Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур
Приведены основы метода контролируемого анодного окисления ("анодной спектроскопии"), методики его применения, результаты исследований многослойных тонкопленочных структур. Получены и проанализированы профили анодирования структур, сформированных при осаждении пленок Nb и Al электронно-луч...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2003 |
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2003
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70698 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур / Т.С. Лебедева, П.Б. Шпилевой, И.Д. Войтович // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 5. — С. 42-46. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур
за авторством: Lebedeva, T. S., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Lebedeva, T. S., та інші
Опубліковано: (2003)
Применение контролируемого анодного окисления для исследования наноструктурированных анодных пористых окисных пленок на алюминии
за авторством: Лебедева, Т.С.
Опубліковано: (2002)
за авторством: Лебедева, Т.С.
Опубліковано: (2002)
Моделирование и исследование переходного слоя тонкопленочных структур
за авторством: Лебедева, Т.С., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Лебедева, Т.С., та інші
Опубліковано: (2012)
Покрытия из нанопористого анодного оксида алюминия для сенсорных применений
за авторством: Войтович, И.Д., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Войтович, И.Д., та інші
Опубліковано: (2014)
Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов
за авторством: Спирин, В.Г.
Опубліковано: (2004)
за авторством: Спирин, В.Г.
Опубліковано: (2004)
Реализация волноводных сенсоров на тонкопленочных структурах нанопористый анодный оксид алюминия – алюминий
за авторством: Лебедева, Т.С., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Лебедева, Т.С., та інші
Опубліковано: (2015)
Применение метода контролируемого возмущения для модификации нейроконтроллеров в реальном времени
за авторством: Дзюба, Д.А., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Дзюба, Д.А., та інші
Опубліковано: (2011)
Разработка технологии формирования сверхпроводниковых туннельных переходов для детекторов излучения
за авторством: Войтович, И.Д., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Войтович, И.Д., та інші
Опубліковано: (2004)
Синтез наночастиц железа контролируемого размера
за авторством: Бычко, И.Б., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Бычко, И.Б., та інші
Опубліковано: (2009)
Экспресс оценка стоимости бизнеса банковских структур
за авторством: Лернер, Ю.
Опубліковано: (2013)
за авторством: Лернер, Ю.
Опубліковано: (2013)
Экспресс-метод контроля качества полупроводниковых диодных кристаллов
за авторством: Pavljuk, S. P., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Pavljuk, S. P., та інші
Опубліковано: (2004)
Экспресс-метод контроля качества полупроводниковых диодных кристаллов
за авторством: Павлюк, С.П., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Павлюк, С.П., та інші
Опубліковано: (2004)
Особенности получения тонких пленок SiO₂ методом быстрой термической обработки
за авторством: Светличный, А.М., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Светличный, А.М., та інші
Опубліковано: (2001)
Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме
за авторством: Головяшкин, А.Н., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Головяшкин, А.Н., та інші
Опубліковано: (2001)
Обработка данных при автоматизации дефектоскопического контроля материалов электронной техники
за авторством: Крылов, В.Н., та інші
Опубліковано: (2000)
за авторством: Крылов, В.Н., та інші
Опубліковано: (2000)
К оценке граничных уровней контролируемого показателя надежности
за авторством: Стрельников, П.В.
Опубліковано: (2010)
за авторством: Стрельников, П.В.
Опубліковано: (2010)
Установка для экспресс-контроля глубины охлаждения термоэлектрических микромодулей Пельтье
за авторством: Ascheulov, А. А., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Ascheulov, А. А., та інші
Опубліковано: (2007)
Установка для экспресс-контроля глубины охлаждения термоэлектрических микромодулей Пельтье
за авторством: Ащеулов, А.А., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Ащеулов, А.А., та інші
Опубліковано: (2007)
Перспективы развития тонкопленочных микросборок
за авторством: Спирин, В.Г.
Опубліковано: (2005)
за авторством: Спирин, В.Г.
Опубліковано: (2005)
Перспективы развития тонкопленочных микросборок
за авторством: Spirin, V. G.
Опубліковано: (2005)
за авторством: Spirin, V. G.
Опубліковано: (2005)
Альтернативная версия о природе анодного эффекта
за авторством: Ткаленко, Д.А., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Ткаленко, Д.А., та інші
Опубліковано: (2013)
Повышение надежности контакта тонкопленочных резисторов
за авторством: Lugin, A. N., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Lugin, A. N., та інші
Опубліковано: (2010)
Электрическое сопротивление контакта тонкопленочных резисторов
за авторством: Лугин, А.Н., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Лугин, А.Н., та інші
Опубліковано: (2006)
Повышение надежности контакта тонкопленочных резисторов
за авторством: Лугин, А.Н., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Лугин, А.Н., та інші
Опубліковано: (2010)
Электрическое сопротивление контакта тонкопленочных резисторов
за авторством: Lougin, A. N., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Lougin, A. N., та інші
Опубліковано: (2006)
Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов
за авторством: Spirin, V. G.
Опубліковано: (2004)
за авторством: Spirin, V. G.
Опубліковано: (2004)
Экспресс-технология геоэлектрических исследований и ее применение в Украинских антарктических экспедициях
за авторством: Левашов, С.П., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Левашов, С.П., та інші
Опубліковано: (2007)
МЕМБРАННІ МАТЕРІАЛИ НА ОСНОВІ ПОРИСТОГО АНОДНОГО ОКСИДУ АЛЮМІНІЮ
за авторством: Rozhdestvenska, Liudmyla, та інші
Опубліковано: (2021)
за авторством: Rozhdestvenska, Liudmyla, та інші
Опубліковано: (2021)
Регулятор анодного тока электронно-лучевых пушекс подогреваемым катодом
за авторством: Гаврилюк, О.Я., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Гаврилюк, О.Я., та інші
Опубліковано: (2004)
Особенности методов контроля толщины тонких эпитаксиальных LSMO-пленок
за авторством: Николаенко, Ю.М., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Николаенко, Ю.М., та інші
Опубліковано: (2017)
Система фотометрического контроля скорости травления тонких диэлектрических пленок
за авторством: Semyonova, S. E., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Semyonova, S. E., та інші
Опубліковано: (2006)
Влияние эффекта близости на свойства сверхпроводящих туннельных переходов
за авторством: Будник, Н.Н., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Будник, Н.Н., та інші
Опубліковано: (2006)
Статистические процедуры при двухстороннем ограничении контролируемого параметра в процессе производства кабельно-проводниковой продукции
за авторством: Голик, О.В.
Опубліковано: (2016)
за авторством: Голик, О.В.
Опубліковано: (2016)
Методологические проблемы при исследовании тонкопленочных упрочняющих покрытий
за авторством: Трапезон, А.Г.
Опубліковано: (2007)
за авторством: Трапезон, А.Г.
Опубліковано: (2007)
Применение МГУА для формализации производственных процессов и операций в очистных забоях
за авторством: Антипов, И.В., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Антипов, И.В., та інші
Опубліковано: (2012)
Экспресс-контроль техногенных радиоактивных аэрозолей
за авторством: Огородников, Б.И., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Огородников, Б.И., та інші
Опубліковано: (2005)
Неразрушающий экспресс контроль механических напряжений
за авторством: Безотосный, В.Ф., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Безотосный, В.Ф., та інші
Опубліковано: (2013)
Применение дуги с неплавящимся угольным электродом при поверхностной обработке сталей с низкой прокаливаемостью
за авторством: Лебедев, Ю.М., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Лебедев, Ю.М., та інші
Опубліковано: (2004)
Свойства и практическое применение нанокристаллических пленок оксида церия
за авторством: Maksimchuk, N. V., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Maksimchuk, N. V., та інші
Опубліковано: (2010)
Свойства и практическое применение нанокристаллических пленок оксида церия
за авторством: Максимчук, Н.В., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Максимчук, Н.В., та інші
Опубліковано: (2010)