Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах
Методом радиоактивных изотопов исследована десорбция катионов (Na¹⁺, Fe³⁺, Cu2⁺, Ag¹⁺) и атомов (Au) металлов и анионов S²⁻ и Cl¹⁻ с поверхности кремниевых пластин КДБ-10 ориентации (100) и (110) при их обработке при 70°С в перекисно-аммиачных растворах трех составов....
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2003 |
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2003
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70725 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах / Ю.Г. Полтавцев, П.Т. Вирченко, В.В. Костюк // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 6. — С. 59-60. — Бібліогр.: 2 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах
за авторством: Poltavtsev, Yu. G., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Poltavtsev, Yu. G., та інші
Опубліковано: (2003)
Особенности разработки термостабилизированных германиевых фотодиодов
за авторством: Рюхтин, В.В., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Рюхтин, В.В., та інші
Опубліковано: (2004)
Использование КНИ-транзистора в качестве генератора колебаний напряжения
за авторством: Нинидзе, Г.К., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Нинидзе, Г.К., та інші
Опубліковано: (2005)
Механизм возникновения шумовых максимумов в элементах с нелинейными вольт-амперными характеристиками
за авторством: Головко, А.Г.
Опубліковано: (2004)
за авторством: Головко, А.Г.
Опубліковано: (2004)
Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС
за авторством: Новосядлый, С.П.
Опубліковано: (2002)
за авторством: Новосядлый, С.П.
Опубліковано: (2002)
Однокристальная микро-ЭВМ с аналого-цифровым преобразователем
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2001)
Схемотехническое моделирование и синтез активных СВЧ-фильтров на полевых транзисторах Шоттки
за авторством: Филинюк, Н.А., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Филинюк, Н.А., та інші
Опубліковано: (2005)
Проектирование высоковольтных КМОП ИС ключей и коммутаторов на основе объемного кремния
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2001)
Влияние кремниевой подложки на пробивное напряжение разветвленного n++-p+-перехода
за авторством: Сидоренко, В.П., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Сидоренко, В.П., та інші
Опубліковано: (2003)
Конструктивно-технологические ограничения при проектировании высоковольтных КМОП БИС
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2002)
Однокристальная микро-ЭВМ для систем с высокоразвитыми локальными сетями
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2002)
Энергонезависимая память на элементах FLOTOX для БИС электронных карт
за авторством: Сидоренко, В.П., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Сидоренко, В.П., та інші
Опубліковано: (2002)
Проектирование схемы считывания для матриц ИК-фотодиодов среднего диапазона длин волн
за авторством: Рева, В.П., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Рева, В.П., та інші
Опубліковано: (2004)
Активное термостатирование полупроводниковых СВЧ-генераторов
за авторством: Кравченко, А.В., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Кравченко, А.В., та інші
Опубліковано: (2005)
БИС электронных пластиковых карт с предварительной оплатой
за авторством: Сидоренко, В.П., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Сидоренко, В.П., та інші
Опубліковано: (2001)
Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах
за авторством: Иванов, В.Н., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Иванов, В.Н., та інші
Опубліковано: (2002)
Оптимизация уровня безотказности в сложных устройствах микроэлектроники
за авторством: Креденцер, Б.П., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Креденцер, Б.П., та інші
Опубліковано: (2002)
Экспресс-метод контроля качества полупроводниковых диодных кристаллов
за авторством: Павлюк, С.П., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Павлюк, С.П., та інші
Опубліковано: (2004)
Схемное решение построения каскадного регистра сдвига
за авторством: Куценко, Г.В.
Опубліковано: (2004)
за авторством: Куценко, Г.В.
Опубліковано: (2004)
Слаботочные диоды Ганна на основе арсенида галлия для КВЧ-аппаратов
за авторством: Яцуненко, А.Г., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Яцуненко, А.Г., та інші
Опубліковано: (2005)
Малосигнальная модель транзистора в разработке СВЧ малошумящих усилителей
за авторством: Емцев, П.А.
Опубліковано: (2004)
за авторством: Емцев, П.А.
Опубліковано: (2004)
КМОП БИС 16-разрядного микропроцессора, устойчивого к воздействию γ-радиации
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2004)
Схемное решение построения матричного регистра
за авторством: Куценко, Г.В.
Опубліковано: (2005)
за авторством: Куценко, Г.В.
Опубліковано: (2005)
Силовая микросхема для блоков управления газоразрядными источниками света
за авторством: Гаврилюк, Г.И., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Гаврилюк, Г.И., та інші
Опубліковано: (2002)
Разработка конструкции и технологии изготовления диодов Ганна для КВЧ-терапии
за авторством: Иванов, В.Н., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Иванов, В.Н., та інші
Опубліковано: (2004)
КМОП ИС задающего генератора с кварцевой стабилизацией частоты
за авторством: Золотаревский, В.И., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Золотаревский, В.И., та інші
Опубліковано: (2003)
Устройства считывания информации с крупноформатных матриц ИК-фотодиодов
за авторством: Reva, V. P., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Reva, V. P., та інші
Опубліковано: (2011)
Исследование воспроизводимости электрофизических параметров толстопленочных структур "RuO2-стекло"
за авторством: Kurmashev, Sh. D., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Kurmashev, Sh. D., та інші
Опубліковано: (2005)
Оборудование для формирования омических контактов полупроводниковых приборов на основе соединений A3B5
за авторством: Aleksandrov, S. B., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Aleksandrov, S. B., та інші
Опубліковано: (2011)
Аппараты термокаталитической очистки газовых выбросов в коксовом производстве
за авторством: Марченко, Г.С., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Марченко, Г.С., та інші
Опубліковано: (2011)
Экспериментальная установка для исследования процессов очистки газовых потоков от жидких высокодисперсных частиц
за авторством: Рыжков, С.С., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Рыжков, С.С., та інші
Опубліковано: (2010)
Разработка алгоритма выбора и расчета основных параметров отстойника для очистки сточной воды от взвешенных частиц
за авторством: Колесник, В.Е., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Колесник, В.Е., та інші
Опубліковано: (2013)
Усовершенствованный метод выявления «горячих точек» в изделиях микроэлектроники
за авторством: Popov, V. M., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Popov, V. M., та інші
Опубліковано: (2008)
Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Федорович, О.А., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Федорович, О.А., та інші
Опубліковано: (2009)
Нанометровые электронные приборы. Перспективные версии
за авторством: Drozdov, V. A., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Drozdov, V. A., та інші
Опубліковано: (2003)
Влияние плазмохимического травления на структуру поверхности кремниевых пластин фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Polozov, B. P., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Polozov, B. P., та інші
Опубліковано: (2006)
Функциональные возможности фотоприемников на основе низкоомных полупроводниковых пленок
за авторством: Klyukanov, A. A., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Klyukanov, A. A., та інші
Опубліковано: (2003)
Кинетика реакции тиосульфат-иона с метилисдидом в водных растворах
за авторством: Замащиков, В.В., та інші
Опубліковано: (1983)
за авторством: Замащиков, В.В., та інші
Опубліковано: (1983)
Обобщённая модель формы пиков в десорбционной масс-спектрометрии
за авторством: Перегудов, О.Н., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Перегудов, О.Н., та інші
Опубліковано: (2011)
Получениe фунгицида гидроксохлорида меди (II) из травильных медно-аммиачных растворов
за авторством: Ларин, В.И., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Ларин, В.И., та інші
Опубліковано: (2008)