Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур

Приведены основы метода контролируемого анодного окисления ("анодной спектроскопии"), методики его применения, результаты исследований многослойных тонкопленочных структур. Получены и проанализированы профили анодирования структур, сформированных при осаждении пленок Nb и Al электронно-луч...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Дата:2003
Автори: Лебедева, Т.С., Шпилевой, П.Б., Войтович, И.Д.
Формат: Стаття
Мова:Російська
Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2003
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70698
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур / Т.С. Лебедева, П.Б. Шпилевой, И.Д. Войтович // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 5. — С. 42-46. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1859516847997583360
author Лебедева, Т.С.
Шпилевой, П.Б.
Войтович, И.Д.
author_facet Лебедева, Т.С.
Шпилевой, П.Б.
Войтович, И.Д.
citation_txt Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур / Т.С. Лебедева, П.Б. Шпилевой, И.Д. Войтович // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 5. — С. 42-46. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Приведены основы метода контролируемого анодного окисления ("анодной спектроскопии"), методики его применения, результаты исследований многослойных тонкопленочных структур. Получены и проанализированы профили анодирования структур, сформированных при осаждении пленок Nb и Al электронно-лучевым способом и магнетроном, с формированием барьерного оксида AlOx термическим окислением и в тлеющем разряде магнетрона. Продемонстрировано применение метода для контроля формирования нано­структурированных анодных пленок оксида алюминия. Показана плодотворность метода для экспресс-контроля тонкопленочных технологий.
first_indexed 2025-11-25T20:42:34Z
format Article
fulltext �� ��������� ���� ������� ������� �� � ������ ����� ������� ����������������������������� �������������� �������� � � !"��� ����� " #����������������������� ��� �� � � $#%&'�� "�#�����( ��������������������� ����������� �� ��� ��������� ����� ���� � ' �� ���� "�) ����*��� ���� +����� � ,"�-"�."�/��0 ��� 1234567�8���9:;<65="5=><"?5@A";4 ����� !������ �� "�#$��##�� ��� �% ��%���&� � '((�$��� ��(�� �� $��� )� �*&� #��+��+��� ,��,�!����%� � ��� �% �,-� ���� #�(� �%�,���&� � '()�#�(& $� .�## -� ��������0�� �� ����������� ������B�C���������2 �����+��� ,������B�� �� �D��,�� ����������� ���E ������������F ��� �� ��� ����F����"�G�F��+���2 �C�,�� �B �����C��D F B�� ��,����C� ��������2 � ����� ������B�C������ ����H�, ��� �� B�� �� ��� ���,��� B�� �� ���� �"��� �� ��������� �����2 0 ����� �� ��+�����F��� �����F� ,����F �D F B��2 ������ ��� �� ��������� B�� ����I ,��� ���+�2 B ������,��������� ������B�C�����������"�#��� �� F2 F�����I���� ��������, ��� � ����� �� F�C��� ��,�2 ������ ������� 2����� �� ����JF����J��� �B���������2 ��� ��� ��,����������� ������2 ��������� ����C����2 �+��� ,� �I������� ������B������+������ " %�� �� � ������ ���� ��������� ��,�� ������C� ���� ����+C��������I����,��������������C����� ��2 ������� ����� ������������I�� ���� �������,�� �2 ��� �K L��� ����JF���� �,���������� ���� �"�#����2 ��B ����F��� ��,����������������� ���� �� "�$M�� ��������,� ���� �����,�������������������� ���� �2 � B�� ,��� ���� B�� �,��,C���"�&��� �J����+C�� +C� ���� �J���,������ ��������� ����� ������� � ��� ������B�C������ ����,�����,� ������ ���,� � ������ ��� ���� �"�#��� �����, ��N����������� �2 ��� �� �O��I���� I ����� ������������+����,C�+�2 ��,� ����JF����J��+�����, ��"( -� ������� �� ��C� ���� ,������ ��,� ������J F��B ���J�����F� �J� ������� �J�����������E ����2 ����� ������� �� ����C�� ��������� ��K�H�L"�PC�� �� �F����� B��� ��� �� ,�� ,� ���� ��������� � �����������C������������ �������� � ��� ����F2 ���������� I������ ������������ ���C�D��, ���,C� �����C����� ��C������� "�.�������� B����������+2 E��� ���C���������������0�� F���� �+C�������" -��,������ F��F�� ,����� ���� �Q, ���"�-����I�����2 ,��,��������J,����B�C��H��� ��E����J������F��2 +�� ��,���� � ��������� ����F��0�� ��������E 2 ������������������H��� Q�," *�� ����������,�������������������� F�F�� � ,��2 � �� ����� ������������I�� ��/01/2��� �������,�� �2 ��� �����I ,����������� ���� �"�)� � F���������� D��, ����� �����0�� �������� ��� � ��� ������ &G*.R%R%*R�)#%�G#S*G'R.#/#�T%#�%#/#�#)*USR%*V �SV�M)U&GRUU2)#%�G#SV�-��RW%#S#/**�&SR%#) *��#%)#&SR%#X%YW�U�G')�'G /01/2�3�λ�4�56�7/89�1�:;ρ<=� ���E ������� �∆/�� ������ 0����� � ���� �� �������������������������������I�� ��∆0�������2 D ������� ����� ����CB �������� � �∆/3∆01$/>1/0(� ���/>1/0�H� ��� B ���� ���� ��� F��E��� ������� � ���� �������� ��,���� ����K�L" )������ ����/01/2$2(� � �/01/2$0(��� �D��, ��2 ��� ���� ��� ��� � ������, � ���,�I��������� �J ��� ��������������D��, ����� ������0����$+�2 �J�����(����� � �D��, ����� ����� ���������� I� �����I�� ��09���� � �����,��������� ���������I , D��, ����� �����"�������J�$/01/2(93��� ���������,� � ��C���������� �����������������������B���J���� ,���� ����������� ���E ���?9Z09��� $�Z ��� �,[-(" R�� �� �D��, ��������� ��C�� ������ � ��� ���, 2 � ���F�,�� �J���� ���� ������� ������ �����,�D��, 2 �����������0����� �����������E ���� � ����� ����J2 ���0�,�� ���� ��+��F���+��������� B ���J����� ������������������ ��+��F���������J ������������" &� ����,��� �D��, ����� ������� �������J ��������2 E�� �� ������� ��,,�����E���������@ �� � ��� B �� $/01/2( ��������� ����J������������ ��� �������� �2 ��� ���� B ���$/01/2(���� �D��, ����� ������� � � � ��������������E�� ��+��F���@�� � �@�[@ "��� , �+��F�,�� F,�� ��/01/2��,C�����B��,���F,�I����J �C��� �J�� � ���B���J���������� ���,�����������2 �� �F�� ,�������E��J����" #+CB����������� ���� ����� ������������� �2 �����2, ��� �� B�� �� ��������� ���B������+��� ���� ��J�� ���+�������� �� ��� ���J�� �����,�� ������������ ������ F�"�&����� ��,C����, �,���� ��������������C,� �+C���C,�,�����,�� ������2 ��2 ������8:�A82B��B������+�������I����� �����+�� ����2 I ,������� ����� �" �������� � ���� ���� *F ������� ������ ����\<[]6^>H]6[\<���� F��2 � ���J����� ��,��� ��,��,�� ����� �,������+���2 ������������,��,� �������, � � ���C,� ���B� �, �����B �� ������I� "�X ������,���� ����, 0���� ���λ�H �4�H C�H ��/89�H :�;�H ρ�H <H �DD� � �����J�D��, ����� �_ ��������J��� �_ ,��� �����C������� � ��_ � DD����� ��J���������I������J�������������E�,�����2 ��,�� � ��_ ����������J���� � �� ���� �_ ��������J�� � ��_ B ����̀ ������" ������� �� � ������ ����� ������� ����������������������������� �� ��������� ���� ������� �����������!!�!!a�����\<� �!!�!!!a�����]6"�&���2 ��� ���J�C���� ��,������B��,C������,�EJ������2 +�,��� ������ ��������������������bc �d��&4"�&���� ���I��� �,� �I�� �����������B�� ����, ���������2 � ���J�������� ���J��������C��� �������J���B ��2 ����������� �, 0����"��*����JF��������� ���B 2 �������!!�!a���������,C���� �,����B���F��C,���2 I �����J���I � ,��F���,"������� ���� ������ ���2 �C��� ��������������e�&�"�U �����J����I��� ��� 2 �+ �� ����������� ���,[��� ���, � ��H��Q�,[�"����2 E ���� I�� �� ������� ��������� �+ ������������ � �������� �����,���������������������E ��������]6 H�������������,"�# ���� �����, � ����� F��� � ������E�,���F����� ��������,�I������, � ���� , 0��J��,� �������� ������I ��" T�������� ���� �������� � ������� ��J�����F2 ��+�������� �� ��������������� ����������� ���2 � � B�� ����B�� ��������� ���C,� �����,������E��2 ����, ��,��� B�� ,��� ����,�������F � �� ��2 ��� ���+��F��"�������C�����E�� ��� �,,��D��, 2 ����� �J���� ���f� ��g���D�����F ���� � ��������2 � ��� �J� �� � ��� fD��I ��g"� ���� D��, ����� � ����0�C�������C��� � ��C������� �$T#&(� ����J2 F���������� ���� �����������������+�������,,�� �� �� ��� � ����K L������������ ��C��T#&����, � ��H ����C���a2�C�����������E��������� ����C" & ��� ����� ���� � B�� ����B�� � ��C����0� /01/2$2(������,�� �������E������� �J��� ���,�E ���� ��J�����F����� ���� +������+����B ���E� � ����B�� �� +��0�,��C�� ���D ���� ���� ����� �" &�������J��� ���� ��������� ����� ����� ����2 ��������� Q,T[�,�����F,��� �������,C�����E���� H� Q,,������ ����,�F��B�� ��/01/2������ �+ ����2 ������������e�-[�"�%��� ��� ����� ����������, 2 ���������F��B�� ��/01/2" � ���������� �������������� � ������� ������� ����������� *��������� ��,�� ������C������ ������������� � �+ �� ����, � �������� ���J���, �����, �����2 ��+�� �������� � � ���� �����C����� ������B2 �C���������������+�F���I�F�D������ ��������J�C� ���� ����\<[]6^>H]6[\<"�&� ����,�,������������ ��� ���� �� � ����JF������� � ����� ��������� � ���� ������� � ��� �B������,������� ������2 ������� �����������I��� ��������� �K�H�L"�&��D � ����2 � ����� ������ ����\<[]6^>H]6[\<�����F�������E 2 �������, � ���� �����C������ �� " U��B����D��������� ����� �������� ��B���F������2 �������� ��� �+ �����E ������Q�,���� ����,���� 2 B ���/01/2����������"�$M�����B���� ����� ��� �����2 E��"(�)� ����J ��D��������� ����� ������ �������� ]6^>H]6����� B ���/01/2���F ����F�������"�&� �,�2 ��������E ������, � ���� ����F,���� ��� �����C2 ���������+��$,("�&� ����� B�� ����E �C����, � � � ����� B ������������ ���������� B �C� ������ ��� � B�� ���� F,��������$D��/��E(" &��������, � ���� �,��C�����E �����C��I���� ��, � ,�,� ��/01/2� ,��J0�� $/01/2(]6� $� �"� �QF�� G(" ���J ���� ����E ������, � ��+��J0�� �Q�,���+��2 �������B�� ���B���� �$/01/2(]6�$#�H/���("�U ����� �� ����C���������������� ��� �����F�����]6[\<����F2 ����������� ����������C�����E �����, � �" &������� ,�� ����,��������������� ��+��F��� ��+�����������+��J0���,� � ,�,"�.C��B ���,��B�� ������F�������� B �,��������� ����� ������C, ��� 2 ,���, �������������� �� I�� �������� �+ ��� ���2 �C��D��, �������������C��� �����, � �"�&������2 I��� �,����,�������������+�����0 ������, �� ��� ���D �������� ����� ��,�� ������C������� �\<[\< K�L"�U���,�EJ������ B���� ������,���2��� ���,��2 � �K�L���� ��� ���]6[\<�������� B�C������ ����� +C���� I���+����I�������������+��������E ����� ��� ��J ������,�����" �����D��,�� ��, � ,�,����� ��� ���]6[\< �����2 F���������+�������, ��+��F���� �����I�� ������2 ,���� ��� ����\<^>h]6^I��� ����� ����� ����� 2 ���C�]6[\<"�&��,�������� B�� �����E �C����� ���, � ��, � ,�,�� ��+������� ������� ����+���� ����C,"�&� ����E ������, � �������,� �+�����, 2 � ,�,��� �+�������� ������ " %�I�����,�� �J��B���, � ,�,���� � ����� ����2 � ������������I�� ��/01/2��������� ����]6[\<�+C� ����� �F������� ���&� � ���KeL� ���+��������� ���2 � ,�����J���K ��iL"�G�����������I�� ���� �������, � ���� �,�� ������C������ ��������I ,�������2 ���� ���� ������ ��J ����,� F��������� �,��������� ��+�������" � ����������!����"��������� ���� %���� �� #� �� �����C� ���D � � ���� ����� � ���� ����\<[]6[\<� �\<[]6^&H]6[\<�� F �������2 �C�� ,� �������C,� ���I��� �,� � � ���� �,� � ���F,��,� �������"�*F�� ��� ��� �����B����������� ���E �����, � �� ��� �����F�����\<[]6���F,C�� +������B�,�\<[]6^&" #��� ,����E ������������ �������,�I�������2 ��������� �������� �+ �� ����� ������, � �����+2 ��F���\<[]6[\<"�-�� B �������� �������I�� �������2 �����,�� �����+��J���� ��� ��∆0]6[\<�� � � � ��� F�� ��� �����������������Q-"�*F�������KeL��B��������2 ���C������ ����� ��$/>1/0(\<Zb�b��,[-��$/>1/0(]6Z Zb����,[-"�&�������I ���B���������������� ������ �������� $/>1/0(\<[]6Z [�K$/>1/0(\<J$/>1/0(]6L�� ��2 ��B��,�0 � ��� ��� �C���F�����\<[]6������,"�- ��������I�� ��B������������������ ����� ��/>1/0 � ��� ��������������� ����\<[]6^&H]6[\<������ ����,[-�$ � �����]6�^�(����������������� B�C, �+��F�,����E ������������ �������,�I�������� , ��� �����,� �]6^>��������������iQ�," %����I�� ���- , G D / E /0 [/ 2�� �� �" �� �" G �"� "�&��D � ����� ����� ������ ����\<[]6^>H]6[\< ����F� B�������E �������, � �7 F�H����Q�,_�G�H�b�!Q�,_�D�H� i�bQ�,_�/�H��e�iQ�,_�E�H�� ��Q�, �� ��������� ���� ������� ������� �� � ������ ����� ������� ����������������������������� &���B���C����, ���F��J������ ���������������C2 , � ��������� ���I�F�D������ ������ ������� 2 , �,�����, �K���iL"�P��J0���0 � ���������������+2 ���� �\<[]6����F�����������I��� �,������ ������� +��J������������������C��� �������� �������� �+ �� ��F� ��F��� �,����������� �\<�������B�C, � �F�, � ����� DD�F ���� �+ �� ����, � ������� I����+��J2 0���0�����������J������������ ����, � ���B�,�]6^>" � ����������$�� �������%���� �&�� ���� ��� ��� ��C����� ���,�� ������C�������B�C� ���� ��������������� ��B��C,�F����,���+��C�,��2 ��, ����� �����C���� +���������"�B"��I�F�D��2 ���� �"�#��� ����� ��J ����� ��+��J���]6^>H]6 F� ��B���,�I���� �+ ��C, ���� �����, ���C���2 � �J�� �� ��������� ���+CB�C, �,�����, �B��F�C2 B��������I��"�*����JF���� �����D �������� ����2 � ����F�����������0�����0 �J�����F���B�" %���� �'(Q�����������C����D � � ���� ����� � ���� ����\<[]6̂ &H]6[\<�� F ��������C��,� �������C, ���I��� �,� ����, B�� ,�� ���� �,��� ������� �� ������� � ��c ���&�"�T��� F����D �������� ����2 � ���� �FC������B������,�������� B�� �����,�� �� �2 ��� �� 2� � ��� ���� �������0 � �C� � �C���C�� � � = �������� ���C������ ������ B ���������F��B ���J2 �������� �,��� ��������� � ��������������+��J0��"�.C ���FC���,���������,��B����� ���J�������,�����, B�� �2 ��� ���� ���� ��� �� �F� ��F��� ��+��J���� ������ ������B�C, � �F�, ��� ��,���� �,��C�K�L" -� �B��������J������ ��� ��,������� ���� ��,C ������JF���� �J� � ���� �,� �� ����E�,� ��F����" G�F����D��, ��������,�I������, � �����, 0��J� ,� �������� �� ����,�������������J�"������� � ���������������������e�&������,��� ���� �����J2 ����� ��������� ���� ���"�j�,�� ,��B���������D ��� ���� ����� ������ ����\<[]6^&H]6[\<��+��J��� ���2 �C���D��, �����������F,��,� ���������� �� � �� ���������� �������, B�� ,�� ���� �,�F��B ���J2 ����C0��K�L"�.C����FC���,����������� B�� �,����2 � �,��� � �����0���� �+��J���" �����C����� ���� �� �����C��� �������� ����� 2 ���������� ��C������� ��������� �J���������������� 2 ����, �\<[]6^&H]6[\<�� �� I�� ���� ���C�\<[]6H ]6^&H]6[\<�$�� ��)("�*����� ���� �� F ����� ��� �J ,� �������C,������+�,������, B�� ,�� ���� �, ���� ��,��� ��,��,�� ��"�R� �������C,���� B �, +C������I��� �������� ���J�� ����������, � �����2 E ������� Q��� �Q�," %�� ���D ���� ���� ����� �� ���� ����\<[]6H ]6^&H]6[\<��� ����E ��������� ���J�� �����, 2 � ��+��������,������� �����������������, � ��H ������� �,�� � ��� ��������� �"�&� ,�B����J������ B���������D �������� ����� ������ ������������ 2 ���J�C,� ���, � �,� $G(� � � � � ��� F��B ���J�� �C0���B�,��������� ����\<[]6^&H]6[\<� $,("�#B�2 � ��������I��� ������ ����, � ��,��J0�������I2 ������ ��C��������B�,����I��� ��� �+ �" � ���������� ��*��+�� ��� �������������� � � ������������� �,� �����*��*���� V� ��� �������� ��� �D��,�� ����� �,����� ����������� ���� �� ��� � ��������� ���� �2 �����B�C������ ���������������F��J���C������B��2 �C����, ��� � F�B�� ��� �� �����, B�� ����+��2 +�� �������+ �J����J��I�F�D������ �� ���� 2 ����\<[]6^>H]6[\<"�&� � �� F ������� � ����J2 F���� �J���� ������2��B��������C��� �� ����, 2 B�� ���� ���� �"�&����+�������������� ���� 2 �������K�L"�$#�,�� ,��B������ ������2��B��������2 ���� �����,����������J�����B �J��I�F�D�����2 � �� ���� �C��C�� � �� �B�����"( /0 [/ 2�� �� �" �� �" , G %����I�� ���- ���������������������������e�����i����b����!� G �"��"�&��D � ����� ����� ������ 2 ���� \<[]6^&H]6[\<� �� ��F� B�C, ��I ,�, � ���, B�� � �� � ���� �7 F�H� +�F� � ���� �_� G� H� 2k Z �� , �_ D�H�2k Z���, �_�/�H�2k Ze��, � G �"��"�&��D � ����� ����� ������ 2 ���� \<[]6^&H]6[\<� � \<[]6H ]6^&H]6[\<"� ���, B�� ��� � ���2 � �����, � ��� 2k Z���, � G �"��"�*F,���� �����D ������2 � ����� ������ ���C�\<[]6^>H ]6[\<� �� � ���, B�� ��� �+��2 +�� � %����I�� ���- ���������������������������e�����i�����b� /0 [/ 2�� �� �" �� �" , G D / /0 [/ 2�� �� �" �� �" %����I�� ���- �����������������������e����i�����b����!� , G D / E G �"� �"�&��D � � ���� ����� �� ���� ����\<[]6[\< �\<[]6^&H]6[\< /0 [/ 2�� �� �" �� �" ��- \<[]6[\< \<[]6^>H]6[\< %����I�� � ������� �� � ������ ����� ������� ����������������������������� �� ��������� ���� ������� &��D � ����� ����� ����I�F�D������ ������ 2 ����\<[]6^>H]6[\<� ,�� ����� ��� ���C�+��J��2 �� ��� ������C��� ��C��� ����� �������������� $�� ��-�Q,("�lC� ��������� ����D � ����� ����� � �� ������ ���� ����J�2�,����C������ ��� �� � F2 ��������C����� ����������I�F�D������ �� ���� 2 ������������I ���� ���,��������� ���� ������������ ��i��U�����B�� �� �B���������,�0 �D�" &�� ������ ���,���������� ��� � ���U�$� �"����,��G( ����� ��� �� � F,���� �� ������ �����D ������� 2 ����� �"�&�������� ������� ����Q �����U�F�,�������2 ����������0 ��� ��� ������������������E� �� ��2 � �����F��������, � �� �+�F��� ��� �+ ��$D��/("�&��2 ������ ������� ��i��U���+���������F��B ���J������F2 ,C� ��F���� ��� ��������� �� � ���]6^>������� ��� ��B��� ����$E(" *F,���� �����J�2�,����C������ ��� �� ��I�F�D2 ������ �� ���� ����\<[]6^>H]6[\<�����0��0 �����2 , B�� ����+��+�� ����� �F�� �K�L��B�������0�� �� � ��+�B ������ ��� �� �F�,������I����������� ������� ����U"�&�� ������ ������ ��i��U��� ��� �� �F��B ���J2 ��,������0�� �� �B�������I�F�D������ �� ���� ��� H���F,C� ��������������E���E�� ������ B�� �����2 E����C���� ��"�%���������� ,���+������������� B�� � ���,��J�� �������� ���� �� ���� ����� �������� ���2 ���� ��J������F���������E ����� ��� ������" �� ,��+��F�,������B���C����, ���F��J���C���2 �FC������B���D���� �� ��D B�� ����+��+�� ������ 2 ����\<[]6^>H]6[\<��� ���,�������������C0�� ���U ����� ��� �� � ���� ����� ��������J���0������C2 0�� ����,�������C��+��+�� ���I������J��" G�F��J���C���0 �� ��������� �� �� ��������� � ����C, ���� ����������$KiL("�&�2� � ,�,������, 2 B�� ����+��+�� ���� ���,�����������C0�������U��� 2 ��� �� ����� B�� ��,�IF��������� DD�F ���� ��2 � ������, � �� �� I�� �������� �+ ������� I�� ��� ���� ��������� � ������, � �" .�� ������������������ �!��������!����� ����% ��%�� ��������%����� ��������������&������/ �&������ �&���� ���&��������������0 ���� -��������������,���� ,�� ������ �� ������� 2 ��� ������ �������������������� �������� ��C������2 �C��� � ��C������� ����, � ��� ��������������� �� ��J����,��D��� B�� ���� ���,��"�-��J ����2 � ������� ��D��, ����� ������� ���F�����������2 B��J�� ���,C��B�� ��������� �����C�� ���������2 �� ������F,���, ���������� �����,� ���F,���, ���� ����� ��B�� ����e���������,"�T#&����, � ������ �2 ����C, �,��� ��, �����,� ���+C�J� ����JF����C�� �B������,��� �����������F,���C��,�F�� �� B�� � ���� ����$f�������������� �� ��D �g("�&���������� �2 �������� ����� ����JF���� ������ ��� ������C� ����T#&����, � ����������B�� ��������F,���C� � �������B�B�C�� �����+ ��C������ ���" &� ,���� �� ������ ���,� �������� ��� ���2 � ���� �B������,������� ������2 ���������� �����2 +�� ��������� �T#&��������,���F,�I����J� �2 ��������J����+������ ����������� ��C������� �����2 �� ��� � ������, � ���� ���F� B�C����I ,��� � D��, ����� �"�-C������ �� ������� ��+��C� +C�� ���F��������F��+�� ���������� ���� �B����� ���J2 �C���������C������ ���" %���� ��1��� �����C�F�� � ,��� �/01/2$0(������2 B���C���� �� ���� ����, � ������,�������� ���2 � ��"�)� ����,�������������������������0�� ��� � 2 ���������������� ����, � ������� ���� ����������2 ��������+�������,,�� �"�'B���� �m� � ����K�����B�� �� �D��, ����� ���� ��� ��� � ������, � �����a2 ����E��������� �������� �������������������� ��� � ���e�, T[�,�"�U�����E ���B���� � � ����F�� �C2 ����������B�� ������, ���������B� ������B�� �� ��, � �� ������I�� �� �������-�D��, ����������� ��C� � ���"�&��������,C� ��+��F������� �� F������� ����� �F�,��C���� ���� ��������� ���J�D��, ����2 � ��+��J���� ��� � �����������]6^>�$�B���� �mm("�*F2 ,���� ��/01/2�������,��B��� ������������������ � ���� ������ ����I ,���������F,�I����J����� �J� � ���B���J���������������� ��+��F������������� ����������J� ����@ 1@�Z� $/01/2(�[$/0[/2( "����� ���2 �� �� � ���� ,�����@ [@�Z��e��� B��� ������������� ����C,���� ������C,���KbL" nnn &���B���C����F��J���C��� �FC������ B���,���� ����������� ���� �� �,�I���+C�J���������,��� 2 ,��������������B�� ��� �D��,�� ���,�� ������C� ��� ������B�C��� ���,��� ������C����� �� ��F�� 2 � ,��� � ��� ����� �� F ������� �"� )� � �� �F��� �C0���,���������������� ���� �� ��������+�����2 �� �����E� ���+�������� �� �F��B ���J�� �����,�2 � ������������� ������ F����������F,�I����J������2 � ���������I ���J� F,���� ��, ������ ����C����2 ��,�������� � F,���� �������� B�� ����I ,��� �"��"���������������C,� ����+�C,�,�����,�� ������2 ������������������� ������ � ���� ������B�C� ���� ��������� I������ �������������,������ ����� ������� B�� ������������H����I��� ������� � ���� ��������� ���� ���� ��� ���" %�, ��C����������F��+�� �� � ���,C�� ������2 ��������,�����,������������ ���� �� �������� �2 �����B����� �+ �2���, � ������������ "�M���� 2 ���,��,�I����� ,����J����� I�� �������� ����� �2 �����B�C��������� �" G �"��e"�&��D � ����� ����� ��]6������ ���� ����� ������������+�������,,�� �� ��� ��� � ����$,(� �� ��I ,�� F�,��C� ��� ���� ��� $K( /0 [/ 2�� �� �" �� �" , K m mm LZ���e�,][=,� ������������������������������������������e��������i��������b� %����I�� ���- �e ��������� ���� ������� ������� �� � ������ ����� ������� ����������������������������� *U&#Soj#-T%%YR�*U�#X%*)* "� m343;p4�q"��r4s;k�t"�uv4p4=w@p5x4w5ky�kz�\<[]6^>H]6[\< {;y=w5ky� swp;=w;p4s� <>� 4yk85x4w5ky� s:@=wpks=k:>� [[� m111�qp4ys"� ky l4|y"H� !b!"H�}k6"�����\� "H�~"� � H ��" �"��@<@8@A4�q"�t"��\4A464�t"��"��tv:56@Ak>�~"��"��}k{wkA5=v�m"��" myA@sw5|4w5ky� kz� wv5y2z563� =p>k@6@=wpky5=� swp;=w;p@s� <>� 4yk85x4w5ky s:@=wpks=k:>�3@wvk8�[[�t;:@p=ky8;=w5A@�@6@=wpky5=�4y8�<5k34|y@w5s3 $) ��("H� !!�"H�u"���H��" �"�-����� B�*"��"��S�+�������"�U"��%������U"�V"���� ����� &"�P"�G�F��+�� �� � ��� ,���� ��,����������������� ���� �2 � ��������� F�� � ���� �����C����� ������B�C������ ��� [[� ��"� ' �� �� � �� �� ��,�� �� �+E�����"H� !!i"H��"� �"H U"� �i H�ie" �"��@<@8@A4�q"�t"��\4A464�t"��"��tv:56@Ak>�~"��"��}k{wkA5=v�m"��" 1�:p@ss2=kywpk6� kz� s;:@p=ky8;=w5y|�35=pk=5p=;5ws� w@=vyk6k|>� <> 4yk85x4w5ky� s:@=wpks=k:>�3@wvk8� [[� �k;p"� 8@� ~v>s"� m}"H� !!b"H }k6"�b"H�~"�~p"��H��!H� �" �"�lkpkv4sv5�t"���4w4k?4��"��m343;p4�q"��r4s;k�t"�t@=ky84p>�5ky y4ss�s:@=wpk3@wp>�zkp��ks@:vsky�{;y=w5ky��5wv�\<[]6^>H]6[\<��swp;=w;p@ [[]::6"�~v>s"��@ww"H� !!�"H�}k6"�e�$ ("H�~"� e�H ee" e"� ~p5y|6@� �"� ~"� t"� qv@� 4yk85=� k�584w5ky� kz� s;:@p53:ks@8 3@w4665=�64>@ps7�wv@kp>�[[�16@=wpk=v@3"�]=w4"H� !b�"H�}k6"���"H ~"� ���H ���" i"� m343;p4� q"��lkpkv4sv5� t"� �4<p5=4w5ky� kz� v5|v� �;465w> \<[]6^>H]6[\<��ks@:vsky�{;y=w5ky7�8@:ks5w5ky�kz�wv5y�]6�64>@ps�ky \<� z563s� [[� m111�qp4ys� ky�t;:@p=ky8"H� !!�"H�}k6"� ���\� �"H ~"� b�H!�" b"�/��� ����U"�T"��U��� ��*"�%"�M�� ���� , B�� �����2 � F� ������ �� � ��� � �+��F���� �� ��� ��� �� ������ � � � ������, � �� [[�M�� ���� , �"H�����"H��"��e�����"H U"� e iHe� " �������������� �������� � � �!"��H "�!� ����� " #������������������������M� $)'M ���� "�) ��( ���N�� � � �� �����C��� ���O��������C�� ��� �� �� ������� � ��������������� �� ���� �C��O�� ������ �P�� P������J�� "�. �� ��%&#��*��� ���� 1234567� 8x�:pk895yw@|p46"35ys?"<> .R�#�Y�'�TSR%*V�&#S*.RG%YW�jT/GVj%R%*�� -Yj-T%%YW�&STj.#W*.*XRU)*.��GT-SR%*R. �� -�����#�,-�(���Q�*R�,�,�(S���� � � -�+�,���(%�$ �(����*&�S,'�%S���(R�( $(#,�*���&,�(S�*�+�,���(%�$ �(���, -��,#�- �,&��,S�()� ' � ��($,� �������� F�� ���+, ����C����F,��������,��2 ���� ������ � �����+��J0 �� ��� ���J�C�� ���, $UP*U(����+��� ,���+����B �J��C�� �����B����J��� ���J ���� �D��, ����� �� ��� ������ ��� ������2 ���E�,�������� �,�� ������� �������� ��� �� 2 ��� � �,������" ������� ��������,�I������ F��� �J���� +��,�2 ����,�I � ����� ��������� ���� +��,�����,����� � ������� �"�&��,�������� B�� �������� � ��� ��� UP*U��� ,���� ��,������I � ����� ��������� �����2 ��� ����,����� �,��,C,� F2F��� F ��������� ��� 2 F��������� "�.����C����� ��������� ���+�������B�C ���F�����������B �J����D �J����,����������� ��J2 �C, ����� �, � �, � ,��J�C,�+� ��C,������,���� ,�� ��D�����F ���"�&����,����������� � F ����2 ��� ��UP*U�0 �� ����� ,���� ����0� �,����C���2 � � ���2 ���� �� � ���F,�� , B�� � �� ������� � $&W�(�K ���L" &���B�� ��+�F������ ������ ��J�� �����D �� �� ����F,�� , B�� �,�������� ���F,�I���+�� �2 �����F�E ���+� ��C������� ���F�����,� ��� ��� � ���� ������ ,����� ������� �+��F������ �� �������� ������� �"�̀ ��, ���E ���������F,������ ��+��F�2 �E ��� �������I�������������������� ��,�������2 ��� ������������J�����F���,������������������� � ������F������ �,�+�,+��� ��� �F���I���C, �B�2 �� ��, ������������� �� F�����J�C�������������� ���,���������,C����������J��� ����,���� ������ 2 ��J�C������ ���K����L" T����+ ������������ ,���������� �� �������2 ��I ���J�������J�� 0J�������������������������2 ���������� �����F ���� I��� �� F�����J����������2 ���E���� ����� �������� �"�-����I�����,��������2 ���������I������J�C,�������B�C,�F� ��F��� �,��� +� ��C������ ����D��, ������C�����,������� ���2 +����� ���� ��C��� ����D��, ���,C�������� ��� 2 � � ��� ��,� �� � �D��D���� � ���� �� ��� ��" j���J������� ��� �� ��� ��J��,���������� �� ���� 2 ����,�����2 ��,� �����,�����2,�������� �����0�� � ,����� F�� � ���� ��C��� ��� �������� ���+�C��� ,����� F ������C������I� �� ��,��J0�� ���DD� 2 � ��������E�� � ���� ��" -�F,�I�C�����,������������ ����� ,���C����2 ��� ���������&W�7 H�� , B�� ��,������� ����JF���� �,���F� B2 �C��� , ����_ H����, B�� ��,������CI �� ����� ,������ ��,���������b��H!���U��������� �������"�M����,�2 �������� F�������+CB����� ��������� ������� N�������� �� ���� ���O��D�� � ����J���������F��2 B��������� � ��I ��� �����D ��� ���� ��� ��� ��� ���������� ����� ,���" -�������E�����+���� ������������DD� � �����J � �F���C��,������������� ����� ,���C������� �� �� �D��, ����� �,�����F,���C�� ���� ��C��� �� ,�����,����F,�� , B�� � ��������� �" 2���������� � ���� ��� *��������� �������� � �J���� ����,�������� 2 B�� �,���������� F ������� �� ��� ���J����, ��2 ���,C�����������������,����� F �����������F���2 ����������� ������� ������J�C������� ��)�P2 � � �,����,� ���,,"�-����������� �������,��������2
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70698
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 2225-5818
language Russian
last_indexed 2025-11-25T20:42:34Z
publishDate 2003
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling Лебедева, Т.С.
Шпилевой, П.Б.
Войтович, И.Д.
2014-11-11T06:43:36Z
2014-11-11T06:43:36Z
2003
Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур / Т.С. Лебедева, П.Б. Шпилевой, И.Д. Войтович // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 5. — С. 42-46. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70698
539.216.2:691.5
Приведены основы метода контролируемого анодного окисления ("анодной спектроскопии"), методики его применения, результаты исследований многослойных тонкопленочных структур. Получены и проанализированы профили анодирования структур, сформированных при осаждении пленок Nb и Al электронно-лучевым способом и магнетроном, с формированием барьерного оксида AlOx термическим окислением и в тлеющем разряде магнетрона. Продемонстрировано применение метода для контроля формирования нано­структурированных анодных пленок оксида алюминия. Показана плодотворность метода для экспресс-контроля тонкопленочных технологий.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Технология производства
Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур
Article
published earlier
spellingShingle Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур
Лебедева, Т.С.
Шпилевой, П.Б.
Войтович, И.Д.
Технология производства
title Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур
title_full Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур
title_fullStr Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур
title_full_unstemmed Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур
title_short Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур
title_sort применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур
topic Технология производства
topic_facet Технология производства
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70698
work_keys_str_mv AT lebedevats primeneniekontroliruemogoanodnogookisleniâdlâékspresskontrolâvtehnologiiplenokitonkoplenočnyhstruktur
AT špilevoipb primeneniekontroliruemogoanodnogookisleniâdlâékspresskontrolâvtehnologiiplenokitonkoplenočnyhstruktur
AT voitovičid primeneniekontroliruemogoanodnogookisleniâdlâékspresskontrolâvtehnologiiplenokitonkoplenočnyhstruktur