Исследование свойств слоев поликремния на изоляторе при криогенных температурах для создания сенсоров

Исследованы образцы поликремния р-типа на диэлектрических подложках в диапазоне температур 4,2-300 К и магнитных полях до 14 Тл, а также влияние деформации на их сопротивление. Показано, что слаболегированные нерекристаллизованные поли-Si-резисторы (2,4·10¹⁸ см⁻³) могут быть рекомендованы в качестве...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Дата:2003
Автори: Дружинин, А.А., Марьямова, И.И., Матвиенко, С.Н., Хорвенко, Ю.Н.
Формат: Стаття
Мова:Російська
Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2003
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70710
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Исследование свойств слоев поликремния на изоляторе при криогенных температурах для создания сенсоров / А.А. Дружинин, И.И. Марьямова, С.Н. Матвиенко, Ю.Н. Хорвенко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 6. — С. 10-13. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1859868967856766976
author Дружинин, А.А.
Марьямова, И.И.
Матвиенко, С.Н.
Хорвенко, Ю.Н.
author_facet Дружинин, А.А.
Марьямова, И.И.
Матвиенко, С.Н.
Хорвенко, Ю.Н.
citation_txt Исследование свойств слоев поликремния на изоляторе при криогенных температурах для создания сенсоров / А.А. Дружинин, И.И. Марьямова, С.Н. Матвиенко, Ю.Н. Хорвенко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 6. — С. 10-13. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Исследованы образцы поликремния р-типа на диэлектрических подложках в диапазоне температур 4,2-300 К и магнитных полях до 14 Тл, а также влияние деформации на их сопротивление. Показано, что слаболегированные нерекристаллизованные поли-Si-резисторы (2,4·10¹⁸ см⁻³) могут быть рекомендованы в качестве высоко­чувствительных терморезисторов. Для пьезорезистивных сенсоров механических величин рекомендуются сильнолегированные, рекристаллизованные лазером поли-Si-резисторы (~1,7·10²⁰ см⁻³). Они же являются наиболее стабильными к влиянию сильных магнитных полей.
first_indexed 2025-12-07T15:49:50Z
format Article
fulltext �� ��������� �� ���� ������ ���� ������� �� � ������ ����� ������� ����������������������������� �������������� �������� � � �� �!� ����� "����������������������� �� � �� � #$%�����&' ��$�� �( ��) ���������������������������������������� ���� ���� ����� ������ �������������� � * �� ���� +�� ����,�-�� �� ���� ���� $.,���� ��� ��� ���� �$ /&01234� 56789:;<3=>?@ 3A2A 71 B%%.C�"DE+BC�%D"F%�D�%."CD�G".B(HC'+BI +E�BJ".I�"HC�GHB�(HB"KC++LM��C'GCHE�*HEM �.I�%"J�E+BI�%C+%"H"D ���� ���� !� ��"��#�$� #� %��&'� #(�� #�)�!��(*��&+(#�&*� !(,&+&��� �����"( �()��)( &#��)�!��%,'�%&�-� ����.�/� ��� 011� �����#��!(�,(2&)�!���3*�#,�(!�-�� ,&�)(��&'� %�N��� �����-��� ����O ����� �����-�����& ���������P��������P�-������N� Q�-����O�������& �-��� ���N��������� �Q ��� � � � ���-����O������& ������� �P���������������R������O�����P���� ��& ��,����,������N �����N� � �O����Q������� �� ��O & Q�� ������� � � � ����� �� �G����� � ���� ���O�������P�N������������������������ ���� � & ����� Q�� � �� ��O� �� ��� N�� ���R �� �����S& ���#��� ���(+B&���� ���)�� ����,N���� �� ����-� O�S���P-�,�����S���������������N��P�� ���� �& �������P����������� �O ����� �����-�������& ����T N Q�� ����� Q � D�����-��R ����P�������������U�V�W��� �����- ��N��,���-� ��������� ����� ��O���� ������ � O�� & Q�� �O�� ���N������O�������� ��� ����-X���-����O& ��������������� S���� ���-���N��P�����-���,�N���& N �� ��-��������-�O���� Q�� ����� Q �������� � ��O��������-��� ���N���� �G� �N�������Q������� � Q��� ����,N���� ��O ��N��������N�������� � ����& � N�� ���������� ��O� ��U���YW���N����������-& � �,�Q���� ���,����,���������� &Z2� ���T��O�� � ���-� �,� ����O��������������P �,����,� ���������& �����������R������������QX �,����� ��� �� ��,�& N���N �� ��-�������������� �������� [��,��������R�����P��-���������� ��������� � ��NO�S���� � ����,N���� ����� ��O���� ����������& N��� �����������T N Q�� ����� Q �����P��������P& �-���� � � � ���-����O���������������,������O��& �����-�S � � �� �� ��#Y���() ���������� �� ����� G�� � ����� Q�� �� ��O� �����������������& P�����P���O��-��O��� � ����� Q�� ��N���������� & ����-�� ��� ��O �N�����#KJ)�� ����-�����������Q�& ���,���������� N���N�������Q���-�����O�� �D���O �� O���� �����X� ���� ������N���������� �������O O���� �������� S�-����� ��� �N�����-�����������& �� Q�� O �������� �O ���� ��� ����N���� �D���& N��,������� � ��N���������� ��� ����N�������N� ��� � � �P���� � ��������������� �� N������ #�P���� � �P������-��������-O ���� ����O �N�����)���� � ���& ���� ��,�-��P��,��-���� ��� ����N���� D��� P� S�� �Q��� Q�� ���P����� ��N�������� ��� ��O� ��)&� ������ ������� ��P���O��P-�����N& ��P��������� ��OO������Q ����� �����Q������� �� & Q�� �� ��,�N���N �� ��-������������������� &Z2�� ��N�-O���NO���O�N���� �(� ����������O���� NO���& ���������� ����������� &Z2��������� ���������P��,& ���-������������� ������N�������� �OP ��� ���� T& T�N ���Q���N� ��� �-�N����� �����T�O���� ����� N������Q���N� � ����� �-�U!W �\ ����-�����Q��-����& R������� �,���������������R�� ����Q��� Q��O��P��& ��� �N���� BN��������Q���������� � ����� Q�� � ��O���� & ������� �������������,��Q��,�����S�������� ������& �������,����������Q���-������������� �� �D�N�& � � O��� ���������� ����NO����N��������������� & ����� �� ���� ��T� ��������O � ���R O������& � �������� � � ����O���� NO������������� ������N�& ����4�������P��,���� ��O���� NO���������� �� ����� & ����������������� �O�����X� ����KJ �D��PR�O����& Q����TT� � �������� �������������,�O�S���P-�,�N�& � ����� � σ 45 ]σ 6 ^σ 7 #8_9�)��������������������������������������������������������������������#�) C�� �N������������,�� � ���Q� ��P���������� & ����O ���������-O���� ��O-O���T��O����#�)�O�S�� �����P��Q,��σ 6 →��� ���� �������������,����R����& �������N���Q��������������� ����������� �� N����& �-O�������� �O���� ��� ����N���� ��� ������ ���& ����������,�O�S��,�P-�,����� N�������� �� N �O ��������� ����� �� �O��-����NO�����N��������N�& � � O�������O�������-���P����� � G� � � � ���-����O����������� � ����S ������ N��Q ���,�����-O���S ��� ����� ������� �� Q����� ��� ���������P`�O��N����������� �����Q��,�O��-O� N�� � ��Q�� �O����Q����Q��,��-�� � ����������� & ����� �� #O����� Q�� ��� ����� ������������� ) G����O�� � ����������O���� NO������������S������& �O��� ���,� ������-��O���� NO������������� ����� N���������������� �O���� ��� ����N���� �H�N� ���� �-�����P��,�������� ��� ����N������� ��� �� ����& Q����O�������� ��,��O�����,�T����P����������O� ���σ 6 � �σ 7 �V 8�V 9��V ��� �������������,����N����O� ����P��,���������& ��� O���,a X � ��� ��� �-�N����a �TT� � ��-����NO���N���� ������� �� � ������ ����� ������� ����������������������������� �� ��������� �� ���� ������ ���� � � ���� �O����� �� Q�� ��N�����N��� ��� ��N�& ��� �G����O������� ���O�����S�������O��� ���,�� � ��Q��,�� �,����� ������-�� � �O���� �����& �-������������� �� ���������� ����� ��� ����N�& ���� ��������,� �O���� ���R ���� O���� �\�O � S����O������������O�P��,X��� ��������� �� Q�& � ����������� ������� ��O���� NO������������ �� � O�S����� ���,�����O�R,������ ������ �� ����& � ������N������U�W �������� � �������� D� �Q������ ������ ��O���� ���� ����,N���� �, ��� ���� ��O� �����R ������!�O O�����S����-� O�����O�bcdef��� ���!g%�������O Q�� �� ����& �-������� �-� ��O� ��)&� ������� ����� ���#���) .� ����� �� P���O� ������ ���,� O�����O� ����� O������� � %�� � ��� &Z2� �� � ����� N���� � �� ��N������P��Q�� �O���N����BEK4h5^� #λ]����� O O� O�R����,���V���D�)��� �� ��������������,������ & �-���N���-O���Q�O���T� �� ������-O����������� & �O����O�≈�!��O O�U���iW �������� O N�� ��������& ���N�������P��P�� ��������� �-�Z2�������� ���,& �������� ���,� �OP � ����������� �-� ��� ������ �����S�������� �Z2"�� ������ �Z2�hY ��� �����& �-� ����N���������N�����,�����������-����O����& ����-�����T �,�������O����N�������P��P�� ���� �� �� N�� ���T� ���� ����P � N�� ������� � ����& � ��� �D�N������ ��� �� ���R� ����Q���������S& �����,�������� �O��������� ��O� ���������� ��& P ����������� O���NO���O�N����������� ��� ������& � ��, ������� ���#��V��)�O O�U����W ���� ��������� ��P-� � N �������-��P��N�-���& ����-��(+B&���� ������� ������-��P���O���� ��& ������� ���Yj���k� �Ol�� ���mj���m� �Ol� �G�������& N�������� � ����� N�� � ��������� ���� ������� �P��N���� ��������� � Y�kj���k� �Ol�� � ��ij����� �Ol�� �������������� ��������� � ���������� � �� ���������� �������� ���NO�S���� � ����,N���� ����� &Z2& ��N ��������� � � � ���-����O����������P-� ����& �����-� NO���� ����O�����������N�� � O��� ������& � ���� ����� &Z2&�P��N������� ���������N��������& � ����� N�� ���� ���N������O��������Y��…����(�V � ��������P���-����� � �������T��O ������-���P& ��N��� �(��O���� ���P-� ���������-� NO���� ��O� & � �������� ���� ���� ���P��N������ ���O�������� S � � �� �� ����� �,�-��O� � ��-��������#����Y���) +������ ���� �N��-�N�� � O��� �:]5#;)����� �& ����-��O �� � ����� Q�� ���P��N����(+B&���� & ������� ������-��P���O������N� Q���� ��������� & ��� ��� ������ N����� � BN� � � � ����� #����� �)� � ���� Q�������O���������O� �����������V�!�(�����,��� ������ ���� ������� ���,������P���� ������� ���P& ��N����� �-�������N� ���O�'�����#3>ρ n��l�_Y) �o�� � �N-����� ��� ��O � ���R �� ���� ���� ��-S ���� ������ O��� � �� � � N �� ��O��������� � D� ���Q�� � �,�� �� ������� �� ����� �� #� � � ���<)� ������ & O���,� O�������� ��������O�S���Q�-��O�S�����-S& ����� ������� O���,��O����� Q�� � ��� �� +������ ������������-���O��������-��N�� � O�& �� ������� ���� ������S���P��N�����Q��� ����� � ��� ��������N�������� � ����� N�� �.�N�������� � �& ���� N�� ����� &Z2��� ��� �� ����� Q�� ���TT� & � ��� ����NO����N���� �o����������O������� ��� � ��O��,X�� ���PR������������� � ��� ��N�������� ����-����� ���� ��N���������P���-����� ������N�& ���� �G�������N�������� � ����� N�� �Np������� & � ����� Q�� � �� ��O� �� O����T��O������ ���& ��������������� �� �� ����� ����N���� ����Q� �o�� N��Q ���Q�������� ����NO���N���������,���������� � � �� ����� ��P��,X�������� ����NO����N���������& ������� ��������Q��O�� �� ����� ���Q����������& �������P��,X�O��N��Q�� �������� ���� ��������Q& �-����� &Z2&��N ���������������-������ ����� B��������� ����O�����������N�� � O��� �����,& �� �������� ���� �����P���� �Y��V����(��� �N��� ��R�������� ����N� Q�-��O���� NO����������������& � ������N���������� � ����� N�����-������������ & ��O� ����N�� � O��� ��������O��� ���O� ��� ���& N������O������� ��� �����P���� ������ ���,����-��& H � � � � ��O����������� N�� � O���,� ��& ���� ���� �� ���� � ����� N������ � ��� &Z2&�P��N��� ����N� Q���� ��������& � ��� ���P���-�� ��� ������ N�����4 ��V���Yj���k��Ol�a��<�V���mj���m��Ol� ��YY�������Yk�����!������!�������� �l�_Y�� (l�_Y ����( �Y������������k�������Y�������� ��m !�k Y�k ��k q> �ρ �������������������������������������������( :��rsO ��� ��� ��k� ��Y� ���� �) �������!��������������!������������!��������( :�� sO ��� � ��m ��k ��i P) H � � � � ��O����������� N�� � O���,� ������ ���& � ���� � ����� N�����-����N���O���� &Z2&��N & ������� �� ��N� Q���� ��������� ��� ��� �����4 ��V�Y�kj���k��Ol���<�V���ij������Ol� =�V�������Q�-��#����� ���,������������ ����N���� � � �� ����� �)� ��N ����a� /� V� ������,�-�� ��N ���� �) ����������!�����������������!����������������!��������( :�� sO �� !� Y� �� �� �� � � P) :��sO ��� �!� ��� �!� ����������!�����������������!���������������!���������( � � �� ��������� �� ���� ������ ���� ������� �� � ������ ����� ������� ����������������������������� ����O��������#�k�V����()��� ������������N���� �� S�� �O��-�� �����P`�O��N���� �G� �� N ����O& ����������#Y��V���()������� O���,��P������������ & S�� �O���� ������N����������,� ��� ��N������ ���& �� ��� N���������,O��� N O ����� �O �� � ��� #�����-����� �O�D) �D����O�S���Q�����P���� ���O& �������� ������ O���,� � ��� Q���� O�SN�����-O P��,���O B��������� �����,�&�O����-������ ��� �� ���& � ����� N�����-����������� ��O� ���� ���N� Q& �-����O������������������ � ��� ���N��,���- �D��P��& �� � �O����-����O��������� ������������R O�������& �������������-�� �����P`�O��N��������P���������� & �������N�� � O���,��� ����������S�� ��#���� !) �G� � N ����O����������#� ���� �� ��-�)�DEM����� ��& � N������ � �� ����-O��Q��� �O�#�� �O��-�������& S�� ��)���� � �N��Q ���,������� �������,��� �� >]>�?t;U#?_?�)�_�W � � � #�) �� ���� ��DEM����� ������������� ���� ���-� � ���O�#�� �����O��X��P�-O����,�T&������ ���O) �����X���� �-������� N��������O����,��u ���& � � �VoT����� U�W BN�������� ��� � ����<���� � ��� ������O�S���������, �-�����Q������ &Z2&��N ����-�� ����-�� O������ P��,& X��� ��������� �����P���-����� ������N����������� & ��� N�������� O��,X�����O�����������N�� � O���,� ������ ���� ����� ���N������O��������Y��V����( +����� ������� � ����� N�����-����� &Z2&��N ���& �-��������� O�������O��� ����� ��n��Yj���k��Ol� O����� �,������O�����������N�� � O���,������& � ���� �������O�� ���N������O�������� �O� ���P-�, �� �O�������-��� �Q���������O���N ������ +������ "��� �����-���N��,���-� NO���� ��O� & � �������� ���� ��������-������ ������ �Y���( �B�& ������-O���N��,����O��������������Q��������� � �& ���� N�����-����� &Z2&��N ������������ ����-�� ��& ������� ����� �� Q�� �� � ��-���� O������������& �������� ��� �� Q�� ��������������������$O�����V � ��� �� ��� ��O� $����P�������������� ����� ��& ���,�� ��O� � �������� ���� ��������� ���,������& P-��O� � ��-��������� ��������� ����� Q�� ���& ���S������ �O� � ��� �������������� ��������S & ���,����O� � �������� ���� ��#� � �Y����� � ����=) D��P��N������� � ����� N�����-����N���-O� N��Q�& � �O����������� ����-���� P� S������ ���������O O��� � ����� Q�� ���P��N�������P�������,����,& �� ����S ���,���� O� � �������� ���� �� #� � � Y� � �-��/) �o�����N���������� �����,�������� ����� & �����,�� ��O� � �������� ���� ������� &Z2&��N �& ���������P�������O ���� ������ ���������������N��& �� ���������� ��,�-O �P��,���O ���� ��� ����N���� ����� � ����� Q�� �O�O���� ��� D��P��N������� &Z2��� �,����� ������-��P���O��� �������� ��������� ������ ������N��������mj���m��Ol� ��������N�������� � ����� N�� ���P����������Q��, O�������� Q ���O� � �������� ���� ������������ ��� ���� � ����� N�����-O���� &Z2�#� � �Y��<)���� ����O NO���� �������� ���� ����� &Z2&��N ���������O� � �& ��O����������Y�����������-X�����v ���� ��������� �� �,�N���N �� ��-�� ������� ��� &Z2&��N ���������� ���N����Y��w����(� ����,& N������,� �� ���,���� O���� �� UkW�� ������� P-�� ��N��P���������� ��������� ����T��O�� ���-����& �� ��� �� ������������ ��-��O �� � ������� '���� ��������O��� ����� ����,N���� �����O Q�& � �����T��O�� �� ���������N� ������ �N� �����& � � �������O� ���P��N�����������S ���������� � ��N� Q ����O��������-�� ��TT � ������� ����� � ���X ��� ��#�(H)�O���� ������P��N��� ������S G� �N� ������ ���� &Z2&��N ����������O���-�����& ��S �������P��N�-���� ��O� ��������������T��& O�� ���S�� ������ ��, ���(H�O�� �P��,X���(H� ��O& � � �%�O����� Q �����T��O�� ����������R������ �& ������O-���P��N��������Q �-����������� �S������Q& ���O��������� ��� ���N���� ������ N���P� Q�-� N��Q�� ���(H� ��O� �� �O�� �UmW H � � Y � D� �� �� ������,�� �� O� � ��� �� ����� ��� ������ ���� �� ��� &Z2&��N ������� �� ��N� Q���� ��������� �� ���P���-����� ������N������������ � ����� N�����-���P��N���4 ��V���Yj���k��Ol�a�<�V���mj���m��Ol�a�=�V������N�������� � ����� N�� a�/�V��������� � ����� N�� P) � � �����������������Y��������������k�������������������@��x? ∆:_:��� v � Y � H � �� �D��,�&�O����-������ ��� �� ��� � ����� N�& ����-�� ��N���O� ��� &Z2&��N ������� �� ��������� �� ��� ������Y�kj���k� �Ol� ����������!������������������!�����������������!�����������?��OD >��O E ��� k� �� Y� �� ����(�������������ii�(������������������������������������Y���( �) ������������������������Y���������������������k����������������������������@��x? ∆:_:��� v �! �� �! �� ! � � ��� ��k ��� ��Y ��� � l��� l��Y ��������������������� ∆: _: �� �v � � ������� �� � ������ ����� ������� ����������������������������� �� ��������� �� ���� ������ ���� K��T �������� #������S���� ���� O�����,�-� ����-�������O��������-O�N�� � O����O������� �& ��� ����������� ��O� ������P���-�� ���T��O ��& ����-��#N� �������-����������S ��� N�O�� ) �BN& O���� �������� � �,� � ����O�� � � ����� Q�� �O ��� ��O� ���� � ������� &Z2���� � ����� N������O ��N���-O� N��Q�� �O �(� �� ���� N� ��T ������ & P������ �,���� NO���� �������� ���� ������T��O�& � ��� ��P��������� �� ��� &Z2&��N ������� �� ������O �� ����� ��y���m��Ol��#� � �!��<) ��� ����N ����- �� ���-�������N��� ���,�N���N �� ��-���������� O���� Q�� ����� Q �����P��������P�-���� � � �& ���-����O��������� C�� ��-�� ������������ ���,�������P���� ��V �P����Q �,����P �,������P�������������O���� Q��& ����� Q ���� � � � ���-����O���������� ���� �,& �-�� O� � ��-�� ������� ���� ������ N� ���������-� ��������� ��O� � �������� ���� ��������-������ & ������O� � ��-���������������Q��� ���������������, � �,����� ������-O���� &Z2&��N �����O�� ����-� ������ �� �,���N�������P��P�� ������ �� ����� �O ����,��� ���N ��������� ��������� ������ ������N�& �������ij�����Ol� ������� ����� &Z2&��N ���������O& �����������N�� � O���,������ ���,�� �� NO���� � ������ ���� ����-N����� ����T��O�� �����-��S�& ����Q��,����P��������O� �����������O�� ���N��� ��O��������#���� $) % ��� � �+��������� ��������� ����O�����������N�� � & O��� ������� ���� ������ � ����� N�����-����������& � ��O� ������ ��� �� Q�� �������S ��������P��N& ������ ��������� ����� O�����n��Yj���k��Ol���������& ������O � ���R ������ ������-S ����������� O��& � ��� �� N ����O������������ ���������Y��V�!�( � �G� �N�����Q������� � ����� N�����-����� & Z2&��N ����-� ��� ����� O� ������O� �� ����� � n��Yj���k� �Ol�� O���� � �,������O�����������N�& � � O���,������� ���� �� �O� ���P-�,��� �O����& ���-������� O���� ���� �Q�������-�� �Q����� ���,& �-�����O���N �������������O��������� ��� ���N�& ���Y��V����( � �B��������� ���� �� ����T��O�� ���������� �& ��� ����� &Z2&��N ��������� �N�� ��Q���� �,����� & ������-����� &Z2&��N ����-���� � ����� N�����-� ��N���-O� N��Q�� �O�� �� ��������� ��� �� O���� n��ij������Ol���P��������� P��,X���Q���� ���,����,� ���T��O�� �� ����������P��N�� � �������O�������- o�����N������� ����,N����,� ��������N��� ���,�N���& N �� ��-�����������O���� Q�� ����� Q �����P���& �����P�-���� � � � ���-����O��������� �"������& O������� ������ ���-������������ P��������P �,�-& O ��� ���N������ �� �,�-��O� � ��-������� B%G".zJ"DE++LC�B%�"\+B(B � �e<6<>2>�e �{ ��f67892>2>�{ �{ ��r16=10<A1�q �q �?@�13 �b1|?6 6?}6=|@13328?5�;<3=|232}<>�31=?6|�2>�|?>|<6|�__�Z?>|<6|�1>5�{}@71@<6| V �mm� V�e<3 �����h��V� V�c ��Y�V�Yi � �e<6<>2>�e �{ ��r16=10<A1�q �q ��f67892>2>�{ �{ �?@�13 �Zsq ;6?||76?�|?>|<6|�~1|?5�<>�31|?6�6?}6=|@13328?5�;<3=|232}<>�__�c9=| �1>5 x?}9 �c6<~3?0|�<��Zsq�Z@67}@76?|�1>5�f?A2|?| V�h{xs�{Zq�Z?62?|4 �37�?6�{}15 �c7~32|9?6|��h?@9?631>5|���mm! V�c ��k�V�k� � �f67892>2>�{ ��b1A2@|�1�/ ��r16=10<A1�q �?@�13 �s>�;<||2~232@= @<� ?t@?>5� @9?� <;?61@2<>� @?0;?61@76?� 61>�?� <�� Zsq� |?>|<6|� �2@9 ;<3=|232}<>� ;2?8<6?|2|@<6|� __� �<76> � <�� x?3?}<007>2}1@2<>� 1>5 q>�<601@2<>�x?}9><3<�= V� ���� V� h� � V� c � Y�VY! Y � f67892>2>� { �� b1A2@|�1� / �� r16=10<A1� q �� �<�7@� q � b1|?6 6?}6=|@133281@2<>� <�� ;<3=|232}<>� 2>� |?>|<6� @?}9><3<�=4� ;<||2~232@2?| 1>5� 6?|@62}@2<>|� __�Z232}<>&<>&q>|731@<6�x?}9><3<�=� 1>5�f?A2}?| V /3?}@6<}9?0 �Z<} �c6<} V��mmi V�e<3 �mi&�� V�c �m�Vmi ! � b1A2@|�1=1� / � h �� f67892>2>� { � { �� r16=10<A1� q � q � f?|9}92>|�=� � � b � �612>� ~<7>516=� ?��?}@� <>� @9?� }<>57}@2A2@=� 1>5 ;2?8<6?|2|@1>}?� <�� @9?� ;<3=}6=|@1332>?� |232}<>� 31=?6|� __� �7>}@2<>13 r1@?6213| V��mm� V�e<3 ����h�� V�c �!kV�� � �u ���� ��D �B ��oT����E �. �o�� �����-������������� & ������-������������� ��4�' 4�+�� ����mim i �f67892>2>�{ �{ ���<|@76�e �� ���<�7@� q � q �?@�13 �r2}6<8<>? 31|?6�6?}6=|@13328?5�;<3=|232}<>�31=?6|�<>�2>|731@<6�__�c9=| �1>5�x?}9> c6<~3?0|�<��Zsq�Z@67}@76?|�1>5�f?A2}?| V�h{xs�{Zq�Z?62?|4��37�?6 {}15 �c7~3 ��h?@9?631>5|���mm! V�c ����V��! k � f67892>2>� { �� b1A2@|�1� / �� r16=10<A1� q � ?@� 13 � Z@752?|� <� ;2?8<6?|2|@1>}?�1>5�;2?8<01�>?@<6?|2|@1>}?�2>�Z2��92|�?6|�1@�}6=<�?>2} @?0;?61@76?|� __�d6=|@13�x?}9><3<�= V����� V�e<3 ��i��h��V� V c � �Y�V�Yi m � +�� ���� % � B � ��������� ���X ��� �� �����-�� ���4� ' 4 +�� ����miY H � �! ���O��������-��N�� � O��� ������� ���� ����� & Z2&��N �����������Q��,���� ��������� ������ ������N����� ��Yj���k��Ol��#�)� ���mj���m��O&��#<)4 =��/�V����P���-���P��N�-a�=���/��V���T��O ������-���� �N�& ������ ����O�����������S �a�=��=��V������N�������� � ����� & N�� a�/��/��V��������� � ����� N�� � �����������!�������������������!������������������!������������( :��"O �i�� �!�� ���� ��! �i! ��! � �� P) �� � :��"O ��� ��! �j��Y �j��Y �� � �� �) �����������!������������������!����������������!����������( H � � � � ��O����������� N�� � O���,� ����� ���,�� �� N& O���� ������,�� �������� ���� ������������ �O���T��& O�� � ���� �� � ����� N�����-�� ��� &Z2&��N ������ �� ��������� ������ ��������ij������Ol� ������������!������������������������!���������( ∆ρ_ρ���v l� li
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70710
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 2225-5818
language Russian
last_indexed 2025-12-07T15:49:50Z
publishDate 2003
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling Дружинин, А.А.
Марьямова, И.И.
Матвиенко, С.Н.
Хорвенко, Ю.Н.
2014-11-11T14:56:15Z
2014-11-11T14:56:15Z
2003
Исследование свойств слоев поликремния на изоляторе при криогенных температурах для создания сенсоров / А.А. Дружинин, И.И. Марьямова, С.Н. Матвиенко, Ю.Н. Хорвенко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 6. — С. 10-13. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70710
625.315.592
Исследованы образцы поликремния р-типа на диэлектрических подложках в диапазоне температур 4,2-300 К и магнитных полях до 14 Тл, а также влияние деформации на их сопротивление. Показано, что слаболегированные нерекристаллизованные поли-Si-резисторы (2,4·10¹⁸ см⁻³) могут быть рекомендованы в качестве высоко­чувствительных терморезисторов. Для пьезорезистивных сенсоров механических величин рекомендуются сильнолегированные, рекристаллизованные лазером поли-Si-резисторы (~1,7·10²⁰ см⁻³). Они же являются наиболее стабильными к влиянию сильных магнитных полей.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Материалы для микроэлектроники
Исследование свойств слоев поликремния на изоляторе при криогенных температурах для создания сенсоров
Дослідження властивостей полікремнію на ізоляторі при кріогенних температурах для створення сенсорів
Article
published earlier
spellingShingle Исследование свойств слоев поликремния на изоляторе при криогенных температурах для создания сенсоров
Дружинин, А.А.
Марьямова, И.И.
Матвиенко, С.Н.
Хорвенко, Ю.Н.
Материалы для микроэлектроники
title Исследование свойств слоев поликремния на изоляторе при криогенных температурах для создания сенсоров
title_alt Дослідження властивостей полікремнію на ізоляторі при кріогенних температурах для створення сенсорів
title_full Исследование свойств слоев поликремния на изоляторе при криогенных температурах для создания сенсоров
title_fullStr Исследование свойств слоев поликремния на изоляторе при криогенных температурах для создания сенсоров
title_full_unstemmed Исследование свойств слоев поликремния на изоляторе при криогенных температурах для создания сенсоров
title_short Исследование свойств слоев поликремния на изоляторе при криогенных температурах для создания сенсоров
title_sort исследование свойств слоев поликремния на изоляторе при криогенных температурах для создания сенсоров
topic Материалы для микроэлектроники
topic_facet Материалы для микроэлектроники
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70710
work_keys_str_mv AT družininaa issledovaniesvoistvsloevpolikremniânaizolâtoreprikriogennyhtemperaturahdlâsozdaniâsensorov
AT marʹâmovaii issledovaniesvoistvsloevpolikremniânaizolâtoreprikriogennyhtemperaturahdlâsozdaniâsensorov
AT matvienkosn issledovaniesvoistvsloevpolikremniânaizolâtoreprikriogennyhtemperaturahdlâsozdaniâsensorov
AT horvenkoûn issledovaniesvoistvsloevpolikremniânaizolâtoreprikriogennyhtemperaturahdlâsozdaniâsensorov
AT družininaa doslídžennâvlastivosteipolíkremníûnaízolâtoríprikríogennihtemperaturahdlâstvorennâsensorív
AT marʹâmovaii doslídžennâvlastivosteipolíkremníûnaízolâtoríprikríogennihtemperaturahdlâstvorennâsensorív
AT matvienkosn doslídžennâvlastivosteipolíkremníûnaízolâtoríprikríogennihtemperaturahdlâstvorennâsensorív
AT horvenkoûn doslídžennâvlastivosteipolíkremníûnaízolâtoríprikríogennihtemperaturahdlâstvorennâsensorív