Выращивание гетероструктур GaSb/InAs жидкофазной эпитаксией без растворения подложки
Рассмотрены особенности выращивания гетероструктур GaSb/InAs из жидкой фазы. Предложен модифицированный метод импульсного охлаждения раствора-расплава, позволяющий избежать растворения подложки InAs при контакте с неравновесной ей жидкой фазой Ga+Sb. Показано, что при отсутствии растворения подложки...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2003 |
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2003
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70709 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Выращивание гетероструктур GaSb/InAs жидкофазной эпитаксией без растворения подложки / И.Е. Марончук, В.В. Курак, Е.В. Андронова, Е.А. Баганов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 6. — С. 6-9. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1860180824610045952 |
|---|---|
| author | Марончук, И.Е. Курак, В.В. Андронова, Е.В. Баганов, Е.А. |
| author_facet | Марончук, И.Е. Курак, В.В. Андронова, Е.В. Баганов, Е.А. |
| citation_txt | Выращивание гетероструктур GaSb/InAs жидкофазной эпитаксией без растворения подложки / И.Е. Марончук, В.В. Курак, Е.В. Андронова, Е.А. Баганов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 6. — С. 6-9. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Рассмотрены особенности выращивания гетероструктур GaSb/InAs из жидкой фазы. Предложен модифицированный метод импульсного охлаждения раствора-расплава, позволяющий избежать растворения подложки InAs при контакте с неравновесной ей жидкой фазой Ga+Sb. Показано, что при отсутствии растворения подложки раствором-расплавом образование твердых растворов InGaAsSb в процессе роста эпитаксиального слоя GaSb не происходит, поскольку твердофазное растворение GaSb подложкой InAs является энергетически невыгодным.
|
| first_indexed | 2025-12-07T18:01:53Z |
| format | Article |
| fulltext |
6
ÌÀÒÅÐÈÀËÛ ÄËß ÌÈÊÐÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÈ
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2003, ¹ 6
òàêæå ïîÿâëåíèå äîïîëíèòåëüíîãî ìåõàíèçìà ðàññå-
ÿíèÿ â ñïëàâå.
***
Òàêèì îáðàçîì, èç ïðîâåäåííîé ðàáîòû ìîæíî
ñäåëàòü íåêîòîðûå âûâîäû.
Ìàòåðèàëû CdxZn1�xTe ïðè 0,8<x<0,9 ÿâëÿþòñÿ
íàèáîëåå ïîäõîäÿùèìè èç ñåìåéñòâà ìàòåðèàëîâ
CdZnTe äëÿ äåòåêòîðîâ ðàäèàöèîííûõ èçëó÷åíèé. Ïðè
óñëîâèè îäíîðîäíîãî ðàñïðåäåëåíèÿ ëåãèðóþùèõ è
ôîíîâûõ ïðèìåñåé èõ êîíöåíòðàöèÿ íå îêàçûâàåò çà-
ìåòíîãî âëèÿíèÿ íà âåëè÷èíó µ, ïðè ýòîì ïîëóèçîëè-
ðóþùèå ìàòåðèàëû ñ ïîâûøåííûì ñîäåðæàíèåì
èîíèçèðîâàííûõ ãëóáîêèõ öåíòðîâ äîëæíû èìåòü
íåñêîëüêî áîëåå âûñîêèå çíà÷åíèÿ ïîäâèæíîñòè.
Ñîîòâåòñòâèå ïîëó÷åííûõ ðåçóëüòàòîâ ìîäåëèðî-
âàíèÿ ñ èçâåñòíûìè íàì îáøèðíûìè ýêñïåðèìåí-
òàëüíûìè ðåçóëüòàòàìè äàåò îñíîâàíèå ñ÷èòàòü, ÷òî
èìååòñÿ îïðåäåëåííàÿ ÿñíîñòü îòíîñèòåëüíî îïòè-
ìàëüíûõ óñëîâèé äëÿ äîñòèæåíèÿ ìàêñèìàëüíûõ
çíà÷åíèé µ è ρ â ìàòåðèàëàõ òèïà CdZnTe.  ñâÿçè ñ
ýòèì â êàæäîì êîíêðåòíîì ñëó÷àå âûðàùèâàíèÿ
ìîæíî ïîïûòàòüñÿ âûðàáîòàòü êîíêðåòíûå ðåêîìåí-
äàöèè îòíîñèòåëüíî îïòèìàëüíîãî ñîñòàâà ðàçðàáà-
òûâàåìûõ äåòåêòîðíûõ ìàòåðèàëîâ.
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Êîðáóòÿê Ä. Â., Ìåëüíè÷óê Ñ. Â., Êîðáóò ª. Â., Áîðèñþê
Ì. Ì. Òåëóðèä êàäì³þ: äîì³øêîâî-äåôåêòí³ ñòàíè òà äåòåêòîðí³
âëàñòèâîñò³.� Êè¿â: "²âàí Ôåäîðîâ", 2000.
2. Krishnamurthy S., Sher A. Electron mobility in Hg78Cd0,22Te
alloy // J. Appl. Phys.� 1994.� Vol. 75, N 12.� P. 7904�7909.
3. Harrison J. W., Hauser J. R.Theoretical calculations of
electron mobility in ternary III�V compounds // J. Appl. Phys.�
1975.� Vol. 47, N 1.� P. 292�300.
4. Brooks H. Theory of electrical properties of germanium
and silicon // Adv. Electron. Electron Phys.� 1955.� Vol. 7.�
P. 85�182.
5. Hofmann D. M., Stadler W., Christman P., Meyer B. K.
Defects in CdTe and Cd1�xZnxTe // Nuclear Instruments and Methods
in Physics Research.� 1996.� Vol. À380.� P. 117�120.
6. Datsenko O. A., Kondrik A. I. Electrophysical properties
forecasting for CdTe semiconductor materials depending on the
impurity composition // Functional Materials.� 2001.� Vol. 8,
N 3.� P. 1�6.
7. Langer J. M., Heinrich H. Deep-level impurities: a possible
guide to prediction of band-edge discontinuities in semiconductor
heterojunctions // Phys. Rev. Lett.� 1985.� Vol. 55, N 13.�
P. 1414�1417.
8. Davydov L. N., Datsenko O. A., Kovtun G. P. et al.
Numerical simulation of CdZnTe semiconductor resistivity as a
function of impurity composition //Functional Materials.�
2001.� Vol. 8, N 2.� P. 255�261.
Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ
21.04 2003 ã.
Îïïîíåíò ê. ò. í. Â. À. ÇÀÂÀÄÑÊÈÉ
(ÎÍÌÀ, ã. Îäåññà)
Ä. ò. í. È. Å. ÌÀÐÎÍ×ÓÊ, ê. ò. í. Â. Â. ÊÓÐÀÊ,
Å. Â. ÀÍÄÐÎÍÎÂÀ, Å. À. ÁÀÃÀÍÎÂ
Óêðàèíà, Õåðñîíñêèé ãîñ. òåõíè÷åñêèé óíèâåðñèòåò
E-mail: vk_74@mail.ru
ÂÛÐÀÙÈÂÀÍÈÅ ÃÅÒÅÐÎÑÒÐÓÊÒÓÐ GaSb/InAs
ÆÈÄÊÎÔÀÇÍÎÉ ÝÏÈÒÀÊÑÈÅÉ ÁÅÇ ÐÀÑÒÂÎÐÅÍÈß ÏÎÄËÎÆÊÈ
Ìîäèôèöèðîâàííûé ìåòîä èìïóëüñíî-
ãî îõëàæäåíèÿ ðàñòâîðà-ðàñïëàâà ïî-
çâîëÿåò èçáåæàòü ðàñòâîðåíèÿ ïîä-
ëîæêè InAs ïðè êîíòàêòå ñ æèäêîé ôà-
çîé Ga+Sb.
 íàñòîÿùåå âðåìÿ îñíîâíûìè ìåòîäàìè ïîëó÷å-
íèÿ ãåòåðîñòðóêòóð â ñèñòåìå GaSb�InAs ÿâëÿþòñÿ
ìîëåêóëÿðíî-ëó÷åâàÿ ýïèòàêñèÿ è îñàæäåíèå èç ïà-
ðîâ ìåòàëëîðãàíè÷åñêèõ ñîåäèíåíèé [1]. Êðèñòàëëè-
çàöèÿ ýïèòàêñèàëüíûõ ñëîåâ ïðè èñïîëüçîâàíèè ýòèõ
ìåòîäîâ ïðîèñõîäèò â ñèëüíî íåðàâíîâåñíûõ óñëîâè-
ÿõ, ÷òî ïðèâîäèò ê ñíèæåíèþ ñòðóêòóðíîãî ñîâåðøåí-
ñòâà è, êàê ñëåäñòâèå, ê ñðàâíèòåëüíî íèçêèì õàðàê-
òåðèñòèêàì ïðèáîðîâ, èçãîòîâëåííûõ íà èõ îñíîâå.
Óñëîâèÿ êðèñòàëëèçàöèè, íàèáîëåå áëèçêèå ê ðàâ-
íîâåñíûì, îáåñïå÷èâàþòñÿ ìåòîäàìè æèäêîôàçíîé
ýïèòàêñèè [2, c. 118]. Îäíàêî âûðàùèâàíèå ãåòåðî-
ñòðóêòóð GaSb/InAs èç æèäêîé ôàçû ñîïðÿæåíî ñ ðÿ-
äîì òðóäíîñòåé, ñâÿçàííûõ ñ íàëè÷èåì ðàñòâîðèòå-
ëÿ. Êàê ïîêàçàíî â [3], ïîäëîæêà InAs ïðè êîíòàêòå ñ
íàñûùåííûì ðàñòâîðîì Sb â ðàñïëàâå Ga ÿâëÿåòñÿ
íåóñòîé÷èâîé, ÷òî ïðèâîäèò ê åå ëîêàëüíîìó ðàñ-
òâîðåíèþ, íåêîíòðîëèðóåìîìó ñîñòàâó êðèñòàëëèçó-
þùåãîñÿ ýïèòàêñèàëüíîãî ñëîÿ è íåïëàíàðíîñòè ãå-
òåðîãðàíèöû.
 ýòîé ñâÿçè öåëüþ äàííîé ðàáîòû ÿâëÿåòñÿ ðàç-
ðàáîòêà òåõíîëîãè÷åñêèõ ïðèåìîâ, ïîçâîëÿþùèõ
èñêëþ÷èòü íåêîíòðîëèðóåìûå ïðîöåññû ðàñòâîðåíèÿ
ïîäëîæêè InAs ïðè æèäêîôàçíîé ýïèòàêñèè GaSb.
Âûáîð ìåòîäà âûðàùèâàíèÿ
Ïîëó÷åíèå êà÷åñòâåííûõ ýïèòàêñèàëüíûõ ñëîåâ èç
æèäêîé ôàçû â ñèñòåìàõ, ñêëîííûõ ê ðàñòâîðåíèþ
ìàòåðèàëà ïîäëîæêè, âîçìîæíî ïðè èñïîëüçîâàíèè
äâóõ ðàçëè÷íûõ ïîäõîäîâ. Ïåðâûé çàêëþ÷àåòñÿ â
îáåñïå÷åíèè êâàçèðàâíîâåñíûõ óñëîâèé êðèñòàëëè-
çàöèè ïðè ïîâûøåíèè ñòàáèëüíîñòè ïîäëîæêè ê äåé-
ñòâèþ ðàñòâîðèòåëÿ çà ñ÷åò âàðüèðîâàíèÿ ñîñòàâà
æèäêîé ôàçû. Òàê, äîáàâëåíèå èíäèÿ â ðàñòâîð-ðàñ-
ïëàâ Ga+Sb óìåíüøàåò, íî ïîëíîñòüþ íå èñêëþ÷àåò
ðàñòâîðåíèå ïîäëîæêè [3]. Ïðè ýòîì äîáàâëåíèå
ìûøüÿêà â æèäêóþ ôàçó ïîðÿäêà 10�4 àò. äîëè ïðè
òåìïåðàòóðå 450°Ñ îáåñïå÷èâàåò óñòîé÷èâîñòü ïîä-
ëîæêè ê äåéñòâèþ ðàñòâîðèòåëÿ, îäíàêî ïðèâîäèò ê
êðèñòàëëèçàöèè ÷åòûðåõêîìïîíåíòíîãî ýïèòàêñèàëü-
íîãî ñëîÿ InGaAsSb. Ñëåäîâàòåëüíî, ïðè ðåàëèçàöèè
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
�
���������
�� ����
������
����
����������������
�������
����
����������
������
���
���
����!������
�
�"�
�����"�
��#����
���
��$"���
���
��������������
����%����
&�������
���
������#���
�����
'()*
���#��
��
��"����+
,
����
��"��"
�������
��
���"����
���#��
���
�����������
�������
����
���������
��
�
����%��#�
����
��������$"���
$�"���
-���
��
����%���
&��
���
��./
0 �
�"
����!�����
��
��������$"������
���
�������������1
2��
3+
4�56+
�����
��"��"
������
� �
��&�$�
#
���
������
��"��$��
���
���� �����
����� �
�"����
���
�
���#��
�������������
�����
�� �
�����"�
�
�����%���7
������
�����
"�-��
��
�
���
������#���
��� �
��
��������7
��
��� ��
����%���� �
�
������ ��
&������
�
���������� +
,
256
������
�
�"
����%���
���
������#���
�����
���
� ���#���
����$"����
���
������������
��+
8
�
�
�"
&��
��� ����
"�
����%���
�����
��& ��������
��!���
�
���
� �
9:'(9;<'(9;+
=��
���
������#����
���
�"��#
�������"�
���
���
����� ����
��������$"����
�������7!���
�
��"��$��
������
���
$�"���
-����
�������7!�
���
���
��
�
���������
�
��
0�
� ����
����
�
4
�
��#>��
� ����
���
����!���
���
������������
��
�
�
1
�
��#���
���������
#7
��"��$��+
?�
�"
�&��"��
�
���� �!��
�� �
%
�
������ �
���"�
#
���
����� �����
0�
"��
��
"����
�����"�
"�
����
���#���
�����"1
�������������
������
����
�����
�����+
@�� �
����
�
�"
��
������
���� �
�-�� �
����7
����>�
��� ��
�
�
"���� �
�
�"� �
$�"�
��-�����
���
������
����� ���
�
�
�"�
�����"��
��#����
����$"���
���
�������������+
?�
���"�����
�����#����
#
�
�"
� ���#�����
����$"���
���
�������������
��
��%��#���
�
�"��
�
���
�
"�
-�� �������
��
���������
�
��"��$�
��
AB9;
������
��!�
����
���
'()*�
����
�
��7�
!���
���
������7
��"��$��
$�"���
-����+
��������
����
������
,���!������
��������������
���
������#���
�����
��'()*
���!��
�� ��
�
��
������
"�
$�"�
��-�����
���
�����
�
�������
��#��
�������$���
��
����
���
�
�����
�
����"������
���
0
��� �1+
,
��%��
��
��"��$��
�����#������
�������
�����
%�����
����
���
��AB9;
����
C?8D/
�
�����
��
����
���������
�
04��1�
�
��$�
����
���
����
C?8��
�
�����
�����
04441+
@�����
����
����
��
���
��� "�
�
��"��$���
���
��� ��
���
��
�
�����
4E4�4F
�
�E4�4�
� G�+
,
��%��
��
���
����
��
�����#������
������
����
HI����+
J�
����!���
���
�������������
��
���# �
�����#������
����
����
'()*+
J�
-���
�������
��!�
����
���
'()*
�� �
�����#������
�
�"�-�����������
�
�"
� ���#�����
����$�
"���
���
�������������+
,�
��&�$����
��"���
���
����
��"��$��
���
���
��
�
�
���
���� ��������
��
��
�
�
��%��
�
256�
���%���
���!��
�� ��
����$"����
��"��$��
�
0���+
41
��
�
�� �!���
���-�
�����
���������
�
��
��
� �7!���
� ���
��
���
�
4
K�
�
�
��"
��#���
���������
#7
��"��$�
��+
L�
�
���� �!����
����"���
�
���!��
�� ��
���
��
��&�%��
���������
�
��"��$��
AB9;
�
���
�
���� ���������
'(M)*
��
����!����
��
���#�
�
���
� ����
���
�
�
+
J�
�&����%���
"��
��#���
�
�
� ���#��
����$"��� �
&��#>��
��� ���
�����
�!���
��"��$��
��
����"����
0���
���#����1
���
��$���
�
%����
�
���
���� ���������
0��� "��
������#���
�����"1�
�����& ��
�$"�
�������
���
�
���
�
��"��$���
���!��
�� ��
%����
����
��"���"�
��!����
�≈�
+
N����
����!�����
��!�
����
���
'()*
� �
���#���
����$"����
���
�������������
��������
"���
������ ���
���$����
� ����
���
��%�
��
4�./
��
������
#7
��4./O ��
�
���#7
�����%���
��!���
���
������#����
��� +
N����
����%���
����
�����
����!�����
���!��
�� ��
"����
���7
���
�
��������������
����
��
����$"���
"�
�� ��
���
� ����
���+
,
� "�
������� ��
��
�����%����
��!���
����
������#����
���
'()*
�����"���
���
���
� ����
� ����
���
��%�
�
��
�
����������
�����
������
� ���#�����
����$"���
���
�������������+
N�������
������#��
�&��&�
��
����7%����#
�
�"������
���"��
���
����
��
�
���������
�
���
���
����#���
�
���
��
�
�����"�7!�
��������
�
������
����������
PQ:
�
�%����
4
��+
C����"������
��-������
���
������#���
����
��
�
������
�
���
��
���!��
�� ��
�
�����#�������
�
��
��-������������
���������
?CC�5+
=����
�
����7
����
���
-�
��7 ����������
0RI1
��
����
�
���
��
�������"���
���
� ����
���
��
@+
,
��%��
�
��
��
�%����
���&�$"���
RI
�����#������
������
��������
������
��&�
�7!��
�
����������
��$��
�
�
"�����
�����
����%���
4�4S
� +
/�����
RI
"�������������
�"����>�
�%��
������ �
���
?J=��
�
"�-����������
��>�
���
���
>
�+O
�
�����
��������
�
��$� �
�����������
"�
��
����
����
-�
������
���
T*)+
���������� � ����������
N���%�����
���
������#���
����
'()*
�&��"���
������#���
��-�������
���������
�+
,���
�
���
����������
��
������
����!�����
��
��"��$���
AB9;
�
�����
�����
���������
�
04��1�
���
��� ��
��F<
4��
� �
�
�
���
���
"�
������
����!�����
��
��"��$���
�
�����
�����
04441�
���%����
����
�
���
����������
��
��
�����>���
����
� +
U����
����
��
��
�������#�-
���������
�
���
������#���
=��+
4+
/�� �
��
������
"�
����!�����
��
������
���
����#���
�
���
��V
�
<
��"��$��W
�
<
���������
�
��#W
�
<
����"��W
�
<
����
�����������W
�
<
� ����
���
�
����
���
�W
4
<
� ����
���
�
����
��%��#�
����
����$���
���������
�
�� W
<
����%���
������
�$"�
���������
�
���
�
��"��$���
4
�
�
4
X
�
X
�
� 5
F
���������
�� ����
������
����
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
�����
��
��"��$���
�����
�����
04��1
�&Y �� �
�
"� ����������
��� ��#���
���
��� 7!��
������
�
�
���
�
��"
���������#���+
C����"�����
������
�
���
��
��������
�
��
�
�
���
���������
�������
��"��$��V
�������
���"��
��
Z���
������#���
����
<
��"��$��[
�� ���#
����
�������
���
������#���
����
<
����>�� �
���7�
%����
���
����
��
��
��
����������
��
��&�7"����#+
/��"���
���%����
��!���
���
������#���
������
����%�����
��
��"��$���
�
�����
�����
04��1�
���
�
��� ��
��� "��
S
� �
�
�����
��
��"��$���
�
�����
�����
04441
<
��� "��
�
� +
X�
��� �
���"�
�����
���%���
����
�
RI
���
��
@
���
������#���
�����
'()*
��
��"��$���
AB9;
0�1+
J�
��������
��$�
���"�
�����
����
�
RI
���
�������������
���
'()*
0�1�
����!������
��
��"�
��$��
��'()*
��
����������
���
�������������
��
�"�
�����"�
��#����
����$"���
�
� ����
����
"��������
5S�<55�./
���
������
�
����$"���
��4./O ��+
/���
��
RI
��"��$�
��
�"�� �
����
�
����$����
���� � �
��� "��
���S
�,�
�&������
����� �
����%�
��#�� �
������"� �
�$"�
�������
�%���� �
����� �
�����
������� ��
"�������
��� �����
���"� ��
�
������� ��
�
�����
���� �
����� �
�����"���
�
���
�����
"�-��
��
0������
��
�����
�
������
��
��
�
���# ��
��
����
�� �
7
�
�����
���� �
"�
���"�� ������
������������
���
���
������#���
�����
'()*
2S�
�61+
N���
RI
��$�
� �7
&�����7
����>�����
�����
����%��� +
C� ������
�����#
���7!��
��!���
���
������#�
���
������
����!�����
���
���
������
� ���#��
����
����$"���
���
�������������
0\
������1
���
���
� ����
� ����
���
��%�
�
�
]5S�./�
���������
�����
#
��!���
��� �
����
������7!����
�
�%��
���
�"����
� ���#��
����$"��� +
����
�
���%��
����
�
���������
��
��"��$���
AB9;
04��1
���"�
���
!���
���
������#����
���
'()*�
����
������7!��
���
��
�"��
�����
���
��� �
��� "��
��S�
� +
N��
����
���������
��
��"��$���
�
�����
�����
�������
���
�
04441
��
�"��
����
� ���#�����
����$"���
-�� ����
�
����
��!����
�����
����
� +
D�����
���
�%�����
��!���
�
3
���
������#����
��� �
���
��
����
�������"�
���������
�������
���� $����
0���������
���������������
�����"��
��>�
��
�1
�
�&���������
"���������
�����
��
�
��
�
���
������#��
�����
���������
%
�
�
���%��
�����
���������
���
'()*
��
��"��$��
AB9;
0�
]
���4^�
�����"
��>�
��
'()*
�]����\S
� 1
( )fahc 22≈
2��
3+
�56
���
��� �
��� ����
�S
� +
��
��
#
���
�����
��#���
����
'()*
�
��!����
��#>�
�S
�
�� 7
�
�
���������� $���� �+
/�������
2F6�
�
��
����
���
����
�
������ �
���
�� $��� �
�$�
��&�7"�
#�
���"�-�����
���
���
�����
���
�!���
���
������#����
���
�
������
��"��$��+
X�
������
���%�
�
�������
���
������
���
-������
�����%�����
���� $����
���������
%
�
���
����!������
�����
���������� $�����
����
������#���
�����
'(9;
��
��"��$��
AB9;
������
%�����
���� $���
��
��
����������
�����"
�
�
�
����
��#��
���%���
�������
���
������
���
���
���7!��
���"��
-���
+
�+
������
�%����
����"�
��
�� �
�
���
�������
'(9;
�
������
��"��$�
��
�
�&���������
���"���
���
����
AB
�
'(
4G�
9;+
N�"��"�
���"��$�����
�
2F6�
��� ����
�� �
"�
��
������
� �
'()*OAB9;+
=��%�
������ ��
�
�����
���
���
������
�
;_:
���"��
-��
̀
�
,
0'()*
�
AB9;�
���
��
�
�����1
�
�����%�����
���� $����
ε,�
�������7!��
�
��"��$���
�������"���
��
�����
$���7
2F6
+ε
−+
−=ε
2A
A
11
2A
12
A
12
A
11
2A
11
A
0
sol
B
sol
2
)
C
CCCC
VE(E
2B
B
11
2B
12
B
12
B
11
2B
11
B�
B
B
11
B
12
B
11 2
2 ε−++ε
−+
C
CCCC
VE
C
CC
x
�
=��%�
��
������ ��
#
�������
���
������
�
�����%�����
���� $�����
�������7!��
�
��"��$�
��
AB9;
�
��������
���
�
���
������#����
���
'()*�
���"�
������
��
��� �+
`�����
������ ��
�
���������
�
%
�
������
���
������
�� �
�
�����
$�
��#���
�
>�����
"��������
�����%�����
���
�� $����
�
��"��$��+
X�
��%��#���
�
�"� �
���
�
���
������#����
���
'()*�
���"�
���� $��� �
�
��"��$��
AB9;
�$��
�����&��%#�
ε
AB9;≈�
�
�
;_:
]4����
�J$O ��#�
+
�+
�
;_:
a
�+
/��"���
��#���
���
�������
'()*
�
�
������
��"��$��
�� �
�
������
�%����
������"�� +
8
�
����"
��������
�
�
�����#
�
� �
��&�
�
2\6�
��������
��
���
���
����!������
�����
���
���
=��+
�+
/���
�
-�
��7 ����������
���
������#���
�����
'()*V
�
<
'()*OAB9;W
�
<
'()*O'()*
4��
��S
�
C
�
�
�
��
�
�
�
�
#
R
I
�
�
�
+
�"
+
��S�
��SS
����
���S
����
4
�
8�����
����
���
�,
�"�
0
solE
<
�
9
�
�
b
<
A
ijC � B
ijC <
=εA
�
`
�
�
,
<
=
�xE
������
���
������
�
���"��
-���
�
�
��
�
���
�����%�����
���� $�����
���&��$����
�����
���� �
��
���� �"���
��
�
���"�
���
����
AB'(9;)*W
�� ����
�&Y�
�
� ��
��!��
��
`
�
,�
���
��
�
�
�����W
�������
����
��
�
"�
���"��
-���
`
�
,�
���
�
��
�
�����W
1)1( B
A
B −ε+
a
a
W
���
��
�
�����
�����"�
��>�
��
�
������
̀
�
,W
−−+
B
BA
B
11
2B
12
B
12
B
11
2B
11
B
2
2
a
aa
C
CCCC
V +
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
\
���������
�� ����
������
����
����#���
�����
'()*
��
���������
�
AB9;
������
� ������%����
���
������
�&���������
���"��
���
�
�����
�&����
��
����������
�&����$���
��
&���+
����������
����
�&���� �
�����#�������
�"�-���������
����
�
�"�
� ���#�����
����$"���
���
���������
�����
������ �
��&�$�
#
���
������
��"��$��
AB9;
���
���� ���������
'(M)*+
C� ������
����
���
-�
��7 ����������
��
����
���
��
'()*OAB9;
�
����
���#��
"��������
�
��5S
"�
��\�
�,
��������
����%��
�"����
�����
��
������
�%���� �
����$��
��7
�
����>�����
���
��
�
��7!���
�$��� ���
���
�7 ����������
�� ����
������#���
���������
������
'()*+
/���
��
RI
��
������
�%���� �
�����
$���7
�
��
��������
�
�����
�"��
�%��
���
"�
������
���
����!������
��
����
�
�"
� ���#����
��
����$"���
�����#������
��#��
��
��%��#���
�
�"� �
���
�
�
�����"�7!��
����
����������
�
����
�������������
������ ��
��
�
"�
������
����%���
���
�������
��
���
���
������
� ���#�����
����$"��� +
8
�
"��
��������
������
#�
%
�
�
�"
� ���#�����
����$"���
������ �
-�� �����
#
=��+
�+
L����� ��
#
�������
���"�-������
���
�����
��
'()*
�
AB9;
�
�����%�����
���� $����
�
��"��$�
��
εAB9;�
����$�����
�
&����� �����
�"������
εAB9;
G���F
G����
G���5
G����
�
����
���5
����
≈
4���
44�S
44��
4��S
�
;_:
�
�J$O ��# ��
������
������#���
�����
��
��
���7!��
��
�
����
���� �
�����>���
��
��� �
����%����
�
������
�����������
������ �
����
���������+
X�
������
���%�
�
�������
���"�-������
���
���
����
���������
%
�
�
��������
����
���������
'()*
��
���������
�
AB9;
�
�
��
�
���
���
������
��"�
��$��
$�"���
-����
�&���������
���"��
���
���
���
AB'(9;)*
��
�%�
���
������
���
������#����
���
�
������
��"��$��
�� �
�
������
�%����
������"�� +
C/NDIcLD,`XXde
C/�DfXC@C
4+ Q_Bg*hhi
'+
j+�
bkl*m
Q+
n+�
og3p_:(;
q+
j+
hr
(:+
s_t(iu;
(
'()*<AB9;
r(Buhl
vkB3rg_B
sTw
3h::
OO
Ti_3+
_x
4�rp
yki_zh(B
Tw
)_:(i
yBhi{
Q_Bx+
(Bu
y|pg*grg_B+
G
}kBg3p
0'hil(Bm1+<
���4+<
T+
4�S<4�\+
�+ I��������
,+
X+�
I����
I+
/+
N
��� �����
���
���"��
���
����
���"������
9AAAbw+<
=��
��
�OJV
C�"���
=��
���+
���
��
4\\�+
�+
?����%��
C+
e+�
̀ �"������
e+
,+�
U������
e+
̀ +�
/�������
�
���
/+
=+
?�
�"�
����%���
���
������#���
�
���
��
�
����
����� �
��
���������� �
"�
�� �-�
����#
��%�����
����&�
������
����
OO
,��
���
~H��
0~�����1+<
����+<
�
�+<
/+
��4<��S+
5+ @��7
����
�+
R+�
?����%��
C+
e+�
�������
̀ +
,+
,���!��
�����
��& ��������
�����
���
� ���#���
����$"����
���
���
�����������
OO
N��# �
�
��R+<
4\\S+<
�+
�4�
���+
��+<
/+
4�<4�+
S+ ,�������
�+
C+�
J$��
����
U+
e+�
I�������
�+
/+
�
"�+
8���
��%�����
�����
��
���"��
���
�����
��
������
'()*
0'(AB9;)*�
'(9:)*�
'(9:9;)*1
�
������ ��
�
�
���
���
OO
R�N+<
4\\F+<
�+
���
�
�+<
/+
��F<�F5+
�+ ?������
@+
J+�
�������
`+
`+�
�����
#��
�+
,+
�
"�+
R�
��
�7 ���������
���"��
���
�����
'(
4G�
AB
�
9;
�
)*
4G�
0���FK�K����1�
��������"���
�
AB9;
OO
R�N+<
����+<
�+
�5�
�
4�+<
/+
45��<45��+
�+ @�������
,+
,+�
?������
N+
N+�
/������
,+
/+
X����������
���
�����
���
$�"��-�����
��
������
�����
���������"���
�����
���"��
���
�����+<
?+V
?�
������� �
4\\4+
F+ w(BB(i(r
)+�
}(i3h:
P+�
):kgrhi
�+�
�(t(�_h
�+
yxxh3r
_x
;ri(gB
_B
(::_mgB{
gB
AB9;O'(9;
phrhi_;rik3rkih
OO
jzB+
j+
9zz:+
Tpm;+<
����+<
w_:+
54�
z(ir
4�
o
5b+<
T+
�S��<�S54+
\+ o_;p_
b+
�+�
bhBBhrr
b+
q+�
npgrl(B
�+
j+�
'_:uhB*hi{
}+
yxxh3r;
_x
9;
�
�hi;k;
9;
5
_B
AB9;O'()*
phrhi_;rik3rkih;V
9;�x_i�)*
h|3p(B{h
(Bu
xg:l
;r(*g:grm
OO
j+
w(3+
)3g+
sh3pB_:+
b+<
���4+<
w_:+
4\�
o
5+<
T+
4���<4���+
�
!
"
#
$
�
%
&
%
� !"# $�%&%
��������� �
����������
�� ��
��
������
������
�������
���� �
� ���������� �!"#��$%%& ��$'%�
��������� ���
��
�������������������� �����������
���������������������������
������ ����� ���
��
���
���������������� �������
������������ ���������������
�����
�������������
����
�� ���������
��������
������!��"����� �#�� ����������
��������
��� �������� ���� ��
����$������������������%������� � ���
� ��
�� ����
��
��� �������
�
�� ��
��
� ���������$�
����
�����������������������������
��������
�������
����$��
�
�
��
�"����� ��
������
!�
����������
��&������$ ��
��
$���� �� ���
���
������������
����������
!
����
�� ����!��� ��$�������������������������������
����� �������������� ���
��������� ���
����������������"����
����������������������
!
����
�����������
��
$������
��� ��
����� ��������
������� ���!���� � ���
#�������������
���"���
�
������� � �����������
��
$�������!��� �� ���� �
��
��
$������
�
�������� �����
���������������� ��
����
���
���
!
�����'����
������������ �������!�
������ ��
������
��
����$��������������� ��������� �
����������
�$����� ��"�� ����$��
�
(���
������
!�
���
�����������������
����� ����������� ���� �� ���!��
������!��
�
�� ��� ����������������
�
��
�"��������"����������� �����
��
$��
�#� ����
!�����
�
��
������ ��������������� �����
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70709 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T18:01:53Z |
| publishDate | 2003 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Марончук, И.Е. Курак, В.В. Андронова, Е.В. Баганов, Е.А. 2014-11-11T14:54:37Z 2014-11-11T14:54:37Z 2003 Выращивание гетероструктур GaSb/InAs жидкофазной эпитаксией без растворения подложки / И.Е. Марончук, В.В. Курак, Е.В. Андронова, Е.А. Баганов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 6. — С. 6-9. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70709 621.362:621.383 Рассмотрены особенности выращивания гетероструктур GaSb/InAs из жидкой фазы. Предложен модифицированный метод импульсного охлаждения раствора-расплава, позволяющий избежать растворения подложки InAs при контакте с неравновесной ей жидкой фазой Ga+Sb. Показано, что при отсутствии растворения подложки раствором-расплавом образование твердых растворов InGaAsSb в процессе роста эпитаксиального слоя GaSb не происходит, поскольку твердофазное растворение GaSb подложкой InAs является энергетически невыгодным. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Материалы для микроэлектроники Выращивание гетероструктур GaSb/InAs жидкофазной эпитаксией без растворения подложки Вирощування гетероструктур GaSb/InAs рідкофазною епітаксією без розчинення підкладинки Article published earlier |
| spellingShingle | Выращивание гетероструктур GaSb/InAs жидкофазной эпитаксией без растворения подложки Марончук, И.Е. Курак, В.В. Андронова, Е.В. Баганов, Е.А. Материалы для микроэлектроники |
| title | Выращивание гетероструктур GaSb/InAs жидкофазной эпитаксией без растворения подложки |
| title_alt | Вирощування гетероструктур GaSb/InAs рідкофазною епітаксією без розчинення підкладинки |
| title_full | Выращивание гетероструктур GaSb/InAs жидкофазной эпитаксией без растворения подложки |
| title_fullStr | Выращивание гетероструктур GaSb/InAs жидкофазной эпитаксией без растворения подложки |
| title_full_unstemmed | Выращивание гетероструктур GaSb/InAs жидкофазной эпитаксией без растворения подложки |
| title_short | Выращивание гетероструктур GaSb/InAs жидкофазной эпитаксией без растворения подложки |
| title_sort | выращивание гетероструктур gasb/inas жидкофазной эпитаксией без растворения подложки |
| topic | Материалы для микроэлектроники |
| topic_facet | Материалы для микроэлектроники |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70709 |
| work_keys_str_mv | AT marončukie vyraŝivaniegeterostrukturgasbinasžidkofaznoiépitaksieibezrastvoreniâpodložki AT kurakvv vyraŝivaniegeterostrukturgasbinasžidkofaznoiépitaksieibezrastvoreniâpodložki AT andronovaev vyraŝivaniegeterostrukturgasbinasžidkofaznoiépitaksieibezrastvoreniâpodložki AT baganovea vyraŝivaniegeterostrukturgasbinasžidkofaznoiépitaksieibezrastvoreniâpodložki AT marončukie viroŝuvannâgeterostrukturgasbinasrídkofaznoûepítaksíêûbezrozčinennâpídkladinki AT kurakvv viroŝuvannâgeterostrukturgasbinasrídkofaznoûepítaksíêûbezrozčinennâpídkladinki AT andronovaev viroŝuvannâgeterostrukturgasbinasrídkofaznoûepítaksíêûbezrozčinennâpídkladinki AT baganovea viroŝuvannâgeterostrukturgasbinasrídkofaznoûepítaksíêûbezrozčinennâpídkladinki |