Расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах

Проведен математический расчет упругих механических напряжений в двухслойных структурах с отличающимися упругими постоянными пленки и подложки. Выведена формула, показывающая, что возникающие в пленке механические напряжения пропорциональны ее толщине и температуре осаждения и обратно пропорциональн...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Datum:2002
Hauptverfasser: Касимов, Ф.Д., Лютфалибекова, А.Э.
Format: Artikel
Sprache:Russisch
Veröffentlicht: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2002
Schlagworte:
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70736
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах / Ф.Д. Касимов, А.Э. Лютфалибекова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 2. — С. 13-14. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1862624177064771584
author Касимов, Ф.Д.
Лютфалибекова, А.Э.
author_facet Касимов, Ф.Д.
Лютфалибекова, А.Э.
citation_txt Расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах / Ф.Д. Касимов, А.Э. Лютфалибекова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 2. — С. 13-14. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Проведен математический расчет упругих механических напряжений в двухслойных структурах с отличающимися упругими постоянными пленки и подложки. Выведена формула, показывающая, что возникающие в пленке механические напряжения пропорциональны ее толщине и температуре осаждения и обратно пропорциональны толщине подложки.
first_indexed 2025-12-07T13:31:29Z
format Article
fulltext
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70736
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 2225-5818
language Russian
last_indexed 2025-12-07T13:31:29Z
publishDate 2002
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling Касимов, Ф.Д.
Лютфалибекова, А.Э.
2014-11-11T19:51:04Z
2014-11-11T19:51:04Z
2002
Расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах / Ф.Д. Касимов, А.Э. Лютфалибекова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 2. — С. 13-14. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70736
621.382
Проведен математический расчет упругих механических напряжений в двухслойных структурах с отличающимися упругими постоянными пленки и подложки. Выведена формула, показывающая, что возникающие в пленке механические напряжения пропорциональны ее толщине и температуре осаждения и обратно пропорциональны толщине подложки.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Проектирование. Конструирование
Расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах
Article
published earlier
spellingShingle Расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах
Касимов, Ф.Д.
Лютфалибекова, А.Э.
Проектирование. Конструирование
title Расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах
title_full Расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах
title_fullStr Расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах
title_full_unstemmed Расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах
title_short Расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах
title_sort расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах
topic Проектирование. Конструирование
topic_facet Проектирование. Конструирование
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70736
work_keys_str_mv AT kasimovfd rasčetuprugihmehaničeskihnaprâženiivneodnorodnyhpoluprovodnikovyhstrukturah
AT lûtfalibekovaaé rasčetuprugihmehaničeskihnaprâženiivneodnorodnyhpoluprovodnikovyhstrukturah