Иванчиков, А., Кисель, А., Медведева, А., Плебанович, В., Пономарь, В., & Шикуло, В. (2003). Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением. Технология и конструирование в электронной аппаратуре.
Chicago Style (17th ed.) CitationИванчиков, А.Э, А.М Кисель, А.Б Медведева, В.И Плебанович, В.Н Пономарь, and В.Е Шикуло. "Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением." Технология и конструирование в электронной аппаратуре 2003.
MLA (8th ed.) CitationИванчиков, А.Э, et al. "Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением." Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2003.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.