����\<[]6[\<� �\<[]6^&H]6[\<�� F �������2 �C�� ,� �������C,� ���I��� �,� � � ���� �,� � ���F,��,� �������"�*F�� ��� ��� �����B����������� ���E �����, � �� ��� �����F�����\<[]6���F,C�� +������B�,�\<[]6^&" #��� ,����E ������������ �������,�I�������2 ��������� �������� �+ �� ����� ������, � �����+2 ��F���\<[]6[\<"�-�� B �������� �������I�� �������2 �����,�� �����+��J���� ��� ��∆0]6[\<�� � � � ��� F�� ��� �����������������Q-"�*F�������KeL��B��������2 ���C������ ����� ��$/>1/0(\<Zb�b��,[-��$/>1/0(]6Z Zb����,[-"�&�������I ���B���������������� ������ �������� $/>1/0(\<[]6Z [�K$/>1/0(\<J$/>1/0(]6L�� ��2 ��B��,�0 � ��� ��� �C���F�����\<[]6������,"�- ��������I�� ��B������������������ ����� ��/>1/0 � ��� ��������������� ����\<[]6^&H]6[\<������ ����,[-�$ � �����]6�^�(����������������� B�C, �+��F�,����E ������������ �������,�I�������� , ��� �����,� �]6^>��������������iQ�," %����I�� ���- , G D / E /0 [/ 2�� �� �" �� �" G �"� "�&��D � ����� ����� ������ ����\<[]6^>H]6[\< ����F� B�������E �������, � �7 F�H����Q�,_�G�H�b�!Q�,_�D�H� i�bQ�,_�/�H��e�iQ�,_�E�H�� ��Q�, �� ��������� ���� ������� ������� �� � ������ ����� ������� ����������������������������� &���B���C����, ���F��J������ ���������������C2 , � ��������� ���I�F�D������ ������ ������� 2 , �,�����, �K���iL"�P��J0���0 � ���������������+2 ���� �\<[]6����F�����������I��� �,������ ������� +��J������������������C��� �������� �������� �+ �� ��F� ��F��� �,����������� �\<�������B�C, � �F�, � ����� DD�F ���� �+ �� ����, � ������� I����+��J2 0���0�����������J������������ ����, � ���B�,�]6^>" � ����������$�� �������%���� �&�� ���� ��� ��� ��C����� ���,�� ������C�������B�C� ���� ��������������� ��B��C,�F����,���+��C�,��2 ��, ����� �����C���� +���������"�B"��I�F�D��2 ���� �"�#��� ����� ��J ����� ��+��J���]6^>H]6 F� ��B���,�I���� �+ ��C, ���� �����, ���C���2 � �J�� �� ��������� ���+CB�C, �,�����, �B��F�C2 B��������I��"�*����JF���� �����D �������� ����2 � ����F�����������0�����0 �J�����F���B�" %���� �'(Q�����������C����D � � ���� ����� � ���� ����\<[]6̂ &H]6[\<�� F ��������C��,� �������C, ���I��� �,� ����, B�� ,�� ���� �,��� ������� �� ������� � ��c ���&�"�T��� F����D �������� ����2 � ���� �FC������B������,�������� B�� �����,�� �� �2 ��� �� 2� � ��� ���� �������0 � �C� � �C���C�� � � = �������� ���C������ ������ B ���������F��B ���J2 �������� �,��� ��������� � ��������������+��J0��"�.C ���FC���,���������,��B����� ���J�������,�����, B�� �2 ��� ���� ���� ��� �� �F� ��F��� ��+��J���� ������ ������B�C, � �F�, ��� ��,���� �,��C�K�L" -� �B��������J������ ��� ��,������� ���� ��,C ������JF���� �J� � ���� �,� �� ����E�,� ��F����" G�F����D��, ��������,�I������, � �����, 0��J� ,� �������� �� ����,�������������J�"������� � ���������������������e�&������,��� ���� �����J2 ����� ��������� ���� ���"�j�,�� ,��B���������D ��� ���� ����� ������ ����\<[]6^&H]6[\<��+��J��� ���2 �C���D��, �����������F,��,� ���������� �� � �� ���������� �������, B�� ,�� ���� �,�F��B ���J2 ����C0��K�L"�.C����FC���,����������� B�� �,����2 � �,��� � �����0���� �+��J���" �����C����� ���� �� �����C��� �������� ����� 2 ���������� ��C������� ��������� �J���������������� 2 ����, �\<[]6^&H]6[\<�� �� I�� ���� ���C�\<[]6H ]6^&H]6[\<�$�� ��)("�*����� ���� �� F ����� ��� �J ,� �������C,������+�,������, B�� ,�� ���� �, ���� ��,��� ��,��,�� ��"�R� �������C,���� B �, +C������I��� �������� ���J�� ����������, � �����2 E ������� Q��� �Q�," %�� ���D ���� ���� ����� �� ���� ����\<[]6H ]6^&H]6[\<��� ����E ��������� ���J�� �����, 2 � ��+��������,������� �����������������, � ��H ������� �,�� � ��� ��������� �"�&� ,�B����J������ B���������D �������� ����� ������ ������������ 2 ���J�C,� ���, � �,� $G(� � � � � ��� F��B ���J�� �C0���B�,��������� ����\<[]6^&H]6[\<� $,("�#B�2 � ��������I��� ������ ����, � ��,��J0�������I2 ������ ��C��������B�,����I��� ��� �+ �" � ���������� ��*��+�� ��� �������������� � � ������������� �,� �����*��*���� V� ��� �������� ��� �D��,�� ����� �,����� ����������� ���� �� ��� � ��������� ���� �2 �����B�C������ ���������������F��J���C������B��2 �C����, ��� � F�B�� ��� �� �����, B�� ����+��2 +�� �������+ �J����J��I�F�D������ �� ���� 2 ����\<[]6^>H]6[\<"�&� � �� F ������� � ����J2 F���� �J���� ������2��B��������C��� �� ����, 2 B�� ���� ���� �"�&����+�������������� ���� 2 �������K�L"�$#�,�� ,��B������ ������2��B��������2 ���� �����,����������J�����B �J��I�F�D�����2 � �� ���� �C��C�� � �� �B�����"( /0 [/ 2�� �� �" �� �" , G %����I�� ���- ���������������������������e�����i����b����!� G �"��"�&��D � ����� ����� ������ 2 ���� \<[]6^&H]6[\<� �� ��F� B�C, ��I ,�, � ���, B�� � �� � ���� �7 F�H� +�F� � ���� �_� G� H� 2k Z �� , �_ D�H�2k Z���, �_�/�H�2k Ze��, � G �"��"�&��D � ����� ����� ������ 2 ���� \<[]6^&H]6[\<� � \<[]6H ]6^&H]6[\<"� ���, B�� ��� � ���2 � �����, � ��� 2k Z���, � G �"��"�*F,���� �����D ������2 � ����� ������ ���C�\<[]6^>H ]6[\<� �� � ���, B�� ��� �+��2 +�� � %����I�� ���- ���������������������������e�����i�����b� /0 [/ 2�� �� �" �� �" , G D / /0 [/ 2�� �� �" �� �" %����I�� ���- �����������������������e����i�����b����!� , G D / E G �"� �"�&��D � � ���� ����� �� ���� ����\<[]6[\< �\<[]6^&H]6[\< /0 [/ 2�� �� �" �� �" ��- \<[]6[\< \<[]6^>H]6[\< %����I�� � ������� �� � ������ ����� ������� ����������������������������� �� ��������� ���� ������� &��D � ����� ����� ����I�F�D������ ������ 2 ����\<[]6^>H]6[\<� ,�� ����� ��� ���C�+��J��2 �� ��� ������C��� ��C��� ����� �������������� $�� ��-�Q,("�lC� ��������� ����D � ����� ����� � �� ������ ���� ����J�2�,����C������ ��� �� � F2 ��������C����� ����������I�F�D������ �� ���� 2 ������������I ���� ���,��������� ���� ������������ ��i��U�����B�� �� �B���������,�0 �D�" &�� ������ ���,���������� ��� � ���U�$� �"����,��G( ����� ��� �� � F,���� �� ������ �����D ������� 2 ����� �"�&�������� ������� ����Q �����U�F�,�������2 ����������0 ��� ��� ������������������E� �� ��2 � �����F��������, � �� �+�F��� ��� �+ ��$D��/("�&��2 ������ ������� ��i��U���+���������F��B ���J������F2 ,C� ��F���� ��� ��������� �� � ���]6^>������� ��� ��B��� ����$E(" *F,���� �����J�2�,����C������ ��� �� ��I�F�D2 ������ �� ���� ����\<[]6^>H]6[\<�����0��0 �����2 , B�� ����+��+�� ����� �F�� �K�L��B�������0�� �� � ��+�B ������ ��� �� �F�,������I����������� ������� ����U"�&�� ������ ������ ��i��U��� ��� �� �F��B ���J2 ��,������0�� �� �B�������I�F�D������ �� ���� ��� H���F,C� ��������������E���E�� ������ B�� �����2 E����C���� ��"�%���������� ,���+������������� B�� � ���,��J�� �������� ���� �� ���� ����� �������� ���2 ���� ��J������F���������E ����� ��� ������" �� ,��+��F�,������B���C����, ���F��J���C���2 �FC������B���D���� �� ��D B�� ����+��+�� ������ 2 ����\<[]6^>H]6[\<��� ���,�������������C0�� ���U ����� ��� �� � ���� ����� ��������J���0������C2 0�� ����,�������C��+��+�� ���I������J��" G�F��J���C���0 �� ��������� �� �� ��������� � ����C, ���� ����������$KiL("�&�2� � ,�,������, 2 B�� ����+��+�� ���� ���,�����������C0�������U��� 2 ��� �� ����� B�� ��,�IF��������� DD�F ���� ��2 � ������, � �� �� I�� �������� �+ ������� I�� ��� ���� ��������� � ������, � �" .�� ������������������ �!��������!����� ����% ��%�� ��������%����� ��������������&������/ �&������ �&���� ���&��������������0 ���� -��������������,���� ,�� ������ �� ������� 2 ��� ������ �������������������� �������� ��C������2 �C��� � ��C������� ����, � ��� ��������������� �� ��J����,��D��� B�� ���� ���,��"�-��J ����2 � ������� ��D��, ����� ������� ���F�����������2 B��J�� ���,C��B�� ��������� �����C�� ���������2 �� ������F,���, ���������� �����,� ���F,���, ���� ����� ��B�� ����e���������,"�T#&����, � ������ �2 ����C, �,��� ��, �����,� ���+C�J� ����JF����C�� �B������,��� �����������F,���C��,�F�� �� B�� � ���� ����$f�������������� �� ��D �g("�&���������� �2 �������� ����� ����JF���� ������ ��� ������C� ����T#&����, � ����������B�� ��������F,���C� � �������B�B�C�� �����+ ��C������ ���" &� ,���� �� ������ ���,� �������� ��� ���2 � ���� �B������,������� ������2 ���������� �����2 +�� ��������� �T#&��������,���F,�I����J� �2 ��������J����+������ ����������� ��C������� �����2 �� ��� � ������, � ���� ���F� B�C����I ,��� � D��, ����� �"�-C������ �� ������� ��+��C� +C�� ���F��������F��+�� ���������� ���� �B����� ���J2 �C���������C������ ���" %���� ��1��� �����C�F�� � ,��� �/01/2$0(������2 B���C���� �� ���� ����, � ������,�������� ���2 � ��"�)� ����,�������������������������0�� ��� � 2 ���������������� ����, � ������� ���� ����������2 ��������+�������,,�� �"�'B���� �m� � ����K�����B�� �� �D��, ����� ���� ��� ��� � ������, � �����a2 ����E��������� �������� �������������������� ��� � ���e�, T[�,�"�U�����E ���B���� � � ����F�� �C2 ����������B�� ������, ���������B� ������B�� �� ��, � �� ������I�� �� �������-�D��, ����������� ��C� � ���"�&��������,C� ��+��F������� �� F������� ����� �F�,��C���� ���� ��������� ���J�D��, ����2 � ��+��J���� ��� � �����������]6^>�$�B���� �mm("�*F2 ,���� ��/01/2�������,��B��� ������������������ � ���� ������ ����I ,���������F,�I����J����� �J� � ���B���J���������������� ��+��F������������� ����������J� ����@ 1@�Z� $/01/2(�[$/0[/2( "����� ���2 �� �� � ���� ,�����@ [@�Z��e��� B��� ������������� ����C,���� ������C,���KbL" nnn &���B���C����F��J���C��� �FC������ B���,���� ����������� ���� �� �,�I���+C�J���������,��� 2 ,��������������B�� ��� �D��,�� ���,�� ������C� ��� ������B�C��� ���,��� ������C����� �� ��F�� 2 � ,��� � ��� ����� �� F ������� �"� )� � �� �F��� �C0���,���������������� ���� �� ��������+�����2 �� �����E� ���+�������� �� �F��B ���J�� �����,�2 � ������������� ������ F����������F,�I����J������2 � ���������I ���J� F,���� ��, ������ ����C����2 ��,�������� � F,���� �������� B�� ����I ,��� �"��"���������������C,� ����+�C,�,�����,�� ������2 ������������������� ������ � ���� ������B�C� ���� ��������� I������ �������������,������ ����� ������� B�� ������������H����I��� ������� � ���� ��������� ���� ���� ��� ���" %�, ��C����������F��+�� �� � ���,C�� ������2 ��������,�����,������������ ���� �� �������� �2 �����B����� �+ �2���, � ������������ "�M���� 2 ���,��,�I����� ,����J����� I�� �������� ����� �2 �����B�C��������� �" G �"��e"�&��D � ����� ����� ��]6������ ���� ����� ������������+�������,,�� �� ��� ��� � ����$,(� �� ��I ,�� F�,��C� ��� ���� ��� $K( /0 [/ 2�� �� �" �� �" , K m mm LZ���e�,][=,� ������������������������������������������e��������i��������b� %����I�� ���- �e ��������� ���� ������� ������� �� � ������ ����� ������� ����������������������������� *U&#Soj#-T%%YR�*U�#X%*)* "� m343;p4�q"��r4s;k�t"�uv4p4=w@p5x4w5ky�kz�\<[]6^>H]6[\< {;y=w5ky� swp;=w;p4s� <>� 4yk85x4w5ky� s:@=wpks=k:>� [[� m111�qp4ys"� ky l4|y"H� !b!"H�}k6"�����\� "H�~"� � H ��" �"��@<@8@A4�q"�t"��\4A464�t"��"��tv:56@Ak>�~"��"��}k{wkA5=v�m"��" myA@sw5|4w5ky� kz� wv5y2z563� =p>k@6@=wpky5=� swp;=w;p@s� <>� 4yk85x4w5ky s:@=wpks=k:>�3@wvk8�[[�t;:@p=ky8;=w5A@�@6@=wpky5=�4y8�<5k34|y@w5s3 $) ��("H� !!�"H�u"���H��" �"�-����� B�*"��"��S�+�������"�U"��%������U"�V"���� ����� &"�P"�G�F��+�� �� � ��� ,���� ��,����������������� ���� �2 � ��������� F�� � ���� �����C����� ������B�C������ ��� [[� ��"� ' �� �� � �� �� ��,�� �� �+E�����"H� !!i"H��"� �"H U"� �i H�ie" �"��@<@8@A4�q"�t"��\4A464�t"��"��tv:56@Ak>�~"��"��}k{wkA5=v�m"��" 1�:p@ss2=kywpk6� kz� s;:@p=ky8;=w5y|�35=pk=5p=;5ws� w@=vyk6k|>� <> 4yk85x4w5ky� s:@=wpks=k:>�3@wvk8� [[� �k;p"� 8@� ~v>s"� m}"H� !!b"H }k6"�b"H�~"�~p"��H��!H� �" �"�lkpkv4sv5�t"���4w4k?4��"��m343;p4�q"��r4s;k�t"�t@=ky84p>�5ky y4ss�s:@=wpk3@wp>�zkp��ks@:vsky�{;y=w5ky��5wv�\<[]6^>H]6[\<��swp;=w;p@ [[]::6"�~v>s"��@ww"H� !!�"H�}k6"�e�$ ("H�~"� e�H ee" e"� ~p5y|6@� �"� ~"� t"� qv@� 4yk85=� k�584w5ky� kz� s;:@p53:ks@8 3@w4665=�64>@ps7�wv@kp>�[[�16@=wpk=v@3"�]=w4"H� !b�"H�}k6"���"H ~"� ���H ���" i"� m343;p4� q"��lkpkv4sv5� t"� �4<p5=4w5ky� kz� v5|v� �;465w> \<[]6^>H]6[\<��ks@:vsky�{;y=w5ky7�8@:ks5w5ky�kz�wv5y�]6�64>@ps�ky \<� z563s� [[� m111�qp4ys� ky�t;:@p=ky8"H� !!�"H�}k6"� ���\� �"H ~"� b�H!�" b"�/��� ����U"�T"��U��� ��*"�%"�M�� ���� , B�� �����2 � F� ������ �� � ��� � �+��F���� �� ��� ��� �� ������ � � � ������, � �� [[�M�� ���� , �"H�����"H��"��e�����"H U"� e iHe� " �������������� �������� � � �!"��H "�!� ����� " #������������������������M� $)'M ���� "�) ��( ���N�� � � �� �����C��� ���O��������C�� ��� �� �� ������� � ��������������� �� ���� �C��O�� ������ �P�� P������J�� "�. �� ��%&#��*��� ���� 1234567� 8x�:pk895yw@|p46"35ys?"<> .R�#�Y�'�TSR%*V�&#S*.RG%YW�jT/GVj%R%*�� -Yj-T%%YW�&STj.#W*.*XRU)*.��GT-SR%*R. �� -�����#�,-�(���Q�*R�,�,�(S���� � � -�+�,���(%�$ �(����*&�S,'�%S���(R�( $(#,�*���&,�(S�*�+�,���(%�$ �(���, -��,#�- �,&��,S�()� ' � ��($,� �������� F�� ���+, ����C����F,��������,��2 ���� ������ � �����+��J0 �� ��� ���J�C�� ���, $UP*U(����+��� ,���+����B �J��C�� �����B����J��� ���J ���� �D��, ����� �� ��� ������ ��� ������2 ���E�,�������� �,�� ������� �������� ��� �� 2 ��� � �,������" ������� ��������,�I������ F��� �J���� +��,�2 ����,�I � ����� ��������� ���� +��,�����,����� � ������� �"�&��,�������� B�� �������� � ��� ��� UP*U��� ,���� ��,������I � ����� ��������� �����2 ��� ����,����� �,��,C,� F2F��� F ��������� ��� 2 F��������� "�.����C����� ��������� ���+�������B�C ���F�����������B �J����D �J����,����������� ��J2 �C, ����� �, � �, � ,��J�C,�+� ��C,������,���� ,�� ��D�����F ���"�&����,����������� � F ����2 ��� ��UP*U�0 �� ����� ,���� ����0� �,����C���2 � � ���2 ���� �� � ���F,�� , B�� � �� ������� � $&W�(�K ���L" &���B�� ��+�F������ ������ ��J�� �����D �� �� ����F,�� , B�� �,�������� ���F,�I���+�� �2 �����F�E ���+� ��C������� ���F�����,� ��� ��� � ���� ������ ,����� ������� �+��F������ �� �������� ������� �"�̀ ��, ���E ���������F,������ ��+��F�2 �E ��� �������I�������������������� ��,�������2 ��� ������������J�����F���,������������������� � ������F������ �,�+�,+��� ��� �F���I���C, �B�2 �� ��, ������������� �� F�����J�C�������������� ���,���������,C����������J��� ����,���� ������ 2 ��J�C������ ���K����L" T����+ ������������ ,���������� �� �������2 ��I ���J�������J�� 0J�������������������������2 ���������� �����F ���� I��� �� F�����J����������2 ���E���� ����� �������� �"�-����I�����,��������2 ���������I������J�C,�������B�C,�F� ��F��� �,��� +� ��C������ ����D��, ������C�����,������� ���2 +����� ���� ��C��� ����D��, ���,C�������� ��� 2 � � ��� ��,� �� � �D��D���� � ���� �� ��� ��" j���J������� ��� �� ��� ��J��,���������� �� ���� 2 ����,�����2 ��,� �����,�����2,�������� �����0�� � ,����� F�� � ���� ��C��� ��� �������� ���+�C��� ,����� F ������C������I� �� ��,��J0�� ���DD� 2 � ��������E�� � ���� ��" -�F,�I�C�����,������������ ����� ,���C����2 ��� ���������&W�7 H�� , B�� ��,������� ����JF���� �,���F� B2 �C��� , ����_ H����, B�� ��,������CI �� ����� ,������ ��,���������b��H!���U��������� �������"�M����,�2 �������� F�������+CB����� ��������� ������� N�������� �� ���� ���O��D�� � ����J���������F��2 B��������� � ��I ��� �����D ��� ���� ��� ��� ��� ���������� ����� ,���" -�������E�����+���� ������������DD� � �����J � �F���C��,������������� ����� ,���C������� �� �� �D��, ����� �,�����F,���C�� ���� ��C��� �� ,�����,����F,�� , B�� � ��������� �" 2���������� � ���� ��� *��������� �������� � �J���� ����,�������� 2 B�� �,���������� F ������� �� ��� ���J����, ��2 ���,C�����������������,����� F �����������F���2 ����������� ������� ������J�C������� ��)�P2 � � �,����,� ���,,"�-����������� �������,��������2