Buchumschlag

Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах

Методом радиоактивных изотопов исследована десорбция катионов (Na¹⁺, Fe³⁺, Cu2⁺, Ag¹⁺) и атомов (Au) металлов и анионов S²⁻ и Cl¹⁻ с поверхности кремниевых пластин КДБ-10 ориентации (100) и (110) при их обработке при 70°С в перекисно-аммиачных растворах трех составов....

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Datum:	2003
Hauptverfasser:	Полтавцев, Ю.Г., Вирченко, П.Т., Костюк, В.В.
Format:	Artikel
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2003
Schlagworte:	Интегральные схемы и полупроводниковые приборы
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70725
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах / Ю.Г. Полтавцев, П.Т. Вирченко, В.В. Костюк // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 6. — С. 59-60. — Бібліогр.: 2 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Ähnliche Einträge

Особенности разработки термостабилизированных германиевых фотодиодов
von: Рюхтин, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах
von: Иванов, В.Н., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Использование КНИ-транзистора в качестве генератора колебаний напряжения
von: Нинидзе, Г.К., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС
von: Новосядлый, С.П.
Veröffentlicht: (2002)

Механизм возникновения шумовых максимумов в элементах с нелинейными вольт-амперными характеристиками
von: Головко, А.Г.
Veröffentlicht: (2004)

Однокристальная микро-ЭВМ для систем с высокоразвитыми локальными сетями
von: Вербицкий, В.Г., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Схемотехническое моделирование и синтез активных СВЧ-фильтров на полевых транзисторах Шоттки
von: Филинюк, Н.А., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Однокристальная микро-ЭВМ с аналого-цифровым преобразователем
von: Вербицкий, В.Г., et al.
Veröffentlicht: (2001)

Влияние кремниевой подложки на пробивное напряжение разветвленного n++-p+-перехода
von: Сидоренко, В.П., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Проектирование высоковольтных КМОП ИС ключей и коммутаторов на основе объемного кремния
von: Вербицкий, В.Г., et al.
Veröffentlicht: (2001)

Проектирование схемы считывания для матриц ИК-фотодиодов среднего диапазона длин волн
von: Рева, В.П., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Конструктивно-технологические ограничения при проектировании высоковольтных КМОП БИС
von: Вербицкий, В.Г., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Активное термостатирование полупроводниковых СВЧ-генераторов
von: Кравченко, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2005)

БИС электронных пластиковых карт с предварительной оплатой
von: Сидоренко, В.П., et al.
Veröffentlicht: (2001)

Малосигнальная модель транзистора в разработке СВЧ малошумящих усилителей
von: Емцев, П.А.
Veröffentlicht: (2004)

Энергонезависимая память на элементах FLOTOX для БИС электронных карт
von: Сидоренко, В.П., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Устройства считывания информации с крупноформатных матриц ИК-фотодиодов
von: Reva, V. P., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Оборудование для формирования омических контактов полупроводниковых приборов на основе соединений A3B5
von: Aleksandrov, S. B., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Экспериментальная установка для исследования процессов очистки газовых потоков от жидких высокодисперсных частиц
von: Рыжков, С.С., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Разработка алгоритма выбора и расчета основных параметров отстойника для очистки сточной воды от взвешенных частиц
von: Колесник, В.Е., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Усовершенствованный метод выявления «горячих точек» в изделиях микроэлектроники
von: Popov, V. M., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
von: Федорович, О.А., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Получениe фунгицида гидроксохлорида меди (II) из травильных медно-аммиачных растворов
von: Ларин, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Обобщённая модель формы пиков в десорбционной масс-спектрометрии
von: Перегудов, О.Н., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Кинетика адсорбции и десорбции в бинарных и тройных растворах полимеров
von: Чорная, В.Н., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Формальная кинетика гетерогенного катализа и динамика сорбционной очистки сложных растворов
von: Агеева, И.А., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Кинетика разгона элементов многослойных пакетов металлических пластин при сварке взрывом
von: Кузьмин, С.В.
Veröffentlicht: (2005)

Рассмотрены процессы получения микросварных соединений повышенной плотности в 3D интегральных схемах термозвуковой микросваркой, включающие использование повышенных частот ультразвука, применение микроинструмента с утонением рабочего торца и прецизион
von: Lanin, V. L., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Преобразование электромагнитного поля в нестационарном диэлектрическом волноводе
von: Нерух, А.Г., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Плазменные неоднородности в магнитогидродинамической интерпретации
von: Александрова, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Преобразование электромагнитного поля нестационарным плазменным цилиндром резонансного радиуса
von: Сахненко, Н.К., et al.
Veröffentlicht: (2004)

On an electron beam excitation of linear impedance antenna
von: Priymenko, S.D., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Влияние толщины кремниевых пластин на характеристики многопереходных солнечных элементов с вертикальными p–n-переходами
von: Gnilenko, A. B., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Кинетика и механизм ионизации меди в растворах хлорной кислоты при низких плотностях тока
von: Козин, Л.Ф., et al.
Veröffentlicht: (1983)

Кинетика и механизм окисления тиофена пероксиазотистой кислотой в водных растворах и газовой фазе
von: Лобачев, В.Л., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Кинетика роста и растворения включений ³He в расслоившихся твердых растворах ³He в ⁴He
von: Ганьшин, А.Н., et al.
Veröffentlicht: (1999)

Кинетика роста и растворения включений ³He в расслоившихся твердых растворах ³He в ⁴He
von: Ганьшин, А.Н., et al.
Veröffentlicht: (1999)

Оборудование для производства технологических атмосфер (Обзор)
von: Марчук, Ю.В., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Кинетика совмещенных процессов на анодах с комбинированным оксидно-металлическим покрытием в растворах сульфатной кислоты
von: Тульский, Г.Г., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Створення комп’ютеризованої сорбційно-десорбційної установки та її випробування на прикладі адсорбції водню
von: Марчук, Ю.В., et al.
Veröffentlicht: (2015)