Иванчиков, А., Кисель, А., Медведева, А., Плебанович, В., Пономарь, В., & Шикуло, В. (2003). Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением. Технология и конструирование в электронной аппаратуре.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Иванчиков, А.Э, А.М Кисель, А.Б Медведева, В.И Плебанович, В.Н Пономарь, und В.Е Шикуло. "Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением." Технология и конструирование в электронной аппаратуре 2003.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Иванчиков, А.Э, et al. "Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением." Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2003.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.