Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением
Рассмотрено формирование малоразмерных контактных окон методом плазмохимического травления и основные факторы образования полимерных остатков после травления. Изучен состав полимерных остатков и механизм их удаления химическими методами с использованием растворов PRX. Проведена косвенная оценка (по...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2003 |
| Автори: | , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2003
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70699 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением / А.Э. Иванчиков, А.М. Кисель, А.Б. Медведева, В.И. Плебанович, В.Н. Пономарь, В.Е. Шикуло // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 5. — С. 46-60. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70699 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Иванчиков, А.Э. Кисель, А.М. Медведева, А.Б. Плебанович, В.И. Пономарь, В.Н. Шикуло, В.Е. 2014-11-11T06:45:54Z 2014-11-11T06:45:54Z 2003 Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением / А.Э. Иванчиков, А.М. Кисель, А.Б. Медведева, В.И. Плебанович, В.Н. Пономарь, В.Е. Шикуло // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 5. — С. 46-60. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70699 537.311 Рассмотрено формирование малоразмерных контактных окон методом плазмохимического травления и основные факторы образования полимерных остатков после травления. Изучен состав полимерных остатков и механизм их удаления химическими методами с использованием растворов PRX. Проведена косвенная оценка (по разбросу толщины диоксида кремния) термического метода удаления полимерных остатков, реализованного на операции "оплавление контактов". ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технология производства Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением |
| spellingShingle |
Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением Иванчиков, А.Э. Кисель, А.М. Медведева, А.Б. Плебанович, В.И. Пономарь, В.Н. Шикуло, В.Е. Технология производства |
| title_short |
Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением |
| title_full |
Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением |
| title_fullStr |
Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением |
| title_full_unstemmed |
Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением |
| title_sort |
методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением |
| author |
Иванчиков, А.Э. Кисель, А.М. Медведева, А.Б. Плебанович, В.И. Пономарь, В.Н. Шикуло, В.Е. |
| author_facet |
Иванчиков, А.Э. Кисель, А.М. Медведева, А.Б. Плебанович, В.И. Пономарь, В.Н. Шикуло, В.Е. |
| topic |
Технология производства |
| topic_facet |
Технология производства |
| publishDate |
2003 |
| language |
Russian |
| container_title |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| format |
Article |
| description |
Рассмотрено формирование малоразмерных контактных окон методом плазмохимического травления и основные факторы образования полимерных остатков после травления. Изучен состав полимерных остатков и механизм их удаления химическими методами с использованием растворов PRX. Проведена косвенная оценка (по разбросу толщины диоксида кремния) термического метода удаления полимерных остатков, реализованного на операции "оплавление контактов".
|
| issn |
2225-5818 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70699 |
| citation_txt |
Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением / А.Э. Иванчиков, А.М. Кисель, А.Б. Медведева, В.И. Плебанович, В.Н. Пономарь, В.Е. Шикуло // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 5. — С. 46-60. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT ivančikovaé metodyudaleniâpolimernyhzagrâzneniivyzvannyhplazmohimičeskimtravleniem AT kiselʹam metodyudaleniâpolimernyhzagrâzneniivyzvannyhplazmohimičeskimtravleniem AT medvedevaab metodyudaleniâpolimernyhzagrâzneniivyzvannyhplazmohimičeskimtravleniem AT plebanovičvi metodyudaleniâpolimernyhzagrâzneniivyzvannyhplazmohimičeskimtravleniem AT ponomarʹvn metodyudaleniâpolimernyhzagrâzneniivyzvannyhplazmohimičeskimtravleniem AT šikulove metodyudaleniâpolimernyhzagrâzneniivyzvannyhplazmohimičeskimtravleniem |
| first_indexed |
2025-11-26T12:42:55Z |
| last_indexed |
2025-11-26T12:42:55Z |
| _version_ |
1850621807075262464 |
| fulltext |
�e
���������
����
�������
�������
��
�
������
�����
�������
�����������������������������
*U&#Soj#-T%%YR�*U�#X%*)*
"� m343;p4�q"��r4s;k�t"�uv4p4=w@p5x4w5ky�kz�\<[]6^>H]6[\<
{;y=w5ky� swp;=w;p4s� <>� 4yk85x4w5ky� s:@=wpks=k:>� [[� m111�qp4ys"� ky
l4|y"H� !b!"H�}k6"�����\� "H�~"� � H ��"
�"��@<@8@A4�q"�t"��\4A464�t"��"��tv:56@Ak>�~"��"��}k{wkA5=v�m"��"
myA@sw5|4w5ky� kz� wv5y2z563� =p>k@6@=wpky5=� swp;=w;p@s� <>� 4yk85x4w5ky
s:@=wpks=k:>�3@wvk8�[[�t;:@p=ky8;=w5A@�@6@=wpky5=�4y8�<5k34|y@w5s3
$)
��("H� !!�"H�u"���H��"
�"�-�����
B�*"��"��S�+�������"�U"��%������U"�V"����
�����
&"�P"�G�F��+��
��
� ���
,����
��,�����������������
����
�2
�
���������
F��
�
����
�����C�����
������B�C������
���
[[� ��"� '
��
��
� �� ��
��,�� �� �+E�����"H� !!i"H��"� �"H
U"� �i H�ie"
�"��@<@8@A4�q"�t"��\4A464�t"��"��tv:56@Ak>�~"��"��}k{wkA5=v�m"��"
1�:p@ss2=kywpk6� kz� s;:@p=ky8;=w5y|�35=pk=5p=;5ws� w@=vyk6k|>� <>
4yk85x4w5ky� s:@=wpks=k:>�3@wvk8� [[� �k;p"� 8@� ~v>s"� m}"H� !!b"H
}k6"�b"H�~"�~p"��H��!H� �"
�"�lkpkv4sv5�t"���4w4k?4��"��m343;p4�q"��r4s;k�t"�t@=ky84p>�5ky
y4ss�s:@=wpk3@wp>�zkp��ks@:vsky�{;y=w5ky��5wv�\<[]6^>H]6[\<��swp;=w;p@
[[]::6"�~v>s"��@ww"H� !!�"H�}k6"�e�$ ("H�~"� e�H ee"
e"� ~p5y|6@� �"� ~"� t"� qv@� 4yk85=� k�584w5ky� kz� s;:@p53:ks@8
3@w4665=�64>@ps7�wv@kp>�[[�16@=wpk=v@3"�]=w4"H� !b�"H�}k6"���"H
~"� ���H ���"
i"� m343;p4� q"��lkpkv4sv5� t"� �4<p5=4w5ky� kz� v5|v� �;465w>
\<[]6^>H]6[\<��ks@:vsky�{;y=w5ky7�8@:ks5w5ky�kz�wv5y�]6�64>@ps�ky
\<� z563s� [[� m111�qp4ys� ky�t;:@p=ky8"H� !!�"H�}k6"� ���\� �"H
~"� b�H!�"
b"�/���
����U"�T"��U���
��*"�%"�M��
����
,
B��
�����2
�
F� ������
��
�
���
� �+��F����
�� ���
��� �� ������ �
�
�
������,
�
�� [[�M��
����
,
�"H�����"H��"��e�����"H
U"� e iHe� "
��������������
��������
�
�
�!"��H "�!� ����� "
#������������������������M�
$)'M
���� "�)
��(
���N��
�
�
�� �����C���
���O��������C�� ��� ��
��
�������
�
��������������� ��
����
�C��O�� ������
�P��
P������J�� "�.
��
��%&#��*��� ����
1234567� 8x�:pk895yw@|p46"35ys?"<>
.R�#�Y�'�TSR%*V�&#S*.RG%YW�jT/GVj%R%*��
-Yj-T%%YW�&STj.#W*.*XRU)*.��GT-SR%*R.
�� -�����#�,-�(���Q�*R�,�,�(S���� �
� -�+�,���(%�$ �(����*&�S,'�%S���(R�(
$(#,�*���&,�(S�*�+�,���(%�$ �(���,
-��,#�- �,&��,S�()� ' � ��($,�
��������
F��
���+,
����C����F,��������,��2
���� ������
� �����+��J0
��
��� ���J�C�� ���,
$UP*U(����+���
,���+����B
�J��C��
�����B����J���
���J
����
�D��,
�����
��
���
������
���
������2
���E�,��������
�,��
������� ��������
���
��
2
���
�
�,������"
�������
��������,�I������
F���
�J����
+��,�2
����,�I
�
����� ���������
����
+��,�����,����� �
�������
�"�&��,��������
B��
��������
�
��� ���
UP*U���
,����
��,������I
�
����� ���������
�����2
���
����,�����
�,��,C,�
F2F���
F
���������
���
2
F���������
"�.����C����� ���������
���+�������B�C
���F�����������B
�J����D
�J����,�����������
��J2
�C,
�����
�,
�
�,
�
,��J�C,�+�
��C,������,����
,��
��D�����F
���"�&����,�����������
�
F ����2
���
��UP*U�0
��
�����
,����
����0�
�,����C���2
�
�
���2
���� ��
� ���F,��
,
B��
� �� �������
�
$&W�(�K ���L"
&���B��
��+�F������ ������
��J�� �����D
��
��
����F,��
,
B��
�,��������
���F,�I���+�� �2
�����F�E
���+�
��C�������
���F�����,� ���
���
�
����
������
,�����
������� �+��F������ �� ��������
�������
�"�̀ ��,
���E
���������F,������
��+��F�2
�E
��� �������I�������������������� ��,�������2
���
������������J�����F���,�������������������
�
������F������
�,�+�,+���
���
�F���I���C,
�B�2
��
��,
������������� ��
F�����J�C��������������
���,���������,C����������J���
����,����
������
2
��J�C������
���K����L"
T����+
������������
,����������
��
�������2
��I
���J�������J��
0J�������������������������2
����������
�����F
����
I��� ��
F�����J����������2
���E����
�����
��������
�"�-����I�����,��������2
���������I������J�C,�������B�C,�F� ��F���
�,���
+�
��C������
����D��,
������C�����,������� ���2
+�����
����
��C���
����D��,
���,C��������
���
2
�
�
���
��,�
��
�
�D��D����
�
���� �� ���
��"
j���J�������
���
��
���
��J��,����������
��
����
2
����,�����2
��,�
�����,�����2,��������
�����0��
�
,�����
F��
�
����
��C���
���
��������
���+�C���
,�����
F
������C������I�
��
��,��J0��
���DD�
2
�
��������E��
�
����
��"
-�F,�I�C�����,������������
�����
,���C����2
���
���������&W�7
H��
,
B��
��,�������
����JF����
�,���F�
B2
�C���
,
����_
H����,
B��
��,������CI
��
�����
,������
��,���������b��H!���U���������
�������"�M����,�2
��������
F�������+CB�����
���������
�������
N��������
��
����
���O��D��
�
����J���������F��2
B��������� � ��I
���
�����D
���
����
��� ���
���
����������
�����
,���"
-�������E�����+����
������������DD�
�
�����J
�
�F���C��,�������������
�����
,���C�������
��
��
�D��,
�����
�,�����F,���C��
����
��C���
��
,�����,����F,��
,
B��
� ���������
�"
2���������� �
����
���
*���������
��������
�
�J����
����,��������
2
B��
�,����������
F �������
��
��� ���J����,
��2
���,C�����������������,�����
F
�����������F���2
����������� �������
������J�C�������
��)�P2 �
�
�,����,� ���,,"�-�����������
�������,��������2
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
���������
����
�������
�
��������
��
����
��
��
������
������
����
��
����
���������
���
��
�!�
����
"���
��
!�#$
�
%�������
����������
���
�
����
"&'(($�
��
�
����
������
"���
��
!��$
)
�
���*������+�����
����,�
�����
��
"-./$0
1�2,�
������
����
��
,������
��
��
��,�����
�!�
��
��
��!�
�,������
��������!�
*��� *�����
�!���� ���
�
���
�����
345
����*��,�
��
����
�!
6789:;<=
#�
��,������
)
�,������
��������!�
��
�
���
�����,����
�
���
����
345�#��
"%�*��,�!�
>���+�
���
������+�����
���
���
��
������
��,����������
��$
�
�+����
��
���
���
?��(@
��
��,������
)
�
���
����
345��#�
"������,�
�!�
������+�����
���
���
�
���,�
������ $
�
�+��
���
��
���
���
���(@
��
��,������
)
�,������
��������!�
��
�
���
��
�����,���� 0
A�
�%����2���
��������!�
��
�
���
�
���
��
�
�!�
�����
����� *�����
���
���!�
����
����!�
���������
����!
B8CDE780
A�
��
��������
���
���
��������!�
��
�
���
����� *�����
�2������
����
�
FGH�II�
����!
3;JK8L
M:N;J0
(
O�� P
�*�+���
������*��
��*,���
��
�����
+�����
���
�����
345
��
�������
�
�O����
�����
+�����
�
�����
�
���
��
���P>��
�
���
������
���
������+�����
�����
����,�� ���
������
������
��
��2,���
���
�
���
�����
3450
Q*�������
���
>��!
�����
�����,����
��
��
���
�*���������
�*����
���
��>��!
RS6�TU63
����!
R;8ED0
1����
����
��
���V��
�
�*��
������
�*,���
&�1W/-
���
�����,����
�����O��
X����������
����
��
��Y
%!��
��������*������!
,��
�����!
��%�+��
����
��
,�
���������
"��
��*%����
��>��!
�����
��
�
���
��
�!�
�����
�
�Z��%���
�$
�O����
��*�
��2���
�
�,�����
��������
����+�����
��
�,��0
/����O�
X����������
���
��
��Y
�!���� ���
��
���
������
X/���,��-/Y
���
������
���
?���(
�
���
���
�������,�
�
�+����
��
���0
G�
������
������
����
��
����,
�����O���
�!���� ���
�%��%�
��
�
���
����
345��#��
��
�
����
������
�%��%�
��
��
�!���� ��� 0
-����
�����O��
X����������
���
���
��Y
��
�%���
�������
����
��
�*��� ���
��>���
������
�
���
��
�!�
�����
�
�Z��%���
�0
���
��
�������� ������
Q*���
���
+
�
��
�%��*������
��������!�
*��� *�
�����
���
���*������+�����
��������
��� P
���
���� ��
���
����=
)
������
�+�����
������
�!
���*�!�
*���� >��
�
��>���
�
[\�������
���
��
������@
)
���
��V����
�
����
�
���
�
������,�
�
��*��
���
������
�+��
��P>��
�
���O����
�������
"+��
��� V�
���
��V����
]U^�
��
%�� V�
�%��*��
�
���
������!�
*��� *�����
_�`$@
)
����+��
��
���������
�
����
��!
��
���*���
�����
�����
�
������
�������
������
��
����
F��0
#0
(����
�����������
���
��
���#
�
��
��
���
��� �!�
����
����
/��2,����
%�����������
������
����
�
����
"&'(($
1��
��
!�# 1��
��
!��
G��!�����
������
a:)68
b�������������
-�� ������
��
���*��
�
.���+�����
��������
&'((
"��*���
���
��
���#$
G��������
��
���*��
�
-��*������+�����
,���� ������ -��*������+�����
��������
-./
-��*������+�����
��������
&'((
-��*������+�����
�,������
��
���*��
�
c,������
��������
��
�����,���� c,������
��������
�
345�#�� c,������
��������
�
345��#�
/���,������
����+������
���
���
��������
/O����
������
�����
�
�,����
��
��������
/���,������
����+������
���
���
��������
/O����
������
�����
�
�,����
��
��������
/���,������
����+������
���
���
��������
/��2,����
���*������+���
����
����,�
������
"-./$
�?
���������
����
�������
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
*��
�
�
���*��
"���*������+����
���*�
��
���*��
�
�
�����,�
�
�%��*�����P
������,��,��2�>��
���
,������
�
��
���!�
���� V��
���
��V����
�
��
���
]U^
�
��*����
�����$@
)
����
���*������+������
�������
"+��
%�� V�
,������
�� ���
����
�������
�����
����!
�
���
��
��
)
����
����
�����
��
%�� �
V�
�
���*��
���������
�
��,������
̂ �]���
��
��!�
���
�����%���O��
����
�%��*��!��
��������!�
������$@
)
����+�����
���
��
�!
������������
�
��2��
>���
��2�
�����
"����+��
��
�����
�����,�
�
,��
�����
�� ����
�%��*�����P
��
����������+�����
���������$0
1���+��
����!�
�����
����
���
����
��!�
�*
���
��+������!�
���
����
�����,��!
�
�
�
����
�*
��
��
���
��,���
+
�
��������
��� ���
��
�����+����
���
��+��
��
��������!�
��
�
���
���
������������
���
��
����
���*!��P
����
����
�����
�
��2�
���
�
��V����
��������
��
��� >��
��*����
�����
X���
���
)
(]
�
"���,���#�$
)
^B]
�
"���,�����$Y0
c�
���������
+
�
��������!�
*��� *����
�%���
*�P
�
�
�%���
�����,�����!�
���O�����
���*���
����+������
�������
,�����
�����0
/,����
�
����
O����
�*��
������
���
��
���#
���������
������
��*�����
��V
�
�������
+��
�
���
��
����
����
"���0
��
�$�
�
���
������������
���
��
����
�����
���
������,����
��
�����
������P
���
��
����
����0
-��
�
��
�!��
�
�����������
�%��*����� �
��
����
��
�����
�����
���������
O����,��
����!V��
���
>���
������
�������
��,���������
���*������+���
����
�������P
"�������
�$0
Q*
��
��������
���,�
������!�
��
���0
�
�
��
����
,��
�
+
�
��������!�
*��� *����
�*
�%���
�
���
��
�
����
����
�����
����
�,�� P
�
���
��*,���
���
�%��
��
�����*�O��
���
�����
345
"345�#���
345��#�$0
-��
�*�+����
�2������
���
���������
�
����
��
,�
�
�����
�%��%�
��
�
�
��
���
�����
�! ������ �
+
��
�
�
��+��
�
����
��
����,����
�%��*O�
�
�����
����!��
*��� *���� ���
�
����
���
���������
�
����
�
��
�����
�+��
��
�
���
�����
345
����
�+����
����
���
P
�
��
�
��P
�����
���
��
�
��P>��
�
����
�
���
�
������,�0
(���
��� �!�
�����*
���������
�
����
��
����*���
+
�
��������!�
*��� *���� �
�%���
*�P>���
���
���*������+�����
���������
���
��
�
�
���������
�*
�
��������,�!�
���,������
%�*
��������
��
�����0
��%��O�
#
�����
��� ���
�����
���
����
���
�����������
�
�����
����
���
���
��� �� ����
�
��
�����������
���� �
�����-1 �
�����-2
� �
������-��
���� ������ 700 700
�����
��� �
��
���� �� �
�
� ������������Ar:CF4:CHF3
30:2,5:4 30:4:3
�
��
����� � ��F/C
����� ��!"�� �����������
3,0 3,57
� � ����������
���# � ��!������
�$��
0,96 1,6
����%�
�������������& 50 100
F��0
�0
'�
�������
���
��
���#=
�
)
�������
��
�,����@
�
)
�������
�,����
�
���
����
345�#��@
�
)
�������
�,����
�
���
����
345��#�
�$ %$ �$
F��0
�0
'�
�������
���
��
����=
�
)
�������
��
�,����@
�
)
�������
�,����
�
���
����
345�#��@
�
)
�������
�,����
�
���
����
345��#�
�$ %$ �$
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
�d
���������
����
�������
N
C H 3
C H 3
C H 3
O
e����*
������
�
�������
��*��+�!�
���������
+�����
�����
"�
�
���$
�
�����,�����!�
���
�����
��*��� �
���,����2�
���,�P>��
���
��
�
�����
��*�
�,�����
��������!�
��
�
���0
/�
�
���
�%��*�P>���
�����
���*������+�����
��
�������
,�����,�
������ �
���,�
��� P
��%��
���2�!�
��������!�
�����*�O���
���P+�P>��
,��
����,
������
�
��,����!
��
���*��
���!�
����0
[
�%>��
��,�
�������
��2�
%!
���,�
�����
��������
[
%�*��,�!�
>���+�!�
���
�����
"
���
345�#��$
��
�������,�
�*����,���
��
�����!�
���������
+�����
�����
�
���
�����0
c,������
��������!�
*��
�� *�����
�
���
����
345�#��
�������,�
*�
�+�
����+������
���
������
������
��������
�
�������
�����
�
���V���
���
���������
�
�
�
�����
���
��
�
�!�
����0
-��
�,������
��������
�
>���+�!�
���
�
�����
������+�����
���������
�!�
����
�
��+��
�
��
���P%�*���P>���
����
�
��
�
��V���P
�
�����
��+������
��,�����
��������
�
������>��
���
�
��� ��*�����!�
,���� =
"#$
/,����������
��,
��� ����
������+������
���
�
����
��
���
���*����
�
�
����
���!�
������+���
���
���
����
�� �
+
�
��,�
�
�����+���P
,����
���
�
����
�� =
0
"�$
f�
�+�
,���� �,���� ����
�*����,���
��
,���
�%��*�P>���
,������
�������,�
���
�������
���
��������
�����*�O��0
-�����,�!�
������+�����
���
���!
�
���,�
���
����
"
���
345��#�$
����+����
�*����,���
��P
�
��*��+�!��
�����
�����!�
������
�
��
����
���
�
������
���
������
���
���
��������
�
����
����
�
��
��2,�
�
�����
���
��
����
����
�
����������
��%��O�
�
������
����
���
�������!�
��������
����
���
�
�
��� �����
"#$���%
�
"#$�&�'
� � ����������
����
�$��
'�(
� ��%����)��� )
PRX-120 PRX-417
'����%����)�*� ���*�����
�� 0 0,05
+ � # �# � �������
������� 0 1,18
���!� (���%����)� ���*�����
�� 0 0,56
���
�����,��
�� << 0,1 << 0,1
���������
�������������
��*
�� 33,0
��
*���
��� ����� 1,2
��*��
� 29,6
� *� 22,4
��
*���
�� ���
�
�� 13,1
-������������ ��� 172,6
.��
��� 0,7
/��������%
��� 1,1
0
������ 55,8
��
��"� 17,7
������"� 73,5
%�� 119
���������
�������������
��*
�� 20,3
��
*���
��� ����� 0,3
��*��
� 20,1
� *� 19,7
��
*���
�� ���
�
�� 3,5
-������������ ��� 12,4
.��
��� 1,0
/��������%
��� –0,2
0
������ 20,4
��
��"� 11,3
������"� 31,7
%�� 115
F��0
�0
g��
�������
������,�����
��>��!
������
����,�
������
�����
�����O��
X����������
���
��
��Y=
�
)
����,
�����O���
�,������
��������
��
����*��,���� @
�
)
����,
�����O���
�������
�,�� ��
�
���
����
345��#�
O Si O
O
O
R
→ Z
68h
�
0
/��������
i
Z
O Si O
O
O
R O R
→
/��������
i
Z
N
C H 3
C H 3
C H 3
O
���>���
68h
�
�
��
\
��
�
�
�
j
��
��
��
��
#�
�
#�
��
��
��
��
I�
��
�$
���>���
68h
�
�
��
\
��
�
�
�
j
��
I�
��
��
��
��
#�
�
#�
#�
��
��
��
��
%$
��
���������
����
�������
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��������
+
�
�����,�
�
�
��������P
�
�,�����P
���
��������
������
"��
�,
�*�!��$0
[
������,�!�
�����
��+�����
���
�����
�
���,�
������
�
����
!�
���
�����
��,����*��
�
�
�%��*�������
��������
"kB
�
hB$
�
�
����
���,���,���
�����
!
"B]$=
kB
�
]ZB
�
h⇔kB
�
hBZB]0
"�$
Q��P>���
�
���
����
�
���,����!
"]i$
������
��P
�
�
����
���,���,���
�����
��
�
�%��*������
��
%��
���,������
"B]
�
i$=
B]Z]i⇔B]
�
i0
"�$
/%��*������
�
����+��
%��
���,������
�
���
����
�� �
�
���+����
��,
����
��������
��� 0
�������
���
���
����
��
��������P
68h
�
Z�B]
�
iZBZl68]
I
i�Z�B
�
h0
"�$
1����
����
��2��
���,����2�
�
+
�
�%��*����
���
�
���
����
��������
�����%�
���
���
���*��
O��
�
�����+���P�
����
�%��*���
,����
��� �����
����
������
���
����
��
��
��������P
"�$0
[
���P
�+���, �
����
���
����
��
�����%�
���
���P%��
*�O��
�
������,�
�
���
���
������+�����
���
��� �
P>��
��������0
-�
*��+��� �
��>��!
������
����,�
������
�
���
��
�!�
�����
�
�Z��%���
�
�����
�����O��
X���
��������
���
��
��Y
��
,���
�������
����
��
"�
�%�
��%�
���
�
���
����
345��#�
,�
�����O��
�
%�*
�%�
��%�
��$
��2���
��
�����P
��
�����
��,�
�
������
��������
�
�,�����
��������
�
���
��
�!�
�����
��
������
����
���
���V�,V��
�� ��
����+����P
�����O�P0
G�
�������������
�,�����
��������
���*!���
%�� V��
��*%���
��>��!
�������
�����
��
"�
#���
,�
����
��$
�
���
��
�!�
�����
�
�Z��%���
�
�
������
"�������
�$0
-��,V��
��P>�
�����O��
�%��%�
��
����
��
�
���
����
345��#�
��
�
����
������
����
��
��*������
���*�
��*%���
��>��
�!
����,�
�
���
��
�!�
�����
�
##��
,�
�#��
��
"���0
��
�$
���
��
2�
������ �
�������� 0
G�%�P,����
��
������
������
����
��
"%�*
�%�
��%�
��
�
���
����
345��#�$
�!����
������
����
�
���
����,�
������
���
�!��������
�����O��
X����������
���
��
��Y
�� �
� �
��
��V���
�����P�
��,
���2,�����
����+�
��
�
�+����
��������
�
�%�
���
�
���
��
��0
���
+
�
�������
����� �
���
,��
����,�
������ �
������
�
���
+
�
�
���
���
�����
����
��,��2�
�
��,���,0
F�*��V����
������
�����
����
���
�����,����
�!����
������
�����
�����O��
�������2,��
�
�%��*�������
�����
��,!�
��
��!�
�������P
�
��������
��
��
���!��
����� P
���
���
,�����,�
������
��������
��������P
����O��
�68Z�B
�
hZh
�
l�68h
�
Z�B
�
0
"I$
�
�
������
#0
/%��*�P>���
�����
���*������+������
����
����
,�����,�
������
��������!�
*��� *����
���
,��2�
�
�����
���
���
������,�
�
���
��,���,0
�0
Q���� *������
%�*��,�!�
>���+�!�
���
���
���
������+�����
��>��
�
"
���
345�#��$
�
�����
��,�!�
������+�����
���
�����
�
���,�
������
"
���
345��#�$
��*��� �
������
P
�,���
�����
����!�
*��� *����
�����
���*������+������
����
���� �
�����
�
��
��*��+�!�
������*�
�*����,���
�
��
���
�����
�
���������0
�0
c,������
��������
������,�!��
������+�����
��
���
������
�
���,�
������
���,��+
�
�� ����
0
�0
�����O�
��2�
�����,�
�
���
�����
���
���
����
���
�
��
��%��
,������
�� ���
�%��%�
��
����
�
��
����
��
����,
����!����
��
�
��,�0
�0
�����+�����
�,������
���������
�����*�����
���
�!��������
�����O��
X����������
���
��
��Y�
��
��*��� �
������
P
�,���
�������
�*
���
��
�
�!�
����0
/�
�
��
��������!�
*��� *�����
�
����
��
�!�
�����
�����,
�
���������*��,�����
��*�
%����
��>��!
������
����,�
������ �
�%��*�P>���
�
��
����!
!�
�%���
�
������ 0
Q(-/mnf/[eGGop
Q(�/\GQ1Q
#0
�����
q0
/����!
���������
(&Q(0)
W0=
F�,��
�
�� * �
#d?�0
�0
W���
c0
W������
������ 0
\0
�0)
W0=
W���
#dd�0
�0 -��*�����
��������
�
����*��,�
��
(&Q(
U
-�,
��,0
G0
e���������
A0
&�����0)
W0=
W���
#d?�0
���� �!�"#"
�
�
�
�
��!
�
"
#
"
��������
��
��
���������
�
����������������������
������������
�!
"���������#$ %�&�'(()
�*����%�
&������
��+
������
���������
���
���
�
���������� ��������
������������������
�� ��
� ��� �������
��� ������ ����� �����������
����� ������ �
���� ��������
��������������������������������
�����
���������� !�"����������
���
���
��������#���������
�������
��������������$���� ���������
�������
���%������������
���������������� ������ ����� ����� ��������������
������
��%����������
�����������%��� ����������������
��������� ����
�����!
&�������� ������������'����������
���
�����( �����)���������(�����
������� ������������� ��*!�+ ������,���'
�(�
���� ������� �����
����
��( �����)�������� ���*!
-��' ���
���'������������!
|