Зображення обкладинки

Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур

Приведены основы метода контролируемого анодного окисления ("анодной спектроскопии"), методики его применения, результаты исследований многослойных тонкопленочных структур. Получены и проанализированы профили анодирования структур, сформированных при осаждении пленок Nb и Al электронно-луч...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Дата:	2003
Автори:	Лебедева, Т.С., Шпилевой, П.Б., Войтович, И.Д.
Формат:	Стаття
Мова:	Російська
Опубліковано:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2003
Теми:	Технология производства
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70698
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур / Т.С. Лебедева, П.Б. Шпилевой, И.Д. Войтович // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 5. — С. 42-46. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Применение контролируемого анодного окисления для исследования наноструктурированных анодных пористых окисных пленок на алюминии
за авторством: Лебедева, Т.С.
Опубліковано: (2002)

Моделирование и исследование переходного слоя тонкопленочных структур
за авторством: Лебедева, Т.С., та інші
Опубліковано: (2012)

Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов
за авторством: Спирин, В.Г.
Опубліковано: (2004)

Реализация волноводных сенсоров на тонкопленочных структурах нанопористый анодный оксид алюминия – алюминий
за авторством: Лебедева, Т.С., та інші
Опубліковано: (2015)

Применение метода контролируемого возмущения для модификации нейроконтроллеров в реальном времени
за авторством: Дзюба, Д.А., та інші
Опубліковано: (2011)

Экспресс оценка стоимости бизнеса банковских структур
за авторством: Лернер, Ю.
Опубліковано: (2013)

Разработка технологии формирования сверхпроводниковых туннельных переходов для детекторов излучения
за авторством: Войтович, И.Д., та інші
Опубліковано: (2004)

Синтез наночастиц железа контролируемого размера
за авторством: Бычко, И.Б., та інші
Опубліковано: (2009)

Особенности получения тонких пленок SiO₂ методом быстрой термической обработки
за авторством: Светличный, А.М., та інші
Опубліковано: (2001)

Обработка данных при автоматизации дефектоскопического контроля материалов электронной техники
за авторством: Крылов, В.Н., та інші
Опубліковано: (2000)

Установка для экспресс-контроля глубины охлаждения термоэлектрических микромодулей Пельтье
за авторством: Ascheulov, А. А., та інші
Опубліковано: (2007)

К оценке граничных уровней контролируемого показателя надежности
за авторством: Стрельников, П.В.
Опубліковано: (2010)

Перспективы развития тонкопленочных микросборок
за авторством: Спирин, В.Г.
Опубліковано: (2005)

Альтернативная версия о природе анодного эффекта
за авторством: Ткаленко, Д.А., та інші
Опубліковано: (2013)

Электрическое сопротивление контакта тонкопленочных резисторов
за авторством: Лугин, А.Н., та інші
Опубліковано: (2006)

Повышение надежности контакта тонкопленочных резисторов
за авторством: Lugin, A. N., та інші
Опубліковано: (2010)

Повышение надежности контакта тонкопленочных резисторов
за авторством: Лугин, А.Н., та інші
Опубліковано: (2010)

Электрическое сопротивление контакта тонкопленочных резисторов
за авторством: Lougin, A. N., та інші
Опубліковано: (2006)

Экспресс-технология геоэлектрических исследований и ее применение в Украинских антарктических экспедициях
за авторством: Левашов, С.П., та інші
Опубліковано: (2007)

МЕМБРАННІ МАТЕРІАЛИ НА ОСНОВІ ПОРИСТОГО АНОДНОГО ОКСИДУ АЛЮМІНІЮ
за авторством: Rozhdestvenska, Liudmyla, та інші
Опубліковано: (2021)

Особенности методов контроля толщины тонких эпитаксиальных LSMO-пленок
за авторством: Николаенко, Ю.М., та інші
Опубліковано: (2017)

Методологические проблемы при исследовании тонкопленочных упрочняющих покрытий
за авторством: Трапезон, А.Г.
Опубліковано: (2007)

Применение МГУА для формализации производственных процессов и операций в очистных забоях
за авторством: Антипов, И.В., та інші
Опубліковано: (2012)

Статистические процедуры при двухстороннем ограничении контролируемого параметра в процессе производства кабельно-проводниковой продукции
за авторством: Голик, О.В.
Опубліковано: (2016)

Вольт-фарадные измерения в тонкопленочных эпитаксиальных структурах GaAs
за авторством: Горев, Н.Б., та інші
Опубліковано: (2009)

Вольт-фарадные измерения в тонкопленочных эпитаксиальных структурах GaAs
за авторством: Gorev, N. B., та інші
Опубліковано: (2009)

Получение высокоомных тонкопленочных конденсатов методом ионно-плазменного распыления
за авторством: Вакив, Н.М., та інші
Опубліковано: (1998)

Экспресс-контроль техногенных радиоактивных аэрозолей
за авторством: Огородников, Б.И., та інші
Опубліковано: (2005)

Применение дуги с неплавящимся угольным электродом при поверхностной обработке сталей с низкой прокаливаемостью
за авторством: Лебедев, Ю.М., та інші
Опубліковано: (2004)

Свойства и практическое применение нанокристаллических пленок оксида церия
за авторством: Maksimchuk, N. V., та інші
Опубліковано: (2010)

Применение тепловизионного контроля при сварке полиэтиленовых труб
за авторством: Глуховский, В.Ю., та інші
Опубліковано: (2010)

Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок
за авторством: Рогов, Р.В., та інші
Опубліковано: (2005)

Измерительное плечо интерферометра миллиметрового диапазона для контроля толщины тонких диэлектрических пленок
за авторством: Буданов, В.Е., та інші
Опубліковано: (2007)

Применение СКВИДов для регистрации биомагнитных сигналов
за авторством: Войтович, И.Д., та інші
Опубліковано: (2012)

Концепции охлаждения отливок с помощью криотехнологии новых сыпучих материалов и способов литья
за авторством: Дорошенко, В.С., та інші
Опубліковано: (2019)

Применение термографии для контроля тепловых режимов печатных плат
за авторством: Стороженко, В.А., та інші
Опубліковано: (2007)

Применение акустического метода для неразрушаещего контроля гидротехнических объектов
за авторством: Ковбаса, А.Л.
Опубліковано: (2011)

Применение полупроводниковых детекторов для учета и контроля РАО
за авторством: Давыдов, Л.Н., та інші
Опубліковано: (2002)

Полевые эмиссионные катоды на основе пористого анодного оксида алюминия и углеродных нанотрубок
за авторством: Соловей, Д.В., та інші
Опубліковано: (2011)

Кінетика та механізм анодного процесу розчинення–пасивації срібла у розчині диціаноаргентатного комплексу
за авторством: Бик, С.В., та інші
Опубліковано: (2008)