Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления

Установлен механизм деградации и возникновения отказов микроэлектромеханических структур датчиков давления. Предложена математическая модель изменения величины температурного гистерезиса выходного сигнала датчиков, установлена степень его влияния на надежность приборов. Предложены способы уменьшения...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Дата:2002
Автори: Адарчин, С.А., Кужненков, А.С., Кожитов, Л.В., Косушкин, В.Г.
Формат: Стаття
Мова:Російська
Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2002
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70744
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления / С.А. Адарчин, А.С. Кужненков, Л.В. Кожитов, В.Г. Косушкин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 2. — С. 55-57. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1862691951557476352
author Адарчин, С.А.
Кужненков, А.С.
Кожитов, Л.В.
Косушкин, В.Г.
author_facet Адарчин, С.А.
Кужненков, А.С.
Кожитов, Л.В.
Косушкин, В.Г.
citation_txt Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления / С.А. Адарчин, А.С. Кужненков, Л.В. Кожитов, В.Г. Косушкин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 2. — С. 55-57. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Установлен механизм деградации и возникновения отказов микроэлектромеханических структур датчиков давления. Предложена математическая модель изменения величины температурного гистерезиса выходного сигнала датчиков, установлена степень его влияния на надежность приборов. Предложены способы уменьшения величины и снижения скорости возрастания гистерезиса выходного сигнала микроэлектромеханических структур.
first_indexed 2025-12-07T16:16:44Z
format Article
fulltext
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70744
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 2225-5818
language Russian
last_indexed 2025-12-07T16:16:44Z
publishDate 2002
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling Адарчин, С.А.
Кужненков, А.С.
Кожитов, Л.В.
Косушкин, В.Г.
2014-11-11T20:03:54Z
2014-11-11T20:03:54Z
2002
Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления / С.А. Адарчин, А.С. Кужненков, Л.В. Кожитов, В.Г. Косушкин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 2. — С. 55-57. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70744
621.382
Установлен механизм деградации и возникновения отказов микроэлектромеханических структур датчиков давления. Предложена математическая модель изменения величины температурного гистерезиса выходного сигнала датчиков, установлена степень его влияния на надежность приборов. Предложены способы уменьшения величины и снижения скорости возрастания гистерезиса выходного сигнала микроэлектромеханических структур.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Датчики
Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления
Article
published earlier
spellingShingle Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления
Адарчин, С.А.
Кужненков, А.С.
Кожитов, Л.В.
Косушкин, В.Г.
Датчики
title Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления
title_full Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления
title_fullStr Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления
title_full_unstemmed Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления
title_short Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления
title_sort один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления
topic Датчики
topic_facet Датчики
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70744
work_keys_str_mv AT adarčinsa odinizmehanizmovdegradaciimikroélektromehaničeskihstrukturdatčikovdavleniâ
AT kužnenkovas odinizmehanizmovdegradaciimikroélektromehaničeskihstrukturdatčikovdavleniâ
AT kožitovlv odinizmehanizmovdegradaciimikroélektromehaničeskihstrukturdatčikovdavleniâ
AT kosuškinvg odinizmehanizmovdegradaciimikroélektromehaničeskihstrukturdatčikovdavleniâ