Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением

Рассмотрено формирование малоразмерных контактных окон методом плазмохимического травления и основные факторы образования полимерных остатков после травления. Изучен состав полимерных остатков и механизм их удаления химическими методами с использованием растворов PRX. Проведена косвенная оценка (по...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Date:2003
Main Authors: Иванчиков, А.Э., Кисель, А.М., Медведева, А.Б., Плебанович, В.И., Пономарь, В.Н., Шикуло, В.Е.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2003
Subjects:
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70699
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением / А.Э. Иванчиков, А.М. Кисель, А.Б. Медведева, В.И. Плебанович, В.Н. Пономарь, В.Е. Шикуло // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 5. — С. 46-60. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1859556468676624384
author Иванчиков, А.Э.
Кисель, А.М.
Медведева, А.Б.
Плебанович, В.И.
Пономарь, В.Н.
Шикуло, В.Е.
author_facet Иванчиков, А.Э.
Кисель, А.М.
Медведева, А.Б.
Плебанович, В.И.
Пономарь, В.Н.
Шикуло, В.Е.
citation_txt Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением / А.Э. Иванчиков, А.М. Кисель, А.Б. Медведева, В.И. Плебанович, В.Н. Пономарь, В.Е. Шикуло // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 5. — С. 46-60. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Рассмотрено формирование малоразмерных контактных окон методом плазмохимического травления и основные факторы образования полимерных остатков после травления. Изучен состав полимерных остатков и механизм их удаления химическими методами с использованием растворов PRX. Проведена косвенная оценка (по разбросу толщины диоксида кремния) термического метода удаления полимерных остатков, реализованного на операции "оплавление контактов".
first_indexed 2025-11-26T12:42:55Z
format Article
fulltext �e ��������� ���� ������� ������� �� � ������ ����� ������� ����������������������������� *U&#Soj#-T%%YR�*U�#X%*)* "� m343;p4�q"��r4s;k�t"�uv4p4=w@p5x4w5ky�kz�\<[]6^>H]6[\< {;y=w5ky� swp;=w;p4s� <>� 4yk85x4w5ky� s:@=wpks=k:>� [[� m111�qp4ys"� ky l4|y"H� !b!"H�}k6"�����\� "H�~"� � H ��" �"��@<@8@A4�q"�t"��\4A464�t"��"��tv:56@Ak>�~"��"��}k{wkA5=v�m"��" myA@sw5|4w5ky� kz� wv5y2z563� =p>k@6@=wpky5=� swp;=w;p@s� <>� 4yk85x4w5ky s:@=wpks=k:>�3@wvk8�[[�t;:@p=ky8;=w5A@�@6@=wpky5=�4y8�<5k34|y@w5s3 $) ��("H� !!�"H�u"���H��" �"�-����� B�*"��"��S�+�������"�U"��%������U"�V"���� ����� &"�P"�G�F��+�� �� � ��� ,���� ��,����������������� ���� �2 � ��������� F�� � ���� �����C����� ������B�C������ ��� [[� ��"� ' �� �� � �� �� ��,�� �� �+E�����"H� !!i"H��"� �"H U"� �i H�ie" �"��@<@8@A4�q"�t"��\4A464�t"��"��tv:56@Ak>�~"��"��}k{wkA5=v�m"��" 1�:p@ss2=kywpk6� kz� s;:@p=ky8;=w5y|�35=pk=5p=;5ws� w@=vyk6k|>� <> 4yk85x4w5ky� s:@=wpks=k:>�3@wvk8� [[� �k;p"� 8@� ~v>s"� m}"H� !!b"H }k6"�b"H�~"�~p"��H��!H� �" �"�lkpkv4sv5�t"���4w4k?4��"��m343;p4�q"��r4s;k�t"�t@=ky84p>�5ky y4ss�s:@=wpk3@wp>�zkp��ks@:vsky�{;y=w5ky��5wv�\<[]6^>H]6[\<��swp;=w;p@ [[]::6"�~v>s"��@ww"H� !!�"H�}k6"�e�$ ("H�~"� e�H ee" e"� ~p5y|6@� �"� ~"� t"� qv@� 4yk85=� k�584w5ky� kz� s;:@p53:ks@8 3@w4665=�64>@ps7�wv@kp>�[[�16@=wpk=v@3"�]=w4"H� !b�"H�}k6"���"H ~"� ���H ���" i"� m343;p4� q"��lkpkv4sv5� t"� �4<p5=4w5ky� kz� v5|v� �;465w> \<[]6^>H]6[\<��ks@:vsky�{;y=w5ky7�8@:ks5w5ky�kz�wv5y�]6�64>@ps�ky \<� z563s� [[� m111�qp4ys� ky�t;:@p=ky8"H� !!�"H�}k6"� ���\� �"H ~"� b�H!�" b"�/��� ����U"�T"��U��� ��*"�%"�M�� ���� , B�� �����2 � F� ������ �� � ��� � �+��F���� �� ��� ��� �� ������ � � � ������, � �� [[�M�� ���� , �"H�����"H��"��e�����"H U"� e iHe� " �������������� �������� � � �!"��H "�!� ����� " #������������������������M� $)'M ���� "�) ��( ���N�� � � �� �����C��� ���O��������C�� ��� �� �� ������� � ��������������� �� ���� �C��O�� ������ �P�� P������J�� "�. �� ��%&#��*��� ���� 1234567� 8x�:pk895yw@|p46"35ys?"<> .R�#�Y�'�TSR%*V�&#S*.RG%YW�jT/GVj%R%*�� -Yj-T%%YW�&STj.#W*.*XRU)*.��GT-SR%*R. �� -�����#�,-�(���Q�*R�,�,�(S���� � � -�+�,���(%�$ �(����*&�S,'�%S���(R�( $(#,�*���&,�(S�*�+�,���(%�$ �(���, -��,#�- �,&��,S�()� ' � ��($,� �������� F�� ���+, ����C����F,��������,��2 ���� ������ � �����+��J0 �� ��� ���J�C�� ���, $UP*U(����+��� ,���+����B �J��C�� �����B����J��� ���J ���� �D��, ����� �� ��� ������ ��� ������2 ���E�,�������� �,�� ������� �������� ��� �� 2 ��� � �,������" ������� ��������,�I������ F��� �J���� +��,�2 ����,�I � ����� ��������� ���� +��,�����,����� � ������� �"�&��,�������� B�� �������� � ��� ��� UP*U��� ,���� ��,������I � ����� ��������� �����2 ��� ����,����� �,��,C,� F2F��� F ��������� ��� 2 F��������� "�.����C����� ��������� ���+�������B�C ���F�����������B �J����D �J����,����������� ��J2 �C, ����� �, � �, � ,��J�C,�+� ��C,������,���� ,�� ��D�����F ���"�&����,����������� � F ����2 ��� ��UP*U�0 �� ����� ,���� ����0� �,����C���2 � � ���2 ���� �� � ���F,�� , B�� � �� ������� � $&W�(�K ���L" &���B�� ��+�F������ ������ ��J�� �����D �� �� ����F,�� , B�� �,�������� ���F,�I���+�� �2 �����F�E ���+� ��C������� ���F�����,� ��� ��� � ���� ������ ,����� ������� �+��F������ �� �������� ������� �"�̀ ��, ���E ���������F,������ ��+��F�2 �E ��� �������I�������������������� ��,�������2 ��� ������������J�����F���,������������������� � ������F������ �,�+�,+��� ��� �F���I���C, �B�2 �� ��, ������������� �� F�����J�C�������������� ���,���������,C����������J��� ����,���� ������ 2 ��J�C������ ���K����L" T����+ ������������ ,���������� �� �������2 ��I ���J�������J�� 0J�������������������������2 ���������� �����F ���� I��� �� F�����J����������2 ���E���� ����� �������� �"�-����I�����,��������2 ���������I������J�C,�������B�C,�F� ��F��� �,��� +� ��C������ ����D��, ������C�����,������� ���2 +����� ���� ��C��� ����D��, ���,C�������� ��� 2 � � ��� ��,� �� � �D��D���� � ���� �� ��� ��" j���J������� ��� �� ��� ��J��,���������� �� ���� 2 ����,�����2 ��,� �����,�����2,�������� �����0�� � ,����� F�� � ���� ��C��� ��� �������� ���+�C��� ,����� F ������C������I� �� ��,��J0�� ���DD� 2 � ��������E�� � ���� ��" -�F,�I�C�����,������������ ����� ,���C����2 ��� ���������&W�7 H�� , B�� ��,������� ����JF���� �,���F� B2 �C��� , ����_ H����, B�� ��,������CI �� ����� ,������ ��,���������b��H!���U��������� �������"�M����,�2 �������� F�������+CB����� ��������� ������� N�������� �� ���� ���O��D�� � ����J���������F��2 B��������� � ��I ��� �����D ��� ���� ��� ��� ��� ���������� ����� ,���" -�������E�����+���� ������������DD� � �����J � �F���C��,������������� ����� ,���C������� �� �� �D��, ����� �,�����F,���C�� ���� ��C��� �� ,�����,����F,�� , B�� � ��������� �" 2���������� � ���� ��� *��������� �������� � �J���� ����,�������� 2 B�� �,���������� F ������� �� ��� ���J����, ��2 ���,C�����������������,����� F �����������F���2 ����������� ������� ������J�C������� ��)�P2 � � �,����,� ���,,"�-����������� �������,��������2 ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� ���� ������� � �������� �� ���� �� �� ������ ������ ���� �� ���� ��������� ��� �� �!� ���� "��� �� !�#$ � %������� ���������� ��� � ���� "&'(($� �� � ���� ������ "��� �� !��$ ) � ���*������+����� ����,� ����� �� "-./$0 1�2,� ������ ���� �� ,������ �� �� ��,����� �!� �� �� ��!� �,������ ��������!� *��� *����� �!���� ��� � ��� ����� 345 ����*��,� �� ���� �! 6789:;<= #� ��,������ ) �,������ ��������!� �� � ��� �����,���� � ��� ���� 345�#�� "%�*��,�!� >���+� ��� ������+����� ��� ��� �� ������ ��,���������� ��$ � �+���� �� ��� ��� ?��(@ �� ��,������ ) � ��� ���� 345��#� "������,� �!� ������+����� ��� ��� � ���,� ������ $ � �+�� ��� �� ��� ��� ���(@ �� ��,������ ) �,������ ��������!� �� � ��� �� �����,���� 0 A� �%����2��� ��������!� �� � ��� � ��� �� � �!� ����� ����� *����� ��� ���!� ���� ����!� ��������� ����! B8CDE780 A� �� �������� ��� ��� ��������!� �� � ��� ����� *����� �2������ ���� � FGH�II� ����! 3;JK8L M:N;J0 ( O�� P �*�+��� ������*�� ��*,��� �� ����� +����� ��� ����� 345 �� ������� � �O���� ����� +����� � ����� � ��� �� ���P>�� � ��� ������ ��� ������+����� ����� ����,�� ��� ������ ������ �� ��2,��� ��� � ��� ����� 3450 Q*������� ��� >��! ����� �����,���� �� �� ��� �*��������� �*���� ��� ��>��! RS6�TU63 ����! R;8ED0 1���� ���� �� ���V�� � �*�� ������ �*,��� &�1W/- ��� �����,���� �����O�� X���������� ���� �� ��Y %!�� ��������*������! ,�� �����! ��%�+�� ���� �� ,� ��������� "�� ��*%���� ��>��! ����� �� � ��� �� �!� ����� � �Z��%��� �$ �O���� ��*� ��2��� � �,����� �������� ����+����� �� �,��0 /����O� X���������� ��� �� ��Y �!���� ��� �� ��� ������ X/���,��-/Y ��� ������ ��� ?���( � ��� ��� �������,� � �+���� �� ���0 G� ������ ������ ���� �� ����, �����O��� �!���� ��� �%��%� �� � ��� ���� 345��#�� �� � ���� ������ �%��%� �� �� �!���� ��� 0 -���� �����O�� X���������� ��� ��� ��Y �� �%��� ������� ���� �� �*��� ��� ��>��� ������ � ��� �� �!� ����� � �Z��%��� �0 ��� �� �������� ������ Q*��� ��� + � �� �%��*������ ��������!� *��� *� ����� ��� ���*������+����� �������� ��� P ��� ���� �� ��� ����= ) ������ �+����� ������ �! ���*�!� *���� >�� � ��>��� � [\������� ��� �� ������@ ) ��� ��V���� � ���� � ��� � ������,� � ��*�� ��� ������ �+�� ��P>�� � ���O���� ������� "+�� ��� V� ��� ��V���� ]U^� �� %�� V� �%��*�� � ��� ������!� *��� *����� _�`$@ ) ����+�� �� ��������� � ���� ��! �� ���*��� ����� ����� � ������ ������� ������ �� ���� F��0 #0 (���� ����������� ��� �� ���# � �� �� ��� ��� �!� ���� ���� /��2,���� %����������� ������ ���� � ���� "&'(($ 1�� �� !�# 1�� �� !�� G��!����� ������ a:)68 b������������� -�� ������ �� ���*�� � .���+����� �������� &'(( "��*��� ��� �� ���#$ G�������� �� ���*�� � -��*������+����� ,���� ������ -��*������+����� �������� -./ -��*������+����� �������� &'(( -��*������+����� �,������ �� ���*�� � c,������ �������� �� �����,���� c,������ �������� � 345�#�� c,������ �������� � 345��#� /���,������ ����+������ ��� ��� �������� /O���� ������ ����� � �,���� �� �������� /���,������ ����+������ ��� ��� �������� /O���� ������ ����� � �,���� �� �������� /���,������ ����+������ ��� ��� �������� /��2,���� ���*������+��� ���� ����,� ������ "-./$ �? ��������� ���� ������� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � *�� � � ���*�� "���*������+���� ���*� �� ���*�� � � �����,� � �%��*�����P ������,��,��2�>�� ��� ,������ � �� ���!� ���� V�� ��� ��V���� � �� ��� ]U^ � ��*���� �����$@ ) ���� ���*������+������ ������� "+�� %�� V� ,������ �� ��� ���� ������� ����� ����! � ��� �� �� ) ���� ���� ����� �� %�� � V� � ���*�� ��������� � ��,������ ̂ �]��� �� ��!� ��� �����%���O�� ���� �%��*��!�� ��������!� ������$@ ) ����+����� ��� �� �! ������������ � ��2�� >��� ��2� ����� "����+�� �� ����� �����,� � ,�� ����� �� ���� �%��*�����P �� ����������+����� ���������$0 1���+�� ����!� ����� ���� ��� ���� ��!� �* ��� ��+������!� ��� ���� �����,��! � � � ���� �* �� �� ��� ��,��� + � �������� ��� ��� �� �����+���� ��� ��+�� �� ��������!� �� � ��� ��� ������������ ��� �� ���� ���*!��P ���� ���� ����� � ��2� ��� � ��V���� �������� �� ��� >�� ��*���� ����� X��� ��� ) (] � "���,���#�$ ) ^B] � "���,�����$Y0 c� ��������� + � ��������!� *��� *���� �%��� *�P � � �%��� �����,�����!� ���O����� ���*��� ����+������ ������� ,����� �����0 /,���� � ���� O���� �*�� ������ ��� �� ���# ��������� ������ ��*����� ��V � ������� +�� � ��� �� ���� ���� "���0 �� �$� � ��� ������������ ��� �� ���� ����� ��� ������,���� �� ����� ������P ��� �� ���� ����0 -�� � �� �!�� � ����������� �%��*����� � �� ���� �� ����� ����� ��������� O����,�� ����!V�� ��� >��� ������ ������� ��,��������� ���*������+��� ���� �������P "������� �$0 Q* �� �������� ���,� ������!� �� ���0 � � �� ���� ,�� � + � ��������!� *��� *���� �* �%��� � ��� �� � ���� ���� ����� ���� �,�� P � ��� ��*,��� ��� �%�� �� �����*�O�� ��� ����� 345 "345�#��� 345��#�$0 -�� �*�+���� �2������ ��� ��������� � ���� �� ,� � ����� �%��%� �� � � �� ��� ����� �! ������ � + �� � � ��+�� � ���� �� ����,���� �%��*O� � ����� ����!�� *��� *���� ��� � ���� ��� ��������� � ���� � �� ����� �+�� �� � ��� ����� 345 ���� �+���� ���� ��� P � �� � ��P ����� ��� �� � ��P>�� � ���� � ��� � ������,�0 (��� ��� �!� �����* ��������� � ���� �� ����*��� + � ��������!� *��� *���� � �%��� *�P>��� ��� ���*������+����� ��������� ��� �� � � ��������� �* � ��������,�!� ���,������ %�* �������� �� �����0 ��%��O� # ����� ��� ��� ����� ��� ���� ��� ����������� � ����� ���� ��� ��� ��� �� ���� � �� ����������� ���� � �����-1 � �����-2 � � ������-�� ���� ������ 700 700 ����� ��� � �� ���� �� � � � ������������Ar:CF4:CHF3 30:2,5:4 30:4:3 � �� ����� � ��F/C ����� ��!"�� ����������� 3,0 3,57 � � ���������� ���# � ��!������ �$�� 0,96 1,6 ����%� �������������& 50 100 F��0 �0 '� ������� ��� �� ���#= � ) ������� �� �,����@ � ) ������� �,���� � ��� ���� 345�#��@ � ) ������� �,���� � ��� ���� 345��#� �$ %$ �$ F��0 �0 '� ������� ��� �� ����= � ) ������� �� �,����@ � ) ������� �,���� � ��� ���� 345�#��@ � ) ������� �,���� � ��� ���� 345��#� �$ %$ �$ ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �d ��������� ���� ������� N C H 3 C H 3 C H 3 O e����* ������ � ������� ��*��+�!� ��������� +����� ����� "� � ���$ � �����,�����!� ��� ����� ��*��� � ���,����2� ���,�P>�� ��� �� � ����� ��*� �,����� ��������!� �� � ���0 /� � ��� �%��*�P>��� ����� ���*������+����� �� ������� ,�����,� ������ � ���,� ��� P ��%�� ���2�!� ��������!� �����*�O��� ���P+�P>�� ,�� ����, ������ � ��,����! �� ���*�� ���!� ����0 [ �%>�� ��,� ������� ��2� %! ���,� ����� �������� [ %�*��,�!� >���+�!� ��� ����� " ��� 345�#��$ �� �������,� �*����,��� �� �����!� ��������� +����� ����� � ��� �����0 c,������ ��������!� *�� �� *����� � ��� ���� 345�#�� �������,� *� �+� ����+������ ��� ������ ������ �������� � ������� ����� � ���V��� ��� ��������� � � � ����� ��� �� � �!� ����0 -�� �,������ �������� � >���+�!� ��� � ����� ������+����� ��������� �!� ���� � ��+�� � �� ���P%�*���P>��� ���� � �� � ��V���P � ����� ��+������ ��,����� �������� � ������>�� ��� � ��� ��*�����!� ,���� = "#$ /,���������� ��, ��� ���� ������+������ ��� � ���� �� ��� ���*���� � � ���� ���!� ������+��� ��� ��� ���� �� � + � ��,� � �����+���P ,���� ��� � ���� �� = 0 "�$ f� �+� ,���� �,���� ���� �*����,��� �� ,��� �%��*�P>��� ,������ �������,� ��� ������� ��� �������� �����*�O��0 -�����,�!� ������+����� ��� ���! � ���,� ��� ���� " ��� 345��#�$ ����+���� �*����,��� ��P � ��*��+�!�� ����� �����!� ������ � �� ���� ��� � ������ ��� ������ ��� ��� �������� � ���� ���� � �� ��2,� � ����� ��� �� ���� ���� � ���������� ��%��O� � ������ ���� ��� �������!� �������� ���� ��� � � ��� ����� "#$���% � "#$�&�' � � ���������� ���� �$�� '�( � ��%����)��� ) PRX-120 PRX-417 '����%����)�*� ���*����� �� 0 0,05 + � # �# � ������� ������� 0 1,18 ���!� (���%����)� ���*����� �� 0 0,56 ��� �����,�� �� << 0,1 << 0,1 ��������� ������������� ��* �� 33,0 �� *��� ��� ����� 1,2 ��*�� � 29,6 � *� 22,4 �� *��� �� ��� � �� 13,1 -������������ ��� 172,6 .�� ��� 0,7 /��������% ��� 1,1 0 ������ 55,8 �� ��"� 17,7 ������"� 73,5 %�� 119 ��������� ������������� ��* �� 20,3 �� *��� ��� ����� 0,3 ��*�� � 20,1 � *� 19,7 �� *��� �� ��� � �� 3,5 -������������ ��� 12,4 .�� ��� 1,0 /��������% ��� –0,2 0 ������ 20,4 �� ��"� 11,3 ������"� 31,7 %�� 115 F��0 �0 g�� ������� ������,����� ��>��! ������ ����,� ������ ����� �����O�� X���������� ��� �� ��Y= � ) ����, �����O��� �,������ �������� �� ����*��,���� @ � ) ����, �����O��� ������� �,�� �� � ��� ���� 345��#� O Si O O O R → Z 68h � 0 /�������� i Z O Si O O O R O R → /�������� i Z N C H 3 C H 3 C H 3 O ���>��� 68h � � �� \ �� � � � j �� �� �� �� #� � #� �� �� �� �� I� �� �$ ���>��� 68h � � �� \ �� � � � j �� I� �� �� �� �� #� � #� #� �� �� �� �� %$ �� ��������� ���� ������� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �������� + � �����,� � � ��������P � �,�����P ��� �������� ������ "�� �, �*�!��$0 [ ������,�!� ����� ��+����� ��� ����� � ���,� ������ � ���� !� ��� ����� ��,����*�� � � �%��*������� �������� "kB � hB$ � � ���� ���,���,��� ����� ! "B]$= kB � ]ZB � h⇔ kB � hBZB]0 "�$ Q��P>��� � ��� ���� � ���,����! "]i$ ������ ��P � � ���� ���,���,��� ����� �� � �%��*������ �� %�� ���,������ "B] � i$= B]Z]i⇔ B] � i0 "�$ /%��*������ � ����+�� %�� ���,������ � ��� ���� �� � � ���+���� ��, ���� �������� ��� 0 ������� ��� ��� ���� �� ��������P 68h � Z�B] � iZBZl68] I i�Z�B � h0 "�$ 1���� ���� ��2�� ���,����2� � + � �%��*���� ��� � ��� ���� �������� �����%� ��� ��� ���*�� O�� � �����+���P� ���� �%��*��� ,���� ��� ����� ���� ������ ��� ���� �� �� ��������P "�$0 [ ���P �+���, � ���� ��� ���� �� �����%� ��� ���P%�� *�O�� � ������,� � ��� ��� ������+����� ��� ��� � P>�� ��������0 -� *��+��� � ��>��! ������ ����,� ������ � ��� �� �!� ����� � �Z��%��� � ����� �����O�� X��� �������� ��� �� ��Y �� ,��� ������� ���� �� "� �%� ��%� ��� � ��� ���� 345��#� ,� �����O�� � %�* �%� ��%� ��$ ��2��� �� �����P �� ����� ��,� � ������ �������� � �,����� �������� � ��� �� �!� ����� �� ������ ���� ��� ���V�,V�� �� �� ����+����P �����O�P0 G� ������������� �,����� �������� ���*!��� %�� V�� ��*%��� ��>��! ������� ����� �� "� #��� ,� ���� ��$ � ��� �� �!� ����� � �Z��%��� � � ������ "������� �$0 -��,V�� ��P>� �����O�� �%��%� �� ���� �� � ��� ���� 345��#� �� � ���� ������ ���� �� ��*������ ���*� ��*%��� ��>�� �! ����,� � ��� �� �!� ����� � ##�� ,� �#�� �� "���0 �� �$ ��� �� 2� ������ � �������� 0 G�%�P,���� �� ������ ������ ���� �� "%�* �%� ��%� �� � ��� ���� 345��#�$ �!���� ������ ���� � ��� ����,� ������ ��� �!�������� �����O�� X���������� ��� �� ��Y �� � � � �� ��V��� �����P� ��, ���2,����� ����+� �� � �+���� �������� � �%� ��� � ��� �� ��0 ��� + � ������� ����� � ��� ,�� ����,� ������ � ������ � ��� + � � ��� ��� ����� ���� ��,��2� � ��,���,0 F�*��V���� ������ ����� ���� ��� �����,���� �!���� ������ ����� �����O�� �������2,�� � �%��*������� ����� ��,!� �� ��!� �������P � �������� �� �� ���!�� ����� P ��� ��� ,�����,� ������ �������� ��������P ����O�� �68Z�B � hZh � l�68h � Z�B � 0 "I$ � � ������ #0 /%��*�P>��� ����� ���*������+������ ���� ���� ,�����,� ������ ��������!� *��� *���� ��� ,��2� � ����� ��� ��� ������,� � ��� ��,���,0 �0 Q���� *������ %�*��,�!� >���+�!� ��� ��� ��� ������+����� ��>�� � " ��� 345�#��$ � ����� ��,�!� ������+����� ��� ����� � ���,� ������ " ��� 345��#�$ ��*��� � ������ P �,��� ����� ����!� *��� *���� ����� ���*������+������ ���� ���� � ����� � �� ��*��+�!� ������*� �*����,��� � �� ��� ����� � ���������0 �0 c,������ �������� ������,�!�� ������+����� �� ��� ������ � ���,� ������ ���,��+ � �� ���� 0 �0 �����O� ��2� �����,� � ��� ����� ��� ��� ���� ��� � �� ��%�� ,������ �� ��� �%��%� �� ���� � �� ���� �� ����, ����!���� �� � ��,�0 �0 �����+����� �,������ ��������� �����*����� ��� �!�������� �����O�� X���������� ��� �� ��Y� �� ��*��� � ������ P �,��� ������� �* ��� �� � �!� ����0 /� � �� ��������!� *��� *����� � ���� �� �!� ����� �����, � ���������*��,����� ��*� %���� ��>��! ������ ����,� ������ � �%��*�P>��� � �� ����! !� �%��� � ������ 0 Q(-/mnf/[eGGop Q(�/\GQ1Q #0 ����� q0 /����! ��������� (&Q(0) W0= F�,�� � �� * � #d?�0 �0 W��� c0 W������ ������ 0 \0 �0) W0= W��� #dd�0 �0 -��*����� �������� � ����*��,� �� (&Q( U -�, ��,0 G0 e��������� A0 &�����0) W0= W��� #d?�0 ���� �!�"#" � � � � ��! � " # " �������� �� �� ��������� � ���������������������� ������������ �! "���������#$ %�&�'(() �*����%� &������ ��+ ������ ��������� ��� ��� � ���������� �������� ������������������ �� �� � ��� ������� ��� ������ ����� ����������� ����� ������ � ���� �������� �������������������������������� ����� ���������� !�"���������� ��� ��� ��������#��������� ������� ��������������$���� ��������� ������� ���%������������ ���������������� ������ ����� ����� �������������� ������ ��%���������� �����������%��� ���������������� ��������� ���� �����! &�������� ������������'���������� ��� �����( �����)���������(����� ������� ������������� ��*!�+ ������,���' �(� ���� ������� ����� ���� ��( �����)�������� ���*! -��' ��� ���'������������!
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70699
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 2225-5818
language Russian
last_indexed 2025-11-26T12:42:55Z
publishDate 2003
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling Иванчиков, А.Э.
Кисель, А.М.
Медведева, А.Б.
Плебанович, В.И.
Пономарь, В.Н.
Шикуло, В.Е.
2014-11-11T06:45:54Z
2014-11-11T06:45:54Z
2003
Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением / А.Э. Иванчиков, А.М. Кисель, А.Б. Медведева, В.И. Плебанович, В.Н. Пономарь, В.Е. Шикуло // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 5. — С. 46-60. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70699
537.311
Рассмотрено формирование малоразмерных контактных окон методом плазмохимического травления и основные факторы образования полимерных остатков после травления. Изучен состав полимерных остатков и механизм их удаления химическими методами с использованием растворов PRX. Проведена косвенная оценка (по разбросу толщины диоксида кремния) термического метода удаления полимерных остатков, реализованного на операции "оплавление контактов".
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Технология производства
Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением
Article
published earlier
spellingShingle Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением
Иванчиков, А.Э.
Кисель, А.М.
Медведева, А.Б.
Плебанович, В.И.
Пономарь, В.Н.
Шикуло, В.Е.
Технология производства
title Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением
title_full Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением
title_fullStr Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением
title_full_unstemmed Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением
title_short Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением
title_sort методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением
topic Технология производства
topic_facet Технология производства
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70699
work_keys_str_mv AT ivančikovaé metodyudaleniâpolimernyhzagrâzneniivyzvannyhplazmohimičeskimtravleniem
AT kiselʹam metodyudaleniâpolimernyhzagrâzneniivyzvannyhplazmohimičeskimtravleniem
AT medvedevaab metodyudaleniâpolimernyhzagrâzneniivyzvannyhplazmohimičeskimtravleniem
AT plebanovičvi metodyudaleniâpolimernyhzagrâzneniivyzvannyhplazmohimičeskimtravleniem
AT ponomarʹvn metodyudaleniâpolimernyhzagrâzneniivyzvannyhplazmohimičeskimtravleniem
AT šikulove metodyudaleniâpolimernyhzagrâzneniivyzvannyhplazmohimičeskimtravleniem