Исследование свойств полупроводниковых материалов для детекторов ионизирующих излучений
Методом компьютерного моделирования исследовались дрейфовая подвижность электронов проводимости (µ) и удельное сопротивление (ρ) материала детекторов CdZnTe в зависимости от примесного состава и мольной доли соединения СdTe (CСdTe) при температуре Т=300 К. Установлено, что увеличение запрещенной зон...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2003 |
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2003
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70708 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Исследование свойств полупроводниковых материалов для детекторов ионизирующих излучений / А.И. Кондрик, Г.П. Ковтун // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 6. — С. 3-6. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859519552198541312 |
|---|---|
| author | Кондрик, А.И. Ковтун, Г.П. |
| author_facet | Кондрик, А.И. Ковтун, Г.П. |
| citation_txt | Исследование свойств полупроводниковых материалов для детекторов ионизирующих излучений / А.И. Кондрик, Г.П. Ковтун // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 6. — С. 3-6. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Методом компьютерного моделирования исследовались дрейфовая подвижность электронов проводимости (µ) и удельное сопротивление (ρ) материала детекторов CdZnTe в зависимости от примесного состава и мольной доли соединения СdTe (CСdTe) при температуре Т=300 К. Установлено, что увеличение запрещенной зоны Eg0 (при Т=0) от 1,6 эВ (CСdTe=1) до 1,8 эВ (CСdTe"0,8) приводит к увеличению ρ примерно на два порядка. При сохранении исходного состава фоновых примесей дальнейшее увеличение Eg0 вплоть до 2,1 эВ (соответствующее CСdTe"0,5) существенно не влияет на величину Eg0.
|
| first_indexed | 2025-11-25T20:53:13Z |
| format | Article |
| fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2003, ¹ 6
3
ÌÀÒÅÐÈÀËÛ ÄËß ÌÈÊÐÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÈ
Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ
29.05 2003 ã.
Îïïîíåíò ä. ô.-ì. í. Ä. Â. ÊÎÐÁÓÒßÊ
(ÈÔÏ èì. Â. Å. Ëàøêàð¸âà, ã. Êèåâ)
À. È. ÊÎÍÄÐÈÊ, ä. ô.-ì. í. Ã. Ï. ÊÎÂÒÓÍ
Óêðàèíà, ÍÍÖ «Õàðüêîâñêèé ôèçèêî-òåõíè÷åñêèé èíñòèòóò»
E-mail: kondrik@kipt.kharkov.ua
ÈÑÑËÅÄÎÂÀÍÈÅ ÑÂÎÉÑÒÂ
ÏÎËÓÏÐÎÂÎÄÍÈÊÎÂÛÕ ÌÀÒÅÐÈÀËÎÂ
ÄËß ÄÅÒÅÊÒÎÐΠÈÎÍÈÇÈÐÓÞÙÈÕ ÈÇËÓ×ÅÍÈÉ
Ðåçóëüòàòû èññëåäîâàíèÿ ìîãóò ñëó-
æèòü îðèåíòèðîì äëÿ ðàçðàáîò÷èêîâ
íîâûõ ìàòåðèàëîâ ñåìåéñòâà CdZnTe äëÿ
äåòåêòîðîâ èîíèçèðóþùèõ èçëó÷åíèé.
Ïîëóïðîâîäíèêîâûå ñîåäèíåíèÿ ñ ïîâûøåííîé
øèðèíîé çàïðåùåííîé çîíû, òàêèå êàê CdTe è åãî
ñîåäèíåíèÿ, ìîãóò ðàññìàòðèâàòüñÿ â êà÷åñòâå ïåðñ-
ïåêòèâíûõ ìàòåðèàëîâ äëÿ äåòåêòîðîâ ðàäèàöèîííî-
ãî èçëó÷åíèÿ [1].  òàêèõ äåòåêòîðàõ äëÿ ïîëó÷åíèÿ
ñèãíàëà âî âíåøíåé öåïè íîñèòåëè çàðÿäà äîëæíû
áûñòðî äâèãàòüñÿ â ýëåêòðè÷åñêîì ïîëå, à äëÿ ïîëó-
÷åíèÿ ëèíåéíîãî ïî ýíåðãèè ñèãíàëà îíè íå äîëæíû
íåñòè ïîòåðè íà ïóòè ê ýëåêòðîäàì. Ýòî îçíà÷àåò, ÷òî
íåîáõîäèìî îáåñïå÷èòü ìàêñèìàëüíî âîçìîæíûå çíà-
÷åíèÿ ïîäâèæíîñòè µ ýëåêòðîíîâ è äûðîê.
Äëÿ ðåãèñòðàöèè ìàëûõ ïî âåëè÷èíå ñèãíàëîâ íå-
îáõîäèìî èìåòü ìèíèìàëüíûå òîêè óòå÷êè ïðè äîñòà-
òî÷íî âûñîêèõ ïðèëîæåííûõ ê äåòåêòîðàì ïîëÿõ.
Çíà÷èò, äåòåêòîðíûå ìàòåðèàëû äîëæíû îáëàäàòü âû-
ñîêèì óäåëüíûì ñîïðîòèâëåíèåì ρ.
Íóæíûå ñâîéñòâà ìîãóò áûòü ïîëó÷åíû â ñëîæ-
íûõ ñîåäèíåíèÿõ, íàïðèìåð, â òðîéíûõ AxB1�xC. Ïðè
ðàçðàáîòêå íîâûõ ìàòåðèàëîâ âàæíî çíàòü, êàêîå âëè-
ÿíèå ìîãóò îêàçûâàòü íà âåëè÷èíû µ è ρ ñâîéñòâà
ìàòðèöû, ñòðóêòóðíûå äåôåêòû è ïðèìåñíûé ñîñòàâ.
Íàèáîëåå áûñòðûì è äåøåâûì ñïîñîáîì èññëåäîâà-
íèÿ òàêîãî âëèÿíèÿ ÿâëÿåòñÿ ìåòîä êîìïüþòåðíîãî
ìîäåëèðîâàíèÿ, îñíîâàííûé íà àïðîáèðîâàííûõ ôè-
çè÷åñêèõ ìîäåëÿõ.
Öåëüþ äàííîé ðàáîòû ÿâëÿëîñü ìîäåëèðîâàíèå
äðåéôîâîé ïîäâèæíîñòè ýëåêòðîíîâ è óäåëüíîãî ñî-
ïðîòèâëåíèÿ ìàòåðèàëîâ òèïà CdxZn1�xTe â çàâèñè-
ìîñòè îò âåëè÷èíû x, à òàêæå ïðèìåñíîãî è äåôåêò-
íîãî ñîñòàâà, ïðè êîìíàòíîé òåìïåðàòóðå.
Äëÿ òî÷íîãî ðàñ÷åòà ïîäâèæíîñòè â ñëîæíûõ
ñîåäèíåíèÿõ ìîæíî ÷èñëåííî ðåøàòü êèíåòè-
÷åñêîå óðàâíåíèå Áîëüöìàíà ñ ó÷åòîì ðåàëüíîé çîí-
íîé ñòðóêòóðû (ñì., íàïðèìåð, [2]). Îäíàêî òàêîé ïîä-
õîä â ñëó÷àå øèðîêîçîííûõ ñîåäèíåíèé ÿâëÿåòñÿ íå-
îïðàâäàííî óñëîæíåííûì. Ïîýòîìó âû÷èñëåíèå ïîä-
âèæíîñòè ïðîâîäèëîñü â ðàìêàõ ïðèáëèæåíèÿ âðå-
ìåíè ðåëàêñàöèè ñ ó÷åòîì íåïàðàáîëè÷íîñòè è ïî-
ïðàâîê íà èçìåíåíèÿ ðÿäà ïàðàìåòðîâ ìàòðèöû ïðè
èçìåíåíèè x, à èìåííî: ïàðàìåòðà ðåøåòêè, ýôôåê-
òèâíîé ìàññû ýëåêòðîíîâ ïðîâîäèìîñòè, øèðèíû
çàïðåùåííîé çîíû, äèýëåêòðè÷åñêîé ïðîíèöàåìîñòè,
ïëîòíîñòè ìàòåðèàëà, à òàêæå âåëè÷èí, ó÷èòûâàåìûõ
ïðè ðàññåÿíèè íà àêóñòè÷åñêèõ è îïòè÷åñêèõ êîëåáà-
íèÿõ ðåøåòêè. Ìîäåëü, ó÷èòûâàþùàÿ èçìåíåíèÿ ýòèõ
ïàðàìåòðîâ ïðè âû÷èñëåíèè ïîäâèæíîñòè, âïåðâûå
áûëà ðàçðàáîòàíà è ïðèìåíåíà àâòîðàìè ðàáîòû [3]
äëÿ òðîéíûõ ñîåäèíåíèé, ñîñòîÿùèõ èç ñîåäèíåíèé
òèïà AIIIBV. Ïîëóïðîâîäíèêè CdTe è ZnTe èìåþò òà-
êóþ æå êðèñòàëëè÷åñêóþ è àíàëîãè÷íóþ çîííóþ
ñòðóêòóðó. Êðîìå òîãî, ïîäâèæíîñòü â ýòèõ ìàòåðèà-
ëàõ îïðåäåëÿåòñÿ, â îñíîâíîì, òåìè æå ìåõàíèçìàìè
ðàññåÿíèÿ. Òàêèì îáðàçîì, áûëà íàïèñàíà êîìïüþ-
òåðíàÿ ïðîãðàììà äëÿ âû÷èñëåíèÿ µ è ρ â ïðèáëèæå-
íèè âðåìåíè ðåëàêñàöèè, â êîòîðîé àâòîìàòè÷åñêè
ââîäèëèñü ïîïðàâêè íà èçìåíåíèå âûøåóêàçàííûõ
ïàðàìåòðîâ â ñîîòâåòñòâèè ñ ôèçè÷åñêîé ìîäåëüþ,
ïîäðîáíî îïèñàííîé â [3].
Ïðèìåíåíèå ìîäåëè ðàáîòû [3] äëÿ ñîåäèíåíèÿ
CdxZn1�xTe äàëî óäîâëåòâîðèòåëüíîå ñîâïàäåíèå âå-
ëè÷èí ïîäâèæíîñòè ñ èçâåñòíûìè íàì ýêñïåðèìåí-
òàëüíûìè äàííûìè. Ïðè ðàñ÷åòå ïîäâèæíîñòè ó÷è-
òûâàëîñü ðàññåÿíèå íà àêóñòè÷åñêèõ è îïòè÷åñêèõ
ôîíîíàõ, èîíèçèðîâàííûõ ãëóáîêèõ è ìåëêèõ öåíò-
ðàõ, à òàêæå ðàññåÿíèå â ñïëàâå. ×àñòîòà ðàññåÿíèÿ
íà èîíèçèðîâàííûõ ïðèìåñÿõ ðàññ÷èòûâàëàñü â ñî-
îòâåòñòâèè ñ èçâåñòíûì ïðèáëèæåíèåì Áðóêñà�Õåð-
ðèíãà [4], â êîòîðîå áûëî âíåñåíî íåêîòîðîå äîïîë-
íåíèå. Êðîìå ýêðàíèðîâàíèÿ ñâîáîäíûìè íîñèòåëÿ-
ìè çàðÿäà, áûëî ââåäåíî äîïîëíèòåëüíîå ýêðàíèðî-
âàíèå èîíèçèðîâàííûìè ãëóáîêèìè öåíòðàìè. Òàêàÿ
ìîäåëü áûëà ïðåäâàðèòåëüíî àïðîáèðîâàíà íà ðÿäå
ýòàëîííûõ îáðàçöîâ ñ èçâåñòíûì ñîñòàâîì è ïîäâèæ-
íîñòüþ, è âî âñåõ ñëó÷àÿõ íàáëþäàëîñü ëó÷øåå ñî-
âïàäåíèå ñ ýêñïåðèìåíòîì, ïî ñðàâíåíèþ ñ ìîäåëüþ
Áðóêñà�Õåððèíãà.
 êà÷åñòâå èñõîäíîãî ìàòåðèàëà áûë ïðèíÿò ñîñòàâ
ôîíîâûõ ïðèìåñåé â CdTe è CdZnTe, ïîëó÷àåìûé â
ñîâðåìåííûõ òåõíîëîãèÿõ âûðàùèâàíèÿ [5]. Êîíöåíò-
ðàöèÿ äîíîðíîãî öåíòðà õëîðà ND(Cl)=5·1014cì�3; êîí-
öåíòðàöèÿ àêöåïòîðíîãî äåôåêòà çàìåùåíèÿ êàäìèÿ ñå-
ðåáðîì NA(AgCd)=0,5·1016cì�3; êîíöåíòðàöèÿ àêöåï-
òîðíîãî äåôåêòà çàìåùåíèÿ òåëëóðà ìûøüÿêîì
NA(AsTe)=0,5·1016cì�3; êîíöåíòðàöèÿ àêöåïòîðíîãî äåôåê-
òà çàìåùåíèÿ òåëëóðà ôîñôîðîì NA(PTe)=0,5·1016cì�3;
êîíöåíòðàöèÿ âàêàíñèé êàäìèÿ NDA(VCd)=1·1015ñì�3,
ÿâëÿþùèõñÿ ãëóáîêèìè àêöåïòîðàìè; êîíöåíòðàöèÿ
âàêàíñèé òåëëóðà NDD(VTe)=3,5·1015cì�3, ÿâëÿþùèõ-
ñÿ ãëóáîêèìè äîíîðàìè. Êîíöåíòðàöèÿ ãëóáîêîãî
4
ÌÀÒÅÐÈÀËÛ ÄËß ÌÈÊÐÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÈ
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2003, ¹ 6
äîíîðà X, îáåñïå÷èâàþùåãî ïîëóèçîëèðóþùèå ñâîé-
ñòâà [5, 6], áûëà ïðèíÿòà ðàâíîé 3·1016 ñì�3.
Ðàññìîòðåíèå òàêîãî ïðèìåñíîãî ñîñòàâà ñ ôèê-
ñèðîâàííûì ïîëîæåíèåì ïðèìåñíûõ óðîâíåé, â ïðèí-
öèïå, ÿâëÿåòñÿ êîððåêòíûì äëÿ CdxZn1�xTe, ïî êðàé-
íåé ìåðå, â äèàïàçîíå èçìåíåíèÿ 0,5<x<1. Ïðè÷èíà
ýòîãî çàêëþ÷àåòñÿ â òîì, ÷òî ñîåäèíåíèÿ CdTe è ZnTe
èìåþò ïðèìåðíî îäèíàêîâîå ïîëîæåíèå âàëåíòíîé
çîíû è, ñëåäîâàòåëüíî, ñîãëàñíî ïðàâèëó Õåéíðèõà�
Ëàíãåðà [7], äîëæíû èìåòü òå æå çíà÷åíèÿ ýíåðãèé
ïðèìåñíûõ óðîâíåé è äëÿ ñîåäèíåíèé CdZnTe.
Íà ðèñ. 1 ïîêàçàíà ðàññ÷èòàííàÿ çàâèñèìîñòü
äðåéôîâîé ïîäâèæíîñòè ýëåêòðîíîâ ïðîâî-
äèìîñòè â ñîåäèíåíèè CdxZn1�xTe â çàâèñèìîñòè îò
ìîëüíîé äîëè CdTe ïðè êîìíàòíîé òåìïåðàòóðå. Âåð-
õíÿÿ îñü îòîáðàæàåò øèðèíó çàïðåùåííîé çîíû Eg0,
êîòîðàÿ ñîîòâåòñòâóåò óêàçàííûì çíà÷åíèÿì x ïðè T=0
K. Íàáëþäàåìûé ìèíèìóì ìîæíî îáúÿñíèòü äåéñòâè-
åì âîçìóùåíèÿ ∆V, âíîñèìîãî ñîåäèíåíèåì CdTe â
ïåðèîäè÷åñêèé ïîòåíöèàë ðåøåòêè ZnTe. Âîçìóùå-
íèå ∆V èìååò âèä ïîòåíöèàëüíîãî áàðüåðà ñ âåëè÷è-
íîé, ðàâíîé ðàçíîñòè ýëåêòðîííûõ âîñïðèèì÷èâîñ-
òåé ñîåäèíåíèé CdTe è ZnTe. Ïðè îòíîñèòåëüíî ìà-
ëîé äîëè CdTe âîçìóùåíèå ∆V âíà÷àëå âûçûâàåò
óìåíüøåíèå ïîäâèæíîñòè â CdZnTe ïî ñðàâíåíèþ ñ
ZnTe. Çàòåì µ óâåëè÷èâàåòñÿ, êîãäà íà ïðîöåññû ðàñ-
ñåÿíèÿ íà÷èíàþò âëèÿòü ïàðàìåòðû CdTe, èìåþùåãî
áîëåå âûñîêóþ ïîäâèæíîñòü, ÷åì ZnTe.
Èç ðèñ. 1 âèäíî, ÷òî, ñîãëàñíî ïðèíÿòîé ìîäåëè, äåé-
ñòâèå ïîòåíöèàëüíîãî âîçìóùåíèÿ â ñïëàâå äîëæíî ïðè-
âîäèòü ê çàìåòíîìó óìåíüøåíèþ ïîäâèæíîñòè ýëåêòðî-
íîâ ïðè èçìåíåíèè ìîëüíîãî ñîäåðæàíèÿ y=1�x ñîåäè-
íåíèÿ ZnTe â ïðåäåëàõ 0<y<0,2. Òàêîå óìåíüøåíèå
ïîäâèæíîñòè â ñîåäèíåíèè Cd1�yZnyTe íàêëàäûâàåò
îãðàíè÷åíèå íà âåëè÷èíó ìîëüíîé äîëè ZnTe â òðîé-
íîì ñîåäèíåíèè. Èç ðèñóíêà âèäíî òàêæå, ÷òî ñîäåð-
æàíèå ZnTe ïðè y=1�x=0,2 ñîîòâåòñòâóåò øèðèíå çà-
ïðåùåííîé çîíû Eg0=1,8 ýÂ. Ñ äðóãîé ñòîðîíû, ðà-
íåå áûëî ïîêàçàíî [8], ÷òî â ñîåäèíåíèè CdZnTe ñ
øèðèíîé çàïðåùåííîé çîíû Eg0=1,8 ýÂ óäåëüíîå ñî-
ïðîòèâëåíèå ïðè êîìíàòíîé òåìïåðàòóðå íà äâà ïî-
ðÿäêà áîëüøå, ÷åì â CdTe. Òàêèì îáðàçîì, óìåíü-
øåíèå µ â êàêîé òî ìåðå êîìïåíñèðóåòñÿ çíà÷èòåëü-
íûì óâåëè÷åíèåì ρ.
 ñâÿçè ñ ýòèì ïðåäñòàâëÿåò èíòåðåñ èññëåäîâà-
íèå çàâèñèìîñòè óäåëüíîãî ñîïðîòèâëåíèÿ îò âåëè-
÷èíû x â òðîéíûõ ñîåäèíåíèÿõ òèïà CdxZn1�xTe. Äëÿ
òàêîãî êîëè÷åñòâåííîãî èññëåäîâàíèÿ áûë âûáðàí îá-
ðàçåö ñ ëåãèðóþùèìè äîáàâêàìè Cl è Cr, îáåñïå÷èâà-
þùèìè ïîëóèçîëèðóþùèå ñâîéñòâà [6, 8], ïðè ýòîì
êîíöåíòðàöèÿ õëîðà áûëà ïðèíÿòà ðàâíîé 3·1016 ñì�3.
Íà ðèñ. 2 ïîêàçàíû ðåçóëüòàòû êîìïüþòåðíîãî ìîäå-
ëèðîâàíèÿ ρ â çàâèñèìîñòè îò êîíöåíòðàöèè ãëóáîêî-
ãî àêöåïòîðà õðîìà NCr ïðè ðàçëè÷íûõ çíà÷åíèÿõ x.
Ìîäåëèðîâàíèå ïðîâîäèëîñü äëÿ òåìïåðàòóðû 300 K.
Èç ðèñ. 2 ìîæíî âèäåòü, ÷òî çàìåòíîå óâåëè÷åíèå
óäåëüíîãî ñîïðîòèâëåíèÿ äî çíà÷åíèÿ 1012 Îì·ñì ïðî-
èñõîäèò òîëüêî â äèàïàçîíå óìåíüøåíèÿ âåëè÷èíû x
îò 1 äî 0,8. Âåëè÷èíå x=0,8 ñîîòâåòñòâóåò Eg0=1,8 ýÂ
(ñì. ðèñ. 1). Äàëüíåéøåå óìåíüøåíèå ìîëüíîãî ñî-
äåðæàíèÿ CdTe âïëîòü äî x=0,5, êîòîðîìó ñîîòâåò-
ñòâóåò óâåëè÷åíèå Eg0 äî 2,1 ýÂ, ïðàêòè÷åñêè íå äàåò
çàìåòíîãî èçìåíåíèÿ ρ.
Èç ðèñ. 1 ìîæíî âèäåòü, ÷òî çíà÷åíèÿ Eg0>2,1ýÂ
ñîîòâåòñòâóþò çíà÷åíèÿì x<0,5, ò. å. îáðàçöó CdZnTe
c ïðåîáëàäàþùèì ñîäåðæàíèåì ñîåäèíåíèÿ ZnTe,
êîòîðûé õàðàêòåðèçóåòñÿ íèçêîé ïîäâèæíîñòüþ, ÷òî
íåèçáåæíî äîëæíî îòðèöàòåëüíî ñêàçàòüñÿ íà äåòåê-
òîðíûõ ñâîéñòâàõ ìàòåðèàëà. Ïðè êîíöåíòðàöèè õðî-
ìà NCr=1,41·1016 ñì�3 è 0,5<x<0,8 èìååòñÿ î÷åíü óç-
êèé ïèê äëÿ ρ (íå ïîêàçàííûé íà ðèñóíêå) ñ ìàêñè-
ìóìîì ~1013 Îì·ñì. Îäíàêî íà ïðàêòèêå íåâîçìîæ-
íî ïîëó÷èòü îáðàçåö, îäíîðîäíûé ïî îáúåìó, èìåííî
ñ òàêèì ñî÷åòàíèåì êîìïåíñèðóþùèõ äîáàâîê, êîòî-
ðûå âåçäå â òî÷íîñòè ñîîòâåòñòâîâàëè áû ýòîìó ìàê-
ñèìóìó. Â ñâÿçè ñ âûøåèçëîæåííûì ìîæíî ãîâî-
ðèòü î ñóùåñòâîâàíèè îãðàíè÷åíèÿ íà âåëè÷èíó ρ,
êîòîðàÿ íà ïðàêòèêå äëÿ äåòåêòîðíûõ ìàòåðèàëîâ
CdZnTe íå ìîæåò ïðåâçîéòè âåëè÷èíû 1012 Îì·ñì.
Ìîæíî òàêæå ãîâîðèòü î çàâåäîìîé íåöåëåñîîáðàç-
íîñòè ðàçðàáîòêè ìàòåðèàëîâ ñ ìîëüíûì ñîäåðæàíè-
åì CdTe, âûõîäÿùèì çà ïðåäåëû 0,8<x<0,9.
Òàêèì îáðàçîì, ìàòåðèàë Cd0,8Zn0,2Te ÿâëÿåòñÿ
íàèáîëåå îïòèìàëüíûì ñ òî÷êè çðåíèÿ åãî äåòåêòîð-
íûõ õàðàêòåðèñòèê. Ïî-âèäèìîìó, çàñëóæèâàåò âíè-
ìàíèÿ òàêæå è ìàòåðèàë Cd0,9Zn00,1Te, èìåþùèé áî-
lg(ρ)
12
10
8
6
4
2
0 1·1016 2·1016 3·1016 4·1016 NCr, ñì�3
T=300 K
x=10,9
0,8
0,7
0,6
x=0,5
Ðèñ. 2. Çàâèñèìîñòè lg (ρ) (Oì·ñì) îò NCr ïðè ðàçëè÷íûõ
çíà÷åíèÿõ ìîëüíîãî ñîäåðæàíèÿ CdTe (õ)
1200
1000
800
600
400
200
0 0,1 0,2 0,3 0,4 0,5 0,6 0,7 0,8 0,9 x
ZnTe CdTe
Eg0, ýÂ
2,56 2,37 2,18 1,99 1,80 1,60
µ,
ñ
ì
2 /
(Â
·ñ
)
Ðèñ. 1. Çàâèñèìîñòü ïîäâèæíîñòè ýëåêòðîíîâ ïðîâîäè-
ìîñòè â ìàòåðèàëå CdxZn1�xTe îò ìîëüíîé äîëè CdTe
T=300 K
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2003, ¹ 6
5
ÌÀÒÅÐÈÀËÛ ÄËß ÌÈÊÐÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÈ
ëåå âûñîêóþ ïîäâèæíîñòü è âûñîêîå óäåëüíîå ñî-
ïðîòèâëåíèå (~1010�1011 Îì·ñì, ñì. ðèñ. 1 è 2).
Ïðèíÿâ ìàòåðèàë Cd0,8Zn0,2Te â êà÷åñòâå îñíîâ-
íîãî, ìû ïðîâåëè äëÿ íåãî èññëåäîâàíèÿ òðåõ-
ìåðíûõ çàâèñèìîñòåé µ è ρ îò êîíöåíòðàöèè ëåãèðó-
þùèõ ïðèìåñåé Cr è Cl ñ òåì, ÷òîáû ïîïûòàòüñÿ âû-
ÿâèòü âîçìîæíóþ êîððåëÿöèþ ìåæäó ýòèìè ïàðàìåò-
ðàìè. Ëåãèðîâàíèå èìåííî õðîìîì íå ÿâëÿåòñÿ îáÿ-
çàòåëüíûì, ïðîñòî åãî ââåäåíèå â ìîäåëü îçíà÷àåò
ââåäåíèå â ïðèíöèïå ëþáîãî äðóãîãî ãëóáîêîãî àê-
öåïòîðà (óðîâåíü êîòîðîãî ðàñïîëîæåí â ñåðåäèíå
èëè â âåðõíåé ïîëîâèíå çàïðåùåííîé çîíû), óäîáíî-
ãî ñ òî÷êè çðåíèÿ òåõíîëîãèè âûðàùèâàíèÿ. Ëåãèðî-
âàíèå õëîðîì ÿâëÿåòñÿ äîñòàòî÷íî ðàñïðîñòðàíåííûì
ñïîñîáîì äîñòèæåíèÿ ïîëóèçîëèðóþùåãî ñîñòîÿíèÿ
ìàòåðèàëà.
Ðåçóëüòàòû ìîäåëèðîâàíèÿ ïðèâåäåíû íà ðèñ. 3 è 4.
Ïîäîáíûå èññëåäîâàíèÿ ïðîâîäèëèñü ðàíåå äëÿ ìà-
òåðèàëà CdTe [6]. Ïîëó÷åííûå çäåñü ðåçóëüòàòû êà÷å-
ñòâåííî íå îòëè÷àþòñÿ îò ðåçóëüòàòîâ ðàáîòû [6], îò-
ëè÷èå çàêëþ÷àåòñÿ òîëüêî â àáñîëþòíûõ çíà÷åíèÿõ ρ
è µ, ïîýòîìó ìû çäåñü ïðèâîäèì èõ áåç îáñóæäåíèÿ.
1. Îñíîâíûì ìåõàíèçìîì ðàññåÿíèÿ äëÿ ìàòåðè-
àëà Cd0,8Zn0,2Te (ïîìèìî ðàññåÿíèÿ â ñïëàâå, êîòî-
ðîå îòñóòñòâóåò â CdTe) ÿâëÿåòñÿ ðàññåÿíèå íà ïî-
ëÿðíûõ îïòè÷åñêèõ ôîíîíàõ.
2. Ïðè êîìíàòíûõ òåìïåðàòóðàõ ñðåäíÿÿ ÷àñòîòà
ðàññåÿíèÿ íà èîíèçèðîâàííûõ ïðèìåñÿõ â Cd0,8Zn0,2Te
çíà÷èòåëüíî ìåíüøå, ÷åì ñðåäíÿÿ ÷àñòîòà ðàññåÿíèÿ
íà ïîëÿðíûõ îïòè÷åñêèõ ôîíîíàõ (è ðàññåÿíèÿ â ñïëà-
âå), ïîýòîìó ïîäâèæíîñòü ñëàáî çàâèñèò îò ïðèìåñ-
íîãî ñîñòàâà (ïðè óñëîâèè îäíîðîäíîãî ðàñïðåäåëå-
íèÿ èîíèçèðîâàííûõ öåíòðîâ ïî îáúåìó ìàòåðèàëà).
3. Íà èçìåíåíèå âåëè÷èíû ïîäâèæíîñòè îêàçûâà-
þò âëèÿíèå äâà ïðîòèâîïîëîæíî íàïðàâëåííûõ ôàê-
òîðà: ýêðàíèðîâêà ðàññåèâàþùèõ öåíòðîâ (â ñòîðîíó
óâåëè÷åíèÿ) è êîíöåíòðàöèÿ èîíèçèðîâàííûõ ïðèìå-
ñåé (â ñòîðîíó óìåíüøåíèÿ). Îáëàñòè ñ ìàêñèìàëü-
íîé ïîäâèæíîñòüþ, êàê ïðàâèëî, ÿâëÿþòñÿ íèçêîîì-
íûìè, åñëè òîëüêî çäåñü ïî êàêîé-ëèáî ïðè÷èíå íå
ïðîèñõîäèò ðåçêîãî óâåëè÷åíèÿ êîíöåíòðàöèè èîíè-
çèðîâàííûõ ãëóáîêèõ öåíòðîâ.
Èç ðåçóëüòàòîâ 1 è 2 ñëåäóåò, ÷òî äëÿ èñêëþ÷åíèÿ
âëèÿíèÿ ýëåêòðè÷åñêè àêòèâíûõ ôîíîâûõ ïðèìåñåé
ïåðåõîäíûõ ìåòàëëîâ, êîòîðûå ìîãóò íåïðåäíàìåðåí-
íî âíîñèòüñÿ â ìàòðèöó â ïðîöåññå âûðàùèâàíèÿ,
äîñòàòî÷íî êîíöåíòðàöèþ ëåãèðóþùèõ ïðèìåñåé,
îáåñïå÷èâàþùèõ ïîëóèçîëèðóþùèå ñâîéñòâà, ñäå-
ëàòü íà ïîðÿäîê áîëüøåé. Ïðè óñëîâèè îäíîðîäíîãî
ðàñïðåäåëåíèÿ ëåãèðóþùèõ ïðèìåñåé ýòî íå äîëæíî
çàìåòíî ïîâëèÿòü íà ïîäâèæíîñòü.
Èç ðåçóëüòàòà 3 è ðèñ. 3, 4 ñëåäóåò òàêæå, ÷òî ïî-
ëóèçîëèðóþùèå ìàòåðèàëû ñ ìàêñèìàëüíîé ïîäâèæ-
íîñòüþ ïîëó÷àþòñÿ ïðè ìåíüøèõ êîíöåíòðàöèÿõ ëå-
ãèðóþùåé ïðèìåñè õëîðà ïåðåä ïåðåõîäîì ìàòåðèà-
ëà â íèçêîîìíîå ñîñòîÿíèå n-òèïà (îáëàñòü ñëåâà îò
õðåáòà è â íåïîñðåäñòâåííîé áëèçîñòè îò íåãî). Èç
ðèñ. 4 âèäíî, ÷òî ïîäâèæíîñòü óâåëè÷èâàåòñÿ ïðè
óìåíüøåíèè êîíöåíòðàöèè õëîðà. Äëÿ îáåñïå÷åíèÿ
âûñîêîîìíîãî ñîñòîÿíèÿ ìåíüøàÿ êîíöåíòðàöèÿ õëî-
ðà âîçìîæíà ïðè óìåíüøåíèè êîíöåíòðàöèè äåôåê-
òîâ çàìåùåíèÿ, êîòîðûå ÿâëÿþòñÿ ìåëêèìè àêöåïòî-
ðàìè. Ñ äðóãîé ñòîðîíû, õëîð ìîæåò îáðàçîâûâàòü
êîìïëåêñû ñ âàêàíñèÿìè êàäìèÿ, êîòîðûå äàþò â çà-
ïðåùåííîé çîíå ìåëêèå àêöåïòîðíûå óðîâíè è, êàê
ïîêàçûâàþò âû÷èñëåíèÿ, ïîíèæàþò ρ. Òàêèì îáðà-
çîì, áîëüøàÿ êîíöåíòðàöèÿ õëîðà îòðèöàòåëüíî ñêà-
çûâàåòñÿ êàê íà âåëè÷èíå µ, òàê è íà âåëè÷èíå ρ.
Ðåçóëüòàòû ìîäåëèðîâàíèÿ ïîêàçûâàþò òàêæå, ÷òî
äëÿ ìàòåðèàëîâ, ïîëó÷àåìûõ áåç ââåäåíèÿ õëîðà, ìàê-
ñèìàëüíàÿ ïîäâèæíîñòü íàáëþäàåòñÿ ïðè ìàêñèìàëü-
íîé êîíöåíòðàöèè èîíèçèðîâàííûõ ãëóáîêèõ öåíòðîâ,
à òàêàÿ èõ êîíöåíòðàöèÿ âîçìîæíà ïðè êîìïåíñàöèè
ìåëêèõ ôîíîâûõ ïðèìåñåé ãëóáîêèìè äîíîðàìè.
Áûë ïðîâåäåí òàêæå ñðàâíèòåëüíûé àíàëèç âåëè-
÷èíû óäåëüíîãî ñîïðîòèâëåíèÿ, ïîëó÷åííîãî â íà-
ñòîÿùåé ðàáîòå, è â ìîäåëè, ãäå ó÷èòûâàëîñü òîëüêî
èçìåíåíèå øèðèíû çàïðåùåííîé çîíû [8]. Óñòàíîâ-
ëåíî, ÷òî â äèàïàçîíå 0,8<x<1, ïîìèìî î÷åâèäíîãî
âëèÿíèÿ èçìåíåíèÿ âåëè÷èíû Ego, èçìåíåíèå îñòàëü-
íûõ ïàðàìåòðîâ ñóùåñòâåííî íå âëèÿåò íà çíà÷åíèå ρ.
 óêàçàííîì äèàïàçîíå èçìåíåíèÿ x âëèÿíèå íà èç-
ìåíåíèå ïîäâèæíîñòè îêàçûâàåò èçìåíåíèå ñòàòè÷åñ-
êîé è äèíàìè÷åñêîé äèýëåêòðè÷åñêîé ïðîíèöàåìîñ-
òè, ýôôåêòèâíîé ìàññû ýëåêòðîíîâ ïðîâîäèìîñòè, à
lg(ρ)
12
10
8
6
4
2
0
�2
�4
10·1015
30·1015
50·1015
50·1015
30·1015
10·1015
Cr, ñì�3
Cl, ñì �3
Ðèñ. 3. Çàâèñèìîñòü lg (ρ) (Oì·ñì) îò êîíöåíòðàöèé
Cl è Cr
Ðèñ. 4. Çàâèñèìîñòü ïîäâèæíîñòè µ îò òåõ æå çíà÷åíèé
êîíöåíòðàöèé Cl è Cr, ÷òî è íà ðèñ. 3
550
540
530
520
510
500
490
30·1015
50·1015
Cl, ñì �3
50·1015
30·1015
10·1015
Cr, ñì�3
µ, ñì2/(·ñ)
10·1015
6
ÌÀÒÅÐÈÀËÛ ÄËß ÌÈÊÐÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÈ
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2003, ¹ 6
òàêæå ïîÿâëåíèå äîïîëíèòåëüíîãî ìåõàíèçìà ðàññå-
ÿíèÿ â ñïëàâå.
***
Òàêèì îáðàçîì, èç ïðîâåäåííîé ðàáîòû ìîæíî
ñäåëàòü íåêîòîðûå âûâîäû.
Ìàòåðèàëû CdxZn1�xTe ïðè 0,8<x<0,9 ÿâëÿþòñÿ
íàèáîëåå ïîäõîäÿùèìè èç ñåìåéñòâà ìàòåðèàëîâ
CdZnTe äëÿ äåòåêòîðîâ ðàäèàöèîííûõ èçëó÷åíèé. Ïðè
óñëîâèè îäíîðîäíîãî ðàñïðåäåëåíèÿ ëåãèðóþùèõ è
ôîíîâûõ ïðèìåñåé èõ êîíöåíòðàöèÿ íå îêàçûâàåò çà-
ìåòíîãî âëèÿíèÿ íà âåëè÷èíó µ, ïðè ýòîì ïîëóèçîëè-
ðóþùèå ìàòåðèàëû ñ ïîâûøåííûì ñîäåðæàíèåì
èîíèçèðîâàííûõ ãëóáîêèõ öåíòðîâ äîëæíû èìåòü
íåñêîëüêî áîëåå âûñîêèå çíà÷åíèÿ ïîäâèæíîñòè.
Ñîîòâåòñòâèå ïîëó÷åííûõ ðåçóëüòàòîâ ìîäåëèðî-
âàíèÿ ñ èçâåñòíûìè íàì îáøèðíûìè ýêñïåðèìåí-
òàëüíûìè ðåçóëüòàòàìè äàåò îñíîâàíèå ñ÷èòàòü, ÷òî
èìååòñÿ îïðåäåëåííàÿ ÿñíîñòü îòíîñèòåëüíî îïòè-
ìàëüíûõ óñëîâèé äëÿ äîñòèæåíèÿ ìàêñèìàëüíûõ
çíà÷åíèé µ è ρ â ìàòåðèàëàõ òèïà CdZnTe.  ñâÿçè ñ
ýòèì â êàæäîì êîíêðåòíîì ñëó÷àå âûðàùèâàíèÿ
ìîæíî ïîïûòàòüñÿ âûðàáîòàòü êîíêðåòíûå ðåêîìåí-
äàöèè îòíîñèòåëüíî îïòèìàëüíîãî ñîñòàâà ðàçðàáà-
òûâàåìûõ äåòåêòîðíûõ ìàòåðèàëîâ.
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Êîðáóòÿê Ä. Â., Ìåëüíè÷óê Ñ. Â., Êîðáóò ª. Â., Áîðèñþê
Ì. Ì. Òåëóðèä êàäì³þ: äîì³øêîâî-äåôåêòí³ ñòàíè òà äåòåêòîðí³
âëàñòèâîñò³.� Êè¿â: "²âàí Ôåäîðîâ", 2000.
2. Krishnamurthy S., Sher A. Electron mobility in Hg78Cd0,22Te
alloy // J. Appl. Phys.� 1994.� Vol. 75, N 12.� P. 7904�7909.
3. Harrison J. W., Hauser J. R.Theoretical calculations of
electron mobility in ternary III�V compounds // J. Appl. Phys.�
1975.� Vol. 47, N 1.� P. 292�300.
4. Brooks H. Theory of electrical properties of germanium
and silicon // Adv. Electron. Electron Phys.� 1955.� Vol. 7.�
P. 85�182.
5. Hofmann D. M., Stadler W., Christman P., Meyer B. K.
Defects in CdTe and Cd1�xZnxTe // Nuclear Instruments and Methods
in Physics Research.� 1996.� Vol. À380.� P. 117�120.
6. Datsenko O. A., Kondrik A. I. Electrophysical properties
forecasting for CdTe semiconductor materials depending on the
impurity composition // Functional Materials.� 2001.� Vol. 8,
N 3.� P. 1�6.
7. Langer J. M., Heinrich H. Deep-level impurities: a possible
guide to prediction of band-edge discontinuities in semiconductor
heterojunctions // Phys. Rev. Lett.� 1985.� Vol. 55, N 13.�
P. 1414�1417.
8. Davydov L. N., Datsenko O. A., Kovtun G. P. et al.
Numerical simulation of CdZnTe semiconductor resistivity as a
function of impurity composition //Functional Materials.�
2001.� Vol. 8, N 2.� P. 255�261.
Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ
21.04 2003 ã.
Îïïîíåíò ê. ò. í. Â. À. ÇÀÂÀÄÑÊÈÉ
(ÎÍÌÀ, ã. Îäåññà)
Ä. ò. í. È. Å. ÌÀÐÎÍ×ÓÊ, ê. ò. í. Â. Â. ÊÓÐÀÊ,
Å. Â. ÀÍÄÐÎÍÎÂÀ, Å. À. ÁÀÃÀÍÎÂ
Óêðàèíà, Õåðñîíñêèé ãîñ. òåõíè÷åñêèé óíèâåðñèòåò
E-mail: vk_74@mail.ru
ÂÛÐÀÙÈÂÀÍÈÅ ÃÅÒÅÐÎÑÒÐÓÊÒÓÐ GaSb/InAs
ÆÈÄÊÎÔÀÇÍÎÉ ÝÏÈÒÀÊÑÈÅÉ ÁÅÇ ÐÀÑÒÂÎÐÅÍÈß ÏÎÄËÎÆÊÈ
Ìîäèôèöèðîâàííûé ìåòîä èìïóëüñíî-
ãî îõëàæäåíèÿ ðàñòâîðà-ðàñïëàâà ïî-
çâîëÿåò èçáåæàòü ðàñòâîðåíèÿ ïîä-
ëîæêè InAs ïðè êîíòàêòå ñ æèäêîé ôà-
çîé Ga+Sb.
 íàñòîÿùåå âðåìÿ îñíîâíûìè ìåòîäàìè ïîëó÷å-
íèÿ ãåòåðîñòðóêòóð â ñèñòåìå GaSb�InAs ÿâëÿþòñÿ
ìîëåêóëÿðíî-ëó÷åâàÿ ýïèòàêñèÿ è îñàæäåíèå èç ïà-
ðîâ ìåòàëëîðãàíè÷åñêèõ ñîåäèíåíèé [1]. Êðèñòàëëè-
çàöèÿ ýïèòàêñèàëüíûõ ñëîåâ ïðè èñïîëüçîâàíèè ýòèõ
ìåòîäîâ ïðîèñõîäèò â ñèëüíî íåðàâíîâåñíûõ óñëîâè-
ÿõ, ÷òî ïðèâîäèò ê ñíèæåíèþ ñòðóêòóðíîãî ñîâåðøåí-
ñòâà è, êàê ñëåäñòâèå, ê ñðàâíèòåëüíî íèçêèì õàðàê-
òåðèñòèêàì ïðèáîðîâ, èçãîòîâëåííûõ íà èõ îñíîâå.
Óñëîâèÿ êðèñòàëëèçàöèè, íàèáîëåå áëèçêèå ê ðàâ-
íîâåñíûì, îáåñïå÷èâàþòñÿ ìåòîäàìè æèäêîôàçíîé
ýïèòàêñèè [2, c. 118]. Îäíàêî âûðàùèâàíèå ãåòåðî-
ñòðóêòóð GaSb/InAs èç æèäêîé ôàçû ñîïðÿæåíî ñ ðÿ-
äîì òðóäíîñòåé, ñâÿçàííûõ ñ íàëè÷èåì ðàñòâîðèòå-
ëÿ. Êàê ïîêàçàíî â [3], ïîäëîæêà InAs ïðè êîíòàêòå ñ
íàñûùåííûì ðàñòâîðîì Sb â ðàñïëàâå Ga ÿâëÿåòñÿ
íåóñòîé÷èâîé, ÷òî ïðèâîäèò ê åå ëîêàëüíîìó ðàñ-
òâîðåíèþ, íåêîíòðîëèðóåìîìó ñîñòàâó êðèñòàëëèçó-
þùåãîñÿ ýïèòàêñèàëüíîãî ñëîÿ è íåïëàíàðíîñòè ãå-
òåðîãðàíèöû.
 ýòîé ñâÿçè öåëüþ äàííîé ðàáîòû ÿâëÿåòñÿ ðàç-
ðàáîòêà òåõíîëîãè÷åñêèõ ïðèåìîâ, ïîçâîëÿþùèõ
èñêëþ÷èòü íåêîíòðîëèðóåìûå ïðîöåññû ðàñòâîðåíèÿ
ïîäëîæêè InAs ïðè æèäêîôàçíîé ýïèòàêñèè GaSb.
Âûáîð ìåòîäà âûðàùèâàíèÿ
Ïîëó÷åíèå êà÷åñòâåííûõ ýïèòàêñèàëüíûõ ñëîåâ èç
æèäêîé ôàçû â ñèñòåìàõ, ñêëîííûõ ê ðàñòâîðåíèþ
ìàòåðèàëà ïîäëîæêè, âîçìîæíî ïðè èñïîëüçîâàíèè
äâóõ ðàçëè÷íûõ ïîäõîäîâ. Ïåðâûé çàêëþ÷àåòñÿ â
îáåñïå÷åíèè êâàçèðàâíîâåñíûõ óñëîâèé êðèñòàëëè-
çàöèè ïðè ïîâûøåíèè ñòàáèëüíîñòè ïîäëîæêè ê äåé-
ñòâèþ ðàñòâîðèòåëÿ çà ñ÷åò âàðüèðîâàíèÿ ñîñòàâà
æèäêîé ôàçû. Òàê, äîáàâëåíèå èíäèÿ â ðàñòâîð-ðàñ-
ïëàâ Ga+Sb óìåíüøàåò, íî ïîëíîñòüþ íå èñêëþ÷àåò
ðàñòâîðåíèå ïîäëîæêè [3]. Ïðè ýòîì äîáàâëåíèå
ìûøüÿêà â æèäêóþ ôàçó ïîðÿäêà 10�4 àò. äîëè ïðè
òåìïåðàòóðå 450°Ñ îáåñïå÷èâàåò óñòîé÷èâîñòü ïîä-
ëîæêè ê äåéñòâèþ ðàñòâîðèòåëÿ, îäíàêî ïðèâîäèò ê
êðèñòàëëèçàöèè ÷åòûðåõêîìïîíåíòíîãî ýïèòàêñèàëü-
íîãî ñëîÿ InGaAsSb. Ñëåäîâàòåëüíî, ïðè ðåàëèçàöèè
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70708 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-25T20:53:13Z |
| publishDate | 2003 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Кондрик, А.И. Ковтун, Г.П. 2014-11-11T14:52:59Z 2014-11-11T14:52:59Z 2003 Исследование свойств полупроводниковых материалов для детекторов ионизирующих излучений / А.И. Кондрик, Г.П. Ковтун // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 6. — С. 3-6. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70708 621.315.592:546.28 Методом компьютерного моделирования исследовались дрейфовая подвижность электронов проводимости (µ) и удельное сопротивление (ρ) материала детекторов CdZnTe в зависимости от примесного состава и мольной доли соединения СdTe (CСdTe) при температуре Т=300 К. Установлено, что увеличение запрещенной зоны Eg0 (при Т=0) от 1,6 эВ (CСdTe=1) до 1,8 эВ (CСdTe"0,8) приводит к увеличению ρ примерно на два порядка. При сохранении исходного состава фоновых примесей дальнейшее увеличение Eg0 вплоть до 2,1 эВ (соответствующее CСdTe"0,5) существенно не влияет на величину Eg0. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Материалы для микроэлектроники Исследование свойств полупроводниковых материалов для детекторов ионизирующих излучений Дослідження властивостей напівпровідникових матеріалів для детекторів іонізуючих випромінювань Article published earlier |
| spellingShingle | Исследование свойств полупроводниковых материалов для детекторов ионизирующих излучений Кондрик, А.И. Ковтун, Г.П. Материалы для микроэлектроники |
| title | Исследование свойств полупроводниковых материалов для детекторов ионизирующих излучений |
| title_alt | Дослідження властивостей напівпровідникових матеріалів для детекторів іонізуючих випромінювань |
| title_full | Исследование свойств полупроводниковых материалов для детекторов ионизирующих излучений |
| title_fullStr | Исследование свойств полупроводниковых материалов для детекторов ионизирующих излучений |
| title_full_unstemmed | Исследование свойств полупроводниковых материалов для детекторов ионизирующих излучений |
| title_short | Исследование свойств полупроводниковых материалов для детекторов ионизирующих излучений |
| title_sort | исследование свойств полупроводниковых материалов для детекторов ионизирующих излучений |
| topic | Материалы для микроэлектроники |
| topic_facet | Материалы для микроэлектроники |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70708 |
| work_keys_str_mv | AT kondrikai issledovaniesvoistvpoluprovodnikovyhmaterialovdlâdetektorovioniziruûŝihizlučenii AT kovtungp issledovaniesvoistvpoluprovodnikovyhmaterialovdlâdetektorovioniziruûŝihizlučenii AT kondrikai doslídžennâvlastivosteinapívprovídnikovihmateríalívdlâdetektorívíonízuûčihvipromínûvanʹ AT kovtungp doslídžennâvlastivosteinapívprovídnikovihmateríalívdlâdetektorívíonízuûčihvipromínûvanʹ |