Выращивание гетероструктур GaSb/InAs жидкофазной эпитаксией без растворения подложки

Рассмотрены особенности выращивания гетероструктур GaSb/InAs из жидкой фазы. Предложен модифицированный метод импульсного охлаждения раствора-расплава, позволяющий избежать растворения подложки InAs при контакте с неравновесной ей жидкой фазой Ga+Sb. Показано, что при отсутствии растворения подложки...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Дата:2003
Автори: Марончук, И.Е., Курак, В.В., Андронова, Е.В., Баганов, Е.А.
Формат: Стаття
Мова:Російська
Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2003
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70709
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Выращивание гетероструктур GaSb/InAs жидкофазной эпитаксией без растворения подложки / И.Е. Марончук, В.В. Курак, Е.В. Андронова, Е.А. Баганов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 6. — С. 6-9. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1860180824610045952
author Марончук, И.Е.
Курак, В.В.
Андронова, Е.В.
Баганов, Е.А.
author_facet Марончук, И.Е.
Курак, В.В.
Андронова, Е.В.
Баганов, Е.А.
citation_txt Выращивание гетероструктур GaSb/InAs жидкофазной эпитаксией без растворения подложки / И.Е. Марончук, В.В. Курак, Е.В. Андронова, Е.А. Баганов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 6. — С. 6-9. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Рассмотрены особенности выращивания гетероструктур GaSb/InAs из жидкой фазы. Предложен модифицированный метод импульсного охлаждения раствора-расплава, позволяющий избежать растворения подложки InAs при контакте с неравновесной ей жидкой фазой Ga+Sb. Показано, что при отсутствии растворения подложки раствором-расплавом образование твердых растворов InGaAsSb в процессе роста эпитаксиального слоя GaSb не происходит, поскольку твердофазное растворение GaSb подложкой InAs является энергетически невыгодным.
first_indexed 2025-12-07T18:01:53Z
format Article
fulltext 6 ÌÀÒÅÐÈÀËÛ ÄËß ÌÈÊÐÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÈ Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2003, ¹ 6 òàêæå ïîÿâëåíèå äîïîëíèòåëüíîãî ìåõàíèçìà ðàññå- ÿíèÿ â ñïëàâå. *** Òàêèì îáðàçîì, èç ïðîâåäåííîé ðàáîòû ìîæíî ñäåëàòü íåêîòîðûå âûâîäû. Ìàòåðèàëû CdxZn1�xTe ïðè 0,8<x<0,9 ÿâëÿþòñÿ íàèáîëåå ïîäõîäÿùèìè èç ñåìåéñòâà ìàòåðèàëîâ CdZnTe äëÿ äåòåêòîðîâ ðàäèàöèîííûõ èçëó÷åíèé. Ïðè óñëîâèè îäíîðîäíîãî ðàñïðåäåëåíèÿ ëåãèðóþùèõ è ôîíîâûõ ïðèìåñåé èõ êîíöåíòðàöèÿ íå îêàçûâàåò çà- ìåòíîãî âëèÿíèÿ íà âåëè÷èíó µ, ïðè ýòîì ïîëóèçîëè- ðóþùèå ìàòåðèàëû ñ ïîâûøåííûì ñîäåðæàíèåì èîíèçèðîâàííûõ ãëóáîêèõ öåíòðîâ äîëæíû èìåòü íåñêîëüêî áîëåå âûñîêèå çíà÷åíèÿ ïîäâèæíîñòè. Ñîîòâåòñòâèå ïîëó÷åííûõ ðåçóëüòàòîâ ìîäåëèðî- âàíèÿ ñ èçâåñòíûìè íàì îáøèðíûìè ýêñïåðèìåí- òàëüíûìè ðåçóëüòàòàìè äàåò îñíîâàíèå ñ÷èòàòü, ÷òî èìååòñÿ îïðåäåëåííàÿ ÿñíîñòü îòíîñèòåëüíî îïòè- ìàëüíûõ óñëîâèé äëÿ äîñòèæåíèÿ ìàêñèìàëüíûõ çíà÷åíèé µ è ρ â ìàòåðèàëàõ òèïà CdZnTe.  ñâÿçè ñ ýòèì â êàæäîì êîíêðåòíîì ñëó÷àå âûðàùèâàíèÿ ìîæíî ïîïûòàòüñÿ âûðàáîòàòü êîíêðåòíûå ðåêîìåí- äàöèè îòíîñèòåëüíî îïòèìàëüíîãî ñîñòàâà ðàçðàáà- òûâàåìûõ äåòåêòîðíûõ ìàòåðèàëîâ. ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ 1. Êîðáóòÿê Ä. Â., Ìåëüíè÷óê Ñ. Â., Êîðáóò ª. Â., Áîðèñþê Ì. Ì. Òåëóðèä êàäì³þ: äîì³øêîâî-äåôåêòí³ ñòàíè òà äåòåêòîðí³ âëàñòèâîñò³.� Êè¿â: "²âàí Ôåäîðîâ", 2000. 2. Krishnamurthy S., Sher A. Electron mobility in Hg78Cd0,22Te alloy // J. Appl. Phys.� 1994.� Vol. 75, N 12.� P. 7904�7909. 3. Harrison J. W., Hauser J. R.Theoretical calculations of electron mobility in ternary III�V compounds // J. Appl. Phys.� 1975.� Vol. 47, N 1.� P. 292�300. 4. Brooks H. Theory of electrical properties of germanium and silicon // Adv. Electron. Electron Phys.� 1955.� Vol. 7.� P. 85�182. 5. Hofmann D. M., Stadler W., Christman P., Meyer B. K. Defects in CdTe and Cd1�xZnxTe // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research.� 1996.� Vol. À380.� P. 117�120. 6. Datsenko O. A., Kondrik A. I. Electrophysical properties forecasting for CdTe semiconductor materials depending on the impurity composition // Functional Materials.� 2001.� Vol. 8, N 3.� P. 1�6. 7. Langer J. M., Heinrich H. Deep-level impurities: a possible guide to prediction of band-edge discontinuities in semiconductor heterojunctions // Phys. Rev. Lett.� 1985.� Vol. 55, N 13.� P. 1414�1417. 8. Davydov L. N., Datsenko O. A., Kovtun G. P. et al. Numerical simulation of CdZnTe semiconductor resistivity as a function of impurity composition //Functional Materials.� 2001.� Vol. 8, N 2.� P. 255�261. Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ 21.04 2003 ã. Îïïîíåíò ê. ò. í. Â. À. ÇÀÂÀÄÑÊÈÉ (ÎÍÌÀ, ã. Îäåññà) Ä. ò. í. È. Å. ÌÀÐÎÍ×ÓÊ, ê. ò. í. Â. Â. ÊÓÐÀÊ, Å. Â. ÀÍÄÐÎÍÎÂÀ, Å. À. ÁÀÃÀÍΠÓêðàèíà, Õåðñîíñêèé ãîñ. òåõíè÷åñêèé óíèâåðñèòåò E-mail: vk_74@mail.ru ÂÛÐÀÙÈÂÀÍÈÅ ÃÅÒÅÐÎÑÒÐÓÊÒÓÐ GaSb/InAs ÆÈÄÊÎÔÀÇÍÎÉ ÝÏÈÒÀÊÑÈÅÉ ÁÅÇ ÐÀÑÒÂÎÐÅÍÈß ÏÎÄËÎÆÊÈ Ìîäèôèöèðîâàííûé ìåòîä èìïóëüñíî- ãî îõëàæäåíèÿ ðàñòâîðà-ðàñïëàâà ïî- çâîëÿåò èçáåæàòü ðàñòâîðåíèÿ ïîä- ëîæêè InAs ïðè êîíòàêòå ñ æèäêîé ôà- çîé Ga+Sb.  íàñòîÿùåå âðåìÿ îñíîâíûìè ìåòîäàìè ïîëó÷å- íèÿ ãåòåðîñòðóêòóð â ñèñòåìå GaSb�InAs ÿâëÿþòñÿ ìîëåêóëÿðíî-ëó÷åâàÿ ýïèòàêñèÿ è îñàæäåíèå èç ïà- ðîâ ìåòàëëîðãàíè÷åñêèõ ñîåäèíåíèé [1]. Êðèñòàëëè- çàöèÿ ýïèòàêñèàëüíûõ ñëîåâ ïðè èñïîëüçîâàíèè ýòèõ ìåòîäîâ ïðîèñõîäèò â ñèëüíî íåðàâíîâåñíûõ óñëîâè- ÿõ, ÷òî ïðèâîäèò ê ñíèæåíèþ ñòðóêòóðíîãî ñîâåðøåí- ñòâà è, êàê ñëåäñòâèå, ê ñðàâíèòåëüíî íèçêèì õàðàê- òåðèñòèêàì ïðèáîðîâ, èçãîòîâëåííûõ íà èõ îñíîâå. Óñëîâèÿ êðèñòàëëèçàöèè, íàèáîëåå áëèçêèå ê ðàâ- íîâåñíûì, îáåñïå÷èâàþòñÿ ìåòîäàìè æèäêîôàçíîé ýïèòàêñèè [2, c. 118]. Îäíàêî âûðàùèâàíèå ãåòåðî- ñòðóêòóð GaSb/InAs èç æèäêîé ôàçû ñîïðÿæåíî ñ ðÿ- äîì òðóäíîñòåé, ñâÿçàííûõ ñ íàëè÷èåì ðàñòâîðèòå- ëÿ. Êàê ïîêàçàíî â [3], ïîäëîæêà InAs ïðè êîíòàêòå ñ íàñûùåííûì ðàñòâîðîì Sb â ðàñïëàâå Ga ÿâëÿåòñÿ íåóñòîé÷èâîé, ÷òî ïðèâîäèò ê åå ëîêàëüíîìó ðàñ- òâîðåíèþ, íåêîíòðîëèðóåìîìó ñîñòàâó êðèñòàëëèçó- þùåãîñÿ ýïèòàêñèàëüíîãî ñëîÿ è íåïëàíàðíîñòè ãå- òåðîãðàíèöû.  ýòîé ñâÿçè öåëüþ äàííîé ðàáîòû ÿâëÿåòñÿ ðàç- ðàáîòêà òåõíîëîãè÷åñêèõ ïðèåìîâ, ïîçâîëÿþùèõ èñêëþ÷èòü íåêîíòðîëèðóåìûå ïðîöåññû ðàñòâîðåíèÿ ïîäëîæêè InAs ïðè æèäêîôàçíîé ýïèòàêñèè GaSb. Âûáîð ìåòîäà âûðàùèâàíèÿ Ïîëó÷åíèå êà÷åñòâåííûõ ýïèòàêñèàëüíûõ ñëîåâ èç æèäêîé ôàçû â ñèñòåìàõ, ñêëîííûõ ê ðàñòâîðåíèþ ìàòåðèàëà ïîäëîæêè, âîçìîæíî ïðè èñïîëüçîâàíèè äâóõ ðàçëè÷íûõ ïîäõîäîâ. Ïåðâûé çàêëþ÷àåòñÿ â îáåñïå÷åíèè êâàçèðàâíîâåñíûõ óñëîâèé êðèñòàëëè- çàöèè ïðè ïîâûøåíèè ñòàáèëüíîñòè ïîäëîæêè ê äåé- ñòâèþ ðàñòâîðèòåëÿ çà ñ÷åò âàðüèðîâàíèÿ ñîñòàâà æèäêîé ôàçû. Òàê, äîáàâëåíèå èíäèÿ â ðàñòâîð-ðàñ- ïëàâ Ga+Sb óìåíüøàåò, íî ïîëíîñòüþ íå èñêëþ÷àåò ðàñòâîðåíèå ïîäëîæêè [3]. Ïðè ýòîì äîáàâëåíèå ìûøüÿêà â æèäêóþ ôàçó ïîðÿäêà 10�4 àò. äîëè ïðè òåìïåðàòóðå 450°Ñ îáåñïå÷èâàåò óñòîé÷èâîñòü ïîä- ëîæêè ê äåéñòâèþ ðàñòâîðèòåëÿ, îäíàêî ïðèâîäèò ê êðèñòàëëèçàöèè ÷åòûðåõêîìïîíåíòíîãî ýïèòàêñèàëü- íîãî ñëîÿ InGaAsSb. Ñëåäîâàòåëüíî, ïðè ðåàëèçàöèè ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � � ��������� �� ���� ������ ���� ���������������� ������� ���� ���������� ������ ��� ��� ����!������ � �"� �����"� ��#���� ��� ��$"��� ��� �������������� ����%���� &������� ��� ������#��� ����� '()* ���#�� �� ��"����+ , ���� ��"��" ������� �� ���"���� ���#�� ��� ����������� ������� ���� ��������� �� � ����%��#� ���� ��������$"��� $�"��� -��� �� ����%��� &�� ��� ��./ 0 � �" ����!����� �� ��������$"������ ��� �������������1 2�� 3+ 4�56+ ����� ��"��" ������ � � ��&�$� # ��� ������ ��"��$�� ��� ���� ����� ����� � �"���� ��� � ���#�� ������������� ����� �� � �����"� � �����%���7 ������ ����� "�-�� �� � ��� ������#��� ��� � �� ��������7 �� ��� �� ����%���� � � ������ �� &������ � ���������� + , 256 ������ � �" ����%��� ��� ������#��� ����� ��� � ���#��� ����$"���� ��� ������������ ��+ 8 � � �" &�� ��� ���� "� ����%��� ����� ��& �������� ��!��� � ��� � � 9:'(9;<'(9;+ =�� ��� ������#���� ��� �"��# �������"� ��� ��� ����� ���� ��������$"���� �������7!��� � ��"��$�� ������ ��� $�"��� -���� �������7!� ��� ��� �� � ��������� � �� 0� � ���� ���� � 4 � ��#>�� � ���� ��� ����!��� ��� ������������ �� � � 1 � ��#��� ��������� #7 ��"��$��+ ?� �" �&��"�� � ���� �!�� �� � % � ������ � ���"� # ��� ����� ����� 0� "�� �� "���� �����"� "� ���� ���#��� �����"1 ������������� ������ ���� ����� �����+ @�� � ���� � �" �� ������ ���� � �-�� � ����7 ����>� ��� �� � � "���� � � �"� � $�"� ��-����� ��� ������ ����� ��� � � �"� �����"�� ��#���� ����$"��� ��� �������������+ ?� ���"����� �����#���� # � �" � ���#����� ����$"��� ��� ������������� �� ��%��#��� � �"�� � ��� � "� -�� ������� �� ��������� � ��"��$� �� AB9; ������ ��!� ���� ��� '()*� ���� � ��7� !��� ��� ������7 ��"��$�� $�"��� -����+ �������� ���� ������ ,���!������ �������������� ��� ������#��� ����� ��'()* ���!�� �� �� � �� ������ "� $�"� ��-����� ��� ����� � ������� ��#�� �������$��� �� ���� ��� � ����� � ����"������ ��� 0 ��� �1+ , ��%�� �� ��"��$�� �����#������ ������� ����� %����� ���� ��� ��AB9; ���� C?8D/ � ����� �� ���� ��������� � 04��1� � ��$� ���� ��� ���� C?8�� � ����� ����� 04441+ @����� ���� ���� �� ��� ��� "� � ��"��$��� ��� ��� �� ��� �� � ����� 4E4�4F � �E4�4� � G�+ , ��%�� �� ��� ���� �� �����#������ ������ ���� HI����+ J� ����!��� ��� ������������� �� ���# � �����#������ ���� ���� '()*+ J� -��� ������� ��!� ���� ��� '()* �� � �����#������ � �"�-����������� � �" � ���#����� ����$� "��� ��� �������������+ ,� ��&�$���� ��"��� ��� ���� ��"��$�� ��� ��� �� � � ��� ���� �������� �� �� � � ��%�� � 256� ���%��� ���!�� �� �� ����$"���� ��"��$�� � 0���+ 41 �� � �� �!��� ���-� ����� ��������� � �� �� � �7!��� � ��� �� ��� � 4 K� � � ��" ��#��� ��������� #7 ��"��$� ��+ L� � ���� �!���� ����"��� � ���!�� �� �� ��� �� ��&�%�� ��������� � ��"��$�� AB9; � ��� � ���� ��������� '(M)* �� ����!���� �� ���#� � ��� � ���� ��� � � + J� �&����%��� "�� ��#��� � � � ���#�� ����$"��� � &��#>�� ��� ��� ����� �!��� ��"��$�� �� ����"���� 0��� ���#����1 ��� ��$��� � %���� � ��� ���� ��������� 0��� "�� ������#��� �����"1� �����& �� �$"� ������� ��� � ��� � ��"��$��� ���!�� �� �� %���� ���� ��"���"� ��!���� �≈� + N���� ����!����� ��!� ���� ��� '()* � � ���#��� ����$"���� ��� ������������� �������� "��� ������ ��� ���$���� � ���� ��� ��%� �� 4�./ �� ������ #7 ��4./O �� � ���#7 �����%��� ��!��� ��� ������#���� ��� + N���� ����%��� ���� ����� ����!����� ���!�� �� �� "���� ���7 ��� � �������������� ���� �� ����$"��� "� �� �� ��� � ���� ���+ , � "� ������� �� �� �����%���� ��!��� ���� ������#���� ��� '()* �����"��� ��� ��� � ���� � ���� ��� ��%� � �� � ���������� ����� ������ � ���#����� ����$"��� ��� �������������+ N������� ������#�� �&��&� �� ����7%����# � �"������ ���"�� ��� ���� �� � ��������� � ��� ��� ����#��� � ��� �� � �����"�7!� �������� � ������ ���������� PQ: � �%���� 4 ��+ C����"������ ��-������ ��� ������#��� ���� �� � ������ � ��� �� ���!�� �� �� � �����#������� � �� ��-������������ ��������� ?CC�5+ =���� � ����7 ���� ��� -� ��7 ���������� 0RI1 �� ���� � ��� �� �������"��� ��� � ���� ��� �� @+ , ��%�� � �� �� �%���� ���&�$"��� RI �����#������ ������ �������� ������ ��&� �7!�� � ���������� ��$�� � � "����� ����� ����%��� 4�4S � + /����� RI "������������� �"����>� �%�� ������ � ��� ?J=�� � "�-���������� ��>� ��� ��� > �+O � ����� �������� � ��$� � ����������� "� �� ���� ���� -� ������ ��� T*)+ ���������� � ���������� N���%����� ��� ������#��� ���� '()* �&��"��� ������#��� ��-������� ��������� �+ ,��� � ��� ���������� �� ������ ����!����� �� ��"��$��� AB9; � ����� ����� ��������� � 04��1� ��� ��� �� ��F< 4�� � � � � ��� ��� "� ������ ����!����� �� ��"��$��� � ����� ����� 04441� ���%���� ���� � ��� ���������� �� �� �����>��� ���� � + U���� ���� �� �� �������#�- ��������� � ��� ������#��� =��+ 4+ /�� � �� ������ "� ����!����� �� ������ ��� ����#��� � ��� ��V � < ��"��$��W � < ��������� � ��#W � < ����"��W � < ���� �����������W � < � ���� ��� � ���� ��� �W 4 < � ���� ��� � ���� ��%��#� ���� ����$��� ��������� � �� W < ����%��� ������ �$"� ��������� � ��� � ��"��$��� 4 � � 4 X � X � � 5 F ��������� �� ���� ������ ���� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � ����� �� ��"��$��� ����� ����� 04��1 �&Y �� � � "� ���������� ��� ��#��� ��� ��� 7!�� ������ � � ��� � ��" ���������#���+ C����"����� ������ � ��� �� �������� � �� � � ��� ��������� ������� ��"��$��V ������� ���"�� �� Z��� ������#��� ���� < ��"��$��[ �� ���# ���� ������� ��� ������#��� ���� < ����>�� � ���7� %���� ��� ���� �� �� �� ���������� �� ��&�7"����#+ /��"��� ���%���� ��!��� ��� ������#��� ������ ����%����� �� ��"��$��� � ����� ����� 04��1� ��� � ��� �� ��� "�� S � � � ����� �� ��"��$��� � ����� ����� 04441 < ��� "�� � � + X� ��� � ���"� ����� ���%��� ���� � RI ��� �� @ ��� ������#��� ����� '()* �� ��"��$��� AB9; 0�1+ J� �������� ��$� ���"� ����� ���� � RI ��� ������������� ��� '()* 0�1� ����!������ �� ��"� ��$�� ��'()* �� ���������� ��� ������������� �� �"� �����"� ��#���� ����$"��� � � ���� ���� "�������� 5S�<55�./ ��� ������ � ����$"��� ��4./O ��+ /��� �� RI ��"��$� �� �"�� � ���� � ����$���� ���� � � ��� "�� ���S �,� �&������ ����� � ����%� ��#�� � ������"� � �$"� ������� �%���� � ����� � ����� ������� �� "������� ��� ����� ���"� �� � ������� �� � ����� ���� � ����� � �����"��� � ��� ����� "�-�� �� 0������ �� ����� � ������ �� �� � ���# �� �� ���� �� � 7 � ����� ���� � "� ���"�� ������ ������������ ��� ��� ������#��� ����� '()* 2S� �61+ N��� RI ��$� � �7 &�����7 ����>����� ����� ����%��� + C� ������ �����# ���7!�� ��!��� ��� ������#� ��� ������ ����!����� ��� ��� ������ � ���#�� ���� ����$"��� ��� ������������� 0\ ������1 ��� ��� � ���� � ���� ��� ��%� � � ]5S�./� ��������� ����� # ��!��� ��� � ���� ������7!���� � �%�� ��� �"���� � ���#�� ����$"��� + ���� � ���%�� ���� � ��������� �� ��"��$��� AB9; 04��1 ���"� ��� !��� ��� ������#���� ��� '()*� ���� ������7!�� ��� �� �"�� ����� ��� ��� � ��� "�� ��S� � + N�� ���� ��������� �� ��"��$��� � ����� ����� ������� ��� � 04441 �� �"�� ���� � ���#����� ����$"��� -�� ���� � ���� ��!���� ����� ���� � + D����� ��� �%����� ��!��� � 3 ��� ������#���� ��� � ��� �� ���� �������"� ��������� ������� ���� $���� 0��������� ��������������� �����"�� ��>� �� �1 � �&��������� "��������� ����� �� � �� � ��� ������#�� ����� ��������� % � � ���%�� ����� ��������� ��� '()* �� ��"��$�� AB9; 0� ] ���4^� �����" ��>� �� '()* �]����\S � 1 ( )fahc 22≈ 2�� 3+ �56 ��� ��� � ��� ���� �S � + �� �� # ��� ����� ��#��� ���� '()* � ��!���� ��#>� �S � �� 7 � � ���������� $���� �+ /������� 2F6� � �� ���� ��� ���� � ������ � ��� �� $��� � �$� ��&�7"� #� ���"�-����� ��� ��� ����� ��� �!��� ��� ������#���� ��� � ������ ��"��$��+ X� ������ ���%� � ������� ��� ������ ��� -������ �����%����� ���� $���� ��������� % � ��� ����!������ ����� ���������� $����� ���� ������#��� ����� '(9; �� ��"��$�� AB9; ������ %����� ���� $��� �� �� ���������� �����" � � � ���� ��#�� ���%��� ������� ��� ������ ��� ��� ���7!�� ���"�� -��� + �+ ������ �%���� ����"� �� �� � � ��� ������� '(9; � ������ ��"��$� �� � �&��������� ���"��� ��� ���� AB � '( 4G� 9;+ N�"��"� ���"��$����� � 2F6� ��� ���� �� � "� �� ������ � � '()*OAB9;+ =��%� ������ �� � ����� ��� ��� ������ � ;_: ���"�� -�� ̀ � , 0'()* � AB9;� ��� �� � �����1 � �����%����� ���� $���� ε,� �������7!�� � ��"��$��� �������"��� �� ����� $���7 2F6 +ε −+ −=ε 2A A 11 2A 12 A 12 A 11 2A 11 A 0 sol B sol 2 ) C CCCC VE(E 2B B 11 2B 12 B 12 B 11 2B 11 B� B B 11 B 12 B 11 2 2 ε−++ε        −+ C CCCC VE C CC x � =��%� �� ������ �� # ������� ��� ������ � �����%����� ���� $����� �������7!�� � ��"��$� �� AB9; � �������� ��� � ��� ������#���� ��� '()*� ���"� ������ �� ��� �+ `����� ������ �� � ��������� � % � ������ ��� ������ �� � � ����� $� ��#��� � >����� "�������� �����%����� ��� �� $���� � ��"��$��+ X� ��%��#��� � �"� � ��� � ��� ������#���� ��� '()*� ���"� ���� $��� � � ��"��$�� AB9; �$�� �����&��%#� ε AB9;≈� � � ;_: ]4���� �J$O ��#� + �+ � ;_: a �+ /��"��� ��#��� ��� ������� '()* � � ������ ��"��$�� �� � � ������ �%���� ������"�� + 8 � ����" �������� � � �����# � � � ��&� � 2\6� �������� �� ��� ��� ����!������ ����� ��� ��� =��+ �+ /��� � -� ��7 ���������� ��� ������#��� ����� '()*V � < '()*OAB9;W � < '()*O'()* 4�� ��S � C � � � �� � � � � # R I � � � + �" + ��S� ��SS ���� ���S ���� 4 � 8����� ���� ��� �, �"� 0 solE < � 9 � � b < A ijC � B ijC < =εA � ` � � , < = �xE ������ ��� ������ � ���"�� -��� � � �� � ��� �����%����� ���� $����� ���&��$���� ����� ���� � �� ���� �"��� �� � ���"� ��� ���� AB'(9;)*W �� ���� �&Y� � � �� ��!�� �� ` � ,� ��� �� � � �����W ������� ���� �� � "� ���"�� -��� ` � ,� ��� � �� � �����W 1)1( B A B −ε+ a a W ��� �� � ����� �����"� ��>� �� � ������ ̀ � ,W     −−+ B BA B 11 2B 12 B 12 B 11 2B 11 B 2 2 a aa C CCCC V + ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � \ ��������� �� ���� ������ ���� ����#��� ����� '()* �� ��������� � AB9; ������ � ������%���� ��� ������ �&��������� ���"�� ��� � ����� �&���� �� ���������� �&����$��� �� &���+ ���������� ���� �&���� � �����#������� �"�-��������� ���� � �"� � ���#����� ����$"��� ��� ��������� ����� ������ � ��&�$� # ��� ������ ��"��$�� AB9; ��� ���� ��������� '(M)*+ C� ������ ���� ��� -� ��7 ���������� �� ���� ��� �� '()*OAB9; � ���� ���#�� "�������� � ��5S "� ��\� �, �������� ����%�� �"���� ����� �� ������ �%���� � ����$�� ��7 � ����>����� ��� �� � ��7!��� �$��� ��� ��� �7 ���������� �� ���� ������#��� ��������� ������ '()*+ /��� �� RI �� ������ �%���� � ����� $���7 � �� �������� � ����� �"�� �%�� ��� "� ������ ��� ����!������ �� ���� � �" � ���#���� �� ����$"��� �����#������ ��#�� �� ��%��#��� � �"� � ��� � � �����"�7!�� ���� ���������� � ���� ������������� ������ �� �� � "� ������ ����%��� ��� ������� �� ��� ��� ������ � ���#����� ����$"��� + 8 � "�� �������� ������ #� % � � �" � ���#����� ����$"��� ������ � -�� ����� # =��+ �+ L����� �� # ������� ���"�-������ ��� ����� �� '()* � AB9; � �����%����� ���� $���� � ��"��$� �� εAB9;� ����$����� � &����� ����� �"������ εAB9; G���F G���� G���5 G���� � ���� ���5 ���� ≈ 4��� 44�S 44�� 4��S � ;_: � �J$O ��# �� ������ ������#��� ����� �� �� ���7!�� �� � ���� ���� � �����>��� �� ��� � ����%���� � ������ ����������� ������ � ���� ���������+ X� ������ ���%� � ������� ���"�-������ ��� ��� ���� ��������� % � � �������� ���� ��������� '()* �� ��������� � AB9; � � �� � ��� ��� ������ ��"� ��$�� $�"��� -���� �&��������� ���"�� ��� ��� ��� AB'(9;)* �� �%� ��� ������ ��� ������#���� ��� � ������ ��"��$�� �� � � ������ �%���� ������"�� + C/NDIcLD,`XXde C/�DfXC@C 4+ Q_Bg*hhi '+ j+� bkl*m Q+ n+� og3p_:(; q+ j+ hr (:+ s_t(iu; ( '()*<AB9; r(Buhl vkB3rg_B sTw 3h:: OO Ti_3+ _x 4�rp yki_zh(B Tw )_:(i yBhi{ Q_Bx+ (Bu y|pg*grg_B+ G }kBg3p 0'hil(Bm1+< ���4+< T+ 4�S<4�\+ �+ I�������� ,+ X+� I���� I+ /+ N ��� ����� ��� ���"�� ��� ���� ���"������ 9AAAbw+< =�� �� �OJV C�"��� =�� ���+ ��� �� 4\\�+ �+ ?����%�� C+ e+� ̀ �"������ e+ ,+� U������ e+ ̀ +� /������� � ��� /+ =+ ?� �"� ����%��� ��� ������#��� � ��� �� � ���� ����� � �� ���������� � "� �� �-� ����# ��%����� ����&� ������ ���� OO ,�� ��� ~H�� 0~�����1+< ����+< � �+< /+ ��4<��S+ 5+ @��7 ���� �+ R+� ?����%�� C+ e+� ������� ̀ + ,+ ,���!�� ����� ��& �������� ����� ��� � ���#��� ����$"���� ��� ��� ����������� OO N��# � � ��R+< 4\\S+< �+ �4� ���+ ��+< /+ 4�<4�+ S+ ,������� �+ C+� J$�� ���� U+ e+� I������� �+ /+ � "�+ 8��� ��%����� ����� �� ���"�� ��� ����� �� ������ '()* 0'(AB9;)*� '(9:)*� '(9:9;)*1 � ������ �� � � ��� ��� OO R�N+< 4\\F+< �+ ��� � �+< /+ ��F<�F5+ �+ ?������ @+ J+� ������� `+ `+� ����� #�� �+ ,+ � "�+ R� �� �7 ��������� ���"�� ��� ����� '( 4G� AB � 9; � )* 4G� 0���FK�K����1� ��������"��� � AB9; OO R�N+< ����+< �+ �5� � 4�+< /+ 45��<45��+ �+ @������� ,+ ,+� ?������ N+ N+� /������ ,+ /+ X���������� ��� ����� ��� $�"��-����� �� ������ ����� ���������"��� ����� ���"�� ��� �����+< ?+V ?� ������� � 4\\4+ F+ w(BB(i(r )+� }(i3h: P+� ):kgrhi �+� �(t(�_h �+ yxxh3r _x ;ri(gB _B (::_mgB{ gB AB9;O'(9; phrhi_;rik3rkih OO jzB+ j+ 9zz:+ Tpm;+< ����+< w_:+ 54� z(ir 4� o 5b+< T+ �S��<�S54+ \+ o_;p_ b+ �+� bhBBhrr b+ q+� npgrl(B �+ j+� '_:uhB*hi{ }+ yxxh3r; _x 9; � �hi;k; 9; 5 _B AB9;O'()* phrhi_;rik3rkih;V 9;�x_i�)* h|3p(B{h (Bu xg:l ;r(*g:grm OO j+ w(3+ )3g+ sh3pB_:+ b+< ���4+< w_:+ 4\� o 5+< T+ 4���<4���+ � ! " # $ � % & % � !"# $�%&% ��������� � ���������� �� �� �� ������ ������ ������� ���� � � ���������� �!"#��$%%& ��$'%� ��������� ��� �� �������������������� ����������� ��������������������������� ������ ����� ��� �� ��� ���������������� ������� ������������ ��������������� ����� ������������� ���� �� ��������� �������� ������!��"����� �#�� ���������� �������� ��� �������� ���� �� ����$������������������%������� � ��� � �� �� ���� �� ��� ������� � �� �� �� � ���������$� ���� ����������������������������� �������� ������� ����$�� � � �� �"����� �� ������ !� ���������� ��&������$ �� �� $���� �� ��� ��� ������������ ���������� ! ���� �� ����!��� ��$������������������������������� ����� �������������� ��� ��������� ��� ����������������"���� ���������������������� ! ���� ����������� �� $������ ��� �� ����� �������� ������� ���!���� � ��� #������������� ���"��� � ������� � ����������� �� $�������!��� �� ���� � �� �� $������ � �������� ����� ���������������� �� ���� ��� ��� ! �����'���� ������������ �������!� ������ �� ������ �� ����$��������������� ��������� � ���������� �$����� ��"�� ����$�� � (��� ������ !� ��� ����������������� ����� ����������� ���� �� ���!�� ������!�� � �� ��� ���������������� � �� �"��������"����������� ����� �� $�� �#� ���� !����� � �� ������ ��������������� �����
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70709
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 2225-5818
language Russian
last_indexed 2025-12-07T18:01:53Z
publishDate 2003
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling Марончук, И.Е.
Курак, В.В.
Андронова, Е.В.
Баганов, Е.А.
2014-11-11T14:54:37Z
2014-11-11T14:54:37Z
2003
Выращивание гетероструктур GaSb/InAs жидкофазной эпитаксией без растворения подложки / И.Е. Марончук, В.В. Курак, Е.В. Андронова, Е.А. Баганов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 6. — С. 6-9. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70709
621.362:621.383
Рассмотрены особенности выращивания гетероструктур GaSb/InAs из жидкой фазы. Предложен модифицированный метод импульсного охлаждения раствора-расплава, позволяющий избежать растворения подложки InAs при контакте с неравновесной ей жидкой фазой Ga+Sb. Показано, что при отсутствии растворения подложки раствором-расплавом образование твердых растворов InGaAsSb в процессе роста эпитаксиального слоя GaSb не происходит, поскольку твердофазное растворение GaSb подложкой InAs является энергетически невыгодным.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Материалы для микроэлектроники
Выращивание гетероструктур GaSb/InAs жидкофазной эпитаксией без растворения подложки
Вирощування гетероструктур GaSb/InAs рідкофазною епітаксією без розчинення підкладинки
Article
published earlier
spellingShingle Выращивание гетероструктур GaSb/InAs жидкофазной эпитаксией без растворения подложки
Марончук, И.Е.
Курак, В.В.
Андронова, Е.В.
Баганов, Е.А.
Материалы для микроэлектроники
title Выращивание гетероструктур GaSb/InAs жидкофазной эпитаксией без растворения подложки
title_alt Вирощування гетероструктур GaSb/InAs рідкофазною епітаксією без розчинення підкладинки
title_full Выращивание гетероструктур GaSb/InAs жидкофазной эпитаксией без растворения подложки
title_fullStr Выращивание гетероструктур GaSb/InAs жидкофазной эпитаксией без растворения подложки
title_full_unstemmed Выращивание гетероструктур GaSb/InAs жидкофазной эпитаксией без растворения подложки
title_short Выращивание гетероструктур GaSb/InAs жидкофазной эпитаксией без растворения подложки
title_sort выращивание гетероструктур gasb/inas жидкофазной эпитаксией без растворения подложки
topic Материалы для микроэлектроники
topic_facet Материалы для микроэлектроники
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70709
work_keys_str_mv AT marončukie vyraŝivaniegeterostrukturgasbinasžidkofaznoiépitaksieibezrastvoreniâpodložki
AT kurakvv vyraŝivaniegeterostrukturgasbinasžidkofaznoiépitaksieibezrastvoreniâpodložki
AT andronovaev vyraŝivaniegeterostrukturgasbinasžidkofaznoiépitaksieibezrastvoreniâpodložki
AT baganovea vyraŝivaniegeterostrukturgasbinasžidkofaznoiépitaksieibezrastvoreniâpodložki
AT marončukie viroŝuvannâgeterostrukturgasbinasrídkofaznoûepítaksíêûbezrozčinennâpídkladinki
AT kurakvv viroŝuvannâgeterostrukturgasbinasrídkofaznoûepítaksíêûbezrozčinennâpídkladinki
AT andronovaev viroŝuvannâgeterostrukturgasbinasrídkofaznoûepítaksíêûbezrozčinennâpídkladinki
AT baganovea viroŝuvannâgeterostrukturgasbinasrídkofaznoûepítaksíêûbezrozčinennâpídkladinki