APA (7th ed.) Citation

Иванчиков, А., Кисель, А., Медведева, А., Плебанович, В., Пономарь, В., & Шикуло, В. (2003). Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Иванчиков, А.Э, А.М Кисель, А.Б Медведева, В.И Плебанович, В.Н Пономарь, and В.Е Шикуло. Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2003.

MLA (8th ed.) Citation

Иванчиков, А.Э, et al. Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2003.