Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления
Установлен механизм деградации и возникновения отказов микроэлектромеханических структур датчиков давления. Предложена математическая модель изменения величины температурного гистерезиса выходного сигнала датчиков, установлена степень его влияния на надежность приборов. Предложены способы уменьшения...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Datum: | 2002 |
| Hauptverfasser: | , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2002
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70744 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления / С.А. Адарчин, А.С. Кужненков, Л.В. Кожитов, В.Г. Косушкин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 2. — С. 55-57. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70744 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Адарчин, С.А. Кужненков, А.С. Кожитов, Л.В. Косушкин, В.Г. 2014-11-11T20:03:54Z 2014-11-11T20:03:54Z 2002 Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления / С.А. Адарчин, А.С. Кужненков, Л.В. Кожитов, В.Г. Косушкин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 2. — С. 55-57. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70744 621.382 Установлен механизм деградации и возникновения отказов микроэлектромеханических структур датчиков давления. Предложена математическая модель изменения величины температурного гистерезиса выходного сигнала датчиков, установлена степень его влияния на надежность приборов. Предложены способы уменьшения величины и снижения скорости возрастания гистерезиса выходного сигнала микроэлектромеханических структур. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Датчики Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления |
| spellingShingle |
Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления Адарчин, С.А. Кужненков, А.С. Кожитов, Л.В. Косушкин, В.Г. Датчики |
| title_short |
Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления |
| title_full |
Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления |
| title_fullStr |
Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления |
| title_full_unstemmed |
Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления |
| title_sort |
один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления |
| author |
Адарчин, С.А. Кужненков, А.С. Кожитов, Л.В. Косушкин, В.Г. |
| author_facet |
Адарчин, С.А. Кужненков, А.С. Кожитов, Л.В. Косушкин, В.Г. |
| topic |
Датчики |
| topic_facet |
Датчики |
| publishDate |
2002 |
| language |
Russian |
| container_title |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| format |
Article |
| description |
Установлен механизм деградации и возникновения отказов микроэлектромеханических структур датчиков давления. Предложена математическая модель изменения величины температурного гистерезиса выходного сигнала датчиков, установлена степень его влияния на надежность приборов. Предложены способы уменьшения величины и снижения скорости возрастания гистерезиса выходного сигнала микроэлектромеханических структур.
|
| issn |
2225-5818 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70744 |
| citation_txt |
Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления / С.А. Адарчин, А.С. Кужненков, Л.В. Кожитов, В.Г. Косушкин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 2. — С. 55-57. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT adarčinsa odinizmehanizmovdegradaciimikroélektromehaničeskihstrukturdatčikovdavleniâ AT kužnenkovas odinizmehanizmovdegradaciimikroélektromehaničeskihstrukturdatčikovdavleniâ AT kožitovlv odinizmehanizmovdegradaciimikroélektromehaničeskihstrukturdatčikovdavleniâ AT kosuškinvg odinizmehanizmovdegradaciimikroélektromehaničeskihstrukturdatčikovdavleniâ |
| first_indexed |
2025-12-07T16:16:44Z |
| last_indexed |
2025-12-07T16:16:44Z |
| _version_ |
1850866877790683136 |