Зображення обкладинки

Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением

Рассмотрено формирование малоразмерных контактных окон методом плазмохимического травления и основные факторы образования полимерных остатков после травления. Изучен состав полимерных остатков и механизм их удаления химическими методами с использованием растворов PRX. Проведена косвенная оценка (по...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в:	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Дата:	2003
ISSN:	2225-5818
Автори:	Иванчиков, А.Э., Кисель, А.М., Медведева, А.Б., Плебанович, В.И., Пономарь, В.Н., Шикуло, В.Е.
Формат:	Стаття
Мова:	Російська
Опубліковано:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2003
Теми:	Технология производства
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70699
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением / А.Э. Иванчиков, А.М. Кисель, А.Б. Медведева, В.И. Плебанович, В.Н. Пономарь, В.Е. Шикуло // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 5. — С. 46-60. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением
за авторством: Ivanchikov, A. E., та інші
Опубліковано: (2003)

Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния
за авторством: Иванчиков, А.Э., та інші
Опубліковано: (2008)

Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок
за авторством: Иванчиков, А.Э., та інші
Опубліковано: (2009)

Особенности моделирования процессов удаления органических загрязнений из сточных вод на установках малай призводительности
за авторством: Олейник, А.Я., та інші
Опубліковано: (2001)

Технологические методы повышения надежности термоэлектрических модулей
за авторством: Прошкин, Н.Н.
Опубліковано: (2000)

Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния
за авторством: Ivanchykou, A. E., та інші
Опубліковано: (2008)

Моделирование крупномасштабных движений галактик, вызванных одиночным аттрактором
за авторством: Тугай, А.В., та інші
Опубліковано: (2003)

Деструкция полимерных связующих в поле адсорбционного взаимодействия с поверхностью наполнителя
за авторством: Пащенко, Е.А., та інші
Опубліковано: (2013)

Поиск радиовспышек, вызванных столкновениями метеороидов с Луной
за авторством: Вольвач, А.Е., та інші
Опубліковано: (2009)

Определение групп рисков при заболеваниях, вызванных COVID-19
за авторством: Вагис, А.А., та інші
Опубліковано: (2020)

Особенности контактной деструкции полимерных инструментальных материалов, содержащих композиционный наполнитель на основе монтмориллонита
за авторством: Черненко, А.Н., та інші
Опубліковано: (2009)

Математическое моделирование переноса загрязнений в водотоках
за авторством: Каленчук-Порханова, А.А.
Опубліковано: (2015)

Способы защиты атмосферного воздуха от техногенных загрязнений
за авторством: Шушляков, А.В., та інші
Опубліковано: (2010)

Отражение эмоциональной значимости визуальных стимулов в характеристиках вызванных ЭЭГ-потенциалов
за авторством: Коваленко, А.А., та інші
Опубліковано: (2010)

Биодеструкция нефтяных загрязнений на акватории морских месторождений
за авторством: Салманов, М.А., та інші
Опубліковано: (2014)

Моделирование переноса загрязнений в атмосфере с использованием параллельных вычислений
за авторством: Гладкий, А.В., та інші
Опубліковано: (2014)

Влияние радиационной обработки на параметры интегральных преобразователей температуры
за авторством: Мокрицкий, В.А., та інші
Опубліковано: (2001)

Повышение достоверности отбраковки БИС методом понижения питающего напряжения
за авторством: Белоус, А.И., та інші
Опубліковано: (2001)

Информационно-измерительный комплекс для оптоемкостной спектроскопии полупроводников
за авторством: Васильев, В.А.
Опубліковано: (2002)

Тепловые режимы формирования омических контактов к арсениду галлия
за авторством: Иващук, А.В.
Опубліковано: (2000)

Многокристальные модули на анодированной алюминиевой подложке
за авторством: Сокол, В.А., та інші
Опубліковано: (2002)

Методика автоматизированного проектирования технологических процессов
за авторством: Невлюдов, И.Ш., та інші
Опубліковано: (2002)

Патоморфология экспериментальных легочных повреждений, вызванных действием алкоголя и эндотоксина Escherichia coli
за авторством: Бабанин, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)

Устройство для очистки и легирования поверхности полупроводника
за авторством: Иващук, А.В., та інші
Опубліковано: (2000)

Новое в системе мониторинга атмосферных загрязнений города Москвы
за авторством: Воронич, С.С., та інші
Опубліковано: (2009)

Диспергирование стекла при шлифованиии полировании. механизм его удаления
за авторством: Ткач, В.Н., та інші
Опубліковано: (2019)

Эмоциональная значимость стимула и черты личности: отражение в паттерне вызванных ЭЭГ-потенциалов
за авторством: Коваленко, А.А., та інші
Опубліковано: (2009)

Связь характеристик вызванных ЭЭГ-потенциалов с уровнем нейротизма у взрослых здоровых испытуемых
за авторством: Коваленко, А.А., та інші
Опубліковано: (2010)

Получение электрокоммутационных слоев керамических теплопереходов методом детонационного напыления
за авторством: Ащеулов, А.А., та інші
Опубліковано: (2004)

Распознавание загрязнений морских акваторий с использованием искусственных дешифрованных признаков
за авторством: Красовский, Г.Я., та інші
Опубліковано: (2008)

Распознавание типов загрязнений водного бассейна с применением корреляционного анализа
за авторством: Роговая, О.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Резистивные элементы, полученные на анодном оксиде алюминия имплантацией ионов Ti и Мо
за авторством: Литвинович, Г.В., та інші
Опубліковано: (2000)

Проблемы ресурсосбережения и экологической безопасности в гальванотехнологии
за авторством: Скубилин, М.Д., та інші
Опубліковано: (2004)

Биоадсорбент Hura crepitans для удаления фенола из раствора
за авторством: Адевуи, А., та інші
Опубліковано: (2015)

Измеритель параметров роторных машин
за авторством: Дмитриев, Э.А., та інші
Опубліковано: (2000)

Итоги и перспективы развития технологии микроволнового нагрева диэлектрических материалов
за авторством: Демьянчук, Б.А., та інші
Опубліковано: (2003)

Установка толстослойного анодирования алюминия
за авторством: Сокол, В.А., та інші
Опубліковано: (2003)

Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме
за авторством: Головяшкин, А.Н., та інші
Опубліковано: (2001)

Расчет лазернолокационной аппаратуры дистанционного зондирования загрязнений водной поверхности
за авторством: Агаев, Ф.Г., та інші
Опубліковано: (2000)

Применение метода зрительных и слуховых вызванных потенциалов мозга в детской неврологии
за авторством: Колкер, И.А.
Опубліковано: (2003)