Расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах - Касимов, Ф.Д.; Лютфалибекова, А.Э. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2002)
Проведен математический расчет упругих механических напряжений в двухслойных структурах с отличающимися упругими постоянными пленки и подложки. Выведена формула, показывающая, что возникающие в пленке механические напряжения пропорциональны ее толщине и температуре осаждения и обратно пропорциональны толщине подложки.