Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур
Приведены основы метода контролируемого анодного окисления ("анодной спектроскопии"), методики его применения, результаты исследований многослойных тонкопленочных структур. Получены и проанализированы профили анодирования структур, сформированных при осаждении пленок Nb и Al электронно-луч...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Datum: | 2003 |
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2003
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70698 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур / Т.С. Лебедева, П.Б. Шпилевой, И.Д. Войтович // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 5. — С. 42-46. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70698 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Лебедева, Т.С. Шпилевой, П.Б. Войтович, И.Д. 2014-11-11T06:43:36Z 2014-11-11T06:43:36Z 2003 Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур / Т.С. Лебедева, П.Б. Шпилевой, И.Д. Войтович // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 5. — С. 42-46. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70698 539.216.2:691.5 Приведены основы метода контролируемого анодного окисления ("анодной спектроскопии"), методики его применения, результаты исследований многослойных тонкопленочных структур. Получены и проанализированы профили анодирования структур, сформированных при осаждении пленок Nb и Al электронно-лучевым способом и магнетроном, с формированием барьерного оксида AlOx термическим окислением и в тлеющем разряде магнетрона. Продемонстрировано применение метода для контроля формирования наноструктурированных анодных пленок оксида алюминия. Показана плодотворность метода для экспресс-контроля тонкопленочных технологий. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технология производства Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур |
| spellingShingle |
Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур Лебедева, Т.С. Шпилевой, П.Б. Войтович, И.Д. Технология производства |
| title_short |
Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур |
| title_full |
Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур |
| title_fullStr |
Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур |
| title_full_unstemmed |
Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур |
| title_sort |
применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур |
| author |
Лебедева, Т.С. Шпилевой, П.Б. Войтович, И.Д. |
| author_facet |
Лебедева, Т.С. Шпилевой, П.Б. Войтович, И.Д. |
| topic |
Технология производства |
| topic_facet |
Технология производства |
| publishDate |
2003 |
| language |
Russian |
| container_title |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| format |
Article |
| description |
Приведены основы метода контролируемого анодного окисления ("анодной спектроскопии"), методики его применения, результаты исследований многослойных тонкопленочных структур. Получены и проанализированы профили анодирования структур, сформированных при осаждении пленок Nb и Al электронно-лучевым способом и магнетроном, с формированием барьерного оксида AlOx термическим окислением и в тлеющем разряде магнетрона. Продемонстрировано применение метода для контроля формирования наноструктурированных анодных пленок оксида алюминия. Показана плодотворность метода для экспресс-контроля тонкопленочных технологий.
|
| issn |
2225-5818 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70698 |
| citation_txt |
Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур / Т.С. Лебедева, П.Б. Шпилевой, И.Д. Войтович // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 5. — С. 42-46. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT lebedevats primeneniekontroliruemogoanodnogookisleniâdlâékspresskontrolâvtehnologiiplenokitonkoplenočnyhstruktur AT špilevoipb primeneniekontroliruemogoanodnogookisleniâdlâékspresskontrolâvtehnologiiplenokitonkoplenočnyhstruktur AT voitovičid primeneniekontroliruemogoanodnogookisleniâdlâékspresskontrolâvtehnologiiplenokitonkoplenočnyhstruktur |
| first_indexed |
2025-11-25T20:42:34Z |
| last_indexed |
2025-11-25T20:42:34Z |
| _version_ |
1850528384654770176 |
| fulltext |
��
���������
����
�������
�������
��
�
������
�����
�������
�����������������������������
��������������
��������
�
�
!"��� ����� "
#����������������������� ���
��
�
�
$#%&'�� "�#�����(
��������������������� �����������
�� ���
���������
����� ����
�
'
��
���� "�)
����*���
����
+�����
�
,"�-"�."�/��0
���
1234567�8���9:;<65="5=><"?5@A";4
����� !������ �� "�#$��##�� ��� �%
��%���&� � '((�$��� ��(�� �� $��� )�
�*&� #��+��+��� ,��,�!����%� � ��� �%
�,-� ���� #�(� �%�,���&� � '()�#�(&
$� .�## -�
��������0�� ��
�����������
������B�C���������2
�����+���
,������B��
��
�D��,��
�����������
���E
������������F
���
�� ���
����F����"�G�F��+���2
�C�,�� �B
�����C��D
F
B��
��,����C�
��������2
�
�����
������B�C������
����H�,
���
��
B��
��
���
���,���
B��
��
����
�"���
��
���������
�����2
0
�����
�� ��+�����F���
�����F�
,����F
�D
F
B��2
������
���
��
���������
B��
����I
,���
���+�2
B
������,���������
������B�C�����������"�#���
��
F2
F�����I����
��������,
���
�
����� ��
F�C���
��,�2
������
�������
2�����
��
����JF����J���
�B���������2
���
��� ��,�����������
������2
���������
����C����2
�+���
,�
�I�������
������B������+������
"
%�� ��
� ������ ����
���������
��,�� ������C�
����
����+C��������I����,��������������C�����
��2
�������
�����
������������I��
����
�������,��
�2
���
�K L���
����JF����
�,���������� ����
�"�#����2
��B
����F���
��,�����������������
����
��
"�$M��
��������,�
����
�����,��������������������
����
�2
�
B��
,���
����
B��
�,��,C���"�&���
�J����+C��
+C� ����
�J���,������
���������
�����
�������
�
���
������B�C������
����,�����,�
������
���,� �
������ ���
����
�"�#���
�����,
��N�����������
�2
���
��
�O��I����
I
�����
������������+����,C�+�2
��,�
����JF����J��+�����,
��"(
-� �������
�� ��C�
���� ,������ ��,� ������J
F��B
���J�����F�
�J�
�������
�J�����������E
����2
�����
�������
��
����C��
���������
��K�H�L"�PC��
��
�F����� B��� ��� ��
,��
,� ����
���������
�
�����������C������������
��������
� ���
����F2
����������
I������
������������
���C�D��,
���,C�
�����C�����
��C�������
"�.��������
B����������+2
E���
���C���������������0��
F����
�+C�������"
-��,������
F��F��
,�����
���� �Q,
���"�-����I�����2
,��,��������J,����B�C��H���
��E����J������F��2
+��
��,����
�
���������
����F��0��
��������E
2
������������������H��� Q�,"
*��
����������,��������������������
F�F��
�
,��2
�
��
�����
������������I��
��/01/2���
�������,��
�2
���
�����I
,����������� ����
�"�)�
�
F����������
D��,
�����
�����0�� �������� ���
�
��� ������
&G*.R%R%*R�)#%�G#S*G'R.#/#�T%#�%#/#�#)*USR%*V
�SV�M)U&GRUU2)#%�G#SV�-��RW%#S#/**�&SR%#)
*��#%)#&SR%#X%YW�U�G')�'G
/01/2�3�λ�4�56�7/89�1�:;ρ<=�
���E
�������
�∆/�� ������ 0����� �
����
��
�������������������������������I��
��∆0�������2
D
�������
�����
����CB
��������
�
�∆/3∆01$/>1/0(�
���/>1/0�H� ���
B
���� ����
���
F��E��� �������
�
����
�������� ��,����
����K�L"
)������
����/01/2$2(�
�
�/01/2$0(���
�D��,
��2
���
����
��� ���
�
������,
�
���,�I���������
�J
���
��������������D��,
�����
������0����$+�2
�J�����(�����
�
�D��,
�����
�����
����������
I�
�����I��
��09����
�
�����,���������
���������I
,
D��,
�����
�����"�������J�$/01/2(93���
���������,�
�
��C����������
�����������������������B���J����
,���� ����������� ���E
���?9Z09��� $�Z ��� �,[-("
R��
�� �D��,
���������
��C�� ������
�
��� ���,
2
�
���F�,��
�J����
����
�������
������
�����,�D��,
2
�����������0�����
�����������E
����
�
�����
����J2
���0�,��
����
��+��F���+���������
B
���J�����
������������������
��+��F���������J
������������"
&�
����,���
�D��,
�����
�������
�������J
��������2
E��
�� ������� ��,,�����E���������@ ��
� ���
B
��
$/01/2( ���������
����J������������
���
��������
�2
���
����
B
���$/01/2(����
�D��,
�����
������� �
�
�
��������������E��
��+��F���@��
�
�@�[@ "���
,
�+��F�,��
F,��
��/01/2��,C�����B��,���F,�I����J
�C���
�J��
�
���B���J����������
���,�����������2
��
�F��
,�������E��J����"
#+CB�����������
����
�����
�������������
�2
�����2,
���
��
B��
��
���������
���B������+���
����
��J�� ���+��������
��
���
���J�� �����,��
������������
������
F�"�&����� ��,C����,
�,����
��������������C,�
�+C���C,�,�����,��
������2
��2
������8:�A82B��B������+�������I�����
�����+��
����2
I
,�������
�����
�"
�������� �
����
����
*F �������
������
����\<[]6^>H]6[\<����
F��2
�
���J�����
��,���
��,��,��
�����
�,������+���2
������������,��,� �������,
�
�
���C,�
���B�
�,
�����B
��
������I�
"�X
������,����
����,
0����
���λ�H
�4�H
C�H
��/89�H
:�;�H
ρ�H
<H
�DD�
�
�����J�D��,
�����
�_
��������J���
�_
,���
�����C�������
�
��_
�
DD�����
��J���������I������J�������������E�,�����2
��,��
�
��_
����������J����
�
��
����
�_
��������J��
�
��_
B
����̀ ������"
�������
��
�
������
�����
�������
�����������������������������
��
���������
����
�������
�����������!!�!!a�����\<�
�!!�!!!a�����]6"�&���2
���
���J�C����
��,������B��,C������,�EJ������2
+�,���
������ ��������������������bc �d��&4"�&����
���I���
�,�
�I�� �����������B��
����,
���������2
�
���J��������
���J��������C���
�������J���B
��2
�����������
�,
0����"��*����JF��������� ���B
2
�������!!�!a���������,C����
�,����B���F��C,���2
I
�����J���I
�
,��F���,"�������
���� ������
���2
�C���
��������������e�&�"�U
�����J����I���
���
2
�+
�� ����������� ���,[��� ���,
�
��H��Q�,[�"����2
E
����
I�� ��
������� ���������
�+
������������
�
��������
�����,���������������������E
��������]6
H�������������,"�#
����
�����,
�
�����
F���
�
������E�,���F�����
��������,�I������,
�
����
,
0��J��,� ��������
������I
��"
T��������
����
��������
�
�������
��J�����F2
��+��������
��
���������������
�����������
���2
�
�
B��
����B��
���������
���C,�
�����,������E��2
����,
��,���
B��
,���
����,�������F
�
��
��2
���
���+��F��"�������C�����E��
��� �,,��D��,
2
�����
�J����
���f�
��g���D�����F
����
�
��������2
�
���
�J� �� �
��� fD��I
��g"� ���� D��,
�����
�
����0�C�������C���
�
��C�������
�$T#&(�
����J2
F����������
����
�����������������+�������,,��
��
��
��� �
����K L������������
��C��T#&����,
�
��H
����C���a2�C�����������E���������
����C"
&
���
�����
����
�
B��
����B��
�
��C����0�
/01/2$2(������,��
�������E�������
�J���
���,�E
����
��J�����F����� ����
+������+����B
���E� �
����B��
�� +��0�,��C�� ���D
���� ����
�����
�"
&�������J���
����
���������
�����
�����
����2
��������� Q,T[�,�����F,���
�������,C�����E����
H� Q,,������
����,�F��B��
��/01/2������
�+
����2
������������e�-[�"�%���
���
�����
����������,
2
���������F��B��
��/01/2"
�
����������
��������������
�
�������
�������
�����������
*���������
��,�� ������C������
�������������
�
�+
��
����,
�
��������
���J���,
�����,
�����2
��+��
��������
�
�
����
�����C�����
������B2
�C���������������+�F���I�F�D������
��������J�C�
����
����\<[]6^>H]6[\<"�&�
����,�,������������
���
����
��
�
����JF�������
�
�����
���������
�
����
�������
�
���
�B������,�������
������2
�������
�����������I���
���������
�K�H�L"�&��D
�
����2
�
�����
������
����\<[]6^>H]6[\<�����F�������E
2
�������,
�
����
�����C������
�� "
U��B����D���������
�����
��������
��B���F������2
��������
���
�+
�����E
������Q�,����
����,����
2
B
���/01/2����������"�$M�����B����
�����
���
�����2
E��"(�)�
����J
��D���������
�����
������
��������
]6^>H]6�����
B
���/01/2���F
����F�������"�&�
�,�2
��������E
������,
�
����
����F,���� ���
�����C2
���������+��$,("�&�
�����
B��
����E
�C����,
�
�
�
�����
B
������������
����������
B
�C�
������
���
�
B��
����
F,��������$D��/��E("
&��������,
�
����
�,��C�����E
�����C��I����
��,
�
,�,� ��/01/2� ,��J0�� $/01/2(]6� $�
�"� �QF�� G("
���J
����
����E
������,
�
��+��J0�� �Q�,���+��2
�������B��
���B����
�$/01/2(]6�$#�H/���("�U
�����
��
����C���������������� ���
�����F�����]6[\<����F2
�����������
����������C�����E
�����,
�
�"
&�������
,��
����,���������������
��+��F���
��+�����������+��J0���,�
�
,�,"�.C��B
���,��B��
������F��������
B
�,��������� �����
������C,
���
2
,���,
��������������
��
I�� ��������
�+
���
���2
�C��D��,
�������������C���
�����,
�
�"�&������2
I���
�,����,�������������+�����0
������,
��
���
���D
��������
�����
��,�� ������C�������
�\<[\<
K�L"�U���,�EJ������
B����
������,���2���
���,��2
�
�K�L���� ���
���]6[\<��������
B�C������
�����
+C����
I���+����I�������������+��������E
�����
���
��J
������,�����"
�����D��,��
��,
�
,�,����� ���
���]6[\< �����2
F���������+�������,
��+��F����
�����I�� ������2
,���� ���
����\<^>h]6^I���
�����
�����
�����
2
���C�]6[\<"�&��,��������
B��
�����E
�C�����
���,
�
��,
�
,�,�� ��+�������
�������
����+����
����C,"�&�
����E
������,
�
�������,�
�+�����,
2
�
,�,���
�+��������
������
"
%�I�����,��
�J��B���,
�
,�,����
�
�����
����2
�
������������I��
��/01/2���������
����]6[\<�+C�
�����
�F�������
���&�
� ���KeL�
���+���������
���2
�
,�����J���K ��iL"�G�����������I��
����
�������,
�
����
�,�� ������C������
��������I
,�������2
���� ����
������
��J
����,�
F���������
�,���������
��+�������"
�
����������!����"���������
����
%����
�� #� ��
�����C� ���D
�
� ����
�����
�
����
����\<[]6[\<�
�\<[]6^&H]6[\<��
F �������2
�C�� ,� �������C,� ���I���
�,�
� �
����
�,� �
���F,��,� �������"�*F��
���
���
�����B�����������
���E
�����,
�
�� ���
�����F�����\<[]6���F,C��
+������B�,�\<[]6^&"
#���
,����E
������������ �������,�I�������2
��������� ��������
�+
��
�����
������,
�
�����+2
��F���\<[]6[\<"�-��
B
��������
�������I��
�������2
�����,��
�����+��J���� ���
��∆0]6[\<��
�
� �
���
F��
���
�����������������Q-"�*F�������KeL��B��������2
���C������
�����
��$/>1/0(\<Zb�b��,[-��$/>1/0(]6Z
Zb����,[-"�&�������I
���B���������������� ������
�������� $/>1/0(\<[]6Z [�K$/>1/0(\<J$/>1/0(]6L�� ��2
��B��,�0
�
��� ���
�C���F�����\<[]6������,"�-
��������I��
��B������������������
�����
��/>1/0
�
��� ���������������
����\<[]6^&H]6[\<������
����,[-�$
�
�����]6�^�(�����������������
B�C,
�+��F�,����E
������������ �������,�I��������
,
���
�����,�
�]6^>��������������iQ�,"
%����I��
���-
, G D
/ E
/0
[/
2��
��
�"
��
�"
G
�"� "�&��D
�
�����
�����
������
����\<[]6^>H]6[\<
����F�
B�������E
�������,
�
�7
F�H����Q�,_�G�H�b�!Q�,_�D�H� i�bQ�,_�/�H��e�iQ�,_�E�H�� ��Q�,
��
���������
����
�������
�������
��
�
������
�����
�������
�����������������������������
&���B���C����,
���F��J������ ���������������C2
,
�
���������
���I�F�D������
������
�������
2
,
�,�����,
�K���iL"�P��J0���0
�
���������������+2
����
�\<[]6����F�����������I���
�,������
�������
+��J������������������C���
�������� ��������
�+
��
��F� ��F���
�,�����������
�\<�������B�C,
� �F�,
�
�����
DD�F
����
�+
��
����,
�
�������
I����+��J2
0���0�����������J������������
����,
�
���B�,�]6^>"
�
����������$��
�������%����
�&��
����
���
���
��C�����
���,�� ������C�������B�C�
����
���������������
��B��C,�F����,���+��C�,��2
��,
�����
�����C����
+���������"�B"��I�F�D��2
����
�"�#���
�����
��J
�����
��+��J���]6^>H]6
F�
��B���,�I����
�+
��C,
����
�����,
���C���2
�
�J�� ��
���������
���+CB�C,
�,�����,
�B��F�C2
B��������I��"�*����JF����
�����D
��������
����2
�
����F�����������0�����0
�J�����F���B�"
%����
�'(Q�����������C����D
�
� ����
�����
�
����
����\<[]6̂ &H]6[\<��
F ��������C��,� �������C,
���I���
�,�
����,
B��
,��
����
�,���
�������
��
�������
� ��c ���&�"�T���
F����D
��������
����2
�
����
�FC������B������,��������
B��
�����,��
��
�2
���
�� 2�
� ���
����
�������0
�
�C�
� �C���C��
�
�
=
��������
���C������
������
B
���������F��B
���J2
��������
�,���
���������
�
��������������+��J0��"�.C
���FC���,���������,��B�����
���J�������,�����,
B��
�2
���
����
����
���
��
�F� ��F���
��+��J���� ������
������B�C,
� �F�,
���
��,����
�,��C�K�L"
-�
�B��������J������
��� ��,�������
����
��,C
������JF����
�J� �
����
�,� �� ����E�,� ��F����"
G�F����D��,
��������,�I������,
�
�����,
0��J�
,� ��������
��
����,�������������J�"�������
�
���������������������e�&������,���
����
�����J2
�����
��������� ����
���"�j�,��
,��B���������D
���
����
�����
������
����\<[]6^&H]6[\<��+��J���
���2
�C���D��,
�����������F,��,� ����������
��
�
��
����������
�������,
B��
,��
����
�,�F��B
���J2
����C0��K�L"�.C����FC���,�����������
B��
�,����2
�
�,���
�
�����0����
�+��J���"
�����C�����
����
��
�����C���
�������� �����
2
����������
��C�������
���������
�J����������������
2
����,
�\<[]6^&H]6[\<�� ��
I�� ����
���C�\<[]6H
]6^&H]6[\<�$��
��)("�*�����
����
��
F �����
���
�J
,� �������C,������+�,������,
B��
,��
����
�,
����
��,���
��,��,��
��"�R�
�������C,����
B
�,
+C������I���
��������
���J�� ����������,
�
�����2
E
������� Q��� �Q�,"
%�� ���D
���� ����
�����
�� ����
����\<[]6H
]6^&H]6[\<���
����E
���������
���J�� �����,
2
�
��+��������,�������
�����������������,
�
��H
�������
�,��
�
���
��������� �"�&�
,�B����J������
B���������D
��������
�����
������
������������
2
���J�C,� ���,
�
�,� $G(� �
� �
�
��� F��B
���J��
�C0���B�,���������
����\<[]6^&H]6[\<� $,("�#B�2
�
��������I���
������
����,
�
��,��J0�������I2
������
��C��������B�,����I���
���
�+
�"
�
����������
��*��+��
���
��������������
�
�
�������������
�,�
�����*��*����
V�
���
��������
���
�D��,��
�����
�,�����
�����������
����
��
���
�
���������
����
�2
�����B�C������
���������������F��J���C������B��2
�C����,
���
�
F�B��
���
��
�����,
B��
����+��2
+��
�������+
�J����J��I�F�D������
��
����
2
����\<[]6^>H]6[\<"�&�
�
��
F �������
�
����J2
F����
�J����
������2��B��������C���
��
����,
2
B��
����
����
�"�&����+��������������
����
2
�������K�L"�$#�,��
,��B������
������2��B��������2
����
�����,����������J�����B
�J��I�F�D�����2
�
��
����
�C��C��
� ��
�B�����"(
/0
[/
2��
��
�"
��
�"
,
G
%����I��
���-
���������������������������e�����i����b����!�
G
�"��"�&��D
�
�����
�����
������
2
���� \<[]6^&H]6[\<� �� ��F�
B�C,
��I
,�,
� ���,
B��
� �� �
����
�7
F�H� +�F� �
����
�_� G� H� 2k
Z �� ,
�_
D�H�2k
Z���,
�_�/�H�2k
Ze��,
�
G
�"��"�&��D
�
�����
�����
������
2
���� \<[]6^&H]6[\<�
� \<[]6H
]6^&H]6[\<"� ���,
B��
��� �
���2
�
�����,
�
��� 2k
Z���,
�
G
�"��"�*F,����
�����D
������2
�
�����
������
���C�\<[]6^>H
]6[\<� ��
� ���,
B��
��� �+��2
+��
�
%����I��
���-
���������������������������e�����i�����b�
/0
[/
2��
��
�"
��
�"
,
G
D
/
/0
[/
2��
��
�"
��
�"
%����I��
���-
�����������������������e����i�����b����!�
,
G
D
/
E
G
�"� �"�&��D
�
� ����
�����
�� ����
����\<[]6[\<
�\<[]6^&H]6[\<
/0
[/
2��
��
�"
��
�"
��-
\<[]6[\<
\<[]6^>H]6[\<
%����I��
�
�������
��
�
������
�����
�������
�����������������������������
��
���������
����
�������
&��D
�
�����
�����
����I�F�D������
������
2
����\<[]6^>H]6[\<�
,��
�����
���
���C�+��J��2
�� ���
������C���
��C���
�����
��������������
$��
��-�Q,("�lC�
���������
����D
�
�����
�����
�
��
������
����
����J�2�,����C������
���
��
�
F2
��������C�����
����������I�F�D������
��
����
2
������������I
����
���,��������� ���� ������������
��i��U�����B��
�� �B���������,�0
�D�"
&�� ������
���,���������� ���
� ���U�$�
�"����,��G(
�����
���
��
�
F,����
��
������ �����D
�������
2
�����
�"�&�������� �������
����Q
�����U�F�,�������2
����������0
���
���
������������������E� �� ��2
�
�����F��������,
�
��
�+�F��� ���
�+
��$D��/("�&��2
������ �������
��i��U���+���������F��B
���J������F2
,C�
��F���� ���
���������
��
�
���]6^>�������
���
��B���
����$E("
*F,����
�����J�2�,����C������
���
��
��I�F�D2
������
��
����
����\<[]6^>H]6[\<�����0��0
�����2
,
B��
����+��+��
�����
�F��
�K�L��B�������0��
��
�
��+�B
������
���
��
�F�,������I����������� �������
����U"�&�� ������
������
��i��U���
���
��
�F��B
���J2
��,������0��
��
�B�������I�F�D������
��
����
���
H���F,C�
��������������E���E��
������
B��
�����2
E����C����
��"�%����������
,���+�������������
B��
�
���,��J�� ��������
����
��
����
�����
��������
���2
����
��J������F���������E
�����
��� ������"
��
,��+��F�,������B���C����,
���F��J���C���2
�FC������B���D����
�� ��D
B��
����+��+��
������
2
����\<[]6^>H]6[\<���
���,�������������C0�� ���U
�����
���
��
�
���� �����
��������J���0������C2
0��
����,�������C��+��+��
���I������J��"
G�F��J���C���0
��
���������
�� �� ��������� �
����C,
����
����������$KiL("�&�2�
�
,�,������,
2
B��
����+��+��
����
���,�����������C0�������U���
2
���
��
�����
B��
��,�IF���������
DD�F
���� ��2
�
������,
�
��
��
I�� ��������
�+
�������
I��
���
����
���������
�
������,
�
�"
.��
������������������
�!��������!�����
����%
��%��
��������%�����
��������������&������/
�&������
�&����
���&��������������0
����
-��������������,����
,��
������
��
�������
2
���
������ ��������������������
��������
��C������2
�C���
�
��C�������
����,
�
���
���������������
��
��J����,��D���
B��
����
���,��"�-��J
����2
�
�������
��D��,
�����
�������
���F�����������2
B��J��
���,C��B��
���������
�����C��
���������2
��
������F,���,
���������� �����,�
���F,���,
����
�����
��B��
����e���������,"�T#&����,
�
������ �2
����C,
�,���
��,
�����,� ���+C�J�
����JF����C��
�B������,���
�����������F,���C��,�F��
��
B��
�
����
����$f��������������
�� ��D
�g("�&����������
�2
��������
�����
����JF����
������
���
������C�
����T#&����,
�
����������B��
��������F,���C�
�
�������B�B�C��
�����+
��C������
���"
&�
,����
��
������
���,� �������� ���
���2
�
����
�B������,�������
������2
����������
�����2
+��
���������
�T#&��������,���F,�I����J�
�2
��������J����+������
�����������
��C�������
�����2
�� ���
�
������,
�
����
���F�
B�C����I
,���
�
D��,
�����
�"�-C������
�� ������� ��+��C� +C��
���F��������F��+��
����������
���� �B�����
���J2
�C���������C������
���"
%����
��1���
�����C�F��
�
,���
�/01/2$0(������2
B���C����
��
����
����,
�
������,��������
���2
�
��"�)�
����,�������������������������0�� ���
�
2
����������������
����,
�
�������
����
����������2
��������+�������,,��
�"�'B����
�m�
�
����K�����B��
��
�D��,
�����
����
��� ���
�
������,
�
�����a2
����E���������
��������
��������������������
���
�
���e�,
T[�,�"�U�����E
���B����
�
�
����F��
�C2
����������B��
������,
���������B� ������B��
�� ��,
�
��
������I��
��
�������-�D��,
�����������
��C�
�
���"�&��������,C�
��+��F�������
��
F�������
�����
�F�,��C����
����
���������
���J�D��,
����2
�
��+��J���� ���
�
�����������]6^>�$�B����
�mm("�*F2
,����
��/01/2�������,��B���
������������������
�
����
������ ����I
,���������F,�I����J�����
�J�
�
���B���J����������������
��+��F�������������
����������J� ����@ 1@�Z� $/01/2(�[$/0[/2( "����� ���2
�� �� �
����
,�����@ [@�Z��e��� B��� �������������
����C,����
������C,���KbL"
nnn
&���B���C����F��J���C���
�FC������ B���,����
�����������
����
��
�,�I���+C�J���������,���
2
,��������������B��
���
�D��,��
���,�� ������C�
���
������B�C���
���,���
������C�����
��
��F��
2
�
,���
� ��� �����
��
F �������
�"� )�
� ��
�F���
�C0���,����������������
����
��
��������+�����2
�� �����E� ���+��������
��
�F��B
���J�� �����,�2
�
�������������
������
F����������F,�I����J������2
�
���������I
���J�
F,����
��,
������
����C����2
��,��������
�
F,����
��������
B��
����I
,���
�"��"���������������C,�
����+�C,�,�����,��
������2
�������������������
������
�
����
������B�C�
����
���������
I������
�������������,������
�����
�������
B��
������������H����I���
�������
�
���� ���������
����
����
���
���"
%�,
��C����������F��+��
�� �
���,C��
������2
��������,�����,������������
����
��
��������
�2
�����B�����
�+
�2���,
�
������������
"�M����
2
���,��,�I�����
,����J�����
I��
��������
�����
�2
�����B�C���������
�"
G
�"��e"�&��D
�
�����
�����
��]6������
����
�����
������������+�������,,��
��
���
��� �
����$,(�
��
��I
,�� F�,��C� ���
����
��� $K(
/0
[/
2��
��
�"
��
�"
,
K
m
mm
LZ���e�,][=,�
������������������������������������������e��������i��������b�
%����I��
���-
�e
���������
����
�������
�������
��
�
������
�����
�������
�����������������������������
*U&#Soj#-T%%YR�*U�#X%*)*
"� m343;p4�q"��r4s;k�t"�uv4p4=w@p5x4w5ky�kz�\<[]6^>H]6[\<
{;y=w5ky� swp;=w;p4s� <>� 4yk85x4w5ky� s:@=wpks=k:>� [[� m111�qp4ys"� ky
l4|y"H� !b!"H�}k6"�����\� "H�~"� � H ��"
�"��@<@8@A4�q"�t"��\4A464�t"��"��tv:56@Ak>�~"��"��}k{wkA5=v�m"��"
myA@sw5|4w5ky� kz� wv5y2z563� =p>k@6@=wpky5=� swp;=w;p@s� <>� 4yk85x4w5ky
s:@=wpks=k:>�3@wvk8�[[�t;:@p=ky8;=w5A@�@6@=wpky5=�4y8�<5k34|y@w5s3
$)
��("H� !!�"H�u"���H��"
�"�-�����
B�*"��"��S�+�������"�U"��%������U"�V"����
�����
&"�P"�G�F��+��
��
� ���
,����
��,�����������������
����
�2
�
���������
F��
�
����
�����C�����
������B�C������
���
[[� ��"� '
��
��
� �� ��
��,�� �� �+E�����"H� !!i"H��"� �"H
U"� �i H�ie"
�"��@<@8@A4�q"�t"��\4A464�t"��"��tv:56@Ak>�~"��"��}k{wkA5=v�m"��"
1�:p@ss2=kywpk6� kz� s;:@p=ky8;=w5y|�35=pk=5p=;5ws� w@=vyk6k|>� <>
4yk85x4w5ky� s:@=wpks=k:>�3@wvk8� [[� �k;p"� 8@� ~v>s"� m}"H� !!b"H
}k6"�b"H�~"�~p"��H��!H� �"
�"�lkpkv4sv5�t"���4w4k?4��"��m343;p4�q"��r4s;k�t"�t@=ky84p>�5ky
y4ss�s:@=wpk3@wp>�zkp��ks@:vsky�{;y=w5ky��5wv�\<[]6^>H]6[\<��swp;=w;p@
[[]::6"�~v>s"��@ww"H� !!�"H�}k6"�e�$ ("H�~"� e�H ee"
e"� ~p5y|6@� �"� ~"� t"� qv@� 4yk85=� k�584w5ky� kz� s;:@p53:ks@8
3@w4665=�64>@ps7�wv@kp>�[[�16@=wpk=v@3"�]=w4"H� !b�"H�}k6"���"H
~"� ���H ���"
i"� m343;p4� q"��lkpkv4sv5� t"� �4<p5=4w5ky� kz� v5|v� �;465w>
\<[]6^>H]6[\<��ks@:vsky�{;y=w5ky7�8@:ks5w5ky�kz�wv5y�]6�64>@ps�ky
\<� z563s� [[� m111�qp4ys� ky�t;:@p=ky8"H� !!�"H�}k6"� ���\� �"H
~"� b�H!�"
b"�/���
����U"�T"��U���
��*"�%"�M��
����
,
B��
�����2
�
F� ������
��
�
���
� �+��F����
�� ���
��� �� ������ �
�
�
������,
�
�� [[�M��
����
,
�"H�����"H��"��e�����"H
U"� e iHe� "
��������������
��������
�
�
�!"��H "�!� ����� "
#������������������������M�
$)'M
���� "�)
��(
���N��
�
�
�� �����C���
���O��������C�� ��� ��
��
�������
�
��������������� ��
����
�C��O�� ������
�P��
P������J�� "�.
��
��%&#��*��� ����
1234567� 8x�:pk895yw@|p46"35ys?"<>
.R�#�Y�'�TSR%*V�&#S*.RG%YW�jT/GVj%R%*��
-Yj-T%%YW�&STj.#W*.*XRU)*.��GT-SR%*R.
�� -�����#�,-�(���Q�*R�,�,�(S���� �
� -�+�,���(%�$ �(����*&�S,'�%S���(R�(
$(#,�*���&,�(S�*�+�,���(%�$ �(���,
-��,#�- �,&��,S�()� ' � ��($,�
��������
F��
���+,
����C����F,��������,��2
���� ������
� �����+��J0
��
��� ���J�C�� ���,
$UP*U(����+���
,���+����B
�J��C��
�����B����J���
���J
����
�D��,
�����
��
���
������
���
������2
���E�,��������
�,��
������� ��������
���
��
2
���
�
�,������"
�������
��������,�I������
F���
�J����
+��,�2
����,�I
�
����� ���������
����
+��,�����,����� �
�������
�"�&��,��������
B��
��������
�
��� ���
UP*U���
,����
��,������I
�
����� ���������
�����2
���
����,�����
�,��,C,�
F2F���
F
���������
���
2
F���������
"�.����C����� ���������
���+�������B�C
���F�����������B
�J����D
�J����,�����������
��J2
�C,
�����
�,
�
�,
�
,��J�C,�+�
��C,������,����
,��
��D�����F
���"�&����,�����������
�
F ����2
���
��UP*U�0
��
�����
,����
����0�
�,����C���2
�
�
���2
���� ��
� ���F,��
,
B��
� �� �������
�
$&W�(�K ���L"
&���B��
��+�F������ ������
��J�� �����D
��
��
����F,��
,
B��
�,��������
���F,�I���+�� �2
�����F�E
���+�
��C�������
���F�����,� ���
���
�
����
������
,�����
������� �+��F������ �� ��������
�������
�"�̀ ��,
���E
���������F,������
��+��F�2
�E
��� �������I�������������������� ��,�������2
���
������������J�����F���,�������������������
�
������F������
�,�+�,+���
���
�F���I���C,
�B�2
��
��,
������������� ��
F�����J�C��������������
���,���������,C����������J���
����,����
������
2
��J�C������
���K����L"
T����+
������������
,����������
��
�������2
��I
���J�������J��
0J�������������������������2
����������
�����F
����
I��� ��
F�����J����������2
���E����
�����
��������
�"�-����I�����,��������2
���������I������J�C,�������B�C,�F� ��F���
�,���
+�
��C������
����D��,
������C�����,������� ���2
+�����
����
��C���
����D��,
���,C��������
���
2
�
�
���
��,�
��
�
�D��D����
�
���� �� ���
��"
j���J�������
���
��
���
��J��,����������
��
����
2
����,�����2
��,�
�����,�����2,��������
�����0��
�
,�����
F��
�
����
��C���
���
��������
���+�C���
,�����
F
������C������I�
��
��,��J0��
���DD�
2
�
��������E��
�
����
��"
-�F,�I�C�����,������������
�����
,���C����2
���
���������&W�7
H��
,
B��
��,�������
����JF����
�,���F�
B2
�C���
,
����_
H����,
B��
��,������CI
��
�����
,������
��,���������b��H!���U���������
�������"�M����,�2
��������
F�������+CB�����
���������
�������
N��������
��
����
���O��D��
�
����J���������F��2
B��������� � ��I
���
�����D
���
����
��� ���
���
����������
�����
,���"
-�������E�����+����
������������DD�
�
�����J
�
�F���C��,�������������
�����
,���C�������
��
��
�D��,
�����
�,�����F,���C��
����
��C���
��
,�����,����F,��
,
B��
� ���������
�"
2���������� �
����
���
*���������
��������
�
�J����
����,��������
2
B��
�,����������
F �������
��
��� ���J����,
��2
���,C�����������������,�����
F
�����������F���2
����������� �������
������J�C�������
��)�P2 �
�
�,����,� ���,,"�-�����������
�������,��������2
|