Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления
Установлен механизм деградации и возникновения отказов микроэлектромеханических структур датчиков давления. Предложена математическая модель изменения величины температурного гистерезиса выходного сигнала датчиков, установлена степень его влияния на надежность приборов. Предложены способы уменьшения...
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2002 |
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2002
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70744 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления / С.А. Адарчин, А.С. Кужненков, Л.В. Кожитов, В.Г. Косушкин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 2. — С. 55-57. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862691951557476352 |
|---|---|
| author | Адарчин, С.А. Кужненков, А.С. Кожитов, Л.В. Косушкин, В.Г. |
| author_facet | Адарчин, С.А. Кужненков, А.С. Кожитов, Л.В. Косушкин, В.Г. |
| citation_txt | Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления / С.А. Адарчин, А.С. Кужненков, Л.В. Кожитов, В.Г. Косушкин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 2. — С. 55-57. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Установлен механизм деградации и возникновения отказов микроэлектромеханических структур датчиков давления. Предложена математическая модель изменения величины температурного гистерезиса выходного сигнала датчиков, установлена степень его влияния на надежность приборов. Предложены способы уменьшения величины и снижения скорости возрастания гистерезиса выходного сигнала микроэлектромеханических структур.
|
| first_indexed | 2025-12-07T16:16:44Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70744 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T16:16:44Z |
| publishDate | 2002 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Адарчин, С.А. Кужненков, А.С. Кожитов, Л.В. Косушкин, В.Г. 2014-11-11T20:03:54Z 2014-11-11T20:03:54Z 2002 Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления / С.А. Адарчин, А.С. Кужненков, Л.В. Кожитов, В.Г. Косушкин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 2. — С. 55-57. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70744 621.382 Установлен механизм деградации и возникновения отказов микроэлектромеханических структур датчиков давления. Предложена математическая модель изменения величины температурного гистерезиса выходного сигнала датчиков, установлена степень его влияния на надежность приборов. Предложены способы уменьшения величины и снижения скорости возрастания гистерезиса выходного сигнала микроэлектромеханических структур. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Датчики Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления Article published earlier |
| spellingShingle | Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления Адарчин, С.А. Кужненков, А.С. Кожитов, Л.В. Косушкин, В.Г. Датчики |
| title | Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления |
| title_full | Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления |
| title_fullStr | Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления |
| title_full_unstemmed | Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления |
| title_short | Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления |
| title_sort | один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления |
| topic | Датчики |
| topic_facet | Датчики |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70744 |
| work_keys_str_mv | AT adarčinsa odinizmehanizmovdegradaciimikroélektromehaničeskihstrukturdatčikovdavleniâ AT kužnenkovas odinizmehanizmovdegradaciimikroélektromehaničeskihstrukturdatčikovdavleniâ AT kožitovlv odinizmehanizmovdegradaciimikroélektromehaničeskihstrukturdatčikovdavleniâ AT kosuškinvg odinizmehanizmovdegradaciimikroélektromehaničeskihstrukturdatčikovdavleniâ |