Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах
Методом радиоактивных изотопов исследована десорбция катионов (Na¹⁺, Fe³⁺, Cu2⁺, Ag¹⁺) и атомов (Au) металлов и анионов S²⁻ и Cl¹⁻ с поверхности кремниевых пластин КДБ-10 ориентации (100) и (110) при их обработке при 70°С в перекисно-аммиачных растворах трех составов....
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2003 |
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2003
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70725 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах / Ю.Г. Полтавцев, П.Т. Вирченко, В.В. Костюк // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 6. — С. 59-60. — Бібліогр.: 2 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862670701126746112 |
|---|---|
| author | Полтавцев, Ю.Г. Вирченко, П.Т. Костюк, В.В. |
| author_facet | Полтавцев, Ю.Г. Вирченко, П.Т. Костюк, В.В. |
| citation_txt | Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах / Ю.Г. Полтавцев, П.Т. Вирченко, В.В. Костюк // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 6. — С. 59-60. — Бібліогр.: 2 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Методом радиоактивных изотопов исследована десорбция катионов (Na¹⁺, Fe³⁺, Cu2⁺, Ag¹⁺) и атомов (Au) металлов и анионов S²⁻ и Cl¹⁻ с поверхности кремниевых пластин КДБ-10 ориентации (100) и (110) при их обработке при 70°С в перекисно-аммиачных растворах трех составов.
|
| first_indexed | 2025-12-07T15:31:25Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70725 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T15:31:25Z |
| publishDate | 2003 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Полтавцев, Ю.Г. Вирченко, П.Т. Костюк, В.В. 2014-11-11T15:18:18Z 2014-11-11T15:18:18Z 2003 Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах / Ю.Г. Полтавцев, П.Т. Вирченко, В.В. Костюк // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 6. — С. 59-60. — Бібліогр.: 2 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70725 621.382+681.3 Методом радиоактивных изотопов исследована десорбция катионов (Na¹⁺, Fe³⁺, Cu2⁺, Ag¹⁺) и атомов (Au) металлов и анионов S²⁻ и Cl¹⁻ с поверхности кремниевых пластин КДБ-10 ориентации (100) и (110) при их обработке при 70°С в перекисно-аммиачных растворах трех составов. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Интегральные схемы и полупроводниковые приборы Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах Кінетика десорбційного очищення поверхні кремнієвих пластин в перекисно-аміачних розчинах Article published earlier |
| spellingShingle | Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах Полтавцев, Ю.Г. Вирченко, П.Т. Костюк, В.В. Интегральные схемы и полупроводниковые приборы |
| title | Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах |
| title_alt | Кінетика десорбційного очищення поверхні кремнієвих пластин в перекисно-аміачних розчинах |
| title_full | Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах |
| title_fullStr | Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах |
| title_full_unstemmed | Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах |
| title_short | Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах |
| title_sort | кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах |
| topic | Интегральные схемы и полупроводниковые приборы |
| topic_facet | Интегральные схемы и полупроводниковые приборы |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70725 |
| work_keys_str_mv | AT poltavcevûg kinetikadesorbcionnoiočistkipoverhnostikremnievyhplastinvperekisnoammiačnyhrastvorah AT virčenkopt kinetikadesorbcionnoiočistkipoverhnostikremnievyhplastinvperekisnoammiačnyhrastvorah AT kostûkvv kinetikadesorbcionnoiočistkipoverhnostikremnievyhplastinvperekisnoammiačnyhrastvorah AT poltavcevûg kínetikadesorbcíinogoočiŝennâpoverhníkremníêvihplastinvperekisnoamíačnihrozčinah AT virčenkopt kínetikadesorbcíinogoočiŝennâpoverhníkremníêvihplastinvperekisnoamíačnihrozčinah AT kostûkvv kínetikadesorbcíinogoočiŝennâpoverhníkremníêvihplastinvperekisnoamíačnihrozčinah |