Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах
Методом радиоактивных изотопов исследована десорбция катионов (Na¹⁺, Fe³⁺, Cu2⁺, Ag¹⁺) и атомов (Au) металлов и анионов S²⁻ и Cl¹⁻ с поверхности кремниевых пластин КДБ-10 ориентации (100) и (110) при их обработке при 70°С в перекисно-аммиачных растворах трех составов....
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2003 |
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2003
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70725 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах / Ю.Г. Полтавцев, П.Т. Вирченко, В.В. Костюк // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 6. — С. 59-60. — Бібліогр.: 2 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Особенности разработки термостабилизированных германиевых фотодиодов
за авторством: Рюхтин, В.В., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Рюхтин, В.В., та інші
Опубліковано: (2004)
Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах
за авторством: Иванов, В.Н., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Иванов, В.Н., та інші
Опубліковано: (2002)
Использование КНИ-транзистора в качестве генератора колебаний напряжения
за авторством: Нинидзе, Г.К., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Нинидзе, Г.К., та інші
Опубліковано: (2005)
Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС
за авторством: Новосядлый, С.П.
Опубліковано: (2002)
за авторством: Новосядлый, С.П.
Опубліковано: (2002)
Механизм возникновения шумовых максимумов в элементах с нелинейными вольт-амперными характеристиками
за авторством: Головко, А.Г.
Опубліковано: (2004)
за авторством: Головко, А.Г.
Опубліковано: (2004)
Однокристальная микро-ЭВМ для систем с высокоразвитыми локальными сетями
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2002)
Схемотехническое моделирование и синтез активных СВЧ-фильтров на полевых транзисторах Шоттки
за авторством: Филинюк, Н.А., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Филинюк, Н.А., та інші
Опубліковано: (2005)
Однокристальная микро-ЭВМ с аналого-цифровым преобразователем
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2001)
Влияние кремниевой подложки на пробивное напряжение разветвленного n++-p+-перехода
за авторством: Сидоренко, В.П., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Сидоренко, В.П., та інші
Опубліковано: (2003)
Проектирование высоковольтных КМОП ИС ключей и коммутаторов на основе объемного кремния
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2001)
Проектирование схемы считывания для матриц ИК-фотодиодов среднего диапазона длин волн
за авторством: Рева, В.П., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Рева, В.П., та інші
Опубліковано: (2004)
Конструктивно-технологические ограничения при проектировании высоковольтных КМОП БИС
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2002)
Активное термостатирование полупроводниковых СВЧ-генераторов
за авторством: Кравченко, А.В., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Кравченко, А.В., та інші
Опубліковано: (2005)
БИС электронных пластиковых карт с предварительной оплатой
за авторством: Сидоренко, В.П., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Сидоренко, В.П., та інші
Опубліковано: (2001)
Малосигнальная модель транзистора в разработке СВЧ малошумящих усилителей
за авторством: Емцев, П.А.
Опубліковано: (2004)
за авторством: Емцев, П.А.
Опубліковано: (2004)
Энергонезависимая память на элементах FLOTOX для БИС электронных карт
за авторством: Сидоренко, В.П., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Сидоренко, В.П., та інші
Опубліковано: (2002)
Устройства считывания информации с крупноформатных матриц ИК-фотодиодов
за авторством: Reva, V. P., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Reva, V. P., та інші
Опубліковано: (2011)
Оборудование для формирования омических контактов полупроводниковых приборов на основе соединений A3B5
за авторством: Aleksandrov, S. B., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Aleksandrov, S. B., та інші
Опубліковано: (2011)
Экспериментальная установка для исследования процессов очистки газовых потоков от жидких высокодисперсных частиц
за авторством: Рыжков, С.С., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Рыжков, С.С., та інші
Опубліковано: (2010)
Разработка алгоритма выбора и расчета основных параметров отстойника для очистки сточной воды от взвешенных частиц
за авторством: Колесник, В.Е., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Колесник, В.Е., та інші
Опубліковано: (2013)
Усовершенствованный метод выявления «горячих точек» в изделиях микроэлектроники
за авторством: Popov, V. M., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Popov, V. M., та інші
Опубліковано: (2008)
Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Федорович, О.А., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Федорович, О.А., та інші
Опубліковано: (2009)
Получениe фунгицида гидроксохлорида меди (II) из травильных медно-аммиачных растворов
за авторством: Ларин, В.И., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Ларин, В.И., та інші
Опубліковано: (2008)
Обобщённая модель формы пиков в десорбционной масс-спектрометрии
за авторством: Перегудов, О.Н., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Перегудов, О.Н., та інші
Опубліковано: (2011)
Кинетика адсорбции и десорбции в бинарных и тройных растворах полимеров
за авторством: Чорная, В.Н., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Чорная, В.Н., та інші
Опубліковано: (2010)
Формальная кинетика гетерогенного катализа и динамика сорбционной очистки сложных растворов
за авторством: Агеева, И.А., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Агеева, И.А., та інші
Опубліковано: (2009)
Кинетика разгона элементов многослойных пакетов металлических пластин при сварке взрывом
за авторством: Кузьмин, С.В.
Опубліковано: (2005)
за авторством: Кузьмин, С.В.
Опубліковано: (2005)
Рассмотрены процессы получения микросварных соединений повышенной плотности в 3D интегральных схемах термозвуковой микросваркой, включающие использование повышенных частот ультразвука, применение микроинструмента с утонением рабочего торца и прецизион
за авторством: Lanin, V. L., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Lanin, V. L., та інші
Опубліковано: (2014)
Преобразование электромагнитного поля в нестационарном диэлектрическом волноводе
за авторством: Нерух, А.Г., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Нерух, А.Г., та інші
Опубліковано: (2004)
Плазменные неоднородности в магнитогидродинамической интерпретации
за авторством: Александрова, А.А., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Александрова, А.А., та інші
Опубліковано: (2004)
Преобразование электромагнитного поля нестационарным плазменным цилиндром резонансного радиуса
за авторством: Сахненко, Н.К., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Сахненко, Н.К., та інші
Опубліковано: (2004)
On an electron beam excitation of linear impedance antenna
за авторством: Priymenko, S.D., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Priymenko, S.D., та інші
Опубліковано: (2004)
Влияние толщины кремниевых пластин на характеристики многопереходных солнечных элементов с вертикальными p–n-переходами
за авторством: Gnilenko, A. B., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Gnilenko, A. B., та інші
Опубліковано: (2012)
Кинетика и механизм ионизации меди в растворах хлорной кислоты при низких плотностях тока
за авторством: Козин, Л.Ф., та інші
Опубліковано: (1983)
за авторством: Козин, Л.Ф., та інші
Опубліковано: (1983)
Кинетика и механизм окисления тиофена пероксиазотистой кислотой в водных растворах и газовой фазе
за авторством: Лобачев, В.Л., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Лобачев, В.Л., та інші
Опубліковано: (2013)
Кинетика роста и растворения включений ³He в расслоившихся твердых растворах ³He в ⁴He
за авторством: Ганьшин, А.Н., та інші
Опубліковано: (1999)
за авторством: Ганьшин, А.Н., та інші
Опубліковано: (1999)
Кинетика роста и растворения включений ³He в расслоившихся твердых растворах ³He в ⁴He
за авторством: Ганьшин, А.Н., та інші
Опубліковано: (1999)
за авторством: Ганьшин, А.Н., та інші
Опубліковано: (1999)
Оборудование для производства технологических атмосфер (Обзор)
за авторством: Марчук, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Марчук, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2010)
Кинетика совмещенных процессов на анодах с комбинированным оксидно-металлическим покрытием в растворах сульфатной кислоты
за авторством: Тульский, Г.Г., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Тульский, Г.Г., та інші
Опубліковано: (2011)
Створення комп’ютеризованої сорбційно-десорбційної установки та її випробування на прикладі адсорбції водню
за авторством: Марчук, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Марчук, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2015)