Расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах
Проведен математический расчет упругих механических напряжений в двухслойных структурах с отличающимися упругими постоянными пленки и подложки. Выведена формула, показывающая, что возникающие в пленке механические напряжения пропорциональны ее толщине и температуре осаждения и обратно пропорциональн...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2002 |
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2002
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70736 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах / Ф.Д. Касимов, А.Э. Лютфалибекова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 2. — С. 13-14. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862624177064771584 |
|---|---|
| author | Касимов, Ф.Д. Лютфалибекова, А.Э. |
| author_facet | Касимов, Ф.Д. Лютфалибекова, А.Э. |
| citation_txt | Расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах / Ф.Д. Касимов, А.Э. Лютфалибекова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 2. — С. 13-14. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Проведен математический расчет упругих механических напряжений в двухслойных структурах с отличающимися упругими постоянными пленки и подложки. Выведена формула, показывающая, что возникающие в пленке механические напряжения пропорциональны ее толщине и температуре осаждения и обратно пропорциональны толщине подложки.
|
| first_indexed | 2025-12-07T13:31:29Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70736 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T13:31:29Z |
| publishDate | 2002 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Касимов, Ф.Д. Лютфалибекова, А.Э. 2014-11-11T19:51:04Z 2014-11-11T19:51:04Z 2002 Расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах / Ф.Д. Касимов, А.Э. Лютфалибекова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 2. — С. 13-14. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70736 621.382 Проведен математический расчет упругих механических напряжений в двухслойных структурах с отличающимися упругими постоянными пленки и подложки. Выведена формула, показывающая, что возникающие в пленке механические напряжения пропорциональны ее толщине и температуре осаждения и обратно пропорциональны толщине подложки. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Проектирование. Конструирование Расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах Article published earlier |
| spellingShingle | Расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах Касимов, Ф.Д. Лютфалибекова, А.Э. Проектирование. Конструирование |
| title | Расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах |
| title_full | Расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах |
| title_fullStr | Расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах |
| title_full_unstemmed | Расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах |
| title_short | Расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах |
| title_sort | расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах |
| topic | Проектирование. Конструирование |
| topic_facet | Проектирование. Конструирование |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70736 |
| work_keys_str_mv | AT kasimovfd rasčetuprugihmehaničeskihnaprâženiivneodnorodnyhpoluprovodnikovyhstrukturah AT lûtfalibekovaaé rasčetuprugihmehaničeskihnaprâženiivneodnorodnyhpoluprovodnikovyhstrukturah |