Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах
Методом радиоактивных изотопов исследована десорбция катионов (Na¹⁺, Fe³⁺, Cu2⁺, Ag¹⁺) и атомов (Au) металлов и анионов S²⁻ и Cl¹⁻ с поверхности кремниевых пластин КДБ-10 ориентации (100) и (110) при их обработке при 70°С в перекисно-аммиачных растворах трех составов....
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Datum: | 2003 |
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2003
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70725 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах / Ю.Г. Полтавцев, П.Т. Вирченко, В.В. Костюк // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 6. — С. 59-60. — Бібліогр.: 2 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70725 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Полтавцев, Ю.Г. Вирченко, П.Т. Костюк, В.В. 2014-11-11T15:18:18Z 2014-11-11T15:18:18Z 2003 Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах / Ю.Г. Полтавцев, П.Т. Вирченко, В.В. Костюк // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 6. — С. 59-60. — Бібліогр.: 2 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70725 621.382+681.3 Методом радиоактивных изотопов исследована десорбция катионов (Na¹⁺, Fe³⁺, Cu2⁺, Ag¹⁺) и атомов (Au) металлов и анионов S²⁻ и Cl¹⁻ с поверхности кремниевых пластин КДБ-10 ориентации (100) и (110) при их обработке при 70°С в перекисно-аммиачных растворах трех составов. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Интегральные схемы и полупроводниковые приборы Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах Кінетика десорбційного очищення поверхні кремнієвих пластин в перекисно-аміачних розчинах Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах |
| spellingShingle |
Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах Полтавцев, Ю.Г. Вирченко, П.Т. Костюк, В.В. Интегральные схемы и полупроводниковые приборы |
| title_short |
Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах |
| title_full |
Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах |
| title_fullStr |
Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах |
| title_full_unstemmed |
Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах |
| title_sort |
кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах |
| author |
Полтавцев, Ю.Г. Вирченко, П.Т. Костюк, В.В. |
| author_facet |
Полтавцев, Ю.Г. Вирченко, П.Т. Костюк, В.В. |
| topic |
Интегральные схемы и полупроводниковые приборы |
| topic_facet |
Интегральные схемы и полупроводниковые приборы |
| publishDate |
2003 |
| language |
Russian |
| container_title |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Кінетика десорбційного очищення поверхні кремнієвих пластин в перекисно-аміачних розчинах |
| description |
Методом радиоактивных изотопов исследована десорбция катионов (Na¹⁺, Fe³⁺, Cu2⁺, Ag¹⁺) и атомов (Au) металлов и анионов S²⁻ и Cl¹⁻ с поверхности кремниевых пластин КДБ-10 ориентации (100) и (110) при их обработке при 70°С в перекисно-аммиачных растворах трех составов.
|
| issn |
2225-5818 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70725 |
| citation_txt |
Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах / Ю.Г. Полтавцев, П.Т. Вирченко, В.В. Костюк // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 6. — С. 59-60. — Бібліогр.: 2 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT poltavcevûg kinetikadesorbcionnoiočistkipoverhnostikremnievyhplastinvperekisnoammiačnyhrastvorah AT virčenkopt kinetikadesorbcionnoiočistkipoverhnostikremnievyhplastinvperekisnoammiačnyhrastvorah AT kostûkvv kinetikadesorbcionnoiočistkipoverhnostikremnievyhplastinvperekisnoammiačnyhrastvorah AT poltavcevûg kínetikadesorbcíinogoočiŝennâpoverhníkremníêvihplastinvperekisnoamíačnihrozčinah AT virčenkopt kínetikadesorbcíinogoočiŝennâpoverhníkremníêvihplastinvperekisnoamíačnihrozčinah AT kostûkvv kínetikadesorbcíinogoočiŝennâpoverhníkremníêvihplastinvperekisnoamíačnihrozčinah |
| first_indexed |
2025-12-07T15:31:25Z |
| last_indexed |
2025-12-07T15:31:25Z |
| _version_ |
1850864026455638016 |