APA-Zitierstil (7. Ausg.)

Иванчиков, А., Кисель, А., Медведева, А., Плебанович, В., Пономарь, В., & Шикуло, В. (2003). Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України.

Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)

Иванчиков, А.Э, А.М Кисель, А.Б Медведева, В.И Плебанович, В.Н Пономарь, und В.Е Шикуло. Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2003.

MLA-Zitierstil (8. Ausg.)

Иванчиков, А.Э, et al. Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2003.