Информационно-измерительный комплекс для оптоемкостной спектроскопии полупроводников

Комплекс позволяет исследовать оптические свойства полупроводниковых материалов, в частности, ширину запрещенной зоны, энергию ионизации примесей. В его основу положен метод оптоемкостной спектроскопии. Метод является бесконтактным, позволяет исследовать образцы полупроводниковых материалов, толщина...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Date:2002
Main Author: Васильев, В.А.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2002
Subjects:
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70742
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Информационно-измерительный комплекс для оптоемкостной спектроскопии полупроводников / В.А. Васильев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 2. — С. 46-49. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1862705719480942592
author Васильев, В.А.
author_facet Васильев, В.А.
citation_txt Информационно-измерительный комплекс для оптоемкостной спектроскопии полупроводников / В.А. Васильев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 2. — С. 46-49. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Комплекс позволяет исследовать оптические свойства полупроводниковых материалов, в частности, ширину запрещенной зоны, энергию ионизации примесей. В его основу положен метод оптоемкостной спектроскопии. Метод является бесконтактным, позволяет исследовать образцы полупроводниковых материалов, толщина которых меньше, чем диффузионная длина свободных носителей заряда. Комплекс состоит из монохроматора, исследуемой твердотельной структуры, оптоемкостного преобразователя и регистратора. Описан алгоритм автоматизированной настройки канала измерения.
first_indexed 2025-12-07T16:54:30Z
format Article
fulltext
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70742
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 2225-5818
language Russian
last_indexed 2025-12-07T16:54:30Z
publishDate 2002
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling Васильев, В.А.
2014-11-11T20:00:30Z
2014-11-11T20:00:30Z
2002
Информационно-измерительный комплекс для оптоемкостной спектроскопии полупроводников / В.А. Васильев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 2. — С. 46-49. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70742
681.325
Комплекс позволяет исследовать оптические свойства полупроводниковых материалов, в частности, ширину запрещенной зоны, энергию ионизации примесей. В его основу положен метод оптоемкостной спектроскопии. Метод является бесконтактным, позволяет исследовать образцы полупроводниковых материалов, толщина которых меньше, чем диффузионная длина свободных носителей заряда. Комплекс состоит из монохроматора, исследуемой твердотельной структуры, оптоемкостного преобразователя и регистратора. Описан алгоритм автоматизированной настройки канала измерения.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Технология производства
Информационно-измерительный комплекс для оптоемкостной спектроскопии полупроводников
Article
published earlier
spellingShingle Информационно-измерительный комплекс для оптоемкостной спектроскопии полупроводников
Васильев, В.А.
Технология производства
title Информационно-измерительный комплекс для оптоемкостной спектроскопии полупроводников
title_full Информационно-измерительный комплекс для оптоемкостной спектроскопии полупроводников
title_fullStr Информационно-измерительный комплекс для оптоемкостной спектроскопии полупроводников
title_full_unstemmed Информационно-измерительный комплекс для оптоемкостной спектроскопии полупроводников
title_short Информационно-измерительный комплекс для оптоемкостной спектроскопии полупроводников
title_sort информационно-измерительный комплекс для оптоемкостной спектроскопии полупроводников
topic Технология производства
topic_facet Технология производства
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70742
work_keys_str_mv AT vasilʹevva informacionnoizmeritelʹnyikompleksdlâoptoemkostnoispektroskopiipoluprovodnikov