Зображення обкладинки

Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления

Установлен механизм деградации и возникновения отказов микроэлектромеханических структур датчиков давления. Предложена математическая модель изменения величины температурного гистерезиса выходного сигнала датчиков, установлена степень его влияния на надежность приборов. Предложены способы уменьшения...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Дата:	2002
Автори:	Адарчин, С.А., Кужненков, А.С., Кожитов, Л.В., Косушкин, В.Г.
Формат:	Стаття
Мова:	Російська
Опубліковано:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2002
Теми:	Датчики
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70744
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления / С.А. Адарчин, А.С. Кужненков, Л.В. Кожитов, В.Г. Косушкин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 2. — С. 55-57. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Методы уменьшения температурной погрешности датчиков давления
за авторством: Васильев, В.А.
Опубліковано: (2002)

Особенности разработки датчиков давления на ПАВ для АЭС
за авторством: Лепих, Я.И., та інші
Опубліковано: (2002)

Планарные взаимоиндуктивные сенсоры для датчиков положения и приближения
за авторством: Негоденко, О.Н., та інші
Опубліковано: (2002)

Новое поколение пьезокерамических датчиков физических величин
за авторством: Шарапов, В.М., та інші
Опубліковано: (2005)

Многофункциональный датчик давления и температуры на основе твердых растворов SiGe
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2005)

Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации
за авторством: Касимов, Ф.Д., та інші
Опубліковано: (2001)

Функциональные возможности фотоприемников на основе низкоомных полупроводниковых пленок
за авторством: Клюканов, А.А., та інші
Опубліковано: (2003)

Датчики ускорений на базе микромеханики и микроэлектроники
за авторством: Голуб, В.С.
Опубліковано: (2001)

Датчик углекислого газа на основе пленки поликристаллического кремния
за авторством: Агаев, Ф.Г.
Опубліковано: (2001)

Преобразование низкочастотных флуктуаций электропроводности в датчиках с нелинейной ВАХ
за авторством: Головко, А.Г.
Опубліковано: (2003)

Оптоэлектронный люминесцентный газоанализатор
за авторством: Плавинский, Е.Б., та інші
Опубліковано: (2001)

Датчики приближения и положения на основе индуктивных балансных сенсоров
за авторством: Негоденко, О.Н., та інші
Опубліковано: (2001)

Интегральные микроэлектронные преобразователи для дистанционных измерений
за авторством: Гусейнов, Я.Ю.
Опубліковано: (2001)

Новое поколение пьезокерамических датчиков физических величин
за авторством: Sharapov, V. M., та інші
Опубліковано: (2005)

Столкновение с метеороидами как один из возможных механизмов распада кометных ядер
за авторством: Гулиев, А.С.
Опубліковано: (2017)

Датчик для измерения криогенных температур на основе нитевидных кристаллов Si-Ge
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2005)

Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2012)

Нейросетевая аппроксимация термометрической характеристики диодного сенсора
за авторством: Шварц, Ю.М., та інші
Опубліковано: (2005)

Исследование возможности создания газоанализатора с транзисторным чувствительным элементом
за авторством: Муршудли, М.Н., та інші
Опубліковано: (2005)

Двухволновой сенсор дистанционной селекции естественных поверхностей
за авторством: Иванченко, И.А., та інші
Опубліковано: (2005)

Дистанционный оптико-электронный датчик с растровой решеткой
за авторством: Иванченко, И.А., та інші
Опубліковано: (2005)

Диодный сенсор температуры: анализ приборной погрешности измерения
за авторством: Иващенко, А.Н., та інші
Опубліковано: (2005)

Кинетика деградации биомолекул под действием высокого давления и температуры
за авторством: Нога, И.В., та інші
Опубліковано: (2004)

Акустические датчики для дистанционного контроля давления
за авторством: Karapetyan, G. Ya., та інші
Опубліковано: (2008)

РОЗРОБКА ОПТИЧНОГО ДАТЧИКА ТЕМПЕРАТУРИ НА РІДКИХ КРИСТАЛАХ
за авторством: SKOSAR, V., та інші
Опубліковано: (2023)

Риск-анализ деградации почв
за авторством: Долгова, Т.И.
Опубліковано: (2010)

Закономерности деградации светоизлучающих диодов
за авторством: Викулин, И.М., та інші
Опубліковано: (2004)

Закономерности деградации светоизлучающих диодов
за авторством: Vikulin, I. М., та інші
Опубліковано: (2004)

Квантовая природа механизмов образования монослойных структур Ag на монокристаллических полупроводниковых поверхностях
за авторством: Карбовская, Л.И., та інші
Опубліковано: (2019)

УМЕНЬШЕНИЕ СИСТЕМАТИЧЕСКОЙ ПОГРЕШНОСТИ ЕМКОСТНОГО ДАТЧИКА БИЕНИЙ ВАЛА ЗА СЧЕТ ИЗМЕНЕНИЯ ФОРМЫ АКТИВНОГО ЭЛЕКТРОДА
за авторством: Левицкий, А.С., та інші
Опубліковано: (2010)

УМЕНЬШЕНИЕ СИСТЕМАТИЧЕСКОЙ ПОГРЕШНОСТИ ЕМКОСТНОГО ДАТЧИКА БИЕНИЙ ВАЛА ЗА СЧЕТ ИЗМЕНЕНИЯ ФОРМЫ АКТИВНОГО ЭЛЕКТРОДА
за авторством: Левицкий, А.С., та інші
Опубліковано: (2010)

Оптимизация конструкции мембранных датчиков
за авторством: Рубцевич, И.И., та інші
Опубліковано: (2009)

Применение беспроводных систем мониторинга и связи в энергетике
за авторством: Grechikhin, V. A., та інші
Опубліковано: (2012)

Один из вариантов разрешения межэтнических конфликтов (историческая ретроспектива)
за авторством: Величко, С.А.
Опубліковано: (1999)

ПАССИВНОЕ СОГЛАСОВАНИЕ В ИЗМЕРИТЕЛЬНЫХ ЦЕПЯХ ТЕРМОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ДАТЧИКОВ
за авторством: Луценко, В.Ю., та інші
Опубліковано: (2012)

Пассивное согласование в измерительных цепях термоэлектрических датчиков
за авторством: Луценко, В.Ю., та інші
Опубліковано: (2012)

ПАССИВНОЕ СОГЛАСОВАНИЕ В ИЗМЕРИТЕЛЬНЫХ ЦЕПЯХ ТЕРМОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ДАТЧИКОВ
за авторством: Луценко, В.Ю., та інші
Опубліковано: (2012)

Система сбора и обработки полетной информации
за авторством: Skubilin, M. D., та інші
Опубліковано: (2005)

Особенности деградации металла сварных соединений паропроводов ТЭС
за авторством: Дмитрик, В.В., та інші
Опубліковано: (2014)

Особенности деградации металла сварных соединений паропроводов
за авторством: Дмитрик, В.В., та інші
Опубліковано: (2015)