Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением

Рассмотрено формирование малоразмерных контактных окон методом плазмохимического травления и основные факторы образования полимерных остатков после травления. Изучен состав полимерных остатков и механизм их удаления химическими методами с использованием растворов PRX. Проведена косвенная оценка (по...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Дата:2003
Автори: Иванчиков, А.Э., Кисель, А.М., Медведева, А.Б., Плебанович, В.И., Пономарь, В.Н., Шикуло, В.Е.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2003
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70699
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением / А.Э. Иванчиков, А.М. Кисель, А.Б. Медведева, В.И. Плебанович, В.Н. Пономарь, В.Е. Шикуло // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 5. — С. 46-60. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70699
record_format dspace
spelling Иванчиков, А.Э.
Кисель, А.М.
Медведева, А.Б.
Плебанович, В.И.
Пономарь, В.Н.
Шикуло, В.Е.
2014-11-11T06:45:54Z
2014-11-11T06:45:54Z
2003
Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением / А.Э. Иванчиков, А.М. Кисель, А.Б. Медведева, В.И. Плебанович, В.Н. Пономарь, В.Е. Шикуло // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 5. — С. 46-60. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70699
537.311
Рассмотрено формирование малоразмерных контактных окон методом плазмохимического травления и основные факторы образования полимерных остатков после травления. Изучен состав полимерных остатков и механизм их удаления химическими методами с использованием растворов PRX. Проведена косвенная оценка (по разбросу толщины диоксида кремния) термического метода удаления полимерных остатков, реализованного на операции "оплавление контактов".
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Технология производства
Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением
spellingShingle Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением
Иванчиков, А.Э.
Кисель, А.М.
Медведева, А.Б.
Плебанович, В.И.
Пономарь, В.Н.
Шикуло, В.Е.
Технология производства
title_short Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением
title_full Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением
title_fullStr Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением
title_full_unstemmed Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением
title_sort методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением
author Иванчиков, А.Э.
Кисель, А.М.
Медведева, А.Б.
Плебанович, В.И.
Пономарь, В.Н.
Шикуло, В.Е.
author_facet Иванчиков, А.Э.
Кисель, А.М.
Медведева, А.Б.
Плебанович, В.И.
Пономарь, В.Н.
Шикуло, В.Е.
topic Технология производства
topic_facet Технология производства
publishDate 2003
language Russian
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
format Article
description Рассмотрено формирование малоразмерных контактных окон методом плазмохимического травления и основные факторы образования полимерных остатков после травления. Изучен состав полимерных остатков и механизм их удаления химическими методами с использованием растворов PRX. Проведена косвенная оценка (по разбросу толщины диоксида кремния) термического метода удаления полимерных остатков, реализованного на операции "оплавление контактов".
issn 2225-5818
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70699
citation_txt Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением / А.Э. Иванчиков, А.М. Кисель, А.Б. Медведева, В.И. Плебанович, В.Н. Пономарь, В.Е. Шикуло // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 5. — С. 46-60. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT ivančikovaé metodyudaleniâpolimernyhzagrâzneniivyzvannyhplazmohimičeskimtravleniem
AT kiselʹam metodyudaleniâpolimernyhzagrâzneniivyzvannyhplazmohimičeskimtravleniem
AT medvedevaab metodyudaleniâpolimernyhzagrâzneniivyzvannyhplazmohimičeskimtravleniem
AT plebanovičvi metodyudaleniâpolimernyhzagrâzneniivyzvannyhplazmohimičeskimtravleniem
AT ponomarʹvn metodyudaleniâpolimernyhzagrâzneniivyzvannyhplazmohimičeskimtravleniem
AT šikulove metodyudaleniâpolimernyhzagrâzneniivyzvannyhplazmohimičeskimtravleniem
first_indexed 2025-11-26T12:42:55Z
last_indexed 2025-11-26T12:42:55Z
_version_ 1850621807075262464
fulltext �e ��������� ���� ������� ������� �� � ������ ����� ������� ����������������������������� *U&#Soj#-T%%YR�*U�#X%*)* "� m343;p4�q"��r4s;k�t"�uv4p4=w@p5x4w5ky�kz�\<[]6^>H]6[\< {;y=w5ky� swp;=w;p4s� <>� 4yk85x4w5ky� s:@=wpks=k:>� [[� m111�qp4ys"� ky l4|y"H� !b!"H�}k6"�����\� "H�~"� � H ��" �"��@<@8@A4�q"�t"��\4A464�t"��"��tv:56@Ak>�~"��"��}k{wkA5=v�m"��" myA@sw5|4w5ky� kz� wv5y2z563� =p>k@6@=wpky5=� swp;=w;p@s� <>� 4yk85x4w5ky s:@=wpks=k:>�3@wvk8�[[�t;:@p=ky8;=w5A@�@6@=wpky5=�4y8�<5k34|y@w5s3 $) ��("H� !!�"H�u"���H��" �"�-����� B�*"��"��S�+�������"�U"��%������U"�V"���� ����� &"�P"�G�F��+�� �� � ��� ,���� ��,����������������� ���� �2 � ��������� F�� � ���� �����C����� ������B�C������ ��� [[� ��"� ' �� �� � �� �� ��,�� �� �+E�����"H� !!i"H��"� �"H U"� �i H�ie" �"��@<@8@A4�q"�t"��\4A464�t"��"��tv:56@Ak>�~"��"��}k{wkA5=v�m"��" 1�:p@ss2=kywpk6� kz� s;:@p=ky8;=w5y|�35=pk=5p=;5ws� w@=vyk6k|>� <> 4yk85x4w5ky� s:@=wpks=k:>�3@wvk8� [[� �k;p"� 8@� ~v>s"� m}"H� !!b"H }k6"�b"H�~"�~p"��H��!H� �" �"�lkpkv4sv5�t"���4w4k?4��"��m343;p4�q"��r4s;k�t"�t@=ky84p>�5ky y4ss�s:@=wpk3@wp>�zkp��ks@:vsky�{;y=w5ky��5wv�\<[]6^>H]6[\<��swp;=w;p@ [[]::6"�~v>s"��@ww"H� !!�"H�}k6"�e�$ ("H�~"� e�H ee" e"� ~p5y|6@� �"� ~"� t"� qv@� 4yk85=� k�584w5ky� kz� s;:@p53:ks@8 3@w4665=�64>@ps7�wv@kp>�[[�16@=wpk=v@3"�]=w4"H� !b�"H�}k6"���"H ~"� ���H ���" i"� m343;p4� q"��lkpkv4sv5� t"� �4<p5=4w5ky� kz� v5|v� �;465w> \<[]6^>H]6[\<��ks@:vsky�{;y=w5ky7�8@:ks5w5ky�kz�wv5y�]6�64>@ps�ky \<� z563s� [[� m111�qp4ys� ky�t;:@p=ky8"H� !!�"H�}k6"� ���\� �"H ~"� b�H!�" b"�/��� ����U"�T"��U��� ��*"�%"�M�� ���� , B�� �����2 � F� ������ �� � ��� � �+��F���� �� ��� ��� �� ������ � � � ������, � �� [[�M�� ���� , �"H�����"H��"��e�����"H U"� e iHe� " �������������� �������� � � �!"��H "�!� ����� " #������������������������M� $)'M ���� "�) ��( ���N�� � � �� �����C��� ���O��������C�� ��� �� �� ������� � ��������������� �� ���� �C��O�� ������ �P�� P������J�� "�. �� ��%&#��*��� ���� 1234567� 8x�:pk895yw@|p46"35ys?"<> .R�#�Y�'�TSR%*V�&#S*.RG%YW�jT/GVj%R%*�� -Yj-T%%YW�&STj.#W*.*XRU)*.��GT-SR%*R. �� -�����#�,-�(���Q�*R�,�,�(S���� � � -�+�,���(%�$ �(����*&�S,'�%S���(R�( $(#,�*���&,�(S�*�+�,���(%�$ �(���, -��,#�- �,&��,S�()� ' � ��($,� �������� F�� ���+, ����C����F,��������,��2 ���� ������ � �����+��J0 �� ��� ���J�C�� ���, $UP*U(����+��� ,���+����B �J��C�� �����B����J��� ���J ���� �D��, ����� �� ��� ������ ��� ������2 ���E�,�������� �,�� ������� �������� ��� �� 2 ��� � �,������" ������� ��������,�I������ F��� �J���� +��,�2 ����,�I � ����� ��������� ���� +��,�����,����� � ������� �"�&��,�������� B�� �������� � ��� ��� UP*U��� ,���� ��,������I � ����� ��������� �����2 ��� ����,����� �,��,C,� F2F��� F ��������� ��� 2 F��������� "�.����C����� ��������� ���+�������B�C ���F�����������B �J����D �J����,����������� ��J2 �C, ����� �, � �, � ,��J�C,�+� ��C,������,���� ,�� ��D�����F ���"�&����,����������� � F ����2 ��� ��UP*U�0 �� ����� ,���� ����0� �,����C���2 � � ���2 ���� �� � ���F,�� , B�� � �� ������� � $&W�(�K ���L" &���B�� ��+�F������ ������ ��J�� �����D �� �� ����F,�� , B�� �,�������� ���F,�I���+�� �2 �����F�E ���+� ��C������� ���F�����,� ��� ��� � ���� ������ ,����� ������� �+��F������ �� �������� ������� �"�̀ ��, ���E ���������F,������ ��+��F�2 �E ��� �������I�������������������� ��,�������2 ��� ������������J�����F���,������������������� � ������F������ �,�+�,+��� ��� �F���I���C, �B�2 �� ��, ������������� �� F�����J�C�������������� ���,���������,C����������J��� ����,���� ������ 2 ��J�C������ ���K����L" T����+ ������������ ,���������� �� �������2 ��I ���J�������J�� 0J�������������������������2 ���������� �����F ���� I��� �� F�����J����������2 ���E���� ����� �������� �"�-����I�����,��������2 ���������I������J�C,�������B�C,�F� ��F��� �,��� +� ��C������ ����D��, ������C�����,������� ���2 +����� ���� ��C��� ����D��, ���,C�������� ��� 2 � � ��� ��,� �� � �D��D���� � ���� �� ��� ��" j���J������� ��� �� ��� ��J��,���������� �� ���� 2 ����,�����2 ��,� �����,�����2,�������� �����0�� � ,����� F�� � ���� ��C��� ��� �������� ���+�C��� ,����� F ������C������I� �� ��,��J0�� ���DD� 2 � ��������E�� � ���� ��" -�F,�I�C�����,������������ ����� ,���C����2 ��� ���������&W�7 H�� , B�� ��,������� ����JF���� �,���F� B2 �C��� , ����_ H����, B�� ��,������CI �� ����� ,������ ��,���������b��H!���U��������� �������"�M����,�2 �������� F�������+CB����� ��������� ������� N�������� �� ���� ���O��D�� � ����J���������F��2 B��������� � ��I ��� �����D ��� ���� ��� ��� ��� ���������� ����� ,���" -�������E�����+���� ������������DD� � �����J � �F���C��,������������� ����� ,���C������� �� �� �D��, ����� �,�����F,���C�� ���� ��C��� �� ,�����,����F,�� , B�� � ��������� �" 2���������� � ���� ��� *��������� �������� � �J���� ����,�������� 2 B�� �,���������� F ������� �� ��� ���J����, ��2 ���,C�����������������,����� F �����������F���2 ����������� ������� ������J�C������� ��)�P2 � � �,����,� ���,,"�-����������� �������,��������2 ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� ���� ������� � �������� �� ���� �� �� ������ ������ ���� �� ���� ��������� ��� �� �!� ���� "��� �� !�#$ � %������� ���������� ��� � ���� "&'(($� �� � ���� ������ "��� �� !��$ ) � ���*������+����� ����,� ����� �� "-./$0 1�2,� ������ ���� �� ,������ �� �� ��,����� �!� �� �� ��!� �,������ ��������!� *��� *����� �!���� ��� � ��� ����� 345 ����*��,� �� ���� �! 6789:;<= #� ��,������ ) �,������ ��������!� �� � ��� �����,���� � ��� ���� 345�#�� "%�*��,�!� >���+� ��� ������+����� ��� ��� �� ������ ��,���������� ��$ � �+���� �� ��� ��� ?��(@ �� ��,������ ) � ��� ���� 345��#� "������,� �!� ������+����� ��� ��� � ���,� ������ $ � �+�� ��� �� ��� ��� ���(@ �� ��,������ ) �,������ ��������!� �� � ��� �� �����,���� 0 A� �%����2��� ��������!� �� � ��� � ��� �� � �!� ����� ����� *����� ��� ���!� ���� ����!� ��������� ����! B8CDE780 A� �� �������� ��� ��� ��������!� �� � ��� ����� *����� �2������ ���� � FGH�II� ����! 3;JK8L M:N;J0 ( O�� P �*�+��� ������*�� ��*,��� �� ����� +����� ��� ����� 345 �� ������� � �O���� ����� +����� � ����� � ��� �� ���P>�� � ��� ������ ��� ������+����� ����� ����,�� ��� ������ ������ �� ��2,��� ��� � ��� ����� 3450 Q*������� ��� >��! ����� �����,���� �� �� ��� �*��������� �*���� ��� ��>��! RS6�TU63 ����! R;8ED0 1���� ���� �� ���V�� � �*�� ������ �*,��� &�1W/- ��� �����,���� �����O�� X���������� ���� �� ��Y %!�� ��������*������! ,�� �����! ��%�+�� ���� �� ,� ��������� "�� ��*%���� ��>��! ����� �� � ��� �� �!� ����� � �Z��%��� �$ �O���� ��*� ��2��� � �,����� �������� ����+����� �� �,��0 /����O� X���������� ��� �� ��Y �!���� ��� �� ��� ������ X/���,��-/Y ��� ������ ��� ?���( � ��� ��� �������,� � �+���� �� ���0 G� ������ ������ ���� �� ����, �����O��� �!���� ��� �%��%� �� � ��� ���� 345��#�� �� � ���� ������ �%��%� �� �� �!���� ��� 0 -���� �����O�� X���������� ��� ��� ��Y �� �%��� ������� ���� �� �*��� ��� ��>��� ������ � ��� �� �!� ����� � �Z��%��� �0 ��� �� �������� ������ Q*��� ��� + � �� �%��*������ ��������!� *��� *� ����� ��� ���*������+����� �������� ��� P ��� ���� �� ��� ����= ) ������ �+����� ������ �! ���*�!� *���� >�� � ��>��� � [\������� ��� �� ������@ ) ��� ��V���� � ���� � ��� � ������,� � ��*�� ��� ������ �+�� ��P>�� � ���O���� ������� "+�� ��� V� ��� ��V���� ]U^� �� %�� V� �%��*�� � ��� ������!� *��� *����� _�`$@ ) ����+�� �� ��������� � ���� ��! �� ���*��� ����� ����� � ������ ������� ������ �� ���� F��0 #0 (���� ����������� ��� �� ���# � �� �� ��� ��� �!� ���� ���� /��2,���� %����������� ������ ���� � ���� "&'(($ 1�� �� !�# 1�� �� !�� G��!����� ������ a:)68 b������������� -�� ������ �� ���*�� � .���+����� �������� &'(( "��*��� ��� �� ���#$ G�������� �� ���*�� � -��*������+����� ,���� ������ -��*������+����� �������� -./ -��*������+����� �������� &'(( -��*������+����� �,������ �� ���*�� � c,������ �������� �� �����,���� c,������ �������� � 345�#�� c,������ �������� � 345��#� /���,������ ����+������ ��� ��� �������� /O���� ������ ����� � �,���� �� �������� /���,������ ����+������ ��� ��� �������� /O���� ������ ����� � �,���� �� �������� /���,������ ����+������ ��� ��� �������� /��2,���� ���*������+��� ���� ����,� ������ "-./$ �? ��������� ���� ������� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � *�� � � ���*�� "���*������+���� ���*� �� ���*�� � � �����,� � �%��*�����P ������,��,��2�>�� ��� ,������ � �� ���!� ���� V�� ��� ��V���� � �� ��� ]U^ � ��*���� �����$@ ) ���� ���*������+������ ������� "+�� %�� V� ,������ �� ��� ���� ������� ����� ����! � ��� �� �� ) ���� ���� ����� �� %�� � V� � ���*�� ��������� � ��,������ ̂ �]��� �� ��!� ��� �����%���O�� ���� �%��*��!�� ��������!� ������$@ ) ����+����� ��� �� �! ������������ � ��2�� >��� ��2� ����� "����+�� �� ����� �����,� � ,�� ����� �� ���� �%��*�����P �� ����������+����� ���������$0 1���+�� ����!� ����� ���� ��� ���� ��!� �* ��� ��+������!� ��� ���� �����,��! � � � ���� �* �� �� ��� ��,��� + � �������� ��� ��� �� �����+���� ��� ��+�� �� ��������!� �� � ��� ��� ������������ ��� �� ���� ���*!��P ���� ���� ����� � ��2� ��� � ��V���� �������� �� ��� >�� ��*���� ����� X��� ��� ) (] � "���,���#�$ ) ^B] � "���,�����$Y0 c� ��������� + � ��������!� *��� *���� �%��� *�P � � �%��� �����,�����!� ���O����� ���*��� ����+������ ������� ,����� �����0 /,���� � ���� O���� �*�� ������ ��� �� ���# ��������� ������ ��*����� ��V � ������� +�� � ��� �� ���� ���� "���0 �� �$� � ��� ������������ ��� �� ���� ����� ��� ������,���� �� ����� ������P ��� �� ���� ����0 -�� � �� �!�� � ����������� �%��*����� � �� ���� �� ����� ����� ��������� O����,�� ����!V�� ��� >��� ������ ������� ��,��������� ���*������+��� ���� �������P "������� �$0 Q* �� �������� ���,� ������!� �� ���0 � � �� ���� ,�� � + � ��������!� *��� *���� �* �%��� � ��� �� � ���� ���� ����� ���� �,�� P � ��� ��*,��� ��� �%�� �� �����*�O�� ��� ����� 345 "345�#��� 345��#�$0 -�� �*�+���� �2������ ��� ��������� � ���� �� ,� � ����� �%��%� �� � � �� ��� ����� �! ������ � + �� � � ��+�� � ���� �� ����,���� �%��*O� � ����� ����!�� *��� *���� ��� � ���� ��� ��������� � ���� � �� ����� �+�� �� � ��� ����� 345 ���� �+���� ���� ��� P � �� � ��P ����� ��� �� � ��P>�� � ���� � ��� � ������,�0 (��� ��� �!� �����* ��������� � ���� �� ����*��� + � ��������!� *��� *���� � �%��� *�P>��� ��� ���*������+����� ��������� ��� �� � � ��������� �* � ��������,�!� ���,������ %�* �������� �� �����0 ��%��O� # ����� ��� ��� ����� ��� ���� ��� ����������� � ����� ���� ��� ��� ��� �� ���� � �� ����������� ���� � �����-1 � �����-2 � � ������-�� ���� ������ 700 700 ����� ��� � �� ���� �� � � � ������������Ar:CF4:CHF3 30:2,5:4 30:4:3 � �� ����� � ��F/C ����� ��!"�� ����������� 3,0 3,57 � � ���������� ���# � ��!������ �$�� 0,96 1,6 ����%� �������������& 50 100 F��0 �0 '� ������� ��� �� ���#= � ) ������� �� �,����@ � ) ������� �,���� � ��� ���� 345�#��@ � ) ������� �,���� � ��� ���� 345��#� �$ %$ �$ F��0 �0 '� ������� ��� �� ����= � ) ������� �� �,����@ � ) ������� �,���� � ��� ���� 345�#��@ � ) ������� �,���� � ��� ���� 345��#� �$ %$ �$ ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �d ��������� ���� ������� N C H 3 C H 3 C H 3 O e����* ������ � ������� ��*��+�!� ��������� +����� ����� "� � ���$ � �����,�����!� ��� ����� ��*��� � ���,����2� ���,�P>�� ��� �� � ����� ��*� �,����� ��������!� �� � ���0 /� � ��� �%��*�P>��� ����� ���*������+����� �� ������� ,�����,� ������ � ���,� ��� P ��%�� ���2�!� ��������!� �����*�O��� ���P+�P>�� ,�� ����, ������ � ��,����! �� ���*�� ���!� ����0 [ �%>�� ��,� ������� ��2� %! ���,� ����� �������� [ %�*��,�!� >���+�!� ��� ����� " ��� 345�#��$ �� �������,� �*����,��� �� �����!� ��������� +����� ����� � ��� �����0 c,������ ��������!� *�� �� *����� � ��� ���� 345�#�� �������,� *� �+� ����+������ ��� ������ ������ �������� � ������� ����� � ���V��� ��� ��������� � � � ����� ��� �� � �!� ����0 -�� �,������ �������� � >���+�!� ��� � ����� ������+����� ��������� �!� ���� � ��+�� � �� ���P%�*���P>��� ���� � �� � ��V���P � ����� ��+������ ��,����� �������� � ������>�� ��� � ��� ��*�����!� ,���� = "#$ /,���������� ��, ��� ���� ������+������ ��� � ���� �� ��� ���*���� � � ���� ���!� ������+��� ��� ��� ���� �� � + � ��,� � �����+���P ,���� ��� � ���� �� = 0 "�$ f� �+� ,���� �,���� ���� �*����,��� �� ,��� �%��*�P>��� ,������ �������,� ��� ������� ��� �������� �����*�O��0 -�����,�!� ������+����� ��� ���! � ���,� ��� ���� " ��� 345��#�$ ����+���� �*����,��� ��P � ��*��+�!�� ����� �����!� ������ � �� ���� ��� � ������ ��� ������ ��� ��� �������� � ���� ���� � �� ��2,� � ����� ��� �� ���� ���� � ���������� ��%��O� � ������ ���� ��� �������!� �������� ���� ��� � � ��� ����� "#$���% � "#$�&�' � � ���������� ���� �$�� '�( � ��%����)��� ) PRX-120 PRX-417 '����%����)�*� ���*����� �� 0 0,05 + � # �# � ������� ������� 0 1,18 ���!� (���%����)� ���*����� �� 0 0,56 ��� �����,�� �� << 0,1 << 0,1 ��������� ������������� ��* �� 33,0 �� *��� ��� ����� 1,2 ��*�� � 29,6 � *� 22,4 �� *��� �� ��� � �� 13,1 -������������ ��� 172,6 .�� ��� 0,7 /��������% ��� 1,1 0 ������ 55,8 �� ��"� 17,7 ������"� 73,5 %�� 119 ��������� ������������� ��* �� 20,3 �� *��� ��� ����� 0,3 ��*�� � 20,1 � *� 19,7 �� *��� �� ��� � �� 3,5 -������������ ��� 12,4 .�� ��� 1,0 /��������% ��� –0,2 0 ������ 20,4 �� ��"� 11,3 ������"� 31,7 %�� 115 F��0 �0 g�� ������� ������,����� ��>��! ������ ����,� ������ ����� �����O�� X���������� ��� �� ��Y= � ) ����, �����O��� �,������ �������� �� ����*��,���� @ � ) ����, �����O��� ������� �,�� �� � ��� ���� 345��#� O Si O O O R → Z 68h � 0 /�������� i Z O Si O O O R O R → /�������� i Z N C H 3 C H 3 C H 3 O ���>��� 68h � � �� \ �� � � � j �� �� �� �� #� � #� �� �� �� �� I� �� �$ ���>��� 68h � � �� \ �� � � � j �� I� �� �� �� �� #� � #� #� �� �� �� �� %$ �� ��������� ���� ������� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �������� + � �����,� � � ��������P � �,�����P ��� �������� ������ "�� �, �*�!��$0 [ ������,�!� ����� ��+����� ��� ����� � ���,� ������ � ���� !� ��� ����� ��,����*�� � � �%��*������� �������� "kB � hB$ � � ���� ���,���,��� ����� ! "B]$= kB � ]ZB � h⇔kB � hBZB]0 "�$ Q��P>��� � ��� ���� � ���,����! "]i$ ������ ��P � � ���� ���,���,��� ����� �� � �%��*������ �� %�� ���,������ "B] � i$= B]Z]i⇔B] � i0 "�$ /%��*������ � ����+�� %�� ���,������ � ��� ���� �� � � ���+���� ��, ���� �������� ��� 0 ������� ��� ��� ���� �� ��������P 68h � Z�B] � iZBZl68] I i�Z�B � h0 "�$ 1���� ���� ��2�� ���,����2� � + � �%��*���� ��� � ��� ���� �������� �����%� ��� ��� ���*�� O�� � �����+���P� ���� �%��*��� ,���� ��� ����� ���� ������ ��� ���� �� �� ��������P "�$0 [ ���P �+���, � ���� ��� ���� �� �����%� ��� ���P%�� *�O�� � ������,� � ��� ��� ������+����� ��� ��� � P>�� ��������0 -� *��+��� � ��>��! ������ ����,� ������ � ��� �� �!� ����� � �Z��%��� � ����� �����O�� X��� �������� ��� �� ��Y �� ,��� ������� ���� �� "� �%� ��%� ��� � ��� ���� 345��#� ,� �����O�� � %�* �%� ��%� ��$ ��2��� �� �����P �� ����� ��,� � ������ �������� � �,����� �������� � ��� �� �!� ����� �� ������ ���� ��� ���V�,V�� �� �� ����+����P �����O�P0 G� ������������� �,����� �������� ���*!��� %�� V�� ��*%��� ��>��! ������� ����� �� "� #��� ,� ���� ��$ � ��� �� �!� ����� � �Z��%��� � � ������ "������� �$0 -��,V�� ��P>� �����O�� �%��%� �� ���� �� � ��� ���� 345��#� �� � ���� ������ ���� �� ��*������ ���*� ��*%��� ��>�� �! ����,� � ��� �� �!� ����� � ##�� ,� �#�� �� "���0 �� �$ ��� �� 2� ������ � �������� 0 G�%�P,���� �� ������ ������ ���� �� "%�* �%� ��%� �� � ��� ���� 345��#�$ �!���� ������ ���� � ��� ����,� ������ ��� �!�������� �����O�� X���������� ��� �� ��Y �� � � � �� ��V��� �����P� ��, ���2,����� ����+� �� � �+���� �������� � �%� ��� � ��� �� ��0 ��� + � ������� ����� � ��� ,�� ����,� ������ � ������ � ��� + � � ��� ��� ����� ���� ��,��2� � ��,���,0 F�*��V���� ������ ����� ���� ��� �����,���� �!���� ������ ����� �����O�� �������2,�� � �%��*������� ����� ��,!� �� ��!� �������P � �������� �� �� ���!�� ����� P ��� ��� ,�����,� ������ �������� ��������P ����O�� �68Z�B � hZh � l�68h � Z�B � 0 "I$ � � ������ #0 /%��*�P>��� ����� ���*������+������ ���� ���� ,�����,� ������ ��������!� *��� *���� ��� ,��2� � ����� ��� ��� ������,� � ��� ��,���,0 �0 Q���� *������ %�*��,�!� >���+�!� ��� ��� ��� ������+����� ��>�� � " ��� 345�#��$ � ����� ��,�!� ������+����� ��� ����� � ���,� ������ " ��� 345��#�$ ��*��� � ������ P �,��� ����� ����!� *��� *���� ����� ���*������+������ ���� ���� � ����� � �� ��*��+�!� ������*� �*����,��� � �� ��� ����� � ���������0 �0 c,������ �������� ������,�!�� ������+����� �� ��� ������ � ���,� ������ ���,��+ � �� ���� 0 �0 �����O� ��2� �����,� � ��� ����� ��� ��� ���� ��� � �� ��%�� ,������ �� ��� �%��%� �� ���� � �� ���� �� ����, ����!���� �� � ��,�0 �0 �����+����� �,������ ��������� �����*����� ��� �!�������� �����O�� X���������� ��� �� ��Y� �� ��*��� � ������ P �,��� ������� �* ��� �� � �!� ����0 /� � �� ��������!� *��� *����� � ���� �� �!� ����� �����, � ���������*��,����� ��*� %���� ��>��! ������ ����,� ������ � �%��*�P>��� � �� ����! !� �%��� � ������ 0 Q(-/mnf/[eGGop Q(�/\GQ1Q #0 ����� q0 /����! ��������� (&Q(0) W0= F�,�� � �� * � #d?�0 �0 W��� c0 W������ ������ 0 \0 �0) W0= W��� #dd�0 �0 -��*����� �������� � ����*��,� �� (&Q( U -�, ��,0 G0 e��������� A0 &�����0) W0= W��� #d?�0 ���� �!�"#" � � � � ��! � " # " �������� �� �� ��������� � ���������������������� ������������ �! "���������#$ %�&�'(() �*����%� &������ ��+ ������ ��������� ��� ��� � ���������� �������� ������������������ �� �� � ��� ������� ��� ������ ����� ����������� ����� ������ � ���� �������� �������������������������������� ����� ���������� !�"���������� ��� ��� ��������#��������� ������� ��������������$���� ��������� ������� ���%������������ ���������������� ������ ����� ����� �������������� ������ ��%���������� �����������%��� ���������������� ��������� ���� �����! &�������� ������������'���������� ��� �����( �����)���������(����� ������� ������������� ��*!�+ ������,���' �(� ���� ������� ����� ���� ��( �����)�������� ���*! -��' ��� ���'������������!